專利名稱：驅(qū)動器和二維掃描儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明所述設(shè)備涉及驅(qū)動器和二維掃描儀，更為特別的是涉及由在磁體和線圈之間作用的電磁力操作的驅(qū)動器，和二維掃描儀。
背景技術(shù)：
驅(qū)動器和二維掃描儀是用于掃描和顯示如條型碼之類的一維光信號，或如移動的可視圖像之類的二維光信號的顯示裝置。驅(qū)動器和二維掃描儀已經(jīng)以各種方式使用，如用于讀取裝置，該讀取裝置讀取設(shè)置在一直線上的一維光信號，或者設(shè)置在一平面上的二維光信號，以提供二進制數(shù)據(jù)。在這方面，驅(qū)動器和掃描儀用于各種裝置，如定向保護器(beamprotector)、便攜投影儀、光纖陀螺儀、圖像識別器和其他顯示裝置。
二維裝置，例如驅(qū)動器和二維掃描儀可以包括用于反射光的反射鏡部分，該反射鏡部分設(shè)置在水平和垂直方向上，并掃描光信號，從而在特定平面上的幀單元(frame unit)中產(chǎn)生可視圖像。當(dāng)反射鏡部分以水平頻率和垂直頻率回轉(zhuǎn)，并在水平和垂直方向上掃描光信號時，每單位時間都掃多個單位幀(例如，通過在反射鏡部分的垂直方向上回轉(zhuǎn)一個周期實現(xiàn)單位幀)，從而可以實現(xiàn)具有高分辨率的移動圖像(例如，通過對應(yīng)于反射鏡部分的水平和垂直頻率回轉(zhuǎn)實現(xiàn)該移動圖像)。
在美國專利No.5912608中公開了附圖1中所示的掃描儀。參照附圖1，掃描儀本體10在磁體4和5的對角方向上設(shè)置在一對磁體4和5之間。該掃描儀本體10包括基板11；繞著連接到基板11上的第一扭桿13A回轉(zhuǎn)的外可移動板12A；繞著第二扭桿13B回轉(zhuǎn)的內(nèi)可移動板12B，該第二扭桿連接到外可移動板上并垂直于第一扭桿13A；設(shè)置在外可移動板12A上的外線圈15A；設(shè)置在內(nèi)可移動板12B上的內(nèi)線圈15B；設(shè)置在外線圈15A的兩端處的外線圈端子14A；設(shè)置在內(nèi)線圈15B的兩端處的內(nèi)線圈端子14B；和設(shè)置在內(nèi)可移動板12B上并反射光的反射鏡部分16。
然而，由于通過同時控制施加到內(nèi)線圈15B和外線圈15A上的功率，不獨立控制施加到內(nèi)線圈15B和外線圈15A中的任意一個上的功率，可能進行內(nèi)可移動板12B的一個軸控制(例如內(nèi)可移動板12B繞著平行于磁力的方向的回轉(zhuǎn)控制)，所以存在用于以期望頻率回轉(zhuǎn)內(nèi)可移動板12B的控制操作較復(fù)雜的問題。
兩軸控制期間的控制操作(內(nèi)可移動板12B繞著平行于磁力方向和與之垂直方向的回轉(zhuǎn)控制)更加復(fù)雜。也就是，必須通過同時控制內(nèi)線圈15B和外線圈15A控制平行于磁力方向上瞬時力的總和，并且垂直于磁力方向上的瞬時力的總和必須獨立控制。
另外，掃描儀本體10的傾斜設(shè)置導(dǎo)致尺寸問題，并且彼此間隔開的磁體4和5與掃描儀本體10之間的距離增大，從而浪費瞬時力的分量。于是，輸入(分別施加到內(nèi)線圈15B和外線圈15A上的功率)相對輸出(內(nèi)可移動板12B的回轉(zhuǎn)角度)減小導(dǎo)致了效率降低。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的示例性實施例提供了一種驅(qū)動器，其中防止或減小了磁場的泄漏或擾動，并且有效地進行可移動板的回轉(zhuǎn)控制，從而使得芯片最小化，并提高了效率。
本發(fā)明的示例性實施例提供一種電磁驅(qū)動器，包括基板；與該基板聯(lián)接的可移動板；及一對磁體，它們在從其中一個磁體延伸到另一磁體的方向上產(chǎn)生磁力，該可移動板設(shè)置在這對磁體之間。該可移動板繞著與磁力方向平行的軸線回轉(zhuǎn)。設(shè)置連接基板和可移動板的支承構(gòu)件。
該可移動板包括驅(qū)動線圈構(gòu)造，并且該驅(qū)動線圈構(gòu)造關(guān)于可移動板的中心點對稱。輔助軸線在與磁力方向垂直的方向上延伸，并通過該可移動板的中心，并且驅(qū)動線圈具有設(shè)置在該輔助軸線的一側(cè)上的一部分和設(shè)置在該輔助軸線的相對側(cè)上的另一部分，從而驅(qū)動線圈關(guān)于該輔助軸線不對稱。該支承構(gòu)件可以在平行于磁力方向的方向上從可移動板延伸，并當(dāng)可移動板回轉(zhuǎn)時扭轉(zhuǎn)變形。
根據(jù)另一示例性實施例，電磁驅(qū)動器包括基板；可移動板；從該可移動板延伸到基板的支承構(gòu)件；及一對磁體，它們在從其中一個磁體到另一磁體延伸的方向上產(chǎn)生磁力，該可移動板設(shè)置在這對磁體之間。該可移動板可以包括驅(qū)動線圈構(gòu)造。第一軸線在與磁力方向垂直的方向上延伸，并通過可移動板的中央，并且第二軸線在與磁力方向平行的方向上延伸，從而驅(qū)動線圈具有設(shè)置在第一軸線的一側(cè)上的第一部分和設(shè)置在第一軸線的相對側(cè)上的第二部分，并且該第一部分和第二部分關(guān)于第一軸線不對稱。
該支承構(gòu)件可以包括分別從可移動板的相對側(cè)在與磁力方向垂直的方向上延伸的兩部分，從而當(dāng)可移動板回轉(zhuǎn)時，該支承構(gòu)件扭轉(zhuǎn)變形。
也考慮到，該驅(qū)動線圈具有驅(qū)動力(driving power)，并且該驅(qū)動力重疊地包括第一頻率和與可移動板的固有頻率一致的第二頻率，從而該可移動板以第一頻率繞著第一軸線回轉(zhuǎn)，并以第二頻率繞著第二軸線共振回轉(zhuǎn)。該驅(qū)動線圈構(gòu)造可以還包括以橢圓形式繞著第一和第二部分延伸的外線圈部分。該第一部分、第二部分和外部包括單個驅(qū)動線圈。另一方面，外線圈部分可以包括與第一部分和第二部分分離的驅(qū)動線圈。
另一示例性實施例提供一種電磁驅(qū)動器，包括基板；外可移動板；從外可移動板延伸到基板的第一組支承構(gòu)件；內(nèi)可移動板；和從內(nèi)可移動板延伸到外可移動板的第二組支承構(gòu)件。該內(nèi)可移動板包括內(nèi)驅(qū)動線圈構(gòu)造，并且外可移動板包括外驅(qū)動線圈構(gòu)造。第一軸線延伸穿過第一組支承構(gòu)件，并且第二軸線延伸穿過第二組支承構(gòu)件，從而該內(nèi)驅(qū)動線圈構(gòu)造具有設(shè)置在第一軸線的一側(cè)上的一部分，和設(shè)置在第一軸線的相對側(cè)上的另一部分，并且該內(nèi)驅(qū)動線圈構(gòu)造關(guān)于第一軸線不對稱。
一對磁體設(shè)置成在從其中一個磁體延伸到另一磁體的方向上產(chǎn)生磁力，并且內(nèi)可移動板和外可移動板設(shè)置在這對磁體之間。也考慮到，內(nèi)驅(qū)動線圈構(gòu)造和外驅(qū)動線圈構(gòu)造包括驅(qū)動力，該驅(qū)動力重疊地具有第一頻率和與該內(nèi)可移動板的固有頻率一致的第二頻率，從而內(nèi)可移動板和外可移動板以第一頻率繞著第一軸線回轉(zhuǎn)，并且內(nèi)可移動板以第二頻率繞著第二軸線共振回轉(zhuǎn)。外驅(qū)動線圈構(gòu)造以橢圓形式繞著內(nèi)驅(qū)動線圈構(gòu)造延伸。
根據(jù)另一示例性實施例，電磁驅(qū)動器包括基板；外可移動板；從該外可移動板延伸到基板的第一組支承構(gòu)件；內(nèi)可移動板；從內(nèi)可移動板延伸到外可移動板的第二組支承構(gòu)件；及設(shè)置在外可移動板上的第一驅(qū)動線圈構(gòu)造。第一軸線延伸穿過第一組支承構(gòu)件，并且第二軸線延伸穿過第二組支承構(gòu)件，從而外可移動板的第一驅(qū)動線圈構(gòu)造具有設(shè)置在第一軸線的一側(cè)上的一部分，和設(shè)置在第一軸線的相對側(cè)上的另一部分，并且第一驅(qū)動線圈構(gòu)造關(guān)于第一軸線不對稱。第一組支承構(gòu)件可以在與磁力方向垂直的方向上從外可移動板延伸，并且第二組支承構(gòu)件可以在與磁力方向平行的方向上從內(nèi)可移動板延伸。
還考慮到，第一驅(qū)動線圈構(gòu)造包括驅(qū)動力，該驅(qū)動力重疊地具有第一頻率和與外可移動板的固有頻率一致的第二頻率，從而外可移動板以第一頻率繞著第一軸線回轉(zhuǎn)，并以第二頻率繞著第二軸線共振回轉(zhuǎn)，并且外可移動板的共振移動傳遞給內(nèi)可移動板。還可以設(shè)置第二驅(qū)動線圈構(gòu)造，它以橢圓形式繞著第一驅(qū)動線圈構(gòu)造延伸。抑制振動板可以設(shè)置在外可移動板和內(nèi)可移動板之間，其中第一驅(qū)動線圈構(gòu)造包括具有重疊的第一頻率和第二頻率的驅(qū)動力，并且抑制振動板抑制第二頻率的回轉(zhuǎn)分量。
通過參照附圖詳細描述其示例性實施例，本發(fā)明的上述和其他方面將變得更加明確，其中附圖1是普通掃描儀的透視圖；附圖2A至2C說明了本發(fā)明的示例性實施例所述的二維掃描方法；附圖3是根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的磁場產(chǎn)生部分的平面圖；附圖4是根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的驅(qū)動器的主體部分的平面圖，該驅(qū)動器具有與第二軸線同軸定位的支承構(gòu)件；附圖5是根據(jù)本發(fā)明另一示例性實施例的驅(qū)動器的主體部分的平面圖，該驅(qū)動器具有與第一軸線同軸定位的支承構(gòu)件；附圖6是具有第二驅(qū)動線圈部分的示例性實施例的驅(qū)動器的主體部分的平面圖；附圖7是示例性實施例的驅(qū)動器的主體部分的平面圖，其中第一驅(qū)動線圈部分和第二驅(qū)動線圈部分包括具有不同導(dǎo)線束的線圈；附圖8是根據(jù)本發(fā)明另一示例性實施例的驅(qū)動器的主體部分的平面圖；附圖9是根據(jù)本發(fā)明另一示例性實施例的二維掃描儀的主體部分的平面圖；附圖10是根據(jù)本發(fā)明另一示例性實施例的具有抑制振動板的二維掃描儀的主體部分的平面圖；及附圖11是說明對應(yīng)于示例性實施例的掃描儀的透視圖。
具體實施例方式
現(xiàn)在將參照附圖更加完整地描述本發(fā)明，其中示出了本發(fā)明的示例性實施例。
附圖2A至2C說明了本發(fā)明的示例性實施例所述的二維掃描方法。在附圖2A中，垂直軸表示水平掃描角度，并且水平軸表示時間。參照將在后面描述的附圖4，反射鏡部分320設(shè)置在可移動板300的中央部分上，并反射光信號。此處，水平掃描角度是可移動板(參見附圖4的300)繞著第二軸線的回轉(zhuǎn)角度。施加水平頻率，該水平頻率是可移動板300繞著第二軸線的轉(zhuǎn)動頻率，并高于垂直頻率。例如，該可移動板300在向前方向和相反方向上以25kHz的水平頻率在-15°～15°的水平掃描角度范圍中周期回轉(zhuǎn)。
在附圖2B中，垂直軸表示垂直掃描角度，并且水平軸表示時間。此處，垂直掃描角度是可移動板300繞著第一軸線的回轉(zhuǎn)角度。施加垂直頻率，該垂直頻率是可移動板300繞著第一軸線的回轉(zhuǎn)頻率，并且低于水平頻率。例如，該可移動板300在向前方向和相反方向上以60Hz的垂直頻率在0°～7°的垂直掃描角度范圍中周期回轉(zhuǎn)。
在附圖2C中，垂直軸表示可移動板300的垂直掃描角度，并且水平軸表示可移動板300的水平掃描角度。當(dāng)可移動板同時回轉(zhuǎn)水平掃描角度和垂直掃描角度時，一個幀中的可視圖像形成?？赡軇h除了幀的邊緣，從而只將有效幀區(qū)域用作顯示區(qū)域，該邊緣中存在掃描線的扭曲。當(dāng)水平頻率為25kHz，并且垂直頻率為60Hz時，一個有效幀包括大約400或25000/60根掃描線，該掃描線每秒鐘顯示60次，從而提供具有高分辨率的可視圖像。此處，為了便于解釋，水平掃描角度、垂直掃描角度、水平頻率和垂直頻率的詳細數(shù)值(size)都是示例性的，并不限制本發(fā)明的示例性實施例。
附圖3是根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的磁場產(chǎn)生部分200。參照附圖3，該磁場產(chǎn)生部分200包括一對磁體210a和210b。該磁場產(chǎn)生部分200還包括磁軛220。下文中，第一軸線指的是垂直于磁力線的方向，它與x軸方向重合，并且以直角與第一軸交叉的第二軸線指的是平行于磁力線的方向，它與y軸方向重合。
該磁場產(chǎn)生部分200在沿著第一軸線的位置處具有最小的磁力，同時也在平行于第二軸線的方向上產(chǎn)生磁力。磁軛220防止磁力泄漏，并感應(yīng)y軸方向上的磁力。磁力的尺寸沿著第一軸線在第一軸線和第二軸線的交叉點處具有最小值Bmin，沿著第二軸線在朝向磁體210a和210b的方向上增大，并在磁體210a和210b的表面上具有最大值Bmax。
附圖4是根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的驅(qū)動器的主體部分的平面圖，該驅(qū)動器具有與第二軸線同軸定位的支承構(gòu)件152。在附圖4中還示出了基板100、可移動板300、磁體210a和210b，以及驅(qū)動線圈部分400。下文中，為了便于解釋，省略了設(shè)置在磁體210a和210b周圍的磁軛(附圖3中的220)。基板100固定在驅(qū)動器主體(未示出)上。端子部分110設(shè)置在基板100上，驅(qū)動線圈部分400的末端連接到該端子部分上，并且驅(qū)動信號通過該端子部分輸入和輸出。一對磁體210a和210b設(shè)置在可移動板300周圍，從而磁場產(chǎn)生部分(附圖3中的200)和平行于第二軸方向上的磁力作用在可移動板300上。磁力的大小在第一軸線和第二軸線的交叉點80處具有最小值，并在磁體210a和210b的表面上具有最大值。
可移動板300可以繞著第一軸線和第二軸線中的至少一個回轉(zhuǎn)。在附圖4的可移動板300的情況下，該可移動板300繞著第二軸線回轉(zhuǎn)，從而可移動板300可以是一維驅(qū)動器。盡管關(guān)于附圖4討論了一維實施例，但并不局限于此，并可以實現(xiàn)為在下面詳細討論的二維構(gòu)造。如果可移動板300同時繞著第一軸線和第二軸線回轉(zhuǎn)，則可移動板300是二維驅(qū)動器。支承構(gòu)件152與第二軸線同軸設(shè)置，并且是可移動板300的回轉(zhuǎn)軸。支承構(gòu)件152根據(jù)可移動板300的回轉(zhuǎn)方向扭轉(zhuǎn)變形，并可以用具有彈性的材料制成。
驅(qū)動線圈部分400包括同軸部分420、間隔部分410和連接部分430。驅(qū)動線圈部分400設(shè)置在可移動板300上，從而具有相對于第一軸線和第二軸線的交叉點80的點對稱或原點對稱形狀?？梢苿影?00的驅(qū)動力施加到驅(qū)動線圈部分400上。同軸部分420與第一軸線同軸地設(shè)置，并且間隔部分410與同軸部分420沿著第二軸線的方向間隔預(yù)定尺寸。該同軸部分420和間隔部分410可以具有線性形狀，其中同軸部分420和間隔部分410彼此間隔開，以彼此平行。連接部分430將同軸部分420和間隔部分410連接。該連接部分430可以具有彎曲形狀并將同軸部分420和間隔部分410連接，并且尤其是，該連接部分430可以具有帶有預(yù)定曲率的圓弧形狀。
間隔部分410可以平行于第一軸線從一位置處延伸，間隔部分410在該位置處在第二軸線的方向上與第一軸線和第二軸線的交叉點80間隔開，并且從間隔部分410的末端開始，連接部分430可以以圓弧形狀延伸，直到到達第一軸線為止。同軸部分420可以具有和間隔部分410相同的長度，并朝第一軸線和第二軸線的交叉點80延伸，同時從連接部分430的末端開始。于是，驅(qū)動線圈部分400可以包括多個間隔部分410、多個連接部分430和多個同軸部分420，它們彼此連接，從而驅(qū)動線圈部分400設(shè)置成閉合彎曲形狀，形成關(guān)于第一軸線和第二軸線的交叉點80點對稱。
可移動板300繞著平行于磁力方向的第二軸線回轉(zhuǎn)。也就是，如果磁力的方向和電流的方向(如附圖4中所示，順時針)如附圖4中所示，則在分別定位在第一象限I和第二象限II上的間隔部分410和連接部分430中產(chǎn)生正z軸方向上的電磁力431，并且也在與負x軸同軸定位的同軸部分420中產(chǎn)生正z軸方向上的電磁力。在定位在第三象限III和第四象限IV上的間隔部分410和連接部分430中產(chǎn)生負z軸方向上的電磁力421，并且在與正x軸同軸定位的同軸部分420中也產(chǎn)生負z軸方向上的電磁力421。
現(xiàn)在將參照定位在第一象限I和第四象限IV上的間隔部分410、同軸部分420和連接部分430描述繞著第二軸線的瞬時力(moment force)Ty。因沿著第二軸線的磁力大小梯度(size gradient)和驅(qū)動線圈部分400的設(shè)置形狀而產(chǎn)生的轉(zhuǎn)矩使得可移動板300繞著第二軸線回轉(zhuǎn)。
也就是，由于磁力的大小在同軸部分420的位置處最小，同軸部分420中產(chǎn)生的電磁力小于在間隔部分410中產(chǎn)生的電磁力。由于施加到定位在第一象限I上的連接部分430上的磁力的大小輪廓基本與第四象限IV上的相等，所以定位在第一象限I上的連接部分430中產(chǎn)生的電磁力基本與第四象限IV上的相等。然而，定位在第一象限I上的連接部分430比定位在第四象限IV上的連接部分430離第二軸線更遠。于是，第一象限I和第四象限IV中產(chǎn)生的磁力的轉(zhuǎn)矩總和作用在正z軸方向上，并且第二象限和第三象限中產(chǎn)生的電磁力的轉(zhuǎn)矩總和作用在負z軸方向上，可移動板300繞著第二軸線從右到左回轉(zhuǎn)。
如果驅(qū)動線圈部分400的形狀如附圖4中所示，則繞著第二軸線的瞬時力Ty的大小根據(jù)磁力的大小梯度(size gradient)改變。
附圖5是根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的驅(qū)動器的主體部分的平面圖，該驅(qū)動器具有與第一軸同軸定位的支承構(gòu)件151。在附圖4中使用的相同附圖標(biāo)記表示附圖5中的相同元件。當(dāng)繞著第一軸線回轉(zhuǎn)時，附圖5的可移動板300是一維驅(qū)動器。另外，當(dāng)同時繞著第一軸線和第二軸線回轉(zhuǎn)時，附圖5的可移動板300是二維驅(qū)動器。附圖5的支承構(gòu)件151支承第一軸線，并與第一軸線同軸設(shè)置，以將基板100和可移動板300彈性連接。支承構(gòu)件151作為可移動板300的回轉(zhuǎn)軸。當(dāng)可移動板300繞著第二軸線回轉(zhuǎn)時，第一軸線支承構(gòu)件151彎曲變形，并且當(dāng)可移動板300繞著第一軸線回轉(zhuǎn)時，扭曲變形。
在同軸部分420中產(chǎn)生的電磁力不影響繞著第一軸線的瞬時力Tx。由于根據(jù)Fleming的左手定律，間隔部分410和連接部分430中產(chǎn)生的電磁力關(guān)于第一軸線對稱，所以自然地產(chǎn)生繞著第一軸線的瞬時力Tx。
可移動板300可以通過共振繞著第一軸線和第二軸線中的一個回轉(zhuǎn)，從而以不同頻率繞著第一軸線和第二軸線回轉(zhuǎn)。用于回轉(zhuǎn)可移動板300的驅(qū)動力施加到驅(qū)動線圈部分400上。驅(qū)動力重疊地具有第一頻率，并且第二頻率(該第二頻率相對于可移動板300的第二軸線回轉(zhuǎn)與固有頻率重合)施加到驅(qū)動線圈部分400上，從而可移動板300以第一頻率繞著第一軸線回轉(zhuǎn)，并通過共振以第二頻率繞著第二軸線回轉(zhuǎn)。
如果具有單一頻率的驅(qū)動力輸入到由線圈401以相同導(dǎo)線束形成的驅(qū)動線圈部分400上，則可移動板300以相同頻率繞著第一軸線和第二軸線回轉(zhuǎn)。如果重疊地具有兩個或多個頻率的驅(qū)動力輸入到驅(qū)動線圈部分400上，則可移動板300可以以不同頻率繞著第一軸線和第二軸線回轉(zhuǎn)。例如，當(dāng)?shù)谝活l率和第二頻率在驅(qū)動力中重疊，并且相對于繞著可移動板300的第二軸線回轉(zhuǎn)的固有頻率與第二頻率一致時，可移動板300以第一頻率繞著第一軸線回轉(zhuǎn)，并通過共振以第二頻率繞著第二軸線回轉(zhuǎn)。由于驅(qū)動力的頻率重疊，所以存在第二頻率繞著第一軸線的回轉(zhuǎn)分量，但是作為較高頻率的第二頻率的回轉(zhuǎn)分量可以作為相對于第一頻率的噪音忽略。第一頻率繞著第二軸線的回轉(zhuǎn)分量存在，但是由于繞著第二軸線的共振，第一頻率的振幅(稱為在向前方向和相反方向上的回轉(zhuǎn)角)小于第二頻率的振幅，從而可以忽略。
當(dāng)驅(qū)動線圈部分400由具有兩根導(dǎo)線束的線圈401形成時，盡管不局限于此，但是可能具有一實施例，其中具有第一頻率的驅(qū)動力輸入到一個驅(qū)動線圈部分中，具有第二頻率的驅(qū)動力輸入到另一線圈部分中。即使在此情況下，如上所述，可移動板300繞著第一軸線和第二軸線的移動也可以是相同的。
附圖6是類似于附圖5的示例性實施例的示例性驅(qū)動器的主體部分的平面圖，同時還具有第二驅(qū)動線圈部分500。與附圖5中相同的附圖標(biāo)記表示附圖6中相同的元件，于是將省略構(gòu)造和操作的重復(fù)描述。附圖6的驅(qū)動器還包括第二驅(qū)動線圈部分500。該第二驅(qū)動線圈500設(shè)置在第一驅(qū)動線圈部分400’周圍，也就是環(huán)繞第一軸線和第二軸線的交叉點80設(shè)置成橢圓形。如果順時針電流施加到第二驅(qū)動線圈部分500上，則基于第一軸線的一側(cè)的電磁力作用在正z軸方向上，并且基于第一軸線的另一側(cè)的電磁力作用在負z軸方向上，并與所述一側(cè)的電磁力形成x軸對稱，并且該可移動板300從向上到向下方向繞著第一軸線回轉(zhuǎn)。
如果第一驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈部分500用具有相同導(dǎo)線束的線圈401制成，則第一驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈部分500的末端連接到相同的端子部分110上。另外，重疊具有第一頻率和第二頻率(該第二頻率關(guān)于可移動板300的第二軸回轉(zhuǎn)與固有頻率一致)的驅(qū)動力施加到第一驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈500上，從而該可移動板300以第一頻率繞著第一軸線回轉(zhuǎn)，并通過共振以第二頻率繞著第二軸線回轉(zhuǎn)。由于第一驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈部分500產(chǎn)生繞著第一軸線的瞬時力Tx，所以第二驅(qū)動線圈部分500增大第一軸線瞬時力Tx。繞著第二軸線的瞬時力Ty只由第一驅(qū)動線圈部分400’產(chǎn)生。
附圖7是附圖6的驅(qū)動器的主體部分的平面圖，其中驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈部分500用具有不同導(dǎo)線束的線圈401和402制成。與附圖6相同的附圖標(biāo)記表示附圖7中的相同元件，于是將省略構(gòu)造和操作的重復(fù)描述。第一驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈部分500可以用由不同導(dǎo)線束形成的線圈401和402制成，從而具有不同頻率的驅(qū)動力可以獨立地施加到第一驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈500上。
分別地，具有第一頻率的驅(qū)動力施加到第二驅(qū)動線圈部分500上，而具有第二頻率(關(guān)于可移動板300的第二軸線回轉(zhuǎn)與固有頻率一致)的驅(qū)動力施加到第一驅(qū)動線圈部分400’上，從而可移動板300以第一頻率繞著第一軸線回轉(zhuǎn)，并通過共振以第二頻率繞著第二軸線回轉(zhuǎn)。
在基板100上，可以設(shè)置端子部分110，第一驅(qū)動線圈部分400’的兩端連接到該端子部分上，并且可以設(shè)置第二端子部分120，第二驅(qū)動線圈部分500的兩端連接到該第二端子部分上。
附圖8是根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的驅(qū)動器的主體部分的平面圖，該驅(qū)動器具有第二可移動板600。與附圖7相同的附圖標(biāo)記表示附圖8中相同的元件，于是將省略構(gòu)造和操作的重復(fù)描述。附圖8的驅(qū)動器包括基板100、一對磁體210a和210b、第二可移動板600、第一可移動板300’、第一驅(qū)動線圈部分400’、第二驅(qū)動線圈部分500和第一軸線支承構(gòu)件151。該第二可移動板600繞著第一軸線支承構(gòu)件151回轉(zhuǎn)。該第一軸線支承構(gòu)件151將基板100和第二可移動板600彈性連接，并起到第二可移動板600的回轉(zhuǎn)軸的作用。該第一可移動板300’定位在第二可移動板600內(nèi)側(cè)，并繞著第二軸線支承構(gòu)件152回轉(zhuǎn)。該第二軸線支承構(gòu)件152將第二可移動板600和第一可移動板300’彈性連接，并起到第一可移動板300’的回轉(zhuǎn)軸的作用。該第一軸線支承構(gòu)件151和第二軸線支承構(gòu)件152可以根據(jù)第二可移動板600和第一可移動板300’的回轉(zhuǎn)方向獨立地扭曲變形。也就是，當(dāng)?shù)诙梢苿影?00和第一可移動板300’繞著第一軸線回轉(zhuǎn)時，第一軸線支承構(gòu)件151可以彎曲變形，并且第一軸線支承構(gòu)件151可以抑制第二可移動板600的第二軸線回轉(zhuǎn)，并且當(dāng)?shù)谝豢梢苿影?00’繞著第二軸線回轉(zhuǎn)時，第二軸線支承構(gòu)件152可以扭曲變形。
第一驅(qū)動線圈部分400’設(shè)置在第一可移動板300’上，并包括同軸部分420、間隔部分410和連接部分430。該第二驅(qū)動線圈部分500設(shè)置在第二可移動板600上，也就是它圍繞第一軸和第二軸的交叉點80設(shè)置成橢圓形。
因沿著第二軸的磁力的大小梯度和第一驅(qū)動線圈部分300’的設(shè)置形狀而產(chǎn)生的轉(zhuǎn)矩使得第一可移動板300’在第二軸線上回轉(zhuǎn)。在第一驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈部分500中產(chǎn)生的電磁力使得第二可移動板600和第一可移動板300’繞著第一軸線回轉(zhuǎn)。
第一驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈部分500可以包括具有相同導(dǎo)線束的線圈401。如果具有單一頻率的驅(qū)動力施加到第一驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈部分500上，則第二可移動板600和第一可移動板300’將以相同頻率回轉(zhuǎn)。重疊具有第一頻率和第二頻率(該第二頻率相對于第一可移動板300’的第二軸線回轉(zhuǎn)與固有頻率重合)的驅(qū)動力施加到第一驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈500上，第二可移動板600和第一可移動板300’以第一頻率繞著第一軸線回轉(zhuǎn)，并且第一可移動板300’通過共振以第二頻率繞著第二軸線回轉(zhuǎn)?；?00可以包括將功率施加到第一驅(qū)動線圈部分400’上的端子部分110。
第一驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈部分500可以用具有不同導(dǎo)線束的線圈401和402制成，從而具有不同頻率的驅(qū)動力可以獨立地施加到第一驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈部分500上。分別地，具有第一頻率的驅(qū)動力施加到第二驅(qū)動線圈部分500上，并且具有與第一可移動板300’的固有頻率一致的第二頻率的驅(qū)動力施加到第一驅(qū)動線圈部分400’上，從而第二可移動板600和第一可移動板300’以第一頻率繞著第一軸線回轉(zhuǎn)，并且第一可移動板300’通過共振以第二頻率繞著第二軸線回轉(zhuǎn)?；?00還可以包括將功率施加到第二驅(qū)動線圈部分500上的第二端子部分120。
反射鏡部分320可以設(shè)置在第一可移動板300’上。例如，第二可移動板600在0°～7°的垂直掃描角度范圍內(nèi)以60Hz的垂直頻率在向前方向和相反方向上周期回轉(zhuǎn)。該垂直頻率稱為第一頻率。相對于第一可移動板300’的第二軸線回轉(zhuǎn)的固有頻率為25kHz。該第一可移動板300’通過共振在-15°～15°的水平掃描角度范圍內(nèi)以25kHz的水平頻率在向前方向和相反方向上回轉(zhuǎn)。該水平頻率稱為第二頻率。第二可移動板600和第一可移動板300’以垂直頻率回轉(zhuǎn)，并且第一可移動板300’以水平頻率回轉(zhuǎn)。在這種情況下，如附圖2A至2C中所示，一個有效幀包括每秒鐘顯示60次的大約400(也就是25000/60)根掃描線，從而提供具有高分辨率的可視圖像。該第一可移動板300’可以用于除上述二維掃描儀裝置之外的各種場合(field)中。
附圖9是根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的二維掃描儀的主體部分的平面圖。與附圖8相同的附圖標(biāo)記表示附圖9中相同的元件，于是將省略構(gòu)造和操作的重復(fù)描述。附圖9的二維掃描儀可以包括0基板100、一對磁體210a和210b、第二可移動板600、第一可移動板300’、第二驅(qū)動線圈部分500和設(shè)置在第二可移動板600上的第一驅(qū)動線圈部分400’。
該第二可移動板600繞著與第一軸線同軸連接到基板100上的第一軸線支承構(gòu)件151回轉(zhuǎn)。該第一可移動板300’定位在第二可移動板600內(nèi)側(cè)，并包括反射鏡部分320，該反射鏡部分反射光，并繞著與第二軸線同軸連接到第二可移動板600上的第二軸線支承構(gòu)件152回轉(zhuǎn)。該第一驅(qū)動線圈部分400’設(shè)置成相對于第一軸線和第二軸線的交叉點80點對稱，并包括與第一軸線同軸設(shè)置的同軸部分420、在第二軸線方向上與同軸部分420間隔開的間隔部分410，和連接同軸部分420和間隔部分410的連接部分430?？梢栽O(shè)置第二驅(qū)動線圈部分500，它設(shè)置在第一驅(qū)動線圈部分400’周圍，也就是它在第一軸線和第二軸線的交叉點80周圍設(shè)置成橢圓形。
第一驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈部分500的構(gòu)造和操作與上述相同。第一可移動板300’相對于垂直掃描角度和垂直頻率的移動，和第一可移動板300’相對于水平掃描角度和水平頻率的移動也與上述相同。附圖9和附圖8之間的差別在于，在附圖9中，第一驅(qū)動線圈部分400’設(shè)置在第二可移動板600上。由于該差別，所以與附圖8相比，可以減小第一可移動板300’的尺寸和轉(zhuǎn)動慣性，并可以增大第一可移動板300’的固有頻率。
如上所述，重疊具有第一頻率和第二頻率的同樣驅(qū)動力可以輸入到第一驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈部分500，或者各自具有第一頻率和第二頻率的獨立驅(qū)動力可以輸入第一驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈部分500，并且第一可移動板300’可以不同頻率繞著第一軸線和第二軸線回轉(zhuǎn)。
例如，當(dāng)?shù)谝豢梢苿影?00’相對于第一可移動板300’的第二軸線回轉(zhuǎn)的固有頻率與第二頻率一致，并且第一軸線支承構(gòu)件151和第二軸線支承構(gòu)件152只可以扭轉(zhuǎn)變形時，第二可移動板600和第一可移動板300’以第一頻率繞著第一軸線回轉(zhuǎn)，并通過共振以第二頻率繞著第二軸線回轉(zhuǎn)。由于驅(qū)動力的頻率重疊，存在第二頻率繞著第一軸線的回轉(zhuǎn)分量，但是作為較高頻率的第二頻率的分量相對于第一頻率可以忽略為噪音。第一頻率繞著第二軸線的回轉(zhuǎn)分量存在，但是第一頻率的振幅小于通過共振繞著第二軸線的第二頻率的振幅，從而可以忽略。
附圖10是根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的具有抑制振動板700的二維掃描儀的主體部分的平面圖。該抑制振動板700定位在第二可移動板600內(nèi)側(cè)，并繞著與第一軸同軸地連接到第二可移動板600上的中間支承構(gòu)件153回轉(zhuǎn)。第一可移動板300’定位在抑制振動板700內(nèi)側(cè)，并包括反射光的反射鏡部分320。該可移動板300’繞著第二軸線支承構(gòu)件152回轉(zhuǎn)，該第二軸線支承構(gòu)件與第二軸同軸地連接到抑制振動板700上。第一驅(qū)動線圈部分400’設(shè)置在第二可移動板600上。
在附圖9之前的實施例中，當(dāng)具有第一頻率(為附圖6的垂直頻率，例如60Hz)和第二頻率(為附圖6的水平頻率，例如25kHz)的驅(qū)動力施加到第一驅(qū)動線圈部分400’和第二驅(qū)動線圈部分500上時，存在第二頻率(25kHz)繞著第一軸線的回轉(zhuǎn)分量，但是作為較高頻率的第二頻率的分量相對于第一頻率忽略為噪音。
第二頻率繞著第一軸線的回轉(zhuǎn)分量作用在第二可移動板600上，可以忽略。然而，優(yōu)選地，但不是必須地，去除作用在第一可移動板300’上的分量。光信號的垂直分量不受第二可移動板600的回轉(zhuǎn)影響，但是受到第一可移動板300’的回轉(zhuǎn)影響。當(dāng)?shù)谝豢梢苿影?00’繞著第一軸線以第一頻率(例如，60Hz)和第二頻率(例如，25kHz)回轉(zhuǎn)時，通過使用抑制振動板700去除與垂直頻率重疊的25kHz的分量，可以極大地提高掃描質(zhì)量。也就是，相對于在第一頻率和第二頻率重疊狀態(tài)下繞著第一軸線回轉(zhuǎn)的第一可移動板300’，抑制振動板700抑制第二頻率的回轉(zhuǎn)分量。
根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的驅(qū)動器或二維掃描儀可以具有非常小的阻尼比率?；旧希活l率(為了便于解釋，稱為臨界頻率)為Wn，其中當(dāng)阻尼比率ξ接近0時，該頻率響應(yīng)的大小為1。當(dāng)普通振動系統(tǒng)的激勵頻率大于該臨界頻率時，頻率響應(yīng)的大小小于1。于是，可以期待抑制振動效果。通過將抑制振動板700添加到第一可移動板300’和第二可移動板600，本發(fā)明的示例性實施例使得整個系統(tǒng)的臨界頻率小于普通振動系統(tǒng)的激發(fā)頻率，這將進行詳細描述。
抑制振動板700相對于繞著第一軸線的回轉(zhuǎn)的固有頻率ωn可以大于第一頻率，并可以小于第二頻率。此處，抑制振動板700相對于繞著第一軸線回轉(zhuǎn)的固有頻率可以等于或小于第二頻率的70％(也就是，1/)。
這是由于添加抑制振動板700的整個系統(tǒng)的臨界頻率應(yīng)當(dāng)小于如上所述的第二頻率，從而抑制第二頻率的頻率響應(yīng)的振幅，該第二頻率為激勵頻率。這意味著，忽略第一可移動板300’的質(zhì)量慣性矩，從而抑制振動板700的固有頻率(對應(yīng)于臨界頻率的70％)等于或小于第二頻率的70％。并且，抑制振動板700的固有頻率大于第一頻率，從而防止第一可移動板300’的頻率響應(yīng)衰減。
例如，抑制振動板700的固有頻率可以是8kHz，該固有頻率大于60Hz并等于或小于作為第二頻率的25kHz的70％。于是，抑制振動板700是低通濾波器，它相對于第一可移動板300’繞著第一軸線的回轉(zhuǎn)通過第一頻段的回轉(zhuǎn)，并抑制第二頻段中的振動。
在附圖11中說明了根據(jù)示例性實施例的驅(qū)動器系統(tǒng)700。該系統(tǒng)包括驅(qū)動器704，如上述示例性實施例描述的那些驅(qū)動器那樣。可操作帶有調(diào)節(jié)器708的小型激光器，以向微型光學(xué)裝置(micro-optic device)提供RGB光710。該光由微型光學(xué)裝置712組合，并指向驅(qū)動器704。該驅(qū)動器704以上述關(guān)于示例性實施例討論的方式工作，從而光710在屏幕720上掃描。
如上所述，由于可以設(shè)置一對磁體和磁軛，所以本發(fā)明的示例性實施例所述的驅(qū)動器和二維掃描儀可以防止磁場的泄漏和擾動，頻率重疊功率或具有不同頻率的獨立驅(qū)動功率施加到驅(qū)動線圈部分和第二驅(qū)動線圈部分上，從而很容易進行可移動板的回轉(zhuǎn)控制，創(chuàng)新地改進驅(qū)動線圈部分的形狀或第二可移動板和可移動板的設(shè)置，從而可能使芯片小型化，并減小能量消耗，并且通過抑制振動板抑制可移動板的第二頻率的回轉(zhuǎn)分量，從而極大地提高掃描質(zhì)量。
盡管已經(jīng)參照其示例性實施例特別圖示和描述了本發(fā)明的示例性實施例，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解的是，在不脫離由所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以在其中進行形式和細節(jié)的各種改變。例如，驅(qū)動器和二維掃描儀非常適合于實現(xiàn)為使用微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝的半導(dǎo)體芯片形的微掃描儀。
權(quán)利要求
1.一種電磁驅(qū)動器，包括基板；與該基板連接的可移動板；及一對磁體，它們在從其中一個磁體到另一磁體延伸的方向上產(chǎn)生磁力，該可移動板設(shè)置在這對磁體之間，其中，該可移動板繞著平行于磁力方向的軸線回轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的電磁驅(qū)動器，還包括將基板和可移動板連接的支承構(gòu)件。
3.如權(quán)利要求1所述的電磁驅(qū)動器，其中，該可移動板包括驅(qū)動線圈構(gòu)造。
4.如權(quán)利要求3所述的電磁驅(qū)動器，其中，該驅(qū)動線圈構(gòu)造關(guān)于可移動板的中心點對稱。
5.如權(quán)利要求3所述的電磁驅(qū)動器，其中，輔助軸線在垂直于磁力的方向上延伸并通過可移動板的中心，并且所述驅(qū)動線圈具有設(shè)置在該輔助軸線的一側(cè)上的部分和設(shè)置在該輔助軸線的相對側(cè)上的另一部分，使得該驅(qū)動線圈關(guān)于該輔助軸線不對稱。
6.如權(quán)利要求2所述的電磁驅(qū)動器，其中，該支承構(gòu)件從可移動板開始在平行于磁力的方向上延伸。
7.如權(quán)利要求2所述的電磁驅(qū)動器，其中，當(dāng)可移動板回轉(zhuǎn)時，該支承構(gòu)件扭轉(zhuǎn)變形。
8.如權(quán)利要求1所述的電磁驅(qū)動器，其中，反射器設(shè)置在該可移動板上。
9.一種電磁驅(qū)動器，包括，基板；可移動板；從該可移動板延伸到基板的支承構(gòu)件；及一對磁體，它們在從其中一個磁體延伸到另一磁體的方向上產(chǎn)生磁力，該可移動板設(shè)置在這對磁體之間，其中，該可移動板包括驅(qū)動線圈構(gòu)造，且其中，第一軸線在與磁力的方向垂直的方向上延伸，并通過可移動板的中間，并且第二軸線在與磁力的方向平行的方向上延伸，使得驅(qū)動線圈具有設(shè)置在第一軸線的一側(cè)上的第一部分和設(shè)置在該第一軸線的相對側(cè)上的第二部分，并且該第一部分和第二部分關(guān)于該第一軸線不對稱。
10.如權(quán)利要求9所述的電磁驅(qū)動器，其中，該支承構(gòu)件包括分別從可移動板的相對側(cè)延伸的兩部分。
11.如權(quán)利要求9所述的電磁驅(qū)動器，其中，該驅(qū)動線圈關(guān)于可移動板的中心點對稱。
12.如權(quán)利要求9所述的電磁驅(qū)動器，其中，該支承構(gòu)件在與磁力的方向垂直的方向上從可移動板延伸。
13.如權(quán)利要求9所述的電磁驅(qū)動器，其中，當(dāng)所述可移動板回轉(zhuǎn)時，該支承構(gòu)件扭轉(zhuǎn)變形。
14.如權(quán)利要求9所述的電磁驅(qū)動器，其中，該驅(qū)動線圈具有驅(qū)動力，并且該驅(qū)動力重疊地包括第一頻率和與可移動板的固有頻率一致的第二頻率，使得可移動板以第一頻率繞著第一軸線回轉(zhuǎn)，并以第二頻率繞著第二軸線共振回轉(zhuǎn)。
15.如權(quán)利要求9所述的電磁驅(qū)動器，其中，該驅(qū)動線圈構(gòu)造還包括以橢圓方式繞著第一和第二部分延伸的外線圈部分。
16.如權(quán)利要求15所述的電磁驅(qū)動器，其中，所述第一部分、第二部分和外部包括單個驅(qū)動線圈。
17.如權(quán)利要求15所述的電磁驅(qū)動器，其中，該外線圈部分包括與第一部分和第二部分分開的驅(qū)動線圈。
18.如權(quán)利要求9所述的電磁驅(qū)動器，其中，反射器設(shè)置在該可移動板上。
19.一種電磁驅(qū)動器，包括，基板；外可移動板；從外可移動板延伸到基板的第一組支承構(gòu)件；內(nèi)可移動板；及從內(nèi)可移動板延伸到外可移動板的第二組支承構(gòu)件；其中，該內(nèi)可移動板包括內(nèi)驅(qū)動線圈構(gòu)造，并且外可移動板包括外驅(qū)動線圈構(gòu)造，及其中第一軸線延伸穿過第一組支承構(gòu)件，并且第二軸線延伸穿過第二組支承構(gòu)件，使得內(nèi)驅(qū)動線圈構(gòu)造具有設(shè)置在第一軸線的一側(cè)上的一部分，和設(shè)置在第一軸線的相對側(cè)上的另一部分，并且內(nèi)驅(qū)動線圈構(gòu)造關(guān)于該第一軸線不對稱。
20.如權(quán)利要求19所述的電磁驅(qū)動器，還包括一對磁體，它們在從其中一個磁體到另一磁體延伸的方向上產(chǎn)生磁力，該內(nèi)可移動板和外可移動板設(shè)置在這對磁體之間。
21.如權(quán)利要求19所述的電磁驅(qū)動器，其中，該內(nèi)驅(qū)動線圈構(gòu)造關(guān)于內(nèi)可移動板的中心點對稱。
22.如權(quán)利要求20所述的電磁驅(qū)動器，其中，該第一組支承構(gòu)件在與磁力的方向垂直的方向上從外可移動板延伸。
23.如權(quán)利要求22所述的電磁驅(qū)動器，其中，該第二組支承構(gòu)件在與磁力的方向平行的方向上從內(nèi)可移動板延伸。
24.如權(quán)利要求19所述的電磁驅(qū)動器，其中，當(dāng)外可移動板和內(nèi)可移動板回轉(zhuǎn)時，該第一組支承構(gòu)件和第二組支承構(gòu)件扭轉(zhuǎn)變形。
25.如權(quán)利要求19所述的電磁驅(qū)動器，其中，內(nèi)驅(qū)動線圈構(gòu)造和外驅(qū)動線圈構(gòu)造包括驅(qū)動力，該驅(qū)動力重疊地具有第一頻率和與內(nèi)可移動板的固有頻率一致的第二頻率，從而內(nèi)可移動板和外可移動板以第一頻率繞著第一軸線回轉(zhuǎn)，并且內(nèi)可移動板以第二頻率繞著第二軸線共振回轉(zhuǎn)。
26.如權(quán)利要求19所述的電磁驅(qū)動器，其中，該外驅(qū)動線圈構(gòu)造以橢圓方式繞著內(nèi)驅(qū)動線圈構(gòu)造延伸。
27.如權(quán)利要求19所述的電磁驅(qū)動器，其中，內(nèi)驅(qū)動線圈構(gòu)造和外驅(qū)動線圈構(gòu)造包括單個驅(qū)動線圈。
28.如權(quán)利要求19所述的電磁驅(qū)動器，其中，內(nèi)驅(qū)動線圈構(gòu)造包括驅(qū)動線圈，并且外驅(qū)動線圈構(gòu)造包括單獨的驅(qū)動線圈。
29.如權(quán)利要求19所述的電磁驅(qū)動器，其中，反射器設(shè)置在內(nèi)可移動板上。
30.一種電磁驅(qū)動器，包括，基板；外可移動板；從外可移動板延伸到基板的第一組支承構(gòu)件；內(nèi)可移動板；從內(nèi)可移動板延伸到外可移動板的第二組支承構(gòu)件；及設(shè)置在外可移動板上的第一驅(qū)動線圈構(gòu)造，其中，第一軸線延伸穿過第一組支承構(gòu)件，并且第二軸線延伸穿過第二組支承構(gòu)件，使得外可移動板的第一驅(qū)動線圈構(gòu)造具有設(shè)置在第一軸線的一側(cè)上的部分，和設(shè)置在第一軸線的相對側(cè)上的另一部分，并且該第一驅(qū)動線圈構(gòu)造關(guān)于該第一軸線不對稱。
31.如權(quán)利要求30所述的電磁驅(qū)動器，還包括一對磁體，它們在從其中一個磁體到另一磁體延伸的方向上產(chǎn)生磁力，該內(nèi)可移動板和外可移動板設(shè)置在這對磁體之間。
32.如權(quán)利要求30所述的電磁驅(qū)動器，其中，第一驅(qū)動線圈構(gòu)造關(guān)于內(nèi)可移動板的中心點對稱。
33.如權(quán)利要求31所述的電磁驅(qū)動器，其中，第一組支承構(gòu)件在與磁力的方向垂直的方向上從外可移動板延伸。
34.如權(quán)利要求33所述的電磁驅(qū)動器，其中，第二組支承構(gòu)件在與磁力的方向平行的方向上從內(nèi)可移動板延伸。
35.如權(quán)利要求30所述的電磁驅(qū)動器，其中，當(dāng)外可移動板和內(nèi)可移動板回轉(zhuǎn)時，第一組支承構(gòu)件和第二組支承構(gòu)件扭轉(zhuǎn)變形。
36.如權(quán)利要求30所述的電磁驅(qū)動器，其中，該第一驅(qū)動線圈構(gòu)造包括驅(qū)動力，該驅(qū)動力重疊地具有第一頻率和與外可移動板的固有頻率一致的第二頻率，從而外可移動板以第一頻率繞著第一軸線回轉(zhuǎn)，并以第二頻率繞著第二軸線共振回轉(zhuǎn)，并且外可移動板的共振移動傳遞給內(nèi)可移動板。
37.如權(quán)利要求30所述的電磁驅(qū)動器，還包括以橢圓方式繞著第一驅(qū)動線圈構(gòu)造延伸的第二驅(qū)動線圈構(gòu)造。
38.如權(quán)利要求37所述的電磁驅(qū)動器，其中，該第一驅(qū)動線圈構(gòu)造和第二驅(qū)動線圈構(gòu)造包括單個驅(qū)動線圈。
39.如權(quán)利要求37所述的電磁驅(qū)動器，其中，該第一驅(qū)動線圈構(gòu)造包括驅(qū)動線圈，并且第二驅(qū)動線圈構(gòu)造包括單獨的驅(qū)動線圈。
40.如權(quán)利要求30所述的電磁驅(qū)動器，還包括設(shè)置在外可移動板和內(nèi)可移動板之間的抑制振動板，其中，該第一驅(qū)動線圈構(gòu)造包括具有重疊的第一頻率和第二頻率的驅(qū)動力，及該抑制振動板抑制第二頻率的回轉(zhuǎn)分量。
41.如權(quán)利要求40所述的電磁驅(qū)動器，其中，該第二頻率高于第一頻率。
42.如權(quán)利要求30所述的電磁驅(qū)動器，其中，反射器設(shè)置在內(nèi)可移動板上。
43.如權(quán)利要求40所述的電磁驅(qū)動器，其中，該第二頻率與內(nèi)可移動板的固有頻率一致，并且關(guān)于內(nèi)可移動板繞著第一軸的回轉(zhuǎn)，該抑制振動板抑制第二頻率的回轉(zhuǎn)分量。
44.如權(quán)利要求40所述的電磁驅(qū)動器，其中，該內(nèi)可移動板以第二頻率繞著第二軸線共振回轉(zhuǎn)。
45.如權(quán)利要求40所述的電磁驅(qū)動器，其中，抑制振動板的固有頻率高于第一頻率，并低于第二頻率。
46.如權(quán)利要求40所述的電磁驅(qū)動器，其中，抑制振動板的固有頻率小于第二頻率的70％，使得抑制振動板起到抵抗內(nèi)可移動板繞著第一軸線回轉(zhuǎn)的低通濾波器的作用。
全文摘要
一種驅(qū)動器和二維掃描儀。該驅(qū)動器和二維掃描儀包括基板、可移動板、磁場產(chǎn)生部分、支承構(gòu)件和驅(qū)動線圈部分，其中，該可移動板繞著彼此垂直的第一虛軸線或第二虛軸線中的至少一個回轉(zhuǎn)，該磁場產(chǎn)生部分形成在平行于第二軸線的方向上作用并在第一軸線的一位置處具有最小值的磁力，該支承構(gòu)件與第一軸線和第二軸線的至少其中一個同軸設(shè)置，連接基板和可移動板，并形成可移動板的回轉(zhuǎn)軸，可移動板的驅(qū)動力施加到該驅(qū)動線圈部分上，并且該驅(qū)動線圈部分設(shè)置在可移動板上，從而關(guān)于第一軸線和第二軸線的交叉點具有點對稱形狀。
文檔編號G02B7/18GK101075772SQ200710088549
公開日2007年11月21日 申請日期2007年3月16日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月18日
發(fā)明者鄭喜文, 申圣浩, 李振鎬, 趙鎮(zhèn)佑, 高泳哲 申請人:三星電子株式會社