專利名稱：有機抗反射涂料聚合物,抗反射涂料組合物及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明公開了一種有機抗反射聚合物及其制備方法。在采用248nm KrF和193nm ArF激光源制造超微圖案的平板印刷加工方法中，該有機抗反射聚合物能防止下部薄膜層的回射并且消除由于光刻膠厚度變化和光導(dǎo)致產(chǎn)生的駐波。更具體說，該有機抗反射聚合物可用于制造64M、256M、1G和4GDRAM半導(dǎo)體器件的超微圖案。還公開了一種含有此種有機抗反射聚合物的組合物、一種由其制得的抗反射涂層和制備方法。
背景技術(shù)：
制取半導(dǎo)體器件時在超微圖案的制造加工中，由于晶片上的下部薄膜層的光學(xué)性能以及由于光敏薄膜厚度的變化從而不可避免地會產(chǎn)生駐波和反射凹陷(notching)。另外，還有另一個問題，即從下部薄膜層衍射和反射的光導(dǎo)致CD(臨界尺寸)變動。因而，建議引入抗反射涂層，通過引入在用作光源的光波長范圍內(nèi)表現(xiàn)出高吸收性的有機材料，使得該涂層能夠防止下部薄膜層的回射。
抗反射涂料依照所使用的材料可分為無機和有機抗反射涂料，基于作用機理可分為吸收性的和干涉的抗反射涂料。對于采用I-線(365nm波長)輻射的微平板印刷術(shù)，主要使用無機抗反射涂料，同時采用TiN和無定形碳作為吸收體系以及SiON作為干涉體系。
采用KrF激光制造超微圖案的方法中，SiON主要被用作無機抗反射薄膜。然而在無機抗反射薄膜情形下，人們并不知曉能夠控制193nm光源波長處發(fā)生干涉的材料。因而，花費大量努力來使用有機化合物作為抗反射涂料。
要成為良好的有機抗反射涂層必須滿足下列條件。首先，當(dāng)進行平板印刷加工時，光刻膠層不可發(fā)生由于溶劑溶解導(dǎo)致的剝離。為了達(dá)到這一目標(biāo)，模塑的涂層必須設(shè)計形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)而不會產(chǎn)生任何化學(xué)副產(chǎn)物。其次，諸如酸或胺之類的化學(xué)物質(zhì)不可遷移入或遷移出抗反射涂層。這是因為當(dāng)酸從抗反射涂層遷移時，圖案的底部會產(chǎn)生刻痕(undercutting)，而當(dāng)胺之類的堿遷移時會產(chǎn)生沉渣(footing)。再其次，抗反射涂層的蝕刻速度應(yīng)當(dāng)比上部光敏薄膜的蝕刻速度要快，以促進采用光敏薄膜作為掩膜的蝕刻加工。最后，抗反射涂層必須盡可能的薄至足以起抗反射涂層的作用。
現(xiàn)有的有機抗反射材料主要分為兩類(1)含發(fā)色團的聚合物，能交聯(lián)聚合物的交聯(lián)劑(單分子)和添加劑(熱可變氧化劑)；和(2)自身能交聯(lián)且含發(fā)色團的聚合物和添加劑(熱可變氧化劑)。但是這兩類抗反射材料存在一個問題，即控制K值幾乎是不可能的，因為聚合的時候發(fā)色團含量按照初始設(shè)計的比例來限定。因而，如果希望改變K值，那么聚合物必須重新合成。
發(fā)明概述本發(fā)明公開了一種用于抗反射涂料的新型有機聚合物及其制備方法。
還公開了一種包括前述聚合物的抗反射涂料組合物和其制備方法。
本發(fā)明也公開了一種由此種抗反射涂料通過亞微平版印刷術(shù)而在其上形成圖案的半導(dǎo)體器件。
具體地，本發(fā)明涉及一種具有下式1結(jié)構(gòu)的化合物 式1
其中，R，R＇和R″分別獨立選自氫和甲基；Ra至Rd，和R1至R18各自獨立選自-H、-OH、-OCOCH3、-COOH、-CH2OH，或者具有1至5個碳原子的烷基和具有1至5個碳原子的烷氧烷基；m和n各自代表選自1、2、3、4和5的一個整數(shù)；x、y和z各自代表0.01-0.99的摩爾分?jǐn)?shù)。
在一種實施方案中，所述的式1化合物為聚[丙烯酸9-蒽甲基亞胺乙基酯-(丙烯酸2-羥乙基酯)-(甲基丙烯酸9-蒽甲基酯)]，其中R和R’為氫，R”為甲基，Ra至Rd為甲基，R1至R18各自獨立為氫，m和n各自代表2，以及x、y和z分別為0.1、0.5和0.4。
在另一種實施方案中，所述的式1化合物為聚[甲基丙烯酸9-蒽甲基亞胺乙基酯-(甲基丙烯酸2-羥乙基酯)-(丙烯酸9-蒽酯)]，其中R和R’各自為甲基，R”為氫，Ra至Rd為甲基，R1至R18各自獨立為氫，m和n各自代表2，以及x、y和z分別為0.1、0.5和0.4。
在另一種實施方案中，所述的式1化合物為聚[丙烯酸9-蒽甲基亞胺丙基酯-(丙烯酸3-羥丙基酯)-(甲基丙烯酸9-蒽甲基酯)]，其中R和R’為氫，R”為甲基，Ra至Rd為甲基，R1至R18各自獨立為氫，m和n各自代表3，以及x、y和z分別為0.1、0.5和0.4。
在另一種實施方案中，所述的式1化合物為聚[甲基丙烯酸9-蒽甲基亞胺丙基酯-(甲基丙烯酸2-羥乙基酯)-(丙烯酸9-蒽酯)]，其中R和R’各自為甲基，R”為氫，Ra至Rd為甲基，R1至R18各自獨立為氫，m為3，以及x、y和z分別為0.1、0.5和0.4。
在另一種實施方案中，所述的式1化合物為聚[甲基丙烯酸9-蒽甲基亞胺丙基酯-(丙烯酸3-羥丙基酯)-(甲基丙烯酸9-蒽甲基酯)]，其中R和R”各自獨立為甲基，R’為氫，Ra至Rd為甲基，R1至R18各自為氫，m和n各自為3，以及x、y和z分別為0.1、0.5和0.4。
在另一種實施方案中，所述的式1化合物為聚[甲基丙烯酸9-蒽甲基亞胺丙基酯-(丙烯酸4-羥丁基酯)-(甲基丙烯酸9-蒽甲基酯)]，其中R和R”各自為甲基，R’為氫，Ra至Rd為甲基，R1至R18各自為氫，m和n分別為3和4，以及x、y和z分別為0.1、0.5和0.4。
本發(fā)明另外一方面涉及一種制備式I的化合物的方法，其包括
使丙烯酸9-蒽甲基亞胺烷基酯單體，丙烯酸羥烷基酯單體和甲基丙烯酸9-蒽烷基酯在溶劑中反應(yīng)以生成一種產(chǎn)物；和使該產(chǎn)物用一種聚合引發(fā)劑聚合。
在所述的方法中，其中溶劑選自四氫呋喃、甲苯、苯、甲乙酮、二烷及其混合物。在所述的方法中，聚合引發(fā)劑選自2，2’-偶氮二異丁腈，乙酰過氧化物，過氧化月桂酰，叔丁基過氧化物及其混合物。在上述方法中，聚合在50-90℃溫度下進行。
本發(fā)明另外一方面一種抗反射涂料組合物，包括式1化合物和下式2的化合物式2 其中，R19和R20各自為具有1-10個碳原子的烷基或具有1-10個碳原子的烷氧基；和R21為氫或甲基。
在另外一種實施方案中，上述組合物進一步包括一種蒽衍生物添加劑，其選自蒽、9-蒽甲醇、9-蒽腈、9-蒽羧酸、1，8-二羥基蒽酮、1，2，10-蒽三醇、蒽黃酸、9-蒽醛肟、9-蒽醛、2-氨基-7-甲基-5-氧代-5H-[1]苯并-吡喃[2，3-b]吡啶-3-腈、1-氨基蒽醌、蒽醌-2-羧酸、1，5-二羥基蒽醌、蒽酮、9-蒽基三氟-甲基酮、9-烷基蒽衍生物、9-羧基蒽衍生物、1-羧基蒽衍生物及其混合物。
另外一方面，本發(fā)明涉及一種制備抗反射涂層的方法，包括將式I的化合物和式2的化合物溶于有機溶劑從而得到一種溶液；將溶液單獨過濾或者與一種蒽衍生物添加劑混合過濾從而得到一種濾液，該蒽衍生物添加劑選自蒽、9-蒽甲醇、9-蒽腈、9-蒽羧酸、1，8-二羥基蒽酮、1，2，10-蒽三醇、蒽黃酸、9-蒽醛肟、9-蒽醛、2-氨基-7-甲基-5-氧代-5H-[1]苯并-吡喃[2，3-b]吡啶-3-腈、1-氨基蒽醌、蒽醌-2-羧酸、1，5-二羥基蒽醌、蒽酮、9-蒽基三氟-甲基酮、9-烷基蒽衍生物、9-羧基蒽衍生物、1-羧基蒽衍生物及其混合物；
將濾液涂覆在基質(zhì)的下層從而在其上形成涂層；和將該涂層烘硬。
在所述的方法中，有機溶劑選自3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、環(huán)己酮和丙二醇甲醚乙酸酯，并且以所用抗反射涂料樹脂總重量來計有機溶劑的用量為200-5000wt％。在所述的方法中，其中烘硬步驟在100-300℃溫度下進行。
本發(fā)明另外一方面涉及一種由上述的抗反射涂料組合物制備的半導(dǎo)體器件。
優(yōu)選的實施方案的詳述本發(fā)明分別提供了可用于抗反射涂料的下述式1和2的化合物。
式1 式2 在以上式1和2中
R，R’和R”各自獨立為氫或甲基；Ra至Rd，和R1至R18各自獨立為-H、-OH、-OCOCH3、-COOH、-CH2OH，或者具有1至5個碳原子的取代或未取代的、或直鏈或支化的烷基或烷氧烷基；m和n各自代表選自1、2、3、4和5的一個整數(shù)；x、y和z各自代表0.01-0.99的摩爾分?jǐn)?shù)；R19和R20各自獨立為直鏈或支化的C1-10烷氧基；以及R21為氫或甲基。
式2的化合物是通過使(甲基)丙烯醛聚合獲得聚(甲基)丙烯醛，然后通過使所得的聚合產(chǎn)物與具有1至10個碳原子的支化或直鏈取代的烷基醇反應(yīng)而制取的。
詳細(xì)地說，首先將(甲基)丙烯醛溶于一種有機溶劑并加入一種聚合引發(fā)劑，在真空下約60℃至約70℃溫度范圍內(nèi)聚合約4至約6個小時。然后在作為催化劑的三氟甲基磺酸存在下于室溫使所得的聚合產(chǎn)物與具有1至10個碳原子的支化或直鏈取代的烷基醇反應(yīng)約20至約30個小時。
在以上方法中，適宜的有機溶劑選自四氫呋喃(THF)，環(huán)己酮，二甲基甲酰胺，二甲基亞砜，二烷，甲乙酮，苯，甲苯，二甲苯及其混合物。作為聚合引發(fā)劑，可以是2，2-偶氮二異丁腈(AIBN)，過氧化苯甲酰，乙酰過氧化物，過氧化月桂酰，叔丁基過乙酸酯，叔丁基過氧化氫或二叔丁基過氧化物。所述具有1至10個碳原子的烷基醇優(yōu)選的例子為乙醇或甲醇。
優(yōu)選的式2化合物選自下式3至6的化合物。
式3 式4
式5 式6 以上式3至6的化合物在酸和其他帶有醇基團的聚合物存在下迅速固化。
式1的聚合物是通過使丙烯酸9-蒽甲基亞胺烷基酯單體、丙烯酸羥烷基酯單體、丙烯酸縮水甘油基烷基酯單體和甲基丙烯酸9-蒽烷基酯在有機溶劑中反應(yīng)，然后使所得的化合物用聚合引發(fā)劑聚合而制取的。在該方法中可以使用任何傳統(tǒng)的有機溶劑，但是優(yōu)選的溶劑選自四氫呋喃、甲苯、苯、甲乙酮、二烷及其混合物。作為聚合引發(fā)劑，可以使用任何傳統(tǒng)的自由基聚合引發(fā)劑，但是優(yōu)選使用選自2，2’-偶氮二異丁腈、乙酰過氧化物、過氧化月桂酰和叔丁基過氧化物的化合物。以上聚合反應(yīng)優(yōu)選在約50至約90℃溫度下進行，并且每一單體具有約0.01至約0.99的摩爾分?jǐn)?shù)。
一種有效的抗反射涂料組合物可包括一種式1的聚合物和一種式2的聚合物。
而且，一種有效的抗反射涂料組合物可包括一種式1的聚合物、一種式2的化合物和一種作為添加劑的蒽衍生物。作為舉例，該蒽衍生物(以下，“蒽衍生物添加劑”)的非限定性例子選自蒽、9-蒽甲醇、9-蒽腈、9-蒽羧酸、1，8-二羥基蒽酮(dithranol)、1，2，10-蒽三醇、蒽黃酸、9-蒽醛肟、9-蒽醛、2-氨基-7-甲基-5-氧代-5H-[1]苯并-吡喃[2，3-b]吡啶-3-腈、1-氨基蒽醌、蒽醌-2-羧酸、1，5-二羥基蒽醌、蒽酮、9-蒽基三氟-甲基酮、下式7的9-烷基蒽衍生物、下式8的9-羧基蒽衍生物、下式9的1-羧基蒽衍生物及其混合物。
式7 式8 式9 其中，R1至R5為-H、-OH、-CH2OH或者具有1至5個碳原子的取代或未取代的，直鏈或支化的烷基或烷氧烷基。
有機抗反射涂層的制備方法可包括以下步驟將一種式1的聚合物和一種式2的化合物溶于一種有機溶劑中，將所得的溶液單獨過濾或與至少一種前述的蒽衍生物添加劑一起過濾，將濾液涂覆在下層并且烘硬涂層。更具體說，在本制備方法中可以使用任何有機溶劑，但是優(yōu)選選擇以下有機溶劑3-乙氧基丙酸乙酯，3-甲氧基丙酸甲酯，環(huán)己酮，和丙二醇甲醚乙酸酯?；谒玫目狗瓷渫繉訕渲目傊?，前述的有機溶劑的用量優(yōu)選為約200至約5000wt％。烘硬的溫度優(yōu)選為約100至約300℃。
由此處闡述的前述抗反射涂層組合物的任一種可以制取半導(dǎo)體器件。
首先合成各自帶有高吸收性發(fā)色團的兩種單體(丙烯酸蒽甲基亞胺烷基酯單體和甲基丙烯酸蒽甲基酯單體)，使由其制得的聚合物在248nm波長處顯示出高吸收性。由這兩種單體制得的聚合物作為主聚合物(式1的化合物)。因為帶有發(fā)色團的這兩種單體之一是弱堿性的，所以可確信的是，能防止完成涂覆后由于不平衡的酸度導(dǎo)致的任何刻痕。而且，為了使生產(chǎn)的有機抗反射涂層具有改進的性能，如良好的模塑性能、氣密性和耐溶解性，也合成出在反應(yīng)時能與樹脂中的醇基團形成交聯(lián)鍵的第二聚合物(式2的化合物)，以在涂覆步驟之后的烘硬步驟中引起交聯(lián)反應(yīng)。與主聚合物混合的第二聚合物通過熱反應(yīng)可形成一種交聯(lián)的產(chǎn)物。
尤其是，由于所用交聯(lián)劑是聚合物的形式且設(shè)計成使交聯(lián)反應(yīng)效率最大，所以通過控制主聚合物的比例來自由調(diào)節(jié)抗反射涂料的K值是可以做到的。
而且，抗反射涂料樹脂在所有烴類溶劑中具有良好的溶解性然而在烘硬步驟的任一種溶劑中具有耐溶解性。另外，采用它進行圖案的制造加工無刻痕和沉渣產(chǎn)生。特別是，因為本發(fā)明抗反射涂料樹脂由丙烯酸酯聚合物制得，蝕刻加工期間相對于光敏薄膜而言其具有較快的蝕刻速度，改進了蝕刻選擇性。
以下實施例使本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員更清楚地理解本發(fā)明原理和實踐。但這些僅僅是某些優(yōu)選的具體實施方案的說明而不會限制發(fā)明。
實施例實施例1-聚[丙烯酸9-蒽甲基亞胺乙基酯-(丙烯酸2-羥乙基酯)-(甲基丙烯酸9-蒽甲基酯)]的制取于攪拌下，在500ml圓底燒瓶中放入0.1mol丙烯酸9-蒽甲基亞胺乙基酯/0.5mol丙烯酸2-羥乙基酯/0.4mol甲基丙烯酸9-蒽甲基酯，并將300克單獨制得的四氫呋喃加入該最終混合物中。其后，加入約0.1-約3.0克的2，2’-偶氮二異丁腈，于約60-約75℃下在氮氣氛中進行聚合反應(yīng)約5-約20小時。反應(yīng)完成后，用乙醚或正己烷溶劑沉淀所得的溶液，然后過濾并干燥，從而獲得下式10的聚[丙烯酸9-蒽甲基亞胺乙基酯-(丙烯酸2-羥乙基酯)-(甲基丙烯酸9-蒽甲基酯)]樹脂(產(chǎn)率81％)。
式10 實施例2--聚[甲基丙烯酸9-蒽甲基亞胺乙基酯-(甲基丙烯酸2-羥乙基酯)-(丙烯酸9-蒽甲基酯)]的制取于攪拌下，在500ml圓底燒瓶中放入0.1mol甲基丙烯酸9-蒽甲基亞胺乙基酯/0.5mol甲基丙烯酸2-羥乙基酯/0.4mol丙烯酸9-蒽甲基酯，并將300克單獨制得的四氫呋喃加入該最終混合物中。其后，加入約0.1-約3.0克的2，2’-偶氮二異丁腈，于約60-約75℃下在氮氣氛中進行聚合反應(yīng)約5-約20小時。反應(yīng)完成后，用乙醚或正己烷溶劑沉淀所得的溶液，然后過濾并干燥，從而獲得下式11的聚[甲基丙烯酸9-蒽甲基亞胺乙基酯-(甲基丙烯酸2-羥乙基酯)-(丙烯酸9-蒽甲基酯)]樹脂(產(chǎn)率84％)。
式11 實施例3-聚[丙烯酸9-蒽甲基亞胺丙基酯-(丙烯酸3-羥丙基酯)-(甲基丙烯酸9-蒽甲基酯)]的制取于攪拌下，在500ml圓底燒瓶中放入0.1mol丙烯酸9-蒽甲基亞胺丙基酯/0.5mol丙烯酸3-羥丙基酯/0.4mol甲基丙烯酸9-蒽甲基酯，并將300克單獨制得的四氫呋喃加入該最終混合物中。其后，加入約0.1-約3.0克的2，2’-偶氮二異丁腈，于約60-約75℃下在氮氣氛中進行聚合反應(yīng)約5-約20小時。反應(yīng)完成后，用乙醚或正己烷溶劑沉淀所得的溶液，然后過濾并干燥，從而獲得下式12的聚[丙烯酸9-蒽甲基亞胺丙基酯-(丙烯酸3-羥丙基酯)-(甲基丙烯酸9-蒽甲基酯)]樹脂(產(chǎn)率82％)。
式12 實施例4--聚[甲基丙烯酸9-蒽甲基亞胺丙基酯-(甲基丙烯酸2-羥乙基酯)-(丙烯酸9-蒽甲基酯)]的制取于攪拌下，在500ml圓底燒瓶中放入0.1mol丙烯酸9-蒽甲基亞胺丙基酯/0.5mol甲基丙烯酸2-羥乙基酯/0.4mol丙烯酸9-蒽甲基酯，并將300克單獨制得的四氫呋喃加入該最終混合物中。其后，加入約0.1-約3.0克的2，2’-偶氮二異丁腈，于約60-約75℃下在氮氣氛中進行聚合反應(yīng)約5-約20小時。反應(yīng)完成后，用乙醚或正己烷溶劑沉淀所得的溶液，然后過濾并干燥，從而獲得下式13的聚[甲基丙烯酸9-蒽甲基亞胺丙基酯-(甲基丙烯酸2-羥乙基酯)-(丙烯酸9-蒽甲基酯)]樹脂(產(chǎn)率83％)。
式13 實施例5--聚[甲基丙烯酸9-蒽甲基亞胺丙基酯-(丙烯酸3-羥丙基酯)-(甲基丙烯酸9-蒽甲基酯)]的制取于攪拌下，在500ml圓底燒瓶中放入0.1mol甲基丙烯酸9-蒽甲基亞胺丙基酯/0.5mol丙烯酸3-羥丙基酯/0.4mol甲基丙烯酸9-蒽甲基酯，并將300克單獨制得的四氫呋喃加入該最終混合物中。其后，加入約0.1-約3.0克的2，2’-偶氮二異丁腈，于約60-約75℃下在氮氣氛中進行聚合反應(yīng)約5-約20小時。反應(yīng)完成后，用乙醚或正己烷溶劑沉淀所得的溶液，然后過濾并干燥，從而獲得下式14的聚[甲基丙烯酸9-蒽甲基亞胺丙基酯-(丙烯酸3-羥丙基酯)-(甲基丙烯酸9-蒽甲基酯)]樹脂(產(chǎn)率81％)。
式14 實施例6--聚[甲基丙烯酸9-蒽甲基亞胺丙基酯-(丙烯酸4-羥丁基酯)-(甲基丙烯酸9-蒽甲基酯)]的制取于攪拌下，在500ml圓底燒瓶中放入0.1mol甲基丙烯酸9-蒽甲基亞胺丙基酯/0.5mol丙烯酸4-羥丁基酯/0.4mol甲基丙烯酸9-蒽甲基酯，并將300克單獨制得的四氫呋喃加入該最終混合物中。其后，加入約0.1-約3.0克的2，2’-偶氮二異丁腈，于約60-約75℃下在氮氣氛中進行聚合反應(yīng)約5-約20小時。反應(yīng)完成后，用乙醚或正己烷溶劑沉淀所得的溶液，然后過濾并干燥，從而獲得下式15的聚[甲基丙烯酸9-蒽甲基亞胺丙基酯-(丙烯酸4-羥丁基酯)-(甲基丙烯酸9-蒽甲基酯)]樹脂(產(chǎn)率80％)。
式15 實施例7-一種抗反射涂料溶液的制取將由實施例1-6之一制備的一種式1的聚合物和一種式2的聚合物溶于丙二醇甲醚乙酸酯。該溶液可單獨過濾或者與約0.1-30wt％的至少一種前述蒽衍生物添加劑混合，完全溶解后過濾，涂覆在晶片上，并在約100-300℃烘硬約10-1000秒。然后，在其上施加光敏薄膜隨后進行常規(guī)超微圖案的制造力加工。
所用交聯(lián)劑是以聚合物的形式并設(shè)計成使交聯(lián)效率最大化。而且，通過改變主聚合物的比例來自由控制有機抗反射涂層的K值是可以做到的。因而，不可能控制K值這一現(xiàn)有技術(shù)問題已經(jīng)被克服。
此外，抗反射涂料樹脂包括各自帶有高吸收性發(fā)色團的兩種單體，從而使得由其制得的聚合物在248nm波長處顯示出高吸收性。因為帶有發(fā)色團的這兩種單體之一是弱堿性的，所以防止完成涂覆后由不平衡的酸度導(dǎo)致的刻痕是可以做到的。而且，抗反射涂料樹脂在所有烴類溶劑中溶解良好，然而卻不溶于烘硬步驟期間的任一種溶劑，并且在圖案的制造加工中不會產(chǎn)生刻痕和沉渣。特別地，因為抗反射涂料樹脂由丙烯酸酯聚合物構(gòu)成，其蝕刻速度要比光敏薄膜的蝕刻速度快，因而可以改進蝕刻選擇性。
以上以舉例的方式描述了本發(fā)明，所用術(shù)語的目的在于描述而非限定。應(yīng)當(dāng)理解，根據(jù)上述啟示可對本發(fā)明進行多種改進或變化。因此，應(yīng)當(dāng)理解為在所附的權(quán)利要求的范圍內(nèi)，可以以具體描述之外的方式實現(xiàn)本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種抗反射涂料組合物，包括式1的化合物和式2的化合物式1 其中，R，R′和R″分別獨立選自氫和甲基；Ra至Rd，和R1至R18各自獨立選自-H、-OH、-OCOCH3、-COOH、-CH2OH，或者具有1至5個碳原子的烷基和具有1至5個碳原子的烷氧烷基；m和n各自代表選自1、2、3、4和5的一個整數(shù)；x、y和z各自代表0.01-0.99的摩爾分?jǐn)?shù)；式2 其中，R19和R20各自為具有1-10個碳原子的烷基或具有1-10個碳原子的烷氧基；和R21為氫或甲基。
2.權(quán)利要求1的組合物，進一步包括一種蒽衍生物添加劑，其選自蒽、9-蒽甲醇、9-蒽腈、9-蒽羧酸、1，8-二羥基蒽酮、1，2，10-蒽三醇、蒽黃酸、9-蒽醛肟、9-蒽醛、2-氨基-7-甲基-5-氧代-5H-[1]苯并-吡喃[2，3-b]吡啶-3-腈、1-氨基蒽醌、蒽醌-2-羧酸、1，5-二羥基蒽醌、蒽酮、9-蒽基三氟-甲基酮、9-烷基蒽衍生物、9-羧基蒽衍生物、1-羧基蒽衍生物及其混合物。
3.一種由權(quán)利要求1的抗反射涂料組合物制備的半導(dǎo)體器件。
4.一種由權(quán)利要求2的抗反射涂料組合物制備的半導(dǎo)體器件。
全文摘要
下式1的有機抗反射聚合物、其制備方法、一種包括有機抗反射聚合物的抗反射涂料組合物和由其制得的抗反射涂層的制備方法。該包含聚合物的抗反射涂層消除了由晶片的下層光學(xué)性能和光刻膠的厚度變化所引起的駐波，防止了由于從下層衍射和反射的光引起的回射和CD變換。這些優(yōu)點使得能夠形成適用于64M、256M、1G、4G和16G DRAM半導(dǎo)體器件的穩(wěn)定的超微圖案，改進生產(chǎn)產(chǎn)率和控制K值。還可以防止由于完成涂覆后不平衡酸度而導(dǎo)致的刻痕。
文檔編號G03F7/004GK1982388SQ20061014355
公開日2007年6月20日 申請日期2001年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2000年6月30日
發(fā)明者洪圣恩, 鄭旼鎬, 鄭載昌, 李根守, 白基鎬 申請人:海力士半導(dǎo)體有限公司