專(zhuān)利名稱(chēng)：位置檢測(cè)方法、位置檢測(cè)裝置、圖案繪制裝置和被檢測(cè)物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種檢測(cè)被配置在規(guī)定的配置區(qū)域內(nèi)的被檢測(cè)物的位置的技術(shù)。
背景技術(shù)：
在液晶顯示裝置所具備的濾色鏡用基板、液晶顯示裝置或等離子顯示裝置等平
板顯示器(FPD)用玻璃基板、半導(dǎo)體襯底、印刷電路板等基板上繪制微細(xì)的圖案的 圖案繪制裝置等中，為了高精度地進(jìn)行處理，必須進(jìn)行將成為處理對(duì)象的基板準(zhǔn)確 地對(duì)位于規(guī)定的理想位置上的定位(alignment)。因此，至今提出過(guò)檢測(cè)被裝載在規(guī) 定的配置區(qū)域內(nèi)的基板的位置的各種技術(shù)方案。
例如，用現(xiàn)有的代表技術(shù)中，在基板上的規(guī)定位置預(yù)先標(biāo)注上定位標(biāo)記 (alignment mark),用攝影機(jī)拍攝該定位標(biāo)記周?chē)〉脠D像。然后根據(jù)圖像中的 定位標(biāo)記的像的位置檢測(cè)出基板的實(shí)際位置與理想位置的偏離量，并根據(jù)檢測(cè)到的 偏離量將基板的位置修正到理想位置，就這樣來(lái)進(jìn)行基板的定位(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1: JP特開(kāi)2001-267229號(hào)公報(bào)
可是，為了以高精度進(jìn)行基板的定位，必須把定位標(biāo)記的拍攝倍率設(shè)定為較高 的倍率。但是，若將拍攝倍率設(shè)定為高倍率，那么基板上的拍攝范圍變得就非常小， 所以有時(shí)拍攝范圍之內(nèi)就不含定位標(biāo)記。因此，在現(xiàn)有技術(shù)中，在將拍攝倍率設(shè)定 為較高倍率的精細(xì)定位之前，進(jìn)行將拍攝倍率設(shè)定為較低倍率的低精度的預(yù)定位(用 粗標(biāo)準(zhǔn)對(duì)位)，由此，在精細(xì)定位時(shí)拍攝范圍內(nèi)就包含了定位標(biāo)記。
但是，若這樣進(jìn)行預(yù)定位和精細(xì)定位的2次定位(高倍率和低倍率的二次拍攝)， 就要增加對(duì)基板的處理時(shí)間，降低了生產(chǎn)率，由此，期望著改善對(duì)策。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問(wèn)題，本發(fā)明目的在于提供通過(guò)一種一次拍攝就能夠檢測(cè)出被檢測(cè)物 的位置的技術(shù)。
為解決上述問(wèn)題，技術(shù)方案1是一種位置檢測(cè)方法，檢測(cè)被配置在規(guī)定配置區(qū)
域內(nèi)的被檢測(cè)物的位置，該位置檢測(cè)方法包括拍攝工序，其拍攝所述被檢測(cè)物來(lái)取得圖像，其中，該被檢測(cè)物集中形成了各自能夠指定所述被檢測(cè)物上的基準(zhǔn)位置 與自身的相對(duì)位置，即第一位置的多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記；位置導(dǎo)出工序，其根據(jù)在所 述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記中作為像而被包含在所述圖像中的一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的所述圖 像中的像，來(lái)指定該一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的所述第一位置，并根據(jù)該第一位置導(dǎo)出所 述被檢測(cè)物的位置的。
技術(shù)方案2，如技術(shù)方案1所述的位置檢測(cè)方法，其中所述位置導(dǎo)出工序具有 第一指定工序，其指定所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的所述第一位置；第二指定工序，其 根據(jù)所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像的位置，指定所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記 與拍攝所述圖像的拍攝裝置的相對(duì)位置作為第二位置；第三指定工序，其根據(jù)所述 第一位置和所述第二位置指定所述被檢測(cè)物的位置。
技術(shù)方案3，如技術(shù)方案1或2所述的位置檢測(cè)方法，其中所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo) 記的每個(gè)用配置為二維網(wǎng)格狀的多個(gè)點(diǎn)的有無(wú)來(lái)表示信息；在所述位置導(dǎo)出工序中， 根據(jù)所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像表示的信息來(lái)指定所述第一位置。
技術(shù)方案4，如技術(shù)方案1至3的任一項(xiàng)所述的位置檢測(cè)方法，其中所述多個(gè)位 置檢測(cè)標(biāo)記的每個(gè)為記錄了有關(guān)自身的所述第一位置的信息記錄碼；在所述位置導(dǎo) 出工序中，通過(guò)讀取所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像表示的所述信息記錄 碼來(lái)指定所述位置檢測(cè)標(biāo)記的所述第一位置。
技術(shù)方案5，如據(jù)技術(shù)方案1至3的任一項(xiàng)所述的位置檢測(cè)方法，其中所述多個(gè) 位置檢測(cè)標(biāo)記的每個(gè)表示從其它的位置檢測(cè)標(biāo)記識(shí)別自身的識(shí)別信息，在所述位置 導(dǎo)出工序中，根據(jù)表示所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記每個(gè)的所述識(shí)別信息與所述第一位置 的對(duì)應(yīng)關(guān)系的對(duì)應(yīng)表，和所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像表示的所述識(shí)別 信息來(lái)指定所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的所述第一位置。
技術(shù)方案6的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案2記載的位置檢測(cè)方法，其中所述多個(gè)位置
檢測(cè)標(biāo)記的每個(gè)具有規(guī)定成為該位置檢測(cè)標(biāo)記內(nèi)的基準(zhǔn)的位置的符號(hào)，在所述第二 指定工序中，根據(jù)所述圖像中的所述符號(hào)的像來(lái)指定所述圖像中的所述一個(gè)位置檢 測(cè)標(biāo)記的像的位置。
技術(shù)方案7是一種位置檢測(cè)裝置，檢測(cè)被配置在規(guī)定配置區(qū)域內(nèi)的被檢測(cè)物位 置，該位置檢測(cè)裝置具有拍攝裝置，其拍攝所述被檢測(cè)物而取得圖像，其中，該 被檢測(cè)物集中形成了分別能夠指定所述被檢測(cè)物上的基準(zhǔn)位置與自身的相對(duì)位置， 即第一位置的多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記；位置導(dǎo)出裝置，其根據(jù)在所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記
中作為像而被包含在所述圖像中的一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的所述圖像中的像，來(lái)指定這 一位置檢測(cè)標(biāo)記的所述第一位置，并根據(jù)該第一位置導(dǎo)出所述被檢測(cè)物的位置。
技術(shù)方案8，如技術(shù)方案7記載的所述的檢測(cè)裝置，其中所述位置導(dǎo)出裝置具有: 第一指定裝置，其指定所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的所述第一位置；第二指定裝置，根 據(jù)所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像的位置，指定所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記與 所述拍攝裝置的相對(duì)位置來(lái)作為第二位置；第三指定裝置，根據(jù)所述第一位置和所 述第二位置來(lái)指定所述被檢測(cè)物的位置。
技術(shù)方案9，如技術(shù)方案7或8所述的位置檢測(cè)裝置，其中所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo) 記的每個(gè)用配置為二維網(wǎng)格狀的多個(gè)點(diǎn)的有無(wú)來(lái)表示信息，所述位置導(dǎo)出裝置根據(jù) 所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像表示的信息來(lái)指定所述第一位置。
技術(shù)方案IO，如技術(shù)方案7至9的任一項(xiàng)所述的位置檢測(cè)方法，其中所述多個(gè)
位置檢測(cè)標(biāo)記的每個(gè)為記錄了有關(guān)自身的所述第一位置的信息記錄碼，所述位置導(dǎo)
出裝置利用讀取所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像表示的所述信息記錄碼，
來(lái)指定所述位置檢測(cè)標(biāo)記的所述第一位置。
技術(shù)方案ll，如技術(shù)方案7至9的任一項(xiàng)所述的位置檢測(cè)裝置，其中所述多個(gè) 位置檢測(cè)標(biāo)記的每個(gè)顯示從其它的位置檢測(cè)標(biāo)記識(shí)別自身的識(shí)別信息，所述位置導(dǎo) 出裝置根據(jù)表示所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記每個(gè)的所述識(shí)別信息與所述第一位置的對(duì)應(yīng) 關(guān)系的對(duì)應(yīng)表，和所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像表示的所述識(shí)別信息， 來(lái)指定所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的所述第一位置。
技術(shù)方案12，如技術(shù)方案8所述的位置檢測(cè)裝置，其中所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記 的每個(gè)具有規(guī)定成為該位置檢測(cè)標(biāo)記內(nèi)的基準(zhǔn)的位置的符號(hào)，所述第二指定裝置根 據(jù)所述圖像中的所述符號(hào)的像，來(lái)指定所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像的 位置。
技術(shù)方案13，如技術(shù)方案7至12的任一項(xiàng)所述的位置檢測(cè)裝置，其中還具有處 理裝置，其對(duì)配置在所述配置區(qū)域內(nèi)的處理對(duì)象物進(jìn)行規(guī)定的處理；所述被檢測(cè)物 包含所述處理對(duì)象物。
技術(shù)方案14，如技術(shù)方案7至12的任一項(xiàng)所述的位置檢測(cè)裝置，其中，還具由
可動(dòng)部件，其配置在所述配置區(qū)域內(nèi)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述可動(dòng)部件移動(dòng)；所述被
檢測(cè)物包含所述可動(dòng)部件。
技術(shù)方案15是一種圖案繪制裝置，在形成了感光材料的基板上繪制規(guī)則的圖案， 具有配置區(qū)域，其配置基板；技術(shù)方案7至12的任一項(xiàng)所記載的位置檢測(cè)裝置， 其檢測(cè)被配置在所述配置區(qū)域內(nèi)的所述基板的位置；位置修正裝置，其根據(jù)所述位 置檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果將所述基板的位置修正到規(guī)定的理想位置上；以及繪制裝置， 其對(duì)領(lǐng)域所述位置修正裝置修正過(guò)位置的基板繪制所述圖案。
技術(shù)方案16是一種被檢測(cè)物，其成為由位置檢測(cè)裝置產(chǎn)生的位置檢測(cè)對(duì)象，該 被檢測(cè)物具有主體部；多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記，其集中形成在所述主體部上，并每個(gè) 能夠指定所述主體部上的基準(zhǔn)位置與自身之間的相對(duì)位置的多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記。
根據(jù)技術(shù)方案1至技術(shù)方案15的發(fā)明，由于拍攝集中形成了多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記 的被檢測(cè)物而取得圖像，所以即使將拍攝倍率設(shè)定為較高倍率，也能夠使多個(gè)位置 檢測(cè)標(biāo)記的某一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記包含在圖像之中。而且，根據(jù)從該圖像指定的一個(gè) 位置檢測(cè)標(biāo)記的第一位置導(dǎo)出被檢測(cè)物的位置。其結(jié)果，通過(guò)一次拍攝就能夠檢測(cè) 出被檢測(cè)物的位置。
根據(jù)技術(shù)方案2和技術(shù)方案8，基于第一位置和第二位置來(lái)指定被檢測(cè)物的位 置，所以能夠精確地檢測(cè)出被檢測(cè)物的位置。
根據(jù)技術(shù)方案3和技術(shù)方案9，由于位置檢測(cè)標(biāo)記依據(jù)配置為二維網(wǎng)格狀的多個(gè) 點(diǎn)的有無(wú)來(lái)顯示信息，所以能夠根據(jù)多信息量指定第一位置。
根據(jù)技術(shù)方案4和技術(shù)方案10，能夠通過(guò)讀取信息記錄碼而容易地指定位置檢 測(cè)標(biāo)記的第一位置。
根據(jù)技術(shù)方案5和技術(shù)方案11，盡管位置檢測(cè)標(biāo)記本身并不記錄第一位置，也 能夠根據(jù)對(duì)應(yīng)表容易地指定位置檢測(cè)標(biāo)記的第一位置。
根據(jù)技術(shù)方案6和技術(shù)方案12，能夠利用符號(hào)精確地指定圖像中的位置檢測(cè)標(biāo) 記的像的位置。
根據(jù)技術(shù)方案13，由于能夠高精度地檢測(cè)出處理對(duì)象物的位置，所以能夠高精 度地進(jìn)行對(duì)處理對(duì)象物的處理。
根據(jù)技術(shù)方案14，由于能夠高精度地檢測(cè)出可動(dòng)部件的位置，所以能夠高精度 地進(jìn)行可動(dòng)部件的對(duì)位。
根據(jù)技術(shù)方案15，能夠高精度地將圖案繪制在基板上的正確位置上。
另外，根據(jù)技術(shù)方案16，由于在主體部?jī)?nèi)集中形成多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記，所以位 置檢測(cè)裝置能夠通過(guò)一次拍攝檢測(cè)出被檢測(cè)物的位置。


圖1是表示圖案繪制裝置的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
圖2是表示圖案繪制裝置的結(jié)構(gòu)的俯視圖。 圖3是示意性地表示圖案繪制裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。 圖4是表示圖案繪制裝置的基本動(dòng)作的流程的圖。 圖5是表示繪制圖案的動(dòng)作過(guò)程中的基板狀態(tài)的圖。 圖6是表示繪制圖案的動(dòng)作過(guò)程中的基板狀態(tài)的圖。 圖7是表示繪制圖案的動(dòng)作過(guò)程中的基板狀態(tài)的圖。 圖8是表示繪制圖案的動(dòng)作過(guò)程中的基板狀態(tài)圖。 圖9是表示成為位置檢測(cè)對(duì)象的基板的圖。 圖IO是用于說(shuō)明定位標(biāo)記的結(jié)構(gòu)的圖。
圖11是表示第一實(shí)施方式的各定位標(biāo)記上所記錄的信息的內(nèi)容的圖。
圖12是表示有關(guān)基板的定位的處理的詳細(xì)流程的圖。
圖13是表示通過(guò)拍攝取得的圖像的一個(gè)例子的圖。
圖14是表示第二實(shí)施方式的各定位標(biāo)記上所記錄的信息的內(nèi)容的圖。
圖15是表示對(duì)應(yīng)表的一個(gè)例子的圖。
圖16是表示孔徑(aperture)部的內(nèi)部的圖。
具體實(shí)施例方式
以下參照附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。
l.第一實(shí)施方式
1-1.結(jié)構(gòu)
圖1和圖2是具有第一實(shí)施方式的位置檢測(cè)裝置的功能的圖案繪制裝置1的結(jié) 構(gòu)的圖，圖1是側(cè)視圖，圖2是俯視圖。在制造液晶顯示裝置的濾色鏡的工序中， 該圖案繪制裝置1是用于在形成了感光材料(本實(shí)施方式是彩色保護(hù)層 (colour-resist))的濾色鏡用玻璃基板(以下簡(jiǎn)稱(chēng)"基板")9上繪制規(guī)定的圖案 的裝置。如圖1和圖2所示，圖案繪制裝置1主要設(shè)有基座11、裝載基板9的載物 臺(tái)10、相對(duì)基座11驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)10的驅(qū)動(dòng)部20、多個(gè)曝光頭30和基板9的定位用 的兩個(gè)攝影機(jī)41。
此外，在以下的說(shuō)明中，在表示方向和朝向時(shí)，采用圖中所示的三維XYZ直角
座標(biāo)。該XYZ軸相對(duì)基座11而被固定。這里，X軸和Y軸方向是水平方向，Z軸是 垂直方向。圖案繪制裝置l中的主掃描方向?qū)?yīng)于Y軸方向，副掃描方向?qū)?yīng)于X 軸方向。
載物臺(tái)10具有平板狀的外形，其上面的大致水平的區(qū)域構(gòu)成為配置基板9的配 置區(qū)域。g卩，基板9以大致水平狀態(tài)被配置在載物臺(tái)10的上面。在載物臺(tái)10的上 面形成有多個(gè)吸引孔(省略圖示)，通過(guò)這些吸引孔的吸引壓將被裝載在載物臺(tái)10 上的基板9固定保持在載物臺(tái)10的上面。因此，載物臺(tái)10也用作保持基板9的保 持部。
驅(qū)動(dòng)部20是用于使載物臺(tái)lO相對(duì)基座ll，沿主掃描方向(Y軸方向)、副掃描 方向(X軸方向)和旋轉(zhuǎn)方向(繞Z軸的旋轉(zhuǎn)方向)移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)部20具 有使載物臺(tái)10旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)21，從下面?zhèn)戎С休d物臺(tái)10的支承板22，使支承板 22沿副掃描方向移動(dòng)的副掃描機(jī)構(gòu)23、經(jīng)由副掃描機(jī)構(gòu)23支持支承板22的基座板 24和使基座板24沿主掃描方向移動(dòng)的主掃描機(jī)構(gòu)25。
旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)21具有線性電動(dòng)機(jī)21a，該線性電動(dòng)機(jī)21a由被安裝在載物臺(tái)10的-Y 側(cè)端部上的轉(zhuǎn)子和敷設(shè)在支承板22的上面的定子構(gòu)成。還有，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)21在載物 臺(tái)10的中央部下面?zhèn)扰c支承板22之間具有轉(zhuǎn)軸21b。因此，若使線性電動(dòng)機(jī)21a 動(dòng)作，轉(zhuǎn)子就在X軸方向上沿定子移動(dòng)，載物臺(tái)10以支承板22上的轉(zhuǎn)軸21b為中 心在規(guī)定角度的范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)。
副掃描機(jī)構(gòu)23具有線性電動(dòng)機(jī)23a,該線性電動(dòng)機(jī)23a由被安裝在支承板22 的下面的轉(zhuǎn)子和敷設(shè)在基座板24的上面的定子構(gòu)成。還有，副掃描機(jī)構(gòu)23在支承 板22與基座板24之間，具有沿副掃描方向延伸的一對(duì)導(dǎo)軌部23b。因此，若使線 性電動(dòng)機(jī)23a動(dòng)作，支承板22就在副掃描方向上沿基座板24上的導(dǎo)軌部23b移動(dòng)。 由于載物臺(tái)10被支承板22支承，所以副掃描機(jī)構(gòu)23使載物臺(tái)10在副掃描方向上 相對(duì)于基座ll移動(dòng)。
主掃描機(jī)構(gòu)25具有線性電動(dòng)機(jī)25a，該線性電動(dòng)機(jī)25a由被安裝在基座板24 的下面的轉(zhuǎn)子和敷設(shè)在基座11上的定子構(gòu)成。另外，主掃描機(jī)構(gòu)25在基座板24與 基座ll之間，具有在主掃描方向上延伸的一對(duì)導(dǎo)軌部25b。因此，若使線性電動(dòng)機(jī) 25a動(dòng)作，則基座板24就在主掃描方向上沿基座ll上的導(dǎo)軌部25b移動(dòng)。由于載 物臺(tái)10被支承板22和基座板24支承，所以主掃描機(jī)構(gòu)25使載物臺(tái)10在主掃描方 向上相對(duì)于基座ll移動(dòng)。
多個(gè)曝光頭30將脈沖光照射在被裝載于載物臺(tái)10上的基板9的上面，對(duì)基板9 進(jìn)行曝光來(lái)繪制規(guī)則的圖案?；?1上固定設(shè)有橋架結(jié)構(gòu)的框架31，該框架31沿 副掃描方向架搭基座11的-X側(cè)和+X側(cè)端部，且跨越載物臺(tái)10和驅(qū)動(dòng)部20。多個(gè) 曝光頭30沿副掃描方向以同一間距排列安裝在框架31上，因此，多個(gè)曝光頭30的 位置相對(duì)基座ll而被固定。
如上所述，驅(qū)動(dòng)部20的主掃描機(jī)構(gòu)25和副掃描機(jī)構(gòu)23使載物臺(tái)10相對(duì)基座 ll移動(dòng)。因此，若驅(qū)動(dòng)主掃描機(jī)構(gòu)25，多個(gè)曝光頭30就會(huì)在主掃描方向上相對(duì)被 裝載于載物臺(tái)10上的基板9移動(dòng)；若驅(qū)動(dòng)副掃描機(jī)構(gòu)23，多個(gè)曝光頭30就會(huì)在副 掃描方向上相對(duì)被裝載于載物臺(tái)10上的基板9移動(dòng)。
作為脈沖光光源的一個(gè)激光振蕩器33經(jīng)照明光學(xué)系統(tǒng)32連接在各曝光頭30上， 激光器驅(qū)動(dòng)部34連接在激光發(fā)射部33上。因此，若使激光器驅(qū)動(dòng)部34動(dòng)作，就會(huì) 通過(guò)激光振蕩器33使脈沖光振蕩，振蕩的脈沖光經(jīng)照明光學(xué)系統(tǒng)32被導(dǎo)入各曝光 頭30內(nèi)。
在各曝光頭30的內(nèi)部設(shè)有射出部35，其用于將由照明光學(xué)系統(tǒng)32引導(dǎo)的脈 沖光朝下方射出；孔徑部36，其用于局部遮擋脈沖光從而形成規(guī)定形狀的光束；和 投影光學(xué)系統(tǒng)37，其用于將該光束照射到基板9的上面。
從射出部35射出的脈沖光在通過(guò)孔徑部36時(shí)被具有多個(gè)隙縫的蒙罩(mask)(省 略圖示)遮擋住一部分，形成規(guī)定形狀的光束入射到投影光學(xué)系統(tǒng)37中。而且，通 過(guò)將經(jīng)過(guò)了投影光學(xué)系統(tǒng)37的規(guī)定形狀的脈沖光照射在基板9的上面，從而使涂敷 在基板9上的感光材料感光，由此在基板9上繪制出圖案。蒙罩以一定的間隔沿副 掃描方向排列形成有通過(guò)光的孔徑部即多個(gè)隙縫。脈沖光通過(guò)該隙縫將對(duì)應(yīng)于隙縫 形狀的脈沖光投影在基板9上?？讖讲?6設(shè)有移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)能在孔徑部 36的內(nèi)部使蒙罩的位置微小移動(dòng)，而且在基板9上也能夠微調(diào)繪制圖案的位置。
兩個(gè)攝影機(jī)41分別為如下這樣的攝影部配置在載物臺(tái)10的上方并拍攝被裝 載于載物臺(tái)10上的基板9從而取得圖像，上述攝影機(jī)具有光學(xué)系統(tǒng)和CCD之類(lèi)的拍 攝元件。由這些攝影機(jī)41取得的圖像被用于將裝載于載物臺(tái)10上的基板9對(duì)位于 規(guī)定的理想位置上的定位。攝影機(jī)41在其光學(xué)系統(tǒng)的光軸朝向垂直下方(-Z偵lJ) 的狀態(tài)下，經(jīng)保持部(省略圖示)被固定在基座ll上。
兩個(gè)攝影機(jī)41的副掃描方向的位置被設(shè)定為同一位置，在定位時(shí)，將其以位于 基板9的幅掃描方向的大致中央(圖2的狀態(tài))的方式來(lái)配置。還有，在定位時(shí)，
以一個(gè)攝影機(jī)41位于基板9的-Y側(cè)端部附近，而另一個(gè)攝影機(jī)41位于基板9的+Y 側(cè)端部附近的方式來(lái)配置。
還有，圖案繪制裝置1設(shè)有控制部50，該控制部在控制整個(gè)裝置的同時(shí)進(jìn)行各 種運(yùn)算處理。圖3是示意地表示包含控制部50的圖案繪制裝置1的結(jié)構(gòu)的框圖?？?制部50由具備CPU和存儲(chǔ)器等的計(jì)算機(jī)構(gòu)成。
如圖所示，上述的主掃描機(jī)構(gòu)25、副掃描機(jī)構(gòu)23、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)21、激光器驅(qū)動(dòng)部 34和攝影機(jī)41等電連接在控制部50上。由此，這些部件在控制部50的控制下動(dòng) 作，同時(shí)由攝影機(jī)41取得的圖像被輸入到控制部50，并被存儲(chǔ)在控制部50的存儲(chǔ) 器內(nèi)。
圖案繪制裝置l還設(shè)有操作部12，其接受用戶(hù)的各種操作；數(shù)據(jù)輸入部13, 其輸入繪制圖案所必需的繪制數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)輸入部13作為例如讀取記錄介質(zhì)的讀出裝 置或與外部裝置之間進(jìn)行通信的通信裝置等而構(gòu)成。這些操作部12和輸入部13都 與控制部50電連接。由此，操作部12的操作內(nèi)容作為信號(hào)而輸入到控制部50，同 時(shí)輸入部13所輸入的繪制數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在控制部50的存儲(chǔ)器內(nèi)。
在控制部50中，CPU根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器內(nèi)的程序進(jìn)行運(yùn)算處理，由此來(lái)實(shí) 現(xiàn)裝置各部的控制功能和各種運(yùn)算功能。圖3中，位置導(dǎo)出部51和位置修正部52 根據(jù)程序使CPU進(jìn)行運(yùn)算處理，由此示意地顯示軟件性所實(shí)現(xiàn)的功能。另外，第一 第三指定部53 55示意地顯示位置導(dǎo)出部51具有的功能。這些位置導(dǎo)出部51以及 位置修正部52承擔(dān)基板9的部分定位功能，即檢測(cè)基板9的位置并修正該基板9的 位置。
1-2.基本動(dòng)作
下面說(shuō)明圖案繪制裝置1的基本動(dòng)作。圖4是表示圖案繪制裝置1的基本動(dòng)作 的流程的圖。首先，用輸送機(jī)器人等送入預(yù)先涂敷了感光材料的基板9，并將其裝 載在載物臺(tái)10的上面?；?被形成在載物臺(tái)IO的上面的吸附口吸住，并以大致 水平狀態(tài)保持在載物臺(tái)10的上面(步驟S1)。
然后，用攝影機(jī)41、位置導(dǎo)出部51和位置修正部52等實(shí)施以進(jìn)行裝載于載物 臺(tái)10上的基板9的對(duì)位的方式的定位。雖然由輸送機(jī)器人等裝載于載物臺(tái)10上的 基板9被大體配置在預(yù)定的理想位置，但是作為繪制微細(xì)圖案的精度，處于偏離理 想位置的狀態(tài)。因此，通過(guò)這種定位來(lái)修正基板9的位置，由此能夠高精度地將基 板9對(duì)位于理想位置。后面將詳述有關(guān)定位的處理(步驟S2)。
下面，對(duì)修正過(guò)位置的基板9繪制規(guī)則的圖案(步驟S3)。圖5至圖8分別是表 示繪制圖案的動(dòng)作的過(guò)程中的基板9狀態(tài)的圖，在這些圖中，用附圖標(biāo)記91表示的 區(qū)域，示出應(yīng)進(jìn)行圖案繪制的繪制對(duì)象區(qū)域。根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)在控制部50的存儲(chǔ)器內(nèi) 的繪制數(shù)據(jù)來(lái)確定該繪制對(duì)象區(qū)域91 。
還有，在這些圖中，用附圖標(biāo)記80表示的矩形的范圍示出一個(gè)曝光頭30—次 的脈沖光的照射可繪制圖案的范圍(可曝光的范圍)(下稱(chēng)"繪制范圍")。該繪制范 圍80的副掃描方向的寬度被設(shè)為規(guī)定寬度w (本實(shí)施方式中，例如為50mm)。
如上所述，多個(gè)曝光頭30以同一間距H沿副掃描方向排列，但是，該間距H被 設(shè)為規(guī)定寬度w的四倍(本實(shí)施方式中，例如為200mm)。分別對(duì)應(yīng)于多個(gè)曝光頭30 的多個(gè)繪制范圍80也以與其相同的間距H (例如200mm)沿副掃描方向排列，各曝 光頭30將達(dá)到與+X側(cè)相鄰接的曝光頭30的基板9上寬度H的區(qū)域分為四次掃描。
艮卩，首先將多個(gè)曝光頭30移動(dòng)到由繪制數(shù)據(jù)確定的基板9的開(kāi)始位置(圖5); 然后， 一面從曝光頭30時(shí)間周期性地照射脈沖光， 一面使曝光頭30 (即繪制范圍 80)相對(duì)基板9沿主掃描方向的+Y側(cè)以一定的速度移動(dòng)。由此，每個(gè)曝光頭30都 在基板9上進(jìn)行曝光掃描(圖6)，該曝光掃描相對(duì)于在主掃描方向上延伸且副掃描 寬度為規(guī)定寬度w的一個(gè)掃描區(qū)域As。通過(guò)該曝光掃描就將規(guī)則的圖案繪制在繪制 范圍80已通過(guò)的掃描區(qū)域As上。圖6中，標(biāo)上斜影線來(lái)表示繪制了圖案的區(qū)域(圖 7、 8中也一樣)。
一旦沿主掃描方向的一次曝光掃描結(jié)束，就使曝光頭30 (即繪制范圍80)相對(duì) 基板9沿副掃描方向的+X側(cè)僅移動(dòng)規(guī)定寬度w量。接著，使曝光頭30 (即繪制范圍 80)相對(duì)基板9沿主掃描方向的-Y側(cè)以一定的速度移動(dòng)，由此，對(duì)鄰接上次進(jìn)行過(guò) 曝光掃描的掃描區(qū)域As的+X側(cè)的一個(gè)掃描區(qū)域As進(jìn)行曝光掃描(圖7)。
同樣地，每次使曝光頭30相對(duì)基板9沿副掃描方向移動(dòng)規(guī)定寬度w量，同時(shí)再 第二次重復(fù)(一個(gè)往返)沿主掃描方向的曝光掃描(圖8)。這樣，各曝光頭30對(duì) 達(dá)到鄰接+Y側(cè)的曝光頭30的寬度H區(qū)域進(jìn)行了分割的四個(gè)掃描區(qū)域As的各個(gè)區(qū)域 進(jìn)行曝光掃描。由此，將規(guī)則的圖案繪制到整個(gè)繪制對(duì)象區(qū)域91上。
通過(guò)輸送機(jī)器人等將繪制了圖案的基板9從載物臺(tái)10的上面取出去(圖4的步 驟S4)。被繪制在基板9上的各圖案在后續(xù)工序中進(jìn)行顯影，從而做成帶有R、 G、 B 某一色的子像素。而且，基板9的繪制對(duì)象區(qū)域91被做成一個(gè)濾色鏡。
1-3.定位下面，詳細(xì)說(shuō)明用圖案繪制裝置1進(jìn)行的基板9的定位(圖4的步驟S2)。 圖9是表示成為對(duì)象的基板9的情況的圖。此外，在以下的說(shuō)明中，表示基板9
中的方向和朝向時(shí)，也假定基板9被配置在載物臺(tái)IO上，而使用上述的三維的XYZ
直角座標(biāo)。
如圖9所示，在基板9上，基板9的主體部的X軸方向(副掃描方向)的中央， 在從繪制對(duì)象區(qū)域91向-Y側(cè)和+Y側(cè)偏離的位置上分別形成有用于定位的定位區(qū)域 92。
而且，如圖9的右側(cè)放大表示的那樣，在各定位區(qū)域92上集中形成有作為位置 檢測(cè)時(shí)所用的位置檢測(cè)標(biāo)記的多個(gè)定位標(biāo)記60。包含在一個(gè)定位區(qū)域92內(nèi)的多個(gè) 定位標(biāo)記60被排列為二維網(wǎng)格狀。排列定位標(biāo)記60的間距P在X軸方向和Y軸方 向上都是一定的，在X軸方向和Y軸方向上相同(例如0.2mm)。還有，X軸方向和 Y軸方向雙方都能夠排列同樣數(shù)量n的定位標(biāo)記60 (n是自然數(shù)，例如10 20)。
多個(gè)定位標(biāo)記60分別為可記錄信息的信息記錄碼，圖10是用于說(shuō)明定位標(biāo)記 60的結(jié)構(gòu)的圖。如圖所示，定位標(biāo)記60構(gòu)成為正方形的矩陣型二維碼，在三個(gè)角 部上配置有呈正方形的規(guī)定圖樣的符號(hào)61，在這些符號(hào)的內(nèi)側(cè)配置有顯示信息的數(shù) 據(jù)區(qū)域62。
三個(gè)符號(hào)61規(guī)定定位標(biāo)記60的外輪廓，被用來(lái)識(shí)別定位標(biāo)記60的整個(gè)區(qū)域。 另外，三個(gè)符號(hào)6 1還規(guī)定成為定位標(biāo)記60內(nèi)的基準(zhǔn)的位置(下稱(chēng)"標(biāo)記基準(zhǔn)位置")。 本實(shí)施方式的定位標(biāo)記60中，其中央位置被設(shè)定為標(biāo)記基準(zhǔn)位置Ora。如圖所示， 通過(guò)求出三個(gè)符號(hào)61的對(duì)角線69交叉的位置從而能夠確定標(biāo)記基準(zhǔn)位置Om。
還有，在數(shù)據(jù)區(qū)域62上，正方形的多個(gè)單元63被排列為二維的網(wǎng)格狀。由于 這些單元63各自通過(guò)被設(shè)為黑色或白色來(lái)表示1比特的信息，所以數(shù)據(jù)區(qū)域62能 夠表現(xiàn)與單元63數(shù)目同樣數(shù)量的比特的信息。g卩，也可以說(shuō)數(shù)據(jù)區(qū)域62依據(jù)有無(wú) 黑色的單元63即點(diǎn)來(lái)表示信息。在圖10所示例出的本實(shí)施方式的定位標(biāo)記60中， 由6個(gè)X6個(gè)共36個(gè)單元63構(gòu)成數(shù)據(jù)區(qū)域62,所以可以記錄36比特的信息。此外， 在圖10所示例的情況的基礎(chǔ)上，通過(guò)增大作為定位標(biāo)記60內(nèi)的數(shù)據(jù)區(qū)域62的范圍， 或者增加單元63的數(shù)量，由此也可以記錄更多的信息。
在各定位標(biāo)記60中，被設(shè)定在作為主體部的基板9上的規(guī)定的基準(zhǔn)位置(下稱(chēng) "基板基準(zhǔn)位置")與自身的標(biāo)記基準(zhǔn)位置0m的相對(duì)位置被記錄在數(shù)據(jù)區(qū)域62內(nèi)。 在本實(shí)施方式中，在包含在數(shù)據(jù)區(qū)域62內(nèi)的36個(gè)單元63中的一半即18個(gè)單元63
內(nèi)記錄針對(duì)基板基準(zhǔn)位置的X軸方向(副掃描方向)上的位置即"X位置"，在剩余
的18個(gè)單元63內(nèi)記錄針對(duì)基板基準(zhǔn)位置的Y軸方向(主掃描方向)上的位置即"Y 位置"。
圖11是例示被記錄在一個(gè)定位區(qū)域92所包含的各定位標(biāo)記60上的信息的內(nèi)容 的圖。在圖中的各定位標(biāo)記60內(nèi)用所謂"(X位置，Y位置)"的形式表示該定位標(biāo) 記60表示的信息的內(nèi)容。本實(shí)施方式中，將基板基準(zhǔn)位置Os確定在-X側(cè)端部且-Y 側(cè)端部的定位標(biāo)記60的近旁。并且，各定位標(biāo)記60將從該基板基準(zhǔn)位置0s到自身 的標(biāo)記基準(zhǔn)位置Om的X軸方向上的距離作為"X位置"，將Y軸方向上的距離作為 "Y位置"，并分別以間距P (排列定位標(biāo)記60的間距P)為單位記錄下來(lái)。
在進(jìn)行基板9的定位時(shí)，根據(jù)這樣集中形成的多個(gè)定位標(biāo)記60的任一個(gè)來(lái)檢測(cè) 出基板9的位置。圖12是表示與基板9的定位(圖4的步驟S2)相關(guān)的處理的詳 細(xì)流程的圖。
首先，將載物臺(tái)10移動(dòng)到由基座11的位置規(guī)定的預(yù)定的定位位置(圖1、 2所 示的狀態(tài))。由此，在兩個(gè)攝影機(jī)41的下方分別配置形成在基板9上的兩個(gè)定位區(qū) 域92 (步驟S21)。然后，用兩個(gè)攝影機(jī)41分別拍攝基板9，取得數(shù)字圖像(步驟 S22)。所取得的圖像被存儲(chǔ)在控制器50內(nèi)的存儲(chǔ)器中，以便可以進(jìn)行各種圖像處理。
圖13是表示由該拍攝所取得的圖像70的一個(gè)例子的圖。此外，在圖13中，標(biāo) 上與實(shí)際的被攝物同樣的附圖標(biāo)記來(lái)表示圖像70中的被攝物的像。由于在攝影機(jī) 41的下方集中配置多個(gè)定位標(biāo)記60，所以，如圖所示，在圖像70中包含幾個(gè)定位 標(biāo)記60，其中至少一個(gè)完全包含著其整體圖像。這是如下這樣實(shí)現(xiàn)的將排列定位 標(biāo)記60的間距P (》定位標(biāo)記60自身的一個(gè)邊的長(zhǎng)度)設(shè)定為小于或等于基板9 上的拍攝范圍的一個(gè)邊的長(zhǎng)度L的1/2。此外，能夠由定位所需的精度(拍攝倍率) 來(lái)規(guī)定基板9上的拍攝范圍的一個(gè)邊的長(zhǎng)度L。
然后，通過(guò)位置導(dǎo)出部51在作為像而包含在圖像70內(nèi)的定位標(biāo)記60中，決定 完全包含整個(gè)像的一個(gè)定位標(biāo)記60，并將其作為"注視標(biāo)記"60t。此外，存在多 個(gè)完全包含整個(gè)像的定位標(biāo)記60時(shí)，例如只要將像的位置最接近圖像70的中心位 置的定位標(biāo)記60決定為注視標(biāo)記60t就可以。通過(guò)是否完全包含定位標(biāo)記60的三 個(gè)符號(hào)61的像來(lái)判斷是否完全包含定位標(biāo)記60的整個(gè)像(步驟S23)。
然后，通過(guò)位置導(dǎo)出部51的第一指定部53，從圖像70中的注視標(biāo)記60t的像 中讀取作為信息記錄碼的注視標(biāo)記60t的記錄內(nèi)容。由此，來(lái)指定注視標(biāo)記60t的
標(biāo)記基準(zhǔn)位置0m相對(duì)于基板基準(zhǔn)位置0s的"X位置"和"Y位置"。g卩，用第一指 定部53來(lái)指定基板基準(zhǔn)位置0s與注視標(biāo)記60t的標(biāo)記基準(zhǔn)位置0m的相對(duì)位置。根 據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)在控制部50內(nèi)的間距P的值通過(guò)第一指定部53將這些"X位置"和"Y 位置"換算成mm單位，從而將其分別設(shè)定為距離X1、 Yl (mm)(步驟S24)。
然后，用第二指定部54檢測(cè)圖像70中的注視標(biāo)記60t的像的位置。具體地說(shuō)， 求出從圖像70的中心位置(相當(dāng)于攝影機(jī)41的光學(xué)系統(tǒng)的光軸位置0p)到注視標(biāo) 記60t的標(biāo)記基準(zhǔn)位置Om的像的位置的、圖像70中的X軸方向和Y軸方向上各自 的距離。根據(jù)該注視標(biāo)記60t的三個(gè)記號(hào)61的像的位置來(lái)判斷注視標(biāo)記60t的標(biāo)記 基準(zhǔn)位置Om的像的位置。
而且，利用第二指定部54將這些圖像70中的距離換算成實(shí)際的基板9上的mm 單位的距離。由此，來(lái)指定從攝影機(jī)41的光軸位置0p到注視標(biāo)記60t的標(biāo)記基準(zhǔn) 位置0m的X軸方向和Y軸方向上各自的距離X2、 Y2 (mm)。 g卩，第二指定部54指 定注視標(biāo)記60t的標(biāo)記基準(zhǔn)位置0m與攝影機(jī)41的光軸位置Op的相對(duì)位置。此外， 在標(biāo)記基準(zhǔn)位置Om處于光軸位置Op的+X側(cè)的情況下，距離X2被設(shè)定為正值，而 標(biāo)記基準(zhǔn)位置0m處于光軸位置0p的-X側(cè)的情況下，距離X2被設(shè)定為負(fù)值。同樣 地，在標(biāo)記基準(zhǔn)位置0m處于光軸位置0p的+Y側(cè)的情況下，距離Y2被設(shè)定為正值， 而標(biāo)記基準(zhǔn)位置0m處于光軸位置0p的-Y側(cè)的情況下，距離Y2被設(shè)定為負(fù)值(步 驟S25)。
然后，根據(jù)上述那樣所指定出的距離X1、 Yl、 X2、 Y2通過(guò)第三指定部55來(lái)指 定基板9的位置。具體地說(shuō)，首先通過(guò)下式(1)和式(2)的運(yùn)算來(lái)指定從基板基 準(zhǔn)位置0s到攝影機(jī)41的光軸位置0p的X軸方向和Y軸方向上各自的距離X3、 Y3
X3= XI—X2 …(1) Y3= Y1—Y2 …(2)
艮口，指定基板基準(zhǔn)位置0s與攝影機(jī)41的光軸位置Op的相對(duì)位置。如上所述， 攝影機(jī)41相對(duì)基座11而被固定，裝載基板9的載物臺(tái)10被配置在由基座11的位 置規(guī)定的定位位置上，由此導(dǎo)出實(shí)質(zhì)上基板9相對(duì)于圖案繪制裝置1 (的基座ll) 的實(shí)際位置(步驟S26)。
而且，利用位置修正部52比較如上述那樣導(dǎo)出的距離X3、 Y3 (ram)與成為其理 想的距離XO、 Y0 (mm)。以將基板9正確配置在理想位置上的狀態(tài)通過(guò)預(yù)先計(jì)測(cè)來(lái)
求出該距離X0、 Y0，并存儲(chǔ)在控制部50的存儲(chǔ)器內(nèi)。然后，由位置修正部52通過(guò) 以下的公式(3)和(4)的運(yùn)算來(lái)導(dǎo)出基板9的實(shí)際位置偏離理想位置的X軸方向 和Y軸方向上各自的偏離量dX、 dY (mm)(步驟S27)。
dX= X3 — X0 …(3)
dY= Y3 — Y0 …(4)
這樣一來(lái)，若導(dǎo)出偏離量dX、 dY，位置修正部52就驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部20，來(lái)移動(dòng)載 物臺(tái)10和被保持在其上的基板9，以便修正所導(dǎo)出的偏離量dX、 dY。由此，將基板 9的位置修正到理想位置。偏離量dX、 dY被兩個(gè)攝影機(jī)41雙方分別求出。因此， 不僅求出基板9的X軸方向(副掃描方向)和Y軸方向(主掃描方向)上的偏離， 而且還能夠求出基板9沿Z軸上的偏離，由此利用主掃描機(jī)構(gòu)25、副掃描機(jī)構(gòu)23 和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)21來(lái)修正這些偏離(步驟S28)。在以后的處理中，由于對(duì)這樣修正過(guò) 位置的基板9繪制圖案，所以就能夠高精度地將圖案繪制在基板9上的正確位置處。
如上面說(shuō)明的那樣，圖案繪制裝置1在成為處理對(duì)象的基板9上，在作為定位 區(qū)域92的規(guī)定范圍內(nèi)集中形成有多個(gè)定位標(biāo)記60，該多個(gè)定位標(biāo)記60是分別記錄 了基板9上的基準(zhǔn)位置與自身的相對(duì)位置的信息記錄碼。在定位基板9時(shí)，由于拍 攝這樣集中有多個(gè)定位標(biāo)記60的定位區(qū)域92而取得圖像70，所以即使將拍攝倍率 設(shè)定為高倍率而縮小拍攝范圍，也能夠使多個(gè)定位標(biāo)記60的某一個(gè)包含在圖像70 之中。而且，作為像而包含在該圖像70中的一個(gè)定位標(biāo)記60被設(shè)定為注視標(biāo)記60t， 根據(jù)圖像70中的注視標(biāo)記60t導(dǎo)出基板9的位置，從而以一次拍攝就能夠檢測(cè)出基 板9的位置。
另外，通過(guò)讀取圖像70中的注視標(biāo)記60t的像表示的信息記錄碼來(lái)指定基板基 準(zhǔn)位置Os與注視標(biāo)記60t的相對(duì)位置，進(jìn)而根據(jù)圖像70中的注視標(biāo)記60t的像的 位置來(lái)指定注視標(biāo)記60t與攝影機(jī)41的相對(duì)位置。然后，根據(jù)這兩個(gè)相對(duì)位置指定 基板基準(zhǔn)位置0s與攝影機(jī)41的相對(duì)位置。利用這樣的方法就能夠精密地檢測(cè)出基 板9的位置。
2.第二實(shí)施方式
然后，說(shuō)明第二實(shí)施方式。以下，主要以與第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。 第一實(shí)施方式中，多個(gè)定位標(biāo)記60的定位標(biāo)記分別記錄著自身的位置。相反，在第 二實(shí)施方式中，多個(gè)定位標(biāo)記60各自不是記錄自身的位置，而是記錄著從其他定位 標(biāo)記60識(shí)別自身的識(shí)別信息，根據(jù)該識(shí)別信息就能夠指定定位標(biāo)記60的位置。
圖14是例示出包含在第二實(shí)施方式的一個(gè)定位區(qū)域92內(nèi)的各定位標(biāo)記60中所 記錄的信息的內(nèi)容的圖。在圖中的各定位標(biāo)記60中，將該定位標(biāo)記60表示的信息 的內(nèi)容示于括弧內(nèi)。如圖所示，各定位標(biāo)記60不是記錄自身的位置，而是記錄著兩 個(gè)字母。這些兩個(gè)的字母是用來(lái)識(shí)別多個(gè)定位標(biāo)記60的識(shí)別信息，并將唯一的識(shí)別 信息分配給每一個(gè)定位標(biāo)記60。
還有，在圖案繪制裝置1的控制部50的存儲(chǔ)器內(nèi)存儲(chǔ)著多個(gè)定位標(biāo)記60各自 的識(shí)別信息，和表示與對(duì)基板基準(zhǔn)位置的相對(duì)位置的對(duì)應(yīng)關(guān)系的對(duì)應(yīng)表。
圖15是表示這樣的對(duì)應(yīng)表Tb的一個(gè)例子的圖。如圖所示，對(duì)應(yīng)表Tb由多個(gè)記 錄(record)(行信息)構(gòu)成。而且，在各記錄中， 一個(gè)定位標(biāo)記60的識(shí)別信息聯(lián) 系著該定位標(biāo)記60的標(biāo)記基準(zhǔn)位置相對(duì)于基板基準(zhǔn)位置的"X位置"(mm)和"Y位 置"(rara)。因此，只要參照該對(duì)應(yīng)表Tb，就能夠根據(jù)定位標(biāo)記60的識(shí)別信息取得 該定位標(biāo)記60針對(duì)基板基準(zhǔn)位置的相對(duì)位置("X位置"和"Y位置")。
即便在本實(shí)施方式中，與基板9的定位相關(guān)的處理流程也與圖12所示的流程一 樣'不過(guò)僅利用第一指定部53進(jìn)行的基板基準(zhǔn)位置Os與注視標(biāo)記60t的標(biāo)記基準(zhǔn) 位置Om的相對(duì)位置的指定方法(步驟S24)不同。
在本實(shí)施方式的步驟S24中，首先，通過(guò)位置導(dǎo)出部51的第一指定部53從圖 像70中的注視標(biāo)記60t的像中讀取注視標(biāo)記60t的記錄內(nèi)容。通過(guò)該讀取來(lái)取得注 視標(biāo)記60t的識(shí)別信息，并根據(jù)所取得的識(shí)別信息參照對(duì)應(yīng)表Tb。由此，能夠通過(guò) 第一指定部53來(lái)指定注視標(biāo)記60t的標(biāo)記基準(zhǔn)位置0m針對(duì)基板基準(zhǔn)位置0s的相對(duì) 位置即"X位置"和"Y位置"，并分別被設(shè)定為距離X1、 Yl (rran)。以下的處理與 第一實(shí)施方式相同。
如上所述，在第二實(shí)施方式中，盡管定位標(biāo)記60自身并不記錄位置，但準(zhǔn)備對(duì) 應(yīng)表就能夠容易指定定位標(biāo)記60的位置。 3.其他實(shí)施方式
以上說(shuō)明了本發(fā)明的實(shí)施方式，但是本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式，可以 有各種各樣的變形。以下，來(lái)說(shuō)明這樣的其他實(shí)施方式。當(dāng)然，也可以將以下說(shuō)明 的方式進(jìn)行適當(dāng)?shù)慕M合。
在上述的實(shí)施方式中，在一張基板9上形成了兩個(gè)定位區(qū)域92，但是并不限于 此，也可以形成三個(gè)以上的定位區(qū)域92，另外，也可以?xún)H形成一個(gè)定位區(qū)域92。還 有，形成定位區(qū)域92的位置不限于基板9的X軸方向上的中央部位，也可以設(shè)定為
周緣部。
還有，各定位標(biāo)記60是二維地顯示信息的二維碼，但也可以是一維條形碼。但 是，為了能夠記錄較多的信息量，最好采用通過(guò)有無(wú)配置成二維網(wǎng)格狀的點(diǎn)來(lái)體現(xiàn) 信息的信息記錄碼。
另外，在第一實(shí)施方式中，各定位標(biāo)記60以排列定位標(biāo)記60的間距P為單位 記錄了 "X位置"和"Y位置"，但是也可以用一般的SI類(lèi)的單位(例如腿)記錄
"X位置"和"Y位置"。
還有，在第二實(shí)施方式中，由于各定位標(biāo)記60只要顯示從其他定位標(biāo)記識(shí)別自 身的識(shí)別信息就可以，所以也可以采用唯一的符號(hào)或樣式等，而不是記錄有信息的 信息記錄碼。
還有，在上述的實(shí)施方式中，使用線性電動(dòng)機(jī)作為各部的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，但是也可 以使用線性電動(dòng)機(jī)以外的公知的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。例如，也可以使用經(jīng)滾珠絲杠副將電動(dòng) 機(jī)的驅(qū)動(dòng)力轉(zhuǎn)換為直線運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)。
還有，在上述的實(shí)施方式中，對(duì)作為被配置在配置區(qū)域內(nèi)的處理對(duì)象的玻璃基 板9進(jìn)行圖案的繪制來(lái)作為規(guī)定的處理。g卩，成為位置檢測(cè)對(duì)象的被檢測(cè)物是濾色 鏡用的玻璃基板9，但是并不限定于此，任何東西都可以作為被檢測(cè)物。特別是在 以有二維擴(kuò)展的平板狀物體作為被檢測(cè)物的情況下，可以很好地應(yīng)用以上述實(shí)施方 式說(shuō)明的技術(shù)。
此外，不僅成為裝置進(jìn)行的處理的對(duì)象的處理對(duì)象物(代表性的有半導(dǎo)體襯底、 印刷電路板、等離子顯示裝置用玻璃基板等基板或印刷用紙等)，即使在裝置內(nèi)移動(dòng) 的可動(dòng)部件是被檢測(cè)物，也可以很好地應(yīng)用以上述實(shí)施方式說(shuō)明的技術(shù)。
例如，在上述實(shí)施方式的圖案繪制裝置l中，將作為配置在孔徑部36內(nèi)的可動(dòng) 部件的蒙罩設(shè)定為被檢測(cè)物，由此可以利用以上述實(shí)施方式說(shuō)明的技術(shù)。圖16是表 示此時(shí)的孔徑部36的結(jié)構(gòu)的圖。如圖所示，在孔徑部36的內(nèi)部設(shè)有蒙罩361; 兩個(gè)彈性件362，其由彈簧等構(gòu)成；以及兩個(gè)致動(dòng)器363,其作為使蒙罩361移動(dòng)的 移動(dòng)機(jī)構(gòu)。蒙罩361的-Y側(cè)端的X軸方向上的兩端部由兩個(gè)彈性構(gòu)件362施以向+Y 側(cè)的彈性力。另一方面，+Y側(cè)端的X軸方向上的兩端部連接在兩個(gè)致動(dòng)器363上。 按照這樣的構(gòu)成，維持蒙罩361的狀態(tài)的同時(shí)，通過(guò)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)致動(dòng)器363就能夠調(diào) 整該蒙罩361的狀態(tài)。
在蒙罩361上形成有用于蒙罩361狀態(tài)調(diào)整的兩個(gè)定位區(qū)域364。與上述實(shí)施方
式的定位區(qū)域92同樣地，在該定位區(qū)域364上集中形成有多個(gè)定位標(biāo)記。并且，在 孔徑部36內(nèi)設(shè)有用來(lái)拍攝這兩個(gè)定位區(qū)域364的攝影機(jī)366。利用具有在X軸方向 上延伸的規(guī)定的導(dǎo)軌部的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)365可以沿X軸方向移動(dòng)該攝影機(jī)366。
在調(diào)整蒙罩361的狀態(tài)時(shí)，沿X軸方向移動(dòng)攝影機(jī)366，并分別拍攝兩個(gè)定位區(qū) 域364來(lái)取得圖像。與上述實(shí)施方式一樣，根據(jù)由此得到的兩個(gè)圖像來(lái)檢測(cè)出蒙罩 361的位置。更加具體地說(shuō)，針對(duì)兩個(gè)定位區(qū)域364分別求出蒙罩361的實(shí)際位置 偏離理想位置的偏離量。此外，雖然攝影機(jī)366的光軸位置移動(dòng)，但是，在運(yùn)算方 面，只要利用拍攝各定位區(qū)域364的時(shí)刻的攝影機(jī)366的光軸位置就可以。由此來(lái) 求得蒙罩361的X軸方向和Y軸方向上的偏離以及繞Z軸的旋轉(zhuǎn)偏離。然后通過(guò)驅(qū) 動(dòng)致動(dòng)器363來(lái)修正這些偏離，從而將蒙罩361配置在理想的位置上。
這樣，即使將在裝置內(nèi)移動(dòng)的可動(dòng)部件作為被檢測(cè)物的情況下，也能夠高精度 地檢測(cè)出可動(dòng)部件的位置，所以，就能夠高精度地進(jìn)行可動(dòng)部件的對(duì)位。還有，由 于以將拍攝倍率設(shè)定為較高倍率的一次拍攝能夠檢測(cè)出被檢測(cè)物的位置，所以也可 以很好地用于在無(wú)法擴(kuò)展攝影機(jī)的拍攝范圍的狹窄的空間內(nèi)配置可動(dòng)部件的情況。
還有，在上述的實(shí)施方式中，將位置檢測(cè)裝置作為圖案繪制裝置來(lái)進(jìn)行說(shuō)明， 但是，只要是檢測(cè)被配置在規(guī)定的配置區(qū)域內(nèi)的被檢測(cè)物的位置，何種位置檢測(cè)裝 置都能夠很好地應(yīng)用上述實(shí)施方式中所說(shuō)明的技術(shù)。
另外，在上述的實(shí)施方式中，說(shuō)明了通過(guò)依據(jù)程序的CPU的運(yùn)算處理以軟件方 式來(lái)實(shí)現(xiàn)各種功能，但是也可以用電硬件電路來(lái)實(shí)現(xiàn)這些功能中的一部分。
權(quán)利要求
1.一種位置檢測(cè)方法，檢測(cè)被配置在規(guī)定配置區(qū)域內(nèi)的被檢測(cè)物的位置，其特征在于，包括拍攝工序，其拍攝所述被檢測(cè)物來(lái)取得圖像，其中，該被檢測(cè)物集中形成了各自能夠指定所述被檢測(cè)物上的基準(zhǔn)位置與自身的相對(duì)位置，即第一位置的多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記；位置導(dǎo)出工序，其根據(jù)在所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記中作為像而被包含在所述圖像中的一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的所述圖像中的像，來(lái)指定該一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的所述第一位置，并根據(jù)該第一位置導(dǎo)出所述被檢測(cè)物的位置。
2. 如權(quán)利要求1所述的位置檢測(cè)方法，其特征在于， 所述位置導(dǎo)出工序包括第一指定工序，其指定所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的所述第一位置； 第二指定工序，其根據(jù)所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像的位置，指定 所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記與拍攝所述圖像的拍攝裝置的相對(duì)位置作為第二位置；第三指定工序，其根據(jù)所述第一位置和所述第二位置指定所述被檢測(cè)物的位置。
3. 如權(quán)利要求1所述的位置檢測(cè)方法，其特征在于，所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的每個(gè)，用配置為二維網(wǎng)格狀的多個(gè)點(diǎn)的有無(wú)來(lái)表示信息；在所述位置導(dǎo)出工序中，根據(jù)所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像表示的 信息來(lái)指定所述第一位置。
4. 如權(quán)利要求1所述的位置檢測(cè)方法，其特征在于，所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的每個(gè)為記錄了有關(guān)自身的所述第一位置的信息記錄碼；在所述位置導(dǎo)出工序中，通過(guò)讀取所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像表 示的所述信息記錄碼來(lái)指定所述位置檢測(cè)標(biāo)記的所述第一位置。
5. 如權(quán)利要求1所述的位置檢測(cè)方法，其特征在于，所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的每個(gè)表示從其它的位置檢測(cè)標(biāo)記識(shí)別自身的識(shí)別信息，在所述位置導(dǎo)出工序中，根據(jù)表示所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記每個(gè)的所述識(shí)別信息 與所述第一位置的對(duì)應(yīng)關(guān)系的對(duì)應(yīng)表，和所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像 表示的所述識(shí)別信息來(lái)指定所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的所述第一位置。
6. 如權(quán)利要求2所述的位置檢測(cè)方法，其特征在于，所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的每個(gè)具有規(guī)定成為該位置檢測(cè)標(biāo)記內(nèi)的基準(zhǔn)的位置的 符號(hào)，在所述第二指定工序中，根據(jù)所述圖像中的所述符號(hào)的像來(lái)指定所述圖像中的 所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像的位置。
7. 一種位置檢測(cè)裝置，檢測(cè)被配置在規(guī)定配置區(qū)域內(nèi)的被檢測(cè)物位置，其特征 在于，具有拍攝裝置，其拍攝所述被檢測(cè)物來(lái)取得圖像，其中，該被檢測(cè)物集中形成了分 別能夠指定所述被檢測(cè)物上的基準(zhǔn)位置與自身的相對(duì)位置，即第一位置的多個(gè)位置 檢測(cè)標(biāo)記；位置導(dǎo)出裝置，其根據(jù)在所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記中作為像而被包含在所述圖像 中的一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的所述圖像中的像，來(lái)指定這一位置檢測(cè)標(biāo)記的所述第一位 置，并根據(jù)該第一位置導(dǎo)出所述被檢測(cè)物的位置。
8. 如權(quán)利要求7所述的位置檢測(cè)裝置，其特征在于， 所述位置導(dǎo)出裝置具有第一指定裝置，其指定所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的所述第一位置； 第二指定裝置，其根據(jù)所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像的位置，指定 所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記與所述拍攝裝置的相對(duì)位置來(lái)作為第二位置；第三指定裝置，其根據(jù)所述第一位置和所述第二位置來(lái)指定所述被檢測(cè)物的位置。
9. 如權(quán)利要求7所述的位置檢測(cè)裝置，其特征在于，所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的每個(gè)用配置為二維網(wǎng)格狀的多個(gè)點(diǎn)的有無(wú)來(lái)表示信息，所述位置導(dǎo)出裝置根據(jù)所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像表示的信息來(lái) 指定所述第一位置。
10. 如權(quán)利要求7所述的位置檢測(cè)裝置，其特征在于，所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的每個(gè)為記錄了有關(guān)自身的所述第一位置的信息記錄碼，所述位置導(dǎo)出裝置利用讀取所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像表示的所 述信息記錄碼，來(lái)指定所述位置檢測(cè)標(biāo)記的所述第一位置。
11. 如權(quán)利要求7所述的位置檢測(cè)裝置，其特征在于，所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的每個(gè)表示從其它的位置檢測(cè)標(biāo)記識(shí)別自身的識(shí)別信息，所述位置導(dǎo)出裝置根據(jù)表示所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記每個(gè)的所述識(shí)別信息與所述 第一位置的對(duì)應(yīng)關(guān)系的對(duì)應(yīng)表，和所述圖像中的所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像表示的 所述識(shí)別信息，來(lái)指定所述一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的所述第一位置。
12. 如權(quán)利要求8所述的位置檢測(cè)裝置，其特征在于，所述多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的每個(gè)具有規(guī)定成為該位置檢測(cè)標(biāo)記內(nèi)的基準(zhǔn)的位置的 符號(hào)，所述第二指定裝置根據(jù)所述圖像中的所述符號(hào)的像，來(lái)指定所述圖像中的所述 一個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記的像的位置。
13. 如權(quán)利要求7所述的位置檢測(cè)裝置，其特征在于，還具有處理裝置，其對(duì)配置在所述配置區(qū)域內(nèi)的處理對(duì)象物進(jìn)行規(guī)定的處理，所述被檢測(cè)物包含所述處理對(duì)象物。
14. 如權(quán)利要求7所述的位置檢測(cè)裝置，其特征在于，還具有可動(dòng)部件，其配置在所述配置區(qū)域內(nèi)，以及 移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述可動(dòng)部件移動(dòng)； 所述被檢測(cè)物包含所述可動(dòng)部件。
15. —種圖案繪制裝置，在形成感光材料的基板上繪制規(guī)則的圖案，其特征在于，具有配置區(qū)域，其對(duì)所述基板進(jìn)行配置；權(quán)利要求7所記載的位置檢測(cè)裝置，其檢測(cè)被配置在所述配置區(qū)域內(nèi)的所述基 板的位置；位置修正裝置，其根據(jù)所述位置檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果，將所述基板的位置修正 到規(guī)定的理想位置上；以及繪制裝置，其對(duì)通過(guò)所述位置修正裝置修正過(guò)位置的基板繪制所述圖案。
16. —種被檢測(cè)物，成為由位置檢測(cè)裝置產(chǎn)生的位置檢測(cè)對(duì)象，其特征在于，具有-主體部；多個(gè)位置檢測(cè)標(biāo)記，其集中形成在所述主體部上，并每個(gè)能夠指定所述主體部 上的基準(zhǔn)位置與自身的相對(duì)位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種以一次拍攝就能夠檢測(cè)出被檢測(cè)物的位置的技術(shù)。圖案繪制裝置在成為處理對(duì)象的基板(9)上，作為定位區(qū)域(92)的規(guī)定范圍內(nèi)集中形成有多個(gè)定位標(biāo)記(60)，這些定位標(biāo)記為分別記錄了基板(9)上的基準(zhǔn)位置與自身之間的相對(duì)位置的信息記錄碼。在定位基板(9)時(shí)，由于拍攝這樣集中著多個(gè)定位標(biāo)記(60)的定位區(qū)域(92)而取得圖像，所以即使將拍攝倍率設(shè)定為高倍率而縮小拍攝范圍，也能夠?qū)⒍鄠€(gè)定位標(biāo)記(60)的某一個(gè)包含在圖像之中。而且，作為像而包含在該圖像中的一個(gè)定位標(biāo)記(60)被設(shè)定為注視標(biāo)記，根據(jù)圖像中的注視標(biāo)記導(dǎo)出基板(9)的位置，從而通過(guò)一次拍攝就能夠檢測(cè)出基板(9)的位置。
文檔編號(hào)G03F7/20GK101178545SQ20071014260
公開(kāi)日2008年5月14日 申請(qǐng)日期2007年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月9日
發(fā)明者井上正雄 申請(qǐng)人:大日本網(wǎng)目版制造株式會(huì)社