專利名稱：涂布設備及其防止接頭未拔取的裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種涂布設備中用來防止接頭未拔取的裝置。
背景技術：
圖l表示在現(xiàn)有黃光工藝中，對晶片涂布光刻膠的設備?，F(xiàn)有涂布設備
100包括儲液瓶10、中繼室20、泵30、回吸閥(suckback valve)40與噴嘴50。 儲液瓶10中儲存光刻膠液，當泵30運轉時，光刻膠液會從儲液瓶10依次 經由中繼室20、泵30、回吸閥40而從噴嘴50噴出至晶片5上進行涂布。
在儲液瓶10與中繼室20之間的管路70上設有氣泡傳感器60,當儲液 瓶10中的光刻膠液用盡時，空氣會從管路70進入中繼室20而在管路70上 產生氣泡，此時氣泡傳感器60感測到氣泡，會發(fā)出信號至機臺(未示出)， 在機臺中具有電路200，如第2圖所示，指示燈80連接至該電路200，氣泡 傳感器60的信號從結點90輸入，使指示燈80亮起，此時操作人員根據(jù)亮 起的指示燈80而得知儲液瓶10中的光刻膠液已經用盡，因此需更換新的儲 液并瓦10。
在更換新的儲液瓶IO之后，需要用氮氣對儲液瓶10中的光刻膠液加壓， 以便將儲液瓶10的光刻膠液中固有的微小氣泡排出，因此操作人員會將連 接至氮氣加壓裝置(未示出)的接頭15 (參照圖1 )連接至儲液瓶10進行 加壓，等氣泡排除完成后，操作人員會將接頭15拔除，并操作機臺使指示 燈80熄滅，然后繼續(xù)進行噴涂作業(yè)。
在此工藝中，若作業(yè)人員忘記將接頭15從儲液瓶10移除，則仍然可以 操作機臺使指示燈80熄滅，然后繼續(xù)進行噴涂作業(yè)，但是由于氮氣加壓裝 置仍然連接到儲液瓶10并持續(xù)加壓，光刻膠液涂布至晶片5上的厚度會產 生異常，同時過大的壓力會損壞泵30以及回吸閥40。

發(fā)明內容
有鑒于此，本發(fā)明提供一種防止接頭未拔取的裝置，藉此若接頭未從儲
液瓶拔除，則無法操作機臺使指示燈熄滅，如此使操作人員可以檢查接頭拔 除與否，而避免產生接頭未拔除的狀況。
本發(fā)明的防止接頭未拔取的裝置的優(yōu)選實施例包括鑰匙、基座以及指示 裝置。鑰匙設于接頭上，基座被設置成與儲液瓶保持適當距離，指示裝置具 有一電路，鑰匙與基座分別連接到該電路。當鑰匙與連接到基座時，使該電 路形成閉路，當鑰匙脫離基座時，使該電路形成開路，且通過該適當距離， 接頭脫離工作裝置后鑰匙才能連接到基座。指示裝置還包括指示燈，連接到 該電路，當指示燈亮起時，通過鑰匙與連接到基座使該電路成為閉路，而使 指示燈熄滅。
在上述優(yōu)選實施例中，該鑰匙可為插接件，通過插入基座而連接。 在另一優(yōu)選實施例中，鑰匙為無線電發(fā)射器，基座設有接收器，當鑰匙 與基座接近至感應距離時，鑰匙以無線電波與基座連接，感應距離需小于適
當距離。
為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征、和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特
舉優(yōu)選實施例，并配合所附圖示，作詳細說明如下


圖1為現(xiàn)有的涂布設備的示意圖。
圖2為現(xiàn)有的連接到圖1的涂布設備的機臺中的電路。
圖3a、 3b為本發(fā)明的涂布設備的示意圖。
圖4為本發(fā)明的連接到圖3a、 3b涂布設備的機臺中的電路。
附圖標記說明
5: 晶片10儲液瓶;
20:中繼室30泵
40:回p及閥50噴嘴
60:氣泡傳感器70管路
80:指示燈90結點
100:涂布設備152:鑰匙
154:基座200:電路
400:電路470: 5負載480指示燈490結點
500涂布設備510儲液瓶(工作裝置)
520中繼室530泵
540回吸閥550噴嘴
560氣泡傳感器570管路
具體實施例方式
圖3a、 3b表示本發(fā)明的涂布設備的示意圖。本發(fā)明的涂布設備500包 括儲液瓶(工作裝置)510、中繼室520、泵530、回吸閥(suckbackvalve) 540以及噴嘴550。儲液瓶510中儲存光刻膠液，當泵530運轉時，光刻膠 液會從儲液瓶510依次經由中繼室520、泵530、回吸閥540而從噴嘴550 噴出至晶片5上進行涂布。
在儲液瓶510與中繼室520之間的管路570上設有氣泡傳感器560,當 儲液瓶510中的光刻膠液用盡時，空氣會從管路570進入中繼室520而在管 路570上產生氣泡，此時氣泡傳感器560感測到氣泡，會發(fā)出信號至機臺(未 示出)。
在機臺中具有電路400，如圖4所示，指示燈480被連接到電路400上， 氣泡傳感器560的信號從結點490輸入電路400，使指示燈480點亮。
回到圖3a，操作人員根據(jù)點亮的指示燈480得知儲液瓶510中的光刻膠 液已經用盡，因此更換新的儲液瓶510，同時將連接至氮氣加壓裝置(未示 出)的接頭15連接至儲液瓶510,進行排除光刻膠液中固有微小氣泡的作業(yè)， 在接頭15上設有鑰匙152，在與儲液瓶510具有適當距離d處設有基座154， 鑰匙152與基座154分別連接到電路400中結點490與負栽470之間。當鑰 匙152與基座154分離時，即接頭15仍連接到儲液瓶510時，結點490與 負載470之間呈開路的狀態(tài)，當指示燈480亮起時，即使操作機臺也無法使 指示燈480熄滅。
圖3b表示接頭15從儲液瓶510移除并將設置于接頭15的鑰匙152插 接在基座154上，由此圖4所示的電路400中，負載470與結點490之間的 回路由于鑰匙152連接到基座154而形成閉路，這樣才可操作機臺使指示燈 480熄滅，而繼續(xù)進行后續(xù)的噴涂作業(yè)。
在本實施例中鑰匙152為插接件，通過插接于基座154而使負載470與
結點490之間的回路形成閉路。但是鑰匙152也可使用無線的方式與基座154 產生連接，例如鑰匙152為無線電發(fā)射器，基座154設有接收器，當鑰匙152 與基座154接近至感應距離時，產生電性連接而使負載470與結點490之間 的回路形成閉路。
通過本發(fā)明的鑰匙152與基座154,使得在未拔除接頭15的情況下，負 載470與結點490之間的回路形成開路，無法通過操作機臺使指示燈480熄 滅，可以藉此提醒作業(yè)人員接頭15尚未拔除，避免人為的疏失而影響產品 的良品率或造成設備的損壞。
本發(fā)明的防止接頭未拔取的裝置可以應用于半導體黃光工藝、旋轉涂布 工藝以及其他需要防止接頭未拔除的工藝中。
雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，本領 域技術人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內，當可作些許改動與潤飾，因此 本發(fā)明的保護范圍當以權利要求所界定的為準。
權利要求
1.一種防止接頭未拔取裝置，用于接頭，該接頭可拆卸地連接到工作裝置，該防止接頭未拔取裝置包括鑰匙，設于該接頭上；基座，設置成與該工作裝置保持適當距離；指示裝置，具有電路，該鑰匙與該基座分別連接到該電路，其中當該鑰匙與連接到該基座時，該電路形成閉路，當該鑰匙脫離該基座時，該電路形成開路，且通過該適當距離，該接頭脫離該工作裝置后該鑰匙才能連接到該基座。
2. 如權利要求1所述的防止接頭未拔取裝置，其中該鑰匙為插接件， 通過插入該基座而連接。
3. 如權利要求1所述的防止接頭未拔取裝置，其中該鑰匙為無線電發(fā) 射器，該基座設有接收器，當該鑰匙與該基座接近至感應距離時，該鑰匙以 無線電波與該基座連接。
4. 如權利要求3所述的防止接頭未拔取裝置，其中該感應距離小于該 適當距離。
5. 如權利要求1所述的防止接頭未拔取裝置，其中該指示裝置還包括 指示燈，連接到該電路，當該指示燈亮起時，通過該鑰匙與連接到該基座使 該電路成為閉路，而使該指示燈熄滅。
6. —種涂布設備，包括 儲液瓶，儲存涂布液體； 噴嘴；泵，連接該儲液瓶與該噴嘴；中繼室，連接該泵與該儲液瓶；氣泡感應器，設于該儲液瓶與該中繼室的管路上；接頭，可拆卸地連接到該儲液瓶；鑰匙，設于該接頭上；基座，設置成與該儲液瓶保持適當距離；指示裝置，具有電路以及指示燈，該指示燈以及該氣泡感應器連接到該 電路，其中該涂布液體通過該泵的運轉，從該儲液瓶經由該中繼室、該泵而 從該噴嘴噴出，當該儲液瓶中的該涂布液體用盡時，該氣泡感應器感應到氣 泡而輸出信號至該電路使該指示燈亮起，該鑰匙與該基座分別連接到該電 路，當該鑰匙與連接到該基座時，該電路形成閉路，而使該指示燈熄滅，且 通過該適當距離，該接頭脫離該儲液瓶后該鑰匙才能連接到該基座。
7. 如權利要求6所述的涂布設備，其中該鑰匙為插接件，通過插入該 基座而連接。
8. 如權利要求6所述的涂布設備，其中該鑰匙為無線電發(fā)射器，該基 座設有接收器，當該鑰匙與該基座接近至感應距離時，該鑰匙以無線電波與 該基座連才妾。
9. 如權利要求8所述的涂布設備，其中該感應距離小于該適當距離。
10. 如權利要求6所述的涂布設備，其中該涂布設備應用于半導體的黃 光工藝。
11. 如權利要求6所述的涂布設備，其中該涂布設備應用于旋轉涂布玻 璃的工藝。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種防止接頭未拔取裝置，用于接頭，該接頭可拆卸地連接到工作裝置，該防止接頭未拔取裝置包括鑰匙、基座以及指示裝置。鑰匙被設在接頭上，基座設置成與工作裝置保持適當距離，指示裝置具有電路，鑰匙與基座分別連接到該電路。當鑰匙連接到基座時，該電路形成閉路，當鑰匙脫離基座時，該電路形成開路，且通過該適當距離，接頭脫離工作裝置后鑰匙才能連接到基座。
文檔編號G03F7/16GK101174091SQ200610143310
公開日2008年5月7日 申請日期2006年11月3日 優(yōu)先權日2006年11月3日
發(fā)明者楊盛華, 梁景泯 申請人:力晶半導體股份有限公司