專利名稱：液體材料的稀釋方法、液晶裝置的制造方法及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在取向膜的形成中使用的液體材料的稀釋方法、液晶裝置的制造方法以及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
公知有作為顯示器或顯示光源等使用的電光裝置。電光裝置的制造工程包括在作為基體的物體(例如基板)上配置材料的工序。材料的配置技術(shù)由于與品質(zhì)和功能密切相關(guān)，所以為了提高上述各裝置的性能，此項(xiàng)技術(shù)是重要的一環(huán)。
作為在物體上配置材料的技術(shù)，有通過設(shè)在噴出頭上的噴嘴，把液體材料以液滴的形式噴出的方法(液滴噴出法、噴墨法)。該液滴噴出法與旋涂法等其它一般的涂敷技術(shù)相比，具有液體材料的消耗中浪費(fèi)少，對(duì)于配置在物體上的液體材料的量和位置容易進(jìn)行控制的優(yōu)點(diǎn)。
特開2001-42330號(hào)公報(bào)公開了如下的技術(shù)，即在作為電光裝置的一種的液晶裝置的制造過程中，采用液滴噴出法將包含形成取向膜的材料的液狀體配置在基板上的技術(shù)。該技術(shù)使用了其中添加了丁基溶纖劑等的醇類溶劑的液體材料。
添加了丁基溶纖劑等的醇類溶劑的液體材料容易析出白濁或固態(tài)成分。這樣的白濁或固態(tài)成分的析出，是導(dǎo)致噴出頭的噴嘴阻塞的主要原因。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種適用于液滴噴出法的液體材料的稀釋方法。
本發(fā)明的在取向膜的形成中所使用的液體材料的稀釋方法，通過在所述液體材料中添加具有規(guī)定溶液參數(shù)的稀釋液，將所述液體材料稀釋，作為所述稀釋液，使用具有與所述液體材料大致相同的溶解參數(shù)的溶媒。
根據(jù)本發(fā)明，通過把具有與液體材料的溶解參數(shù)大致相同的溶解參數(shù)的溶媒作為稀釋液使用，可防止白濁或固態(tài)成分的析出。其結(jié)果，可防止在液滴噴出法中的因噴出頭的阻塞而導(dǎo)致的噴出故障。另外，由于防止了固態(tài)成分的析出，使得對(duì)液體材料的固態(tài)成分濃度的管理更為容易。
在本發(fā)明的在取向膜的形成中使用的液體材料的稀釋方法中，在把所述液體材料的溶解參數(shù)設(shè)為σi，把所述溶媒的溶解參數(shù)設(shè)為σs時(shí)，優(yōu)選其之比σs/σi大于等于0.8、且小于1.2。
在本發(fā)明的在取向膜的形成中使用的液體材料的稀釋方法中，理想的是，所述σs/σi大于等于0.9、且小于1.1。
在本發(fā)明的在取向膜的形成中使用的液體材料的稀釋方法中，優(yōu)選所述液體材料包含多種類的溶媒，所述稀釋液是在所述液體材料中所包含的所述多種類的溶媒中的、具有與所述液體材料的溶解參數(shù)最接近的溶解參數(shù)的溶媒。
在本發(fā)明的在取向膜的形成中使用的液體材料的稀釋方法中，優(yōu)選所述稀釋液是具有與所述液體材料大致相同的溶解參數(shù)、且不包含在所述液體材料中的溶媒。
本發(fā)明的液晶裝置的制造方法，采用液滴噴出法，將使用先前所述的稀釋方法稀釋的液體材料配置在基板上。
由此可制造出高品質(zhì)的液晶裝置。
本發(fā)明的電子設(shè)備，具有采用先前所述的制造方法制造的液晶裝置。
根據(jù)這樣的電子設(shè)備可達(dá)到品質(zhì)提高的目的。


圖1是表示液滴噴出裝置的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖2是說明基于壓電方式的液狀體的噴出原理的圖。
圖3是液晶裝置的等效電路圖。
圖4是表示關(guān)于圖3的液晶裝置的像素構(gòu)造的俯視圖。
圖5是表示圖3的液晶裝置的主要部分的剖面圖。
圖6是表示圖3的液晶裝置的制造方法的一例的工序說明圖。
圖7是表示本發(fā)明的電子設(shè)備的一例的立體圖。
具體實(shí)施例方式
下面，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說明。
(在取向膜的形成中使用的液體材料的稀釋方法)在本發(fā)明的液體材料的稀釋方法中，把具有與液體材料的溶解參數(shù)相同程度的溶解參數(shù)的溶媒作為稀釋液使用。
這里，在設(shè)e分子的凝集密度能、E摩爾蒸發(fā)熱、V分子容積(1mol所占的體積)、X摩爾分率時(shí)，溶解參數(shù)σ可以表示為以下的式(1)。而且，混合溶媒的參數(shù)σmix可以表示為以下的式(3)。
δ=e---(1)]]>e=EV---(2)]]>δmin=ΣXnVnδnΣXnVn---(3)]]>這里，通過把具有與液體材料的溶解參數(shù)接近的溶解參數(shù)的溶媒作為稀釋液使用，可防止白濁或固態(tài)成分的析出。該稀釋液即可以是包含在該液體材料中的溶劑，也可以是不包含在該液體材料中的溶劑。在把液體材料的溶解參數(shù)設(shè)為σi、把溶媒的溶解參數(shù)設(shè)為σs時(shí)，優(yōu)選兩者之比σs/σi為大于等于0.8、并小于1.2，更理想的是大于等于0.9、并小于1.1。在σs/σi小于0.8、或大于等于1.2時(shí)，由于在把溶媒添加到液體材料中時(shí)，容易產(chǎn)生白濁或固態(tài)成分的析出，所以是不希望的。另外，如果σs/σi為大于等于0.9、并小于1.1，則在把溶媒添加到液體材料中時(shí)，可確實(shí)地防止白濁或固態(tài)成分的析出。
作為液體材料的代表例，有包含作為主要固態(tài)成分的聚酰亞胺(PI)、和作為溶媒的γ-丁內(nèi)酯和丁基溶纖劑。溶解參數(shù)為，液體材料0.39、γ-丁內(nèi)酯0.4、丁基溶纖劑0.3。
γ-丁內(nèi)酯具有使固態(tài)成分(聚酰亞胺)溶解的功能。丁基溶纖劑具有控制液體材料的表面張力的功能。
在以下的表1中，表示在該液體材料中添加了γ-丁內(nèi)酯時(shí)的結(jié)果，在以下的表2中，表示在該液體材料中添加了丁基溶纖劑時(shí)的結(jié)果(處理溫度23℃、添加率為重量％)。
另外，設(shè)定原始液體材料的粘度為46mPa.s、并分別設(shè)定原始液體材料的固態(tài)成分濃度(重量％)為4wt％、原始液體材料的γ-丁內(nèi)酯的成分濃度(重量％)為80wt％、原始液體材料的丁基溶纖劑的成分濃度(重量％)為10wt％、溶媒的剩余量為10wt％。
(表1)γ-丁內(nèi)酯

(表2)丁基溶纖劑


從表1和表2中可看出，當(dāng)在上述液體材料(σ＝0.39)中添加了γ-丁內(nèi)酯(σ＝0.4)的情況下，未發(fā)生白濁或固態(tài)成分的析出，而在添加了丁基溶纖劑(σ＝0.3)的情況下，隨著添加率的增加，發(fā)生了白濁或固態(tài)成分(聚酰亞胺PI)的析出。
另外，當(dāng)在上述液體材料(σ＝0.39)中添加了N-N二甲基乙酰胺(σ＝0.37)的情況下，被確認(rèn)為未發(fā)生白濁或固態(tài)成分的析出。
(液滴噴出裝置)下面，對(duì)液滴噴出法中所使用的液滴噴出裝置(噴墨裝置)進(jìn)行說明。另外，在以下的說明中所使用的附圖中，為了把各個(gè)部件放大到容易觀察的大小，適當(dāng)?shù)馗淖兞烁鱾€(gè)部件的縮放比例。
通過采用上述的稀釋法，在使用液滴噴出法噴出液體材料的情況下，可防止因阻塞所導(dǎo)致的噴出故障。另外，由于防止了固態(tài)成分的析出，因而使得液體材料的固態(tài)成分濃度的管理變得容易。
圖1是表示液滴噴出裝置的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。
該液滴噴出裝置IJ是用于把液體材料以液滴狀從液滴噴出頭的噴嘴噴出的裝置，其包括液滴噴出頭301、X軸方向驅(qū)動(dòng)軸304、Y軸方向?qū)蜉S305、控制裝置CONT、工作臺(tái)307、清洗機(jī)構(gòu)308、基座309以及加熱器315等。
工作臺(tái)307用于支撐由該液滴噴出裝置IJ配置液體材料的基板P，其具有把基板P固定在基準(zhǔn)位置上的未圖示的固定機(jī)構(gòu)。
液滴噴出頭301是具有多個(gè)噴嘴的多噴嘴式液滴噴出頭，其長(zhǎng)度方向與Y軸方向一致。多個(gè)噴嘴以一定的間隔沿著Y軸方向排列地設(shè)置在液滴噴出頭301的下面。從液滴噴出頭301的噴嘴向被支撐在工作臺(tái)307上的基板P噴出液體材料。
X軸方向驅(qū)動(dòng)軸304與X軸方向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)302連接。X軸方向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)302是步進(jìn)馬達(dá)等，在由控制裝置CONT供給了X軸方向的驅(qū)動(dòng)信號(hào)后，使X軸方向驅(qū)動(dòng)軸304旋轉(zhuǎn)。當(dāng)X軸方向驅(qū)動(dòng)軸304旋轉(zhuǎn)時(shí)，液滴噴出頭301向X軸方向移動(dòng)。
Y軸方向?qū)蜉S305被固定為相對(duì)基座309不能移動(dòng)的狀態(tài)。工作臺(tái)307具有Y軸方向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)303。Y軸方向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)303是步進(jìn)馬達(dá)等，當(dāng)由控制裝置CONT提供了Y軸方向的驅(qū)動(dòng)信號(hào)時(shí)，使工作臺(tái)307向Y軸方向移動(dòng)。
控制裝置CONT向液滴噴出頭301供給液滴的噴出控制用電壓。而且，向X軸方向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)302提供控制液滴噴出頭301向X軸方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)，并且向Y軸方向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)303提供控制工作臺(tái)307向Y軸方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)。
清洗機(jī)構(gòu)308用于清洗液滴噴出頭301。在清洗機(jī)構(gòu)308中具有未圖示的Y軸方向的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。通過該Y軸方向的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)，清洗機(jī)構(gòu)沿著Y軸方向?qū)蜉S305移動(dòng)。清洗機(jī)構(gòu)308的移動(dòng)也受控制裝置CONT的控制。
加熱器315在這里是通過燈退火(lamp anneal)，對(duì)基板P進(jìn)行熱處理的單元，其對(duì)被涂敷在基板P上的液體材料中所包含的溶媒實(shí)施蒸發(fā)、干燥處理。由控制裝置CONT控制該加熱器315的電源接通和關(guān)閉。
在液滴噴出裝置IJ中，在液滴噴出頭301與支撐基板P的工作臺(tái)307進(jìn)行相對(duì)掃描移動(dòng)的同時(shí)，從液滴噴出頭301向基板P噴出液滴狀的液體材料。液滴噴出頭301的噴嘴以一定的間隔排列設(shè)置在非掃描方向即Y軸方向上(X軸方向掃描方向、Y軸方向非掃描方向)。另外，在圖1中，液滴噴出頭301雖然是相對(duì)基板P的行進(jìn)方向呈直角配置，但也可以調(diào)整液滴噴出頭301的角度，使其與基板P的行進(jìn)方向交叉。
這樣，通過調(diào)整液滴噴出頭301的角度，可調(diào)整噴嘴之間的間距。而且，也可以構(gòu)成為可任意地調(diào)整基板P與噴嘴面之間的距離的結(jié)構(gòu)。
圖2是用于說明基于壓電方式的液體材料的噴出原理的液滴噴出頭的概略構(gòu)成圖。
在圖2中，與收容液體材料的液體室321相鄰地設(shè)置有壓電元件322。通過包括材料箱的液體供給系統(tǒng)323，把液體材料供給到液體室321中，所述材料箱收容液體材料。壓電元件322與驅(qū)動(dòng)電路324連接，通過該驅(qū)動(dòng)電路324向壓電元件施加電壓使壓電元件322變形，而使液體室321變形。而且，基于該彈性變形時(shí)的內(nèi)容積的變化，使液體材料從噴嘴325噴出。在這種情況下，通過改變施加電壓值，可控制壓電元件322的變形程度。
另外，通過改變施加電壓的頻率，可控制壓電元件322的變形速度。基于壓電方式的液滴噴出，由于對(duì)材料不加熱，所以具有不容易對(duì)材料的組成產(chǎn)生影響的優(yōu)點(diǎn)。
(液晶裝置)下面，對(duì)使用上述的液滴噴出裝置制造的液晶面板(器件)以及具有該液晶面板的液晶裝置(電光裝置)進(jìn)行說明。
圖3、圖4以及圖5所示的液晶裝置是作為開關(guān)元件而使用了TFT(薄膜晶體管)元件的有源矩陣型的透射型液晶顯示裝置。圖3是透射型液晶顯示裝置的被配置成矩陣狀的多個(gè)像素中的開關(guān)元件、和信號(hào)線等的等效電路圖。圖4是表示在形成了數(shù)據(jù)線、掃描線、像素電極等的TFT陣列基板上的相互鄰接的多個(gè)像素組的構(gòu)造的主要部分的俯視圖。圖5是圖4的A-A’線剖面圖。另外，在圖5中，表示為圖中的上側(cè)是光入射側(cè)，圖中的下側(cè)是觀察側(cè)(觀察者側(cè))的情況。另外，在各個(gè)圖中，為了把各個(gè)層和各個(gè)部件放大到在圖中能夠清楚觀察的程度，對(duì)各個(gè)層和各個(gè)部件采用了不同的縮放比例。
在本實(shí)施方式的液晶裝置中，如圖3所示那樣，在被配置成矩陣狀的多個(gè)像素中，分別形成有像素電極9和用于進(jìn)行對(duì)該像素電極9的通電控制的開關(guān)元件，即TFT元件30。另外，被供給圖像信號(hào)的數(shù)據(jù)線6a與該TFT元件30的源極電連接。寫入數(shù)據(jù)線6a的圖像信號(hào)S1、S2、…、Sn或者是按照這樣的順序供給，或者是對(duì)相鄰的多條數(shù)據(jù)線6a進(jìn)行分組供給。
另外，掃描線3a與TFT元件30的柵極電連接，并且，按照規(guī)定的時(shí)序，并以脈沖的形式和按照線的順序，對(duì)多條掃描線3a施加掃描信號(hào)G1、G2、…、Gm。另外，像素電極9與TFT元件30的漏極電連接，通過使作為開關(guān)元件的TFT元件30在一定的期間內(nèi)導(dǎo)通，以規(guī)定的定時(shí)寫入從數(shù)據(jù)線6a供給的圖像信號(hào)S1、S2、…、Sn。
通過像素電極9寫入液晶的規(guī)定電平的圖像信號(hào)S1、S2、…、Sn，在后述的共用電極之間被保持一定的時(shí)間。液晶基于被施加的電壓電平，其分子集合的取向和秩序發(fā)生變化，由此可進(jìn)行光的調(diào)制，和灰度顯示。這里，為了防止被保持的圖像信號(hào)的泄漏，與形成在像素電極9和共用電極之間的液晶電容并聯(lián)地附加連接蓄積電容70。
下面，結(jié)合圖4，對(duì)本實(shí)施方式的液晶裝置的主要部分的平面構(gòu)造進(jìn)行說明。
如圖4所示，在TFT陣列基板上，把多個(gè)由銦錫氧化物(Indium TinOxide，以下縮寫為ITO)等透明導(dǎo)電性材料構(gòu)成的矩形形狀的像素電極9(由虛線部9A表示輪廓)配置成矩陣形狀，并且沿著像素電極9的縱橫交界，分別設(shè)有數(shù)據(jù)線6a、掃描線3a以及電容線3b。在本實(shí)施方式中，形成了以包圍各個(gè)像素電極9的方式配置的數(shù)據(jù)線6a、掃描線3a、電容線3b等的區(qū)域是像素。在TFT陣列基板上形成有多個(gè)像素。液晶裝置按被配置成矩陣狀的每個(gè)像素進(jìn)行顯示。另外，形成了包圍各個(gè)像素電極9的數(shù)據(jù)線6a、掃描線3a、電容線3b等的、形成為縱橫格子狀的區(qū)域是不進(jìn)行圖像顯示的非顯示區(qū)域U。
數(shù)據(jù)線6a通過接觸孔5與構(gòu)成TFT元件30的例如由聚硅膜構(gòu)成的半導(dǎo)體層1a中的后述的源極區(qū)域電連接，像素電極9通過接觸孔8與半導(dǎo)體層1a中的后述的漏極區(qū)域電連接。另外，掃描線3a被配置成與半導(dǎo)體層1a中的后述的溝道區(qū)域(圖中左上的斜線的區(qū)域)對(duì)置的狀態(tài)，掃描線3a在與溝道區(qū)域?qū)χ玫牟糠肿鳛闁烹姌O而發(fā)揮功能。
電容線3b具有沿著掃描線3a呈大致直線狀延伸的主線部(即，在俯視面上沿著掃描線3a而形成的第1區(qū)域)、和從與數(shù)據(jù)線6a交叉的部位沿著數(shù)據(jù)線6a向前段側(cè)(圖中的向上)突出的突出部(即，在俯視面上沿著數(shù)據(jù)線6a延伸設(shè)置的第2區(qū)域)。而且，在圖4中，在由右上斜線表示的區(qū)域中設(shè)有多個(gè)第1遮光膜11a。
下面，結(jié)合圖5對(duì)本實(shí)施方式的液晶裝置的剖面構(gòu)造進(jìn)行說明。
如上所述，圖5是圖4的A-A’線剖面圖，是表示形成了TFT元件30的區(qū)域的結(jié)構(gòu)的剖面圖。本實(shí)施方式的液晶裝置中，在TFT陣列基板10和與其對(duì)面配置的對(duì)置基板20之間夾著液晶層50。
液晶層50例如是一種或混合了多種向列液晶的液晶。液晶層50在一對(duì)取向膜40和60之間，由取向膜40、60控制其取向。TFT陣列基板10具有由石英等透光性材料構(gòu)成的基板主體10A。
在基板主體10A中，在配置有液晶層50的基板主體10A上，形成有TFT元件30、像素電極9以及取向膜40。對(duì)置基板20具有由玻璃或石英等透光性材料構(gòu)成的基板主體20A。在對(duì)置基板20上，在配置有液晶層50的基板主體20A上，形成有共用電極21和取向膜60。而且，利用間隔物(spacer)15來保持TFT陣列基板10與對(duì)置基板20之間的間隔。
在TFT陣列基板10上，在基板主體10A的配置有液晶層50的面上，設(shè)有像素電極9。在與各個(gè)像素電極9相鄰的位置設(shè)有對(duì)各個(gè)像素電極9進(jìn)行開關(guān)控制的像素開關(guān)用TFT元件30。像素開關(guān)用TFT元件30具有LDD(Lightly Doped Drain)構(gòu)造，并具有掃描線3a、基于來自該掃描線3a的電場(chǎng)而形成溝道的半導(dǎo)體層1a的溝道區(qū)域1a’、將掃描線3a與半導(dǎo)體層1a絕緣的柵極絕緣膜2、數(shù)據(jù)線6a、半導(dǎo)體層1a的低濃度源極區(qū)域1b和低濃度漏極區(qū)域1c、半導(dǎo)體層1a的高濃度源極區(qū)域1d和高濃度漏極區(qū)域1e。
在上述掃描線3a上，在包含柵極絕緣膜2的基板主體10A上，形成有第2層間絕緣膜4，該第2層間絕緣膜4上形成有連通高濃度源極區(qū)域1d的接觸孔5、以及連通高濃度漏極區(qū)域1e的接觸孔8。即，數(shù)據(jù)線6a通過貫通第2層間絕緣膜4的接觸孔5與高濃度源極區(qū)域1d電連接。
并且，在數(shù)據(jù)線6a上以及第2層間絕緣膜4上，形成有第3層間絕緣膜7，在該第3層間絕緣膜7上形成有連通高濃度漏極區(qū)域1e的接觸孔8。即，高濃度漏極區(qū)域1e通過貫通第2層間絕緣膜4和第3層間絕緣膜7的接觸孔8與像素電極9電連接。
另外，在配置有液晶層50的基板主體10A上，在形成了像素開關(guān)用TFT元件30的區(qū)域上，形成有第1遮光膜11a。第1遮光膜11a，對(duì)于透過TFT陣列基板10，在TFT陣列基板10的圖中的下面(TFT陣列基板10與空氣的交界面)被反射回液晶層50的光，至少防止其入射到半導(dǎo)體層1a的溝道區(qū)域1a’以及低濃度源極、漏極區(qū)域1b、1c。
另外，在第1遮光膜11a與像素開關(guān)用TFT元件30之間，形成有用于把構(gòu)成像素開關(guān)用TFT元件30的半導(dǎo)體層1a與第1遮光膜11a電絕緣的第1層間絕緣膜12。并且，如圖4所示，構(gòu)成為，在TFT陣列基板10上設(shè)置第1遮光膜11a，并且，第1遮光膜11a通過接觸孔13與前段或后段的電容線3b電連接的構(gòu)造。
另外，在配置有液晶層50的TFT陣列基板10的最層表面上，即像素電極9和第3層間絕緣膜7上，形成有控制無施加電壓時(shí)的液晶層50內(nèi)的液晶分子的取向的取向膜40。從而，在具有這樣的TFT元件30的區(qū)域中，構(gòu)成了在TFT陣列基板10的配置有液晶層50的表面，即液晶層50的夾持面上形成了多個(gè)凹凸或階差的構(gòu)造。
另一方面，在配置有液晶層50的基板主體20A上，在與形成數(shù)據(jù)線6a、掃描線3a、像素開關(guān)用TFT元件30的區(qū)域相對(duì)置的區(qū)域，即各個(gè)像素部的開口區(qū)域以外的區(qū)域，形成有第2遮光膜23。第2遮光膜23用于防止入射光侵入像素開關(guān)用TFT元件30的半導(dǎo)體層1a的溝道區(qū)域1a’、低濃度源極區(qū)域1b以及低濃度漏極區(qū)域1c。
另外，在配置有液晶層50的基板主體20A上，在其大致全體面上形成有由ITO等構(gòu)成的共用電極21。在配置有液晶層50的共用電極21的表面上，形成有控制無施加電壓時(shí)的液晶層50內(nèi)液晶分子的取向的取向膜60。
(液晶裝置的制造方法)下面，參照附圖，對(duì)上述液晶裝置的制造方法，結(jié)合示例進(jìn)行說明。
圖6是表示本實(shí)施方式的液晶裝置的制造方法的工序流程的說明圖。即，本制造方法的工序是，在一對(duì)基板上形成取向膜，對(duì)該取向膜實(shí)施研磨處理，對(duì)一側(cè)的基板形成框狀密封部件，然后在該密封部件框內(nèi)滴注液晶，然后與另一側(cè)的基板貼合。以下，對(duì)各個(gè)工序進(jìn)行詳細(xì)說明。
首先，如圖6和圖5所示，為了在由玻璃等構(gòu)成的下側(cè)的基板主體10A上構(gòu)成TFT元件30等，形成遮光膜11a、第1層間絕緣膜12、半導(dǎo)體層1a、溝道區(qū)域1a’、低濃度源極區(qū)域1b、低濃度漏極區(qū)域1c、高濃度源極區(qū)域1d、高濃度漏極區(qū)域1e、蓄積電容電極1f、掃描線3a、電容線3b、第2層間絕緣膜4、數(shù)據(jù)線6a、第3層間絕緣膜7、接觸孔8以及像素電極9(步驟S1)。
然后，在基板主體10A上，使用上述的液滴噴出裝置IJ，通過涂敷用于形成取向膜的液體材料而形成取向膜40(步驟S2)。
然后，對(duì)取向膜40實(shí)施規(guī)定方向的研磨處理，制作成TFT陣列基板10(步驟S3)。另外，在基板主體20A上也形成遮光膜23、共用電極21和取向膜60，并且對(duì)上述取向膜60實(shí)施規(guī)定方向的研磨處理，而制作成對(duì)置基板20。
接下來，在上述對(duì)置基板20或TFT陣列基板10上形成框狀密封部件(步驟S4)。此外，作為密封部件可以使用紫外線固化樹脂等，把其利用印刷法等形成框狀，并形成沒有液晶注入口的閉口框形狀。
此時(shí)，為了保持規(guī)定的基板間隔，也可以在密封部件中分散間隔物15，由此來保持規(guī)定的基板間隔。
然后，在形成了密封部件的TFT陣列基板10上，根據(jù)該液晶裝置的液晶層50的厚度滴注規(guī)定量的液晶(步驟S6)。然后，把滴注了液晶的TFT陣列基板10與對(duì)置基板20，以將液晶夾在中間的方式貼合，進(jìn)一步，在TFT陣列基板10以及對(duì)置基板20的外面?zhèn)荣N合未圖示的相位差板、偏光板等光學(xué)膜，由此制作成具有圖5所示的單元構(gòu)造的顯示裝置，即液晶裝置。
在上述的液晶裝置中，使用液滴噴出法(噴墨法)在基板主體10A、20A上配置液體材料。即，通過使用上述的液滴噴出裝置IJ(參照?qǐng)D1)把包含取向膜形成材料的液狀液體材料噴出、干燥，從而在基板主體10A、20A上形成取向膜40、60。
在本示例中，使用上述的稀釋法進(jìn)行液體材料的稀釋，和液體材料的粘度等的調(diào)制。因此，在使用液滴噴出法噴出液體材料時(shí)，可防止阻塞而導(dǎo)致的噴出故障。通過穩(wěn)定地進(jìn)行液滴的噴出，實(shí)施高精度的材料配置，可制造出高質(zhì)量的液晶裝置。
另外，在本示例中，由于采用液滴噴出法形成取向膜等，所以與苯胺印刷法比較，可大幅減少材料使用量和排液量，從而可獲得良好的節(jié)能效果，而且，還能夠適應(yīng)基板的大型化，可制造出更高品質(zhì)的膜。
(電子設(shè)備)圖7(A)、(B)和(C)表示本發(fā)明的電子設(shè)備的實(shí)施例。
本實(shí)施例的電子設(shè)備具有作為顯示單元的上述液晶裝置。
圖7(A)是表示移動(dòng)電話機(jī)的一例的立體圖。在圖7(A)中，符號(hào)1000表示移動(dòng)電話機(jī)主體，符號(hào)1001表示使用了上述液晶裝置的顯示部。
圖7(B)是表示手表型電子設(shè)備的一例的立體圖。在圖7(B)中，符號(hào)1100表示手表主體，符號(hào)1101表示使用了上述液晶裝置的顯示部。
圖(C)是表示文字處理器、個(gè)人計(jì)算機(jī)等移動(dòng)型信息處理裝置的一例的立體圖。在圖7(C)中，符號(hào)1200表示信息處理裝置，符號(hào)1202表示鍵盤等輸入部，符號(hào)1204表示信息處理裝置主體，符號(hào)1206表示使用了上述液晶裝置的顯示部。
圖7(A)～(C)所示的各個(gè)電子設(shè)備，由于具有上述的液晶裝置作為顯示單元，所以可得到?jīng)]有顯示不均的高品質(zhì)的電子設(shè)備。
上述各個(gè)實(shí)施方式的液晶裝置不限于上述的電子設(shè)備，其作為理想的圖像顯示單元，可適用于各種顯示單元中，例如電子書刊、個(gè)人計(jì)算機(jī)、數(shù)碼相機(jī)、影像監(jiān)視器、取景型或監(jiān)視器型攝錄機(jī)，汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本、計(jì)算器、文字處理器、工作站、可視電話、POS終端、以及具有觸摸屏的設(shè)備等。這樣的電子設(shè)備不僅價(jià)格低廉，而且具有優(yōu)良的可靠性。
以上，參照附圖對(duì)本發(fā)明的最佳實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于上述的示例。在上述的示例中所說明的各個(gè)構(gòu)成部件的各種形狀或組合等只是一個(gè)示例，在不超出本發(fā)明的主旨思想的范圍內(nèi)，可根據(jù)設(shè)計(jì)要求等進(jìn)行各種變更。
權(quán)利要求
1.一種在取向膜的形成中使用的液體材料的稀釋方法，其中，通過在所述液體材料中添加具有規(guī)定溶解參數(shù)的稀釋液，將所述液體材料稀釋，所述稀釋液具有與所述液體材料的溶解參數(shù)大致相同的溶解參數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在取向膜的形成中使用的液體材料的稀釋方法，其特征在于，在把所述液體材料的溶解參數(shù)設(shè)為σi，把所述溶媒的溶解參數(shù)設(shè)為σs時(shí)，其之比σs/σi大于等于0.8、且小于1.2。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的在取向膜的形成中使用的液體材料的稀釋方法，其特征在于，所述比σs/σi大于等于0.9、且小于1.1。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的在取向膜的形成中使用的液體材料的稀釋方法，其特征在于，所述液體材料包含多種類的溶媒，所述稀釋液，是在所述液體材料中所包含的所述多種類的溶媒中的、具有與所述液體材料的溶解參數(shù)最接近的溶解參數(shù)的溶媒。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的在取向膜的形成中使用的液體材料的稀釋方法，其特征在于，所述稀釋液，是具有與所述液體材料大致相同的溶解參數(shù)、且不包含在所述液體材料中的溶媒。
6.一種液晶裝置的制造方法，采用液滴噴出法，將使用權(quán)利要求1至5中任意一項(xiàng)所述的稀釋方法稀釋的液體材料配置在基板上。
7.一種電子設(shè)備，具有采用權(quán)利要求6所述的制造方法制造的液晶裝置。
全文摘要
一種在取向膜的形成中使用的液體材料的稀釋方法，通過在所述液體材料中添加具有規(guī)定溶解參數(shù)的稀釋液，將所述液體材料稀釋，所述稀釋液是具有與所述液體材料的溶解參數(shù)大致相同的溶解參數(shù)的溶媒。
文檔編號(hào)G02F1/1333GK1834757SQ20061005146
公開日2006年9月20日 申請(qǐng)日期2006年2月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月2日
發(fā)明者蛭間敬 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社