專利名稱：利用單個旋轉部件的光學圖案發(fā)生器的制作方法
利用單個旋轉部件的光學圖案發(fā)生器相關申請
其他的實施例利用單個旋轉部件，其中入射光束來源于旋 轉部件之外，而且不是在該旋轉部件的旋轉面內(nèi)的方向上傳播。例如， 入射光束可以被引導到面向入射光束的圓盤上兩個光學表面。
兩個反射面2和3形成五面鏡幾何結構。在折疊光程的平 面內(nèi)一起旋轉的偶數(shù)反射面有這樣的性質(zhì)，角偏轉相對于反射面的旋 轉角是不變的。在這種情況下，有兩個反射面2和3，而圓盤9的旋 轉可以使棱鏡6， 7和它們的反射面2， 3在折疊光程的平面內(nèi)一起旋 轉。因此，當反射面2, 3旋轉通過入射光束1時，輸出光束角5不 發(fā)生變化。反射面2， 3相對于圓盤9的旋轉是自動補償?shù)摹４送猓?若反射面2， 3是平坦面，則它們相對于圓盤的擺動基本上也是空間 不變的。
在另一個方法中，旋轉方案可以使角偏轉排列這樣的序 列，最終傳送的光斑不是按順序產(chǎn)生的。換句話說，若圖案是光斑l， 2， 3， ...29的陣列，則扇區(qū)可以設計成產(chǎn)生不是按照從l至29順序 的光斑。在某些應用中，在短的時間周期內(nèi)產(chǎn)生相鄰的光斑可以造成 被輻照區(qū)之間的熱耦合，而這種情況對于正確治療是有害的。通過合 適地排列棱鏡，可以按照這樣的方式傳送光斑，它可以使時間上相繼的光斑在空間上是互相分隔開的，而仍然可以傳送全部的光斑圖案。
圖4是按照本發(fā)明另一個光學圖案發(fā)生器的視圖，其中入 射光束42的傳播方向在垂直于旋轉面的方向上有很大的分量。這種 圖案發(fā)生器也利用有旋轉軸41的單個旋轉部件40以產(chǎn)生所需的圖 案。在這個例子中，圓盤40支承旋轉通過入射光束的反射段43， 44。 該反射段有旋轉對稱的主光學表面，它們的光軸是與旋轉部件的旋轉 軸41重合。圖4畫出很大的主光學表面，這些光學表面有較小的反 射段43， 44，其中光束反射兩次和隨后從圖案發(fā)生器中射出。在圖4 中，旋轉部件包含圓盤40，每個扇區(qū)有一對相對著的反射面43， 44， 其中不同的扇區(qū)可以包含有不同曲率半徑的反射面，因此，每個扇區(qū) 的輸出光束被位移不同的角度，但仍然保持PSD條件。因為反射面 43， 44是旋轉對稱的，并圍繞它們的光學中心線旋轉，所以，與光束 相交的兩個反射面43, 44相對于旋轉是空間不變的。兩個反射段43， 44的半徑和它們的軸向間隔是這樣選取的，可以保持該系統(tǒng)的所有反 射段是近似無焦的，與此同時改變輸出光束的角度。0054圖5A表示與反射成像透鏡組組合的圖4所示光學圖案發(fā) 生器的側視圖。也可以利用折射和衍射成像透鏡組。輸入光束42是 從第一表面段43上反射，并隨后從第二表面段44A上反射。在這個 具體的實施例中，表面段43是與所有順序段有相同的表面，而第二 表面段的半徑與每個順序段的半徑不同，并表示成44A， 44B和44C。 利用順序段的不同第一表面半徑，這個實施例的變化也是可能的，且 這些段分別表示成43A， 43B和43C。旋轉部件中的角偏轉變化是由 于第一表面段43上不同的半徑造成的。0055在表面段43的所有順序光程保持相同的具體實施例中， 該表面段可以是非旋轉的。例如，它可以穩(wěn)定地固定到成像透鏡組45 ， 而不是固定到圓盤40。0056在圖5A中，成像透鏡組45形成三個光斑構成的圖像模式，這三個光斑是由圖像平面53上的三個順序扇區(qū)產(chǎn)生。在這個光學圖 案發(fā)生器中，無散光(即，清晰聚焦)的圖像是在與成像透鏡組45 的光軸傾斜的表面上。這個圖像表面傾斜是基于這樣的事實，僅僅一 個表面段對可以有兩個半徑，和造成輸出光束與輸入光束共線的間隔 距離，而且也沒有給光束增加的折射本領。其他的表面段對要求它們 的半徑和被選取的間隔距離可以實現(xiàn)所需的輸出光束角偏差。為了使 角偏差小于產(chǎn)生共線輸出光束的光程，第一反射面43C通常變得較平 坦或有增大的曲率半徑，而第二反射面44C變得較陡峭或有減小的曲 率半徑。這意味著兩個表面不再產(chǎn)生無焦對，而增加正的曲光本領到 輸出光束可以使它的焦點更接近成像透鏡組。當輸出光束角偏轉大于 共線的輸出光束時，則發(fā)生相反的情況，并增加負的曲光本領到輸出 光束，因此，它的焦點更遠離成像透鏡組。00571為了實現(xiàn)近似衍射受限的圖像光斑，有利的是利用這樣的 表面段，這些表面段是非球形旋轉面段，它們的光軸是與系統(tǒng)的旋轉 軸41重合。 一些應用可以有較大的圖像光斑，而在這些情況下，球 形旋轉面是可以接受的。00581在一些不要求高的光輸出效率的應用中，光束僅在每個扇 區(qū)的短部分旋轉范圍內(nèi)是照明的。表面段可以制成環(huán)形非球面，因此， 它可以抵消每個表面段對的折射本領。當表面段對旋轉通過入射光束 時，這可以造成圖像光斑的微小移動。移動的方向垂直光斑相對于系 統(tǒng)光軸位移的方向。垂直的圖像位移是表面復曲率(toric power)的 函數(shù)，因此，圖像中每個光斑在與位移距離垂直方向上的移動量是不 同的。若系統(tǒng)的占空比(即，輻射效率)是低的，則可以容忍這種條 件。[00591圖5B表示圖5的透視圖。有旋轉軸41的旋轉圓盤40支 承兩個表面段43和44，這兩個表面段是非球形旋轉面段，它們的共 同光軸是與旋轉軸41重合。當圓盤40旋轉時，不同對的旋轉面段(未 畫出)與入射光束相交，并在光束進入成像透鏡組45之前改變輸出 光束46的偏轉角。成像透鏡組45包括第一平面折疊反射鏡50，成像反射鏡51，該反射鏡最好是變形非球面，可以產(chǎn)生近似衍射受限的 圖案光斑，和第二平面折疊反射鏡52，該反射鏡引導圖像到空間中的 優(yōu)選位置，它是在有長的工作距離的某些應用中所要求的。[0060不要求近似衍射受限的圖案光斑的應用可以利用環(huán)形面 形狀的成像反射鏡51，因此，可以校正像散性，或者，若在某個應用 中可以接受非圓形的圖像光斑，則可以利用球面形狀的成像反射鏡 51。[0061圖5C是在一個實施例成像透鏡組中所用折疊型幾何結構 的這個實施例頂視圖。利用成像反射鏡51的離軸段或成像反射鏡51 的傾斜段，這種折疊型幾何結構可以避免光程的自遮擋。當成〗象反射 鏡51是球面形狀時，這種偏心的幾何結構可以引入像散。成像反射 鏡51制作成環(huán)形面或非球形環(huán)形面，可以在很大程度上校正這種像 散。成像反射鏡51制作成變形非球面，該變形非球面是由兩個在反 射面上正交取向的非球面構成，可以實現(xiàn)其他的圖像校正。0062圖6表示這個實施例的變型，其中反射面段43， 44是來 自環(huán)形面或變形非球面形狀的主面。這種變型可以提供不同光程的光 束角變化和完全校正的折射本領，因此，旋轉部件是無焦的，而圖像 表面與系統(tǒng)的光軸垂直。因為環(huán)形面或變形非球面段43， 44在旋轉 時改變它們的輪廓，就存在圖像光斑的很小正交位移，該正交位移也 取決于圖像表面上的光斑直線位移。在曝光周期和旋轉角是^f艮小的應 用中，這種變型配置是可接受的。0063圖7是利用衍射元件把入射光束偏轉成一 系列輸出光束的 另一個光學圖案發(fā)生器的視圖。在圖7中，輸入光束70入射到折疊 反射鏡71上，然后，該光束傳輸通過有一系列偏轉扇區(qū)的旋轉圃盤 72，每個偏轉扇區(qū)有位于圓盤周邊的衍射光學元件。圓盤72是圍繞 它的軸73旋轉。不同扇區(qū)產(chǎn)生的輸出光束74進入成像透鏡組75，該 透鏡裝置在圖像表面76上形成圖案。每個衍射光學元件有不同的空 間周期，因此，每個相繼的扇區(qū)使光束產(chǎn)生不同的角偏差，成像透鏡 組75把光束聚焦成沿焦線的不同光斑。[0064在一個優(yōu)選實施例中，衍射元件利用弧形而不是平行線的 衍射結構，且弧形槽有一個與旋轉軸73重合的軸。這種衍射結構不 是以單個角度偏轉透射的波前，而是使波前有小的角度變化，它造成 圖像光斑的微小模糊。通過成像透鏡組的設計，可以部分地校正這種 多余的圖像模糊，因此，圖像光斑接近衍射受限的質(zhì)量。當每個扇區(qū) 旋轉通過入射光束70時，弧形性質(zhì)產(chǎn)生空間不變性。這個實施例的 變型利用反射的衍射光學元件。[0065圖8是按照本發(fā)明的另一個光學圖案發(fā)生器的視圖。在這 個例子中，旋轉部件有旋轉軸83。在圖8中，輸入光束80首先傳輸 通過內(nèi)圓柱面81，隨后傳輸通過圓柱面82。這兩個圓柱面有共同的 旋轉軸83。圃柱面82被分割成扇區(qū)，每個扇區(qū)包含光學元件。在圖 8中，這些光學元件是有不同周期性的線性衍射光柵。在圖8中，光 柵的刻線是沿垂直于紙面的方向。每個衍射光柵表面偏轉輸出光束84 一個不同的角度，而成像透鏡組85在圖像表面86上形成光斑圖案。 當它們旋轉通過光束80時，利用扇區(qū)是空間不變的線性光柵裝置。[0066I在其他的實施例中，也可以利用折射或反射光學元件。例 如，反射面可以作用在圓柱面82上的輸入光束，或在圓柱面82上可 以利用折射棱鏡。此外，光學元件可以放置在圓柱面81和82上，例 如，用于形成類似于圖4所示的Z形折疊光程。[00671以上的例子是在一個入射光束和一個輸出光束的語境下 討論的。本發(fā)明不局限于這種情況。例如，參照

圖1A，多個光束可 以同時入射到所示的扇區(qū)上。這些光束可以重疊或可以不重疊。例如， 利用波長靈敏的裝置，可以在旋轉部件9的上游組合這些重疊光束， 然后，沿相同的光程一起傳播到旋轉部件9?；蛘?，光束可以到達扇 區(qū)內(nèi)的相同光斑，但是它們來自不同的角度。在圖l中，第二光源可 以略微高于紙面，但是以略微向下的角度傳播，因此，它可以入射到 與圖1A所示光束1相同位置的扇區(qū)上。0068或者，這些光束可以完全不重疊。在圖1A中，棱鏡可以 沿與紙面垂直的方向延伸，而單個光束可以被光束陣列代替，這些光束也是沿與紙面垂直的方向延伸。作為最后一個例子，多個扇區(qū)可以同時激活的。在圖1A中，光束l從左側發(fā)出，并大致以旋轉部件9 的7:30位置入射。第二個光束從右側發(fā)出，并以對稱的4:30位置入 射。此外，這兩個光束可以入射到其他的位置，雖然隨后的成像可能 變得更加復雜。[0069以上描述的光學圖案發(fā)生器可以用在許多不同的應用中。 在美國專利申請?zhí)?0/888,356,10/751,041和60/xxx(代理人案號9454 ) 中描述一些生物學應用的例子，它們的標題分別是"Method and Apparatus for Fractional Photo Therapy of Skin", "Multi-Spot Laser Surgical Apparatus and Method，，和"Optically畫Induced Treatment of Internal Tissue",全文合并在此供參考。[0070顯然，還有各種工業(yè)的應用。 一個例子是圖9A-9B所示。 在這個例子中，圖1所示的光學圖案發(fā)生器用于引導激光束91到工 件95上的各個光斑以形成焊接點。圖9A表示被光學圖案發(fā)生器92 中一個扇區(qū)偏轉的單個激光束91，并被透鏡93聚焦到工件95上。[0071圖9B表示一個透視圖。此外，兩個激光束91A-91B同時 用于產(chǎn)生兩個平行的焊接行97A-97B。圖9B還畫出所有扇區(qū)產(chǎn)生的 整個焊接圖案。對于每個激光束，圖9B所示的每個焦點光斑是由光 學圖案發(fā)生器92中不同扇區(qū)產(chǎn)生的。[0072圖9C表示圖9B所示焊接圖案中的一行焊接圖案97?？?共有15個焊點。數(shù)字指出產(chǎn)生焊接的順序。請注意，焊點不是按照 從左到右的順序產(chǎn)生的。相反，產(chǎn)生最左側的焊點1，然后產(chǎn)生最右 側的焊點2。選取剩余的焊點是在其長跨度的中點。例如，焊點3大 致是在焊點1與焊點2之間跨度的中點；焊點4是在焊點2與焊點4 之間跨度的中點(它是那時最長的跨度)；而焊點5大致是在焊點1 與焊點3之間跨度的中點，等等。[0073這種方法是有利的，因為初始的兩個焊點可以約束兩端的 部分，因此，它不需要夾鉗進行固定。此外，激光能量分布在整個工 件上，從而避免過大的熱量積累，若焊接是從左到右順序進行的，就可能出現(xiàn)熱量積累的情況。在長跨度的中點進行焊接還可以控制因局 部熱量積累而產(chǎn)生的微分熱膨脹效應。0074!由于焊接圖案的對稱形，從焊點9而不是從焊點1開始， 可以實現(xiàn)相同的效果。這可以減小焊接圖案開始之前的等待時間。若 準備焊接工件，但是激活扇區(qū)是焊點2的扇區(qū)，則該裝置僅需要等待 到焊點9的扇區(qū)，而不是等待整個圖案循環(huán)返回到焊點1的扇區(qū)。利 用本發(fā)明，可以產(chǎn)生每秒1-10,000個焊點的焊接速度，最好是每秒幾 百個或幾千個焊點的焊接速度。如圖9D所示，若在掃描儀輪中不要 求對稱性，則可以進一步優(yōu)化熱膨脹的控制。顯然，專業(yè)人員還知道 其他的安排。[0075圖10表示按照本發(fā)明的另一個光學圖案發(fā)生器。這個光 學圖案發(fā)生器利用有旋轉軸1001的單個旋轉部件1000以產(chǎn)生所需的 圖案。在這個例子中，每段是由單個旋轉部件1000支承的一對反射 面1003和1004構成。單個旋轉部件1000的三個不同旋轉角在圖1 中是重疊的，它說明單個旋轉部件旋轉時，入射光束1002的偏轉是 由這對反射面1003和1004產(chǎn)生的。這種旋轉產(chǎn)生反射面1003和1004 的三個分開位置，它們分別是1003A， 1003B和1003C;以及1004A， 1004B和1004C。當旋轉部件1000旋轉時，可以保持入射光束的偏轉 角(由于它們是從偶數(shù)面上反射的)。[0076雖然詳細的描述包含許多具體的細節(jié)，這些細節(jié)不應當解 釋成對本發(fā)明范圍的限制，而僅僅說明本發(fā)明的不同例子和特征，應 當理解，本發(fā)明的范圍包含以上沒有詳細討論的其他實施例。例如， 光束的入射角可以是平行或垂直于旋轉部件的旋轉面之外的其他角 度。此外，可以利用與具體應用有關的不同波長。 一般地說，術語"光 束"是指這樣的電磁輻射，至少其功率的一半是在200 nm至12000 nm 的波長范圍內(nèi)。顯而易見，在不偏離所附權利要求書限定的本發(fā)明精 神和范圍的條件下，專業(yè)人員可以對本發(fā)明方法和設備的安排，運行 和細節(jié)作各種其他的改動，改變和變化。
權利要求
1.一種用于產(chǎn)生圖形圖案的光學圖案發(fā)生器，該光學圖案發(fā)生器包括有旋轉面和旋轉軸的可旋轉部件，可旋轉部件包含圍繞旋轉軸排列成圖案的多個偏轉扇區(qū)，其中該圖案基本上是在旋轉面上，且當扇區(qū)旋轉通過入射光束時，每個扇區(qū)偏轉入射光束一個基本恒定的角偏轉。
2. 按照權利要求1的光學圖案發(fā)生器，其中 偏轉扇區(qū)大致排列成以旋轉軸為中心的一個圓；偏轉扇區(qū)相對于可旋轉部件的旋轉基本上是自動補償?shù)?，而相?于可旋轉部件的擺動基本上是空間不變的；和 角偏轉主要是在旋轉面上。
3. 按照權利要求l的光學圖案發(fā)生器，其中 多個偏轉扇區(qū)大致排列成以旋轉軸為中心的一個圓；和 對于大多數(shù)的扇區(qū)，每個扇區(qū)包含一對相對著的反射面，其表面法線在旋轉面上有很大的分量。
4. 按照權利要求3的光學圖案發(fā)生器，其中可旋轉部件包括大 致圍繞該圓排列的多個離散結構，每個離散結構至少有兩個反射面， 其中相鄰結構的反射面形成該扇區(qū)的相對著的反射面。
5. 按照權利要求4的光學圖案發(fā)生器，其中離散結構是棱鏡。
6. 按照權利要求4的光學圖案發(fā)生器，其中離散結構是棱鏡， 而大致每隔一個棱鏡是這樣對準的，使該棱鏡頂角的二等分直線也穿 過旋轉軸。
7. 按照權利要求4的光學圖案發(fā)生器，其中離散結構有相同的 形狀，但是它們相對于圓形排列有不同的傾斜角，以產(chǎn)生扇區(qū)的不同 偏轉角。
8. 按照權利要求4的光學圖案發(fā)生器，其中扇區(qū)使角偏轉是在 標稱幅度以上與標稱幅度以下之間交變。
9. 按照權利要求3的光學圖案發(fā)生器，其中相對著的反射面形成五面鏡幾何結構。
10. 按照權利要求3的光學圖案發(fā)生器，其中對于大多數(shù)的扇 區(qū)，入射光束是從該扇區(qū)中的偶數(shù)反射面上反射的。
11. 按照權利要求3的光學圖案發(fā)生器，其中可旋轉部件包含 奇數(shù)扇區(qū)。
12. 按照權利要求3的光學圖案發(fā)生器，其中至少一些扇區(qū)的 反射面引入的角偏轉有垂直于旋轉面的分量。
13. 按照權利要求12的光學圖案發(fā)生器，其中當扇區(qū)旋轉通 過入射光束時，角偏轉的法線分量是在兩個幅度之間交變。
14. 按照權利要求l的光學圖案發(fā)生器，其中 偏轉扇區(qū)大致排列成以旋轉軸為中心的 一個圓；扇區(qū)相對于可旋轉部件的擺動基本上是自動補償?shù)?，而相對于?旋轉部件的旋轉基本上是空間不變的；和角偏轉主要不是在旋轉面上。
15. 按照權利要求l的光學圖案發(fā)生器，其中 偏轉扇區(qū)大致排列成以旋轉軸為中心的一個圓；和對于大多數(shù)的扇區(qū)，每個扇區(qū)包含一對相對著的反射面，其表面 法線在垂直于旋轉面的方向上有很大的分量。
16. 按照權利要求15的光學圖案發(fā)生器，其中每個相對著的 反射面是旋轉面，其光軸與旋轉軸大致重合。
17. 按照權利要求16的光學圖案發(fā)生器，其中不同扇區(qū)的相 對著的反射面有不同的半徑或不同的間隔，且至少一個扇區(qū)沒有角度 偏轉入射光束。
18. 按照權利要求16的光學圖案發(fā)生器，其中至少一些反射 面是非球面。
19. 按照權利要求15的光學圖案發(fā)生器，其中至少一些扇區(qū) 的反射面引入這樣的角偏轉，其分量不是在包含入射光束和旋轉部件 旋轉軸的平面內(nèi)。
20. 按照權利要求1的光學圖案發(fā)生器，還包含第一非旋轉反射面；其中偏轉扇區(qū)大致排列成以旋轉軸為中心的一個圓；和 對于大多數(shù)的扇區(qū)，每個扇區(qū)包含第二反射面，其表面法線在旋轉面上沒有很大的分量，第一反射面和第二反射面形成一對用于偏轉入射光束的相對著的反射面。
21. 按照權利要求20的光學圖案發(fā)生器，其中每個相對著的 反射面是旋轉面，其光軸與旋轉軸重合。
22. 按照權利要求1的光學圖案發(fā)生器，還包括 成像元件，被定位用于接收被偏轉的光束并把不同的角偏轉變換成靶面上的不同光束位置，因此，由于可旋轉部件的旋轉， 一個或多 個圖形運動經(jīng)過該靶面。
23. 按照權利要求l的光學圖案發(fā)生器，還包括 成像透鏡組，被定位用于接收被偏轉的光束并把不同的角偏轉變換成圖形圖案內(nèi)的不同圖像位置。
24. 按照權利要求23的光學圖案發(fā)生器，其中成像透鏡組包 括由單塊光學材料制成立體的反射折射單片組件。
25. 按照權利要求24的光學圖案發(fā)生器，其中立體的反射折 射單片組件包括輸入窗口，反射的光程折疊面，彎曲的反射面和輸 出窗口面，它們是按照沿光程的順序。
26. 按照權利要求25的光學圖案發(fā)生器，其中反射的光程折 疊面和輸出窗口面是相同的物理面。
27. 按照權利要求1的光學圖案發(fā)生器，還包括 至少兩個同時入射光束。
28. 按照權利要求27的光學圖案發(fā)生器，其中對于大多數(shù)的 扇區(qū)，在可旋轉部件每次旋轉時，至少兩個光束入射到扇區(qū)上。
29. 按照權利要求28的光學圖案發(fā)生器，其中對于大多數(shù)的 扇區(qū)，在可旋轉部件旋轉時，至少兩個光束以同一個角度同時入射到 扇區(qū)上。
30. 按照權利要求28的光學圖案發(fā)生器，其中對于大多數(shù)的扇區(qū)，在可旋轉部件旋轉時，第一光束以第一角度入射到扇區(qū)上，在 可旋轉部件旋轉時，第二光束以第二角度入射到扇區(qū)上，以及在可旋 轉部件旋轉時，這兩個光束在任何角度下不是同時入射到扇區(qū)上。
31. 按照權利要求l的光學圖案發(fā)生器，其中圖形圖案是基本 穩(wěn)定的光斑陣列。
32. 按照權利要求31的光學圖案發(fā)生器，其中光斑的運動可 以補償工件的運動。
33. 按照權利要求1的光學圖案發(fā)生器，其中光束參數(shù)的選取 適合于焊接材料。
34. 按照權利要求1的光學圖案發(fā)生器，其中光束參數(shù)的選取 適合于切割材料。
35. 按照權利要求1的光學圖案發(fā)生器，其中光束參數(shù)的選取 適合于燒蝕材料。
36. 按照權利要求1的光學圖案發(fā)生器，其中光束參數(shù)的選取 適合于燒灼材料。
37. 按照權利要求1的光學圖案發(fā)生器，其中光束參數(shù)的選取 適合于治療人的組織。
38. 按照權利要求1的光學圖案發(fā)生器，其中光束參數(shù)的選取 適合于治療人的皮膚。
39. —種用于產(chǎn)生圖形圖案的光學圖案發(fā)生器，該光學圖案發(fā) 生器包括有旋轉面和旋轉軸的可旋轉部件，可旋轉部件包含圍繞旋 轉軸，列并基本在旋轉面內(nèi)的多個衍射偏轉扇區(qū)，其中當衍射扇區(qū)旋 轉通ii入射光束時，每個衍射扇區(qū)偏轉入射光束一個基本恒定的角偏 轉。
40. 按照權利要求39的光學圖案發(fā)生器，其中 衍射偏轉扇區(qū)大致排列成以旋轉軸為中心的一個圓； 入射光束沿這樣一個方向傳播，該光束在與旋轉面垂直的方向上有很大的分量；和對于大多數(shù)的扇區(qū)，每個扇區(qū)包含基本平坦的衍射光學元件。
41. 按照權利要求39的光學圖案發(fā)生器，還包括 成像元件，被定位用于接收被偏轉的光束，并把不同的角偏轉變換成靶面上的不同光束位置，使由于可旋轉部件的旋轉， 一個或多個 圖形運動經(jīng)過該靶面。
42. 按照權利要求39的光學圖案發(fā)生器，其中衍射光學元件 有不同的空間周期，并且是光軸基本上與可旋轉部件的旋轉軸重合的 弧形。
43. —種用于產(chǎn)生圖形圖案的光學圖案發(fā)生器，該光學圖案 發(fā)生器包括有旋轉軸的可旋轉空心柱形部件，該柱形部件包含圍繞 柱形部件排列的多個偏轉扇區(qū)，其中當扇區(qū)旋轉通過入射光束時，每 個扇區(qū)偏轉入射光束一個基本恒定的角偏轉。
44. 按照權利要求43的光學圖案發(fā)生器，其中入射光束從柱 形部件的內(nèi)部發(fā)出。
45. 按照權利要求43的光學圖案發(fā)生器，其中入射光束從柱 形部件的外部發(fā)出。
46. 按照權利要求43的光學圖案發(fā)生器，其中大多數(shù)扇區(qū)包 含矛汴射光學元件，并且至少兩個扇區(qū)的衍射光學元件具有不同的空間 周期。
47. 按照權利要求43的光學圖案發(fā)生器，其中大多數(shù)扇區(qū)包 含棱鏡，并且至少兩個扇區(qū)的棱鏡具有不同的頂角。
48. —種用于產(chǎn)生圖形圖案的光學圖案發(fā)生器，該光學圖案 發(fā)生器包括有旋轉面和旋轉軸的可旋轉部件，可旋轉部件包含圍繞 旋轉軸排列成圖案的反射面對，其中該圖案基本上是在旋轉面上，且 當反射面旋轉通過入射光束時，每對反射面偏轉入射光束一個基本恒 定的角偏轉。
全文摘要
一種光學圖案發(fā)生器利用單個旋轉部件(圖1A，9)。該旋轉部件包含多個偏轉扇區(qū)(8A，8B，8C，等等)。每個扇區(qū)偏轉入射光束一個基本恒定的角偏轉量，雖然這個偏轉角量可以隨不同的扇區(qū)而變化。該旋轉部件可以與成像透鏡組組合(圖2A，19)可以產(chǎn)生，例如，沿直線軌跡位移的像點，光斑，線段。
文檔編號G02B26/08GK101218530SQ200680011652
公開日2008年7月9日 申請日期2006年2月9日 優(yōu)先權日2005年2月14日
發(fā)明者喬治·弗朗吉尼亞斯, 巴里·G.·布魯姆, 里昂納德·C.·德本迪克蒂斯 申請人:雷利恩特技術公司