專利名稱：光導(dǎo)波路用干膜及使用該干膜的光導(dǎo)波路的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光導(dǎo)波路用干膜及使用該干膜的光導(dǎo)波路的制造方法。
背景技術(shù)：
使用塑料等光固化性樹脂的光導(dǎo)波路與使用其他材料的光導(dǎo)波路 相比，由于經(jīng)光照射而固化，因此不會(huì)發(fā)生因溫度變化而導(dǎo)致的芯部和 包覆部的變形、芯部的缺損等。而且，由于光導(dǎo)波路是光固化性樹脂， 因此具有采用處理而容易進(jìn)行復(fù)雜光導(dǎo)波路形成的優(yōu)點(diǎn)。從這些角度出 發(fā)，期待著向低價(jià)格且高功能的光導(dǎo)波路部件的應(yīng)用。
以往的光導(dǎo)波路的制造方法如圖4A 圖4C所示。首先，準(zhǔn)備在下 部基材膜91上層疊有下部包覆層92的下部基板93。在下部基板93上 設(shè)置有芯94。此外，準(zhǔn)備在上部基材膜95上層疊有固化性樹脂層96 的上部基板97。之后，從該下部基板93的上方擠壓上部基板97。此時(shí)， 固化性樹脂層96因柔軟而變形，變成包圍芯94周邊的形狀。
之后，經(jīng)光照射，固化性樹脂層96變化成包覆層98。通過這樣的 操作，形成以包圍芯94周圍的方式形成有包覆層92、 98的光導(dǎo)波路裝 置卯(例如專利文獻(xiàn)l)。
專利文獻(xiàn)l:特開2005-115047號(hào)爿>才艮

發(fā)明內(nèi)容
然而，從下部基板93的上方擠壓上部基板97時(shí)，由于膜自身是柔 軟的，因此無法使芯94與上部基材膜95的距離為一定。芯94的周邊 包覆層的厚度發(fā)生變化會(huì)對(duì)在芯94內(nèi)傳播的光學(xué)特性造成影響。此夕卜， 由于無法確定芯94在包覆層內(nèi)的位置，所以在實(shí)際安裝該光導(dǎo)波路時(shí) 難以確定位置。本發(fā)明是為了解決這樣的問題而完成的，其目的在于提 供光導(dǎo)波路用干膜及使用該干膜的光導(dǎo)波路的制造方法。
4本發(fā)明的第一實(shí)施方式的光導(dǎo)波路用干膜，具有基材膜、在所述基 材膜上形成的固化包覆層、以及在所述包覆層上形成的未固化的芯部形 成用組合物層。本發(fā)明的第二實(shí)施方式的光導(dǎo)波路用干膜，是上述的光 導(dǎo)波路用干膜，其特征在于，所述芯部形成用組合物層是光固化性樹脂 層。
本發(fā)明的第三實(shí)施方式的光導(dǎo)波路用干膜，具有基材膜、在所述基 材膜上形成的固化包覆層、以及在所述包覆層上形成的未固化的包覆部 形成用組合物層。本發(fā)明的第四實(shí)施方式的光導(dǎo)波路用干膜，是上述的 光導(dǎo)波路用干膜，其特征在于，所述包覆部形成用組合物層是光固化性 樹脂層。
本發(fā)明的第五實(shí)施方式的光導(dǎo)波路用干膜，是上述的光導(dǎo)波路用干
膜，其特征在于，所述基材膜使50%以上的用于使所述固化性樹脂固化 的光透過。通過使用該基材膜，光從基材膜入射到干膜上，可以使未固 化的固化性樹脂固化。本發(fā)明的第六實(shí)施方式的光導(dǎo)波路用干膜，是上 述的光導(dǎo)波路用干膜，其特征在于，進(jìn)一步層疊剝離膜而成。通過這樣 進(jìn)行，可以容易地對(duì)未固化的層進(jìn)行處理。
本發(fā)明的第七實(shí)施方式的光導(dǎo)波路的制造方法，其特征在于，是具 有傳播光的芯部、以及以包圍所述芯部周圍的方式配設(shè)的包覆部的光導(dǎo) 波路的制造方法，將具有第一基材膜、第一包覆層和芯部的第一層疊膜 以及具有第二基材膜和第二包覆層的第二層疊膜，以所述第 一層疊膜的 所述芯部與所述第二層疊膜的所述第二包覆層相對(duì)的方式，介由包覆部 形成用固化性樹脂層而貼合，使由所述第一層疊膜和所述第二層疊膜所 夾持的包覆部形成用固化性樹脂層固化，其中，所述第一包覆層形成于 所述第一基材膜上，所述芯部形成于所述第一包覆層上并且比所述包覆 層的折射率高，所述第二包覆層形成于所述第二基材膜上。通過這樣進(jìn) 行，可以使光導(dǎo)波路的包覆層的厚度均一。
本發(fā)明的第八實(shí)施方式的光導(dǎo)波路的制造方法。其特征在于，是具 有傳播光的芯部、以及以包圍所述芯部周圍的方式配設(shè)的包覆部的光導(dǎo) 波路的制造方法，將具有第一基材膜、第一包覆層和芯部的第一層疊膜 以及由具有第二基材膜、第二包覆層和固化性樹脂層的干膜制成的第二 層疊膜，以所述第一層疊膜的芯部與所述第二層疊膜的固化性樹脂層相對(duì)的方式貼合，使所述固化性樹脂層固化，其中，所述第一包覆層形成 于所述第 一基材膜上，所述芯部形成于所述第 一 包覆層上并且比所述第 一包覆層的折射率高，所述第二包覆層形成于所述第二基材膜上，所述 固化性樹脂層形成在所述第二包覆層上并由包覆層形成用固化性樹脂 形成。通過這樣進(jìn)行，可以使光導(dǎo)波路中的包覆層的厚度一定。
本發(fā)明的第九實(shí)施方式的光導(dǎo)波路的制造方法，是上述光導(dǎo)波路的 制造方法，其特征在于，使用透過所述基材膜的光來使所述固化性樹脂 固化。通過這樣進(jìn)行，可以通過使光從基材膜入射而容易地使光固化性 樹脂固化。
本發(fā)明的第十實(shí)施方式的光導(dǎo)波路的制造方法，是上述光導(dǎo)波路的 制造方法，其特征在于，所述包覆層和所述芯層的相對(duì)折射率差為1% 以上。由此，可以制成高效的導(dǎo)波光的光導(dǎo)波路。
本發(fā)明的第十一實(shí)施方式的光導(dǎo)波路的制造方法，其特征在于，所 述包覆層和所述芯層由使組成比變化的相同構(gòu)成物質(zhì)制成。通過用使組 成比變化的相同構(gòu)成物質(zhì)制成，能夠使芯部和包覆層的粘合性良好。
根據(jù)本發(fā)明的光導(dǎo)波路的制造方法，可以使芯部周邊的包覆層的厚 度一定。由此，可以改良光導(dǎo)波路的光學(xué)特性。此外，由于包覆膜厚均 一，所以與光學(xué)部件的位置匹配容易，此外，作為膜導(dǎo)波路的彎曲耐久 性提高。


圖1A是表示本發(fā)明的光導(dǎo)波路的下部基板的制造方法的第一工序 的圖。
圖1B是表示本發(fā)明的光導(dǎo)波路的下部基板的制造方法的第二工序 的圖。
圖1C是表示本發(fā)明的光導(dǎo)波路的下部基板的制造方法的第三工序 的圖。
圖1D是表示本發(fā)明的光導(dǎo)波路的下部基板的制造方法的第四工序 的圖。圖IE是表示本發(fā)明的光導(dǎo)波路的下部基板的制造方法的第五工序 的圖。
圖2A是表示本發(fā)明的光導(dǎo)波路的上部基板的制造方法的第一工序 的圖。
圖2B是表示本發(fā)明的光導(dǎo)波路的上部基板的制造方法的第二工序 的圖。
圖2C是表示本發(fā)明的光導(dǎo)波路的上部基板的制造方法的第三工序 的圖。
圖2D是表示本發(fā)明的光導(dǎo)波路的上部基板的制造方法的第四工序 的圖。
圖3A是表示本發(fā)明的光導(dǎo)波路的制造方法的第一工序的圖。 圖3B是表示本發(fā)明的光導(dǎo)波路的制造方法的第二工序的圖。 圖3C是表示本發(fā)明的光導(dǎo)波路的制造方法的第三工序的圖。 圖4A是表示以往的光導(dǎo)波路的制造方法的第一工序的圖。 圖4B是表示以往的光導(dǎo)波路的制造方法的第二工序的圖。 圖4C是表示以往的光導(dǎo)波路的制造方法的第三工序的圖。
符號(hào)說明
10下部基板部 ll下部基材膜 12包覆形成用光固化樹脂層 13 下部包覆層 21芯部形成用光固化性樹脂層 22芯部 30上部基板部 31上部基材膜32包覆形成用光固化樹脂層33上部包覆層34包覆 形成用光固化樹脂層35剝離膜36包覆層卯光導(dǎo)波路裝置 91下 部基材膜92下部包覆層 93下部基板94芯 95上部基材膜96 固化性樹脂層 97上部基板98包覆層
具體實(shí)施例方式
以下，邊參照附圖邊對(duì)應(yīng)用本發(fā)明的具體實(shí)施方式
進(jìn)行詳細(xì)說明。
7本實(shí)施方式將本發(fā)明應(yīng)用于光導(dǎo)波路用干膜及使用該干膜的光導(dǎo)波路 的制造方法中。在本實(shí)施方式的光導(dǎo)波路的制造方法中，通過將預(yù)先固 化的包覆層形成在芯的上下，在該包覆層中夾入芯，由此可以使芯周邊 部的包覆層的厚度均一化。另外，在本實(shí)施方式中，以使用光固化性樹 脂層作為固化性樹脂層的情況為例進(jìn)行說明。
作為光導(dǎo)波路用的固化性組合物的例子，可以列舉含有具有乙烯性 不飽和基團(tuán)等聚合性官能團(tuán)的樹脂和/或聚氨酯(甲基)丙烯酸酯低聚 物、聚合性單體、光聚合引發(fā)劑等的組合物。對(duì)于芯用組合物，通過將
所述具有乙烯性不飽和基團(tuán)等聚合性官能團(tuán)的樹脂制成堿可溶性，可以 使組合物進(jìn)行堿顯影。
這里，具有乙烯性不飽和基團(tuán)等聚合性官能團(tuán)的樹脂，例如可以通 過使含有縮水甘油基和乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物、含有異氰酸酯基和 乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物或者丙烯酰氯與具有羧基、羥基的聚(甲基) 丙烯酸酯進(jìn)行加成反應(yīng)而得到。此時(shí)，通過使丙烯酸、曱基丙烯酸共聚， 就可以通過在樹脂中導(dǎo)入羧基而制成能夠堿顯影的樹脂。此外，還可以 使用如下的化合物，即，包含聚環(huán)氧乙烷結(jié)構(gòu)、聚環(huán)氧丙烷結(jié)構(gòu)、重復(fù)
具有尿烷鍵的直鏈結(jié)構(gòu)，且具有2 6個(gè)(甲基)丙烯?；幕衔?。
聚氨酯(甲基)丙烯酸酯低聚物是聚酯多元醇化合物和聚異氰酸酯 化合物以及含羥基(甲基)丙烯酸酯的反應(yīng)物。
作為多元醇化合物，是在分子內(nèi)具有2個(gè)以上羥基的化合物。作為 這樣的化合物，可以列舉芳香族聚醚多元醇、脂肪族聚醚多元醇、脂環(huán) 族聚醚多元醇、聚酯多元醇、聚碳酸酯多元醇、聚己內(nèi)酯多元醇等。其 中，為了使基板與光導(dǎo)波路的粘合性進(jìn)一步提高，優(yōu)選使用包含亞烷基 氧結(jié)構(gòu)的聚醚多元醇化合物。
作為聚異氰酸酯化合物，是在分子內(nèi)具有2個(gè)以上的異氰酸酯基的 化合物。
此外，作為含羥基(甲基)丙烯酸酯，是在分子內(nèi)具有羥基和(甲 基)丙烯?；幕衔铩?br> 構(gòu)成本發(fā)明的聚氨酯(甲基)丙烯酸酯低聚物的各原料的配合比例，例如，相對(duì)于含羥基(甲基)丙烯酸酯1摩爾，多元醇化合物為0.5~2 摩爾，聚異氰酸酯化合物為1~2.5摩爾。
聚氨酯(曱基)丙烯酸酯低聚物的數(shù)均分子量(用凝膠滲透色譜測 定的按聚苯乙烯換算的值)優(yōu)選是1，000~100,000，更優(yōu)選3,000-60,000， 特別優(yōu)選5，000~30,000。數(shù)均分子量小于1,000時(shí)，對(duì)于膜狀固化物而 言難以得到充分的抗彎曲性。此外，數(shù)均分子量超過100,000時(shí)，組合 物的粘度過高，有時(shí)涂布性變差。
此外，作為聚氨酯(甲基)丙烯酸酯低聚物的制造方法，可以列舉 例如下面的制法1 4。
制法1:將多元醇化合物、聚異氰酸酯化合物和含羥基(甲基)丙 烯酸酯一次性地加入并使其反應(yīng)的方法。
制法2:使多元醇化合物和聚異氰酸酯化合物反應(yīng)，然后使含羥基 (甲基)丙烯酸酯反應(yīng)的方法。
制法3:使聚異氰酸酯化合物和含羥基(甲基)丙烯酸酯反應(yīng)，然 后使多元醇化合物反應(yīng)的方法。
制法4:使聚異氰酸酯化合物和含羥基(甲基)丙烯酸酯反應(yīng)，然 后使多元醇化合物反應(yīng)，最后再使含羥基(甲基)丙烯酸酯反應(yīng)的方法。
制法1~4中，制法2 4在控制分子量分布方面是優(yōu)選的。
此處，作為聚合性單體的例子，可以列舉三羥甲基丙烷三(甲基) 丙烯酸酯、二 (三羥甲基丙烷)四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲 基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基) 丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、 三(2-羥乙基)異氰脲酸酯三(甲基)丙烯酸酯、二 (甲基)丙烯酸乙 二醇酯、二 (曱基)丙烯酸1, 3-丁二醇酯、二 (甲基)丙烯酸1， 4-丁二醇酯、二 (甲基)丙烯酸1， 6-己二醇酯、二 (甲基)丙烯酸新戊 二醇酯、二乙二醇二 (甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二 (甲基)丙烯酸酯、 二丙二醇二 (甲基)丙烯酸酯、雙(2-羥乙基)異氰脲酸酯二 (甲基) 丙烯酸酯、雙((曱基)丙烯酰氧基甲基)三環(huán)[5.2.1.02，6癸烷及制造這些化合物時(shí)的起始醇類的環(huán)氧乙烷或環(huán)氧丙烷加成物的聚(甲基)丙烯
酸酯類、在分子內(nèi)具有2個(gè)以上的(甲基)丙烯?；牡途埘?甲基) 丙烯酸酯類、低聚醚(甲基)丙烯酸酯類、低聚聚氨酯(甲基)丙烯酸 酯類和低聚環(huán)氧(甲基)丙烯酸類等。
作為光聚合引發(fā)劑的例子，可以列舉2， 2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、 2-羥基-2-甲基-l-苯基丙烷-l-酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮、2， 4, 6-三甲基 苯甲?；交趸?、2-甲基-1-[4-(曱硫基)苯基-2-嗎啉代丙烷-1-酮、2- (二甲基氨基)-1-[4-(嗎啉基)苯基-2-苯基甲基)-l-丁酮等。
在膜上形成所述"含有具有乙烯性不飽和基團(tuán)等聚合性官能團(tuán)的樹 脂和/或聚氨酯(甲基)丙烯酸酯低聚物、聚合性單體、光聚合引發(fā)劑 等的組合物層"的方法是，將所述各成分溶解于下列溶劑中而得到的組 合物，用輥涂、凹版涂布、口模涂布等方法涂布在膜上之后，除去溶劑 (干燥)，從而可以形成具有感光性的組合物層，其中，所述溶劑為甲 基異丁酮、丙酮、甲基乙基酮、環(huán)己酮、四氫呋喃、二嗨烷、乙二醇單 甲基醚、乙二醇乙基醚丙酮、二乙二醇乙基醚丙酮、甲苯、乙酸乙酯、 2-羥基丙酸乙酯等。此時(shí)，在無損作為干膜的特性的范圍，也可以殘留 例如5質(zhì)量％左右的溶劑。
此外，也可以通過^f吏用2， 2，-偶氮二異丁腈、2， 2，-偶氮二 (2, 4-二甲基戊腈)、2， 2，-偶氮二(4-曱氧基-2，-二曱基戊腈)、過氧化苯甲酰、 過氧化月桂酰、叔丁基過氧化新戊酸酯等熱分解性自由基引發(fā)劑來代替 上述光聚合引發(fā)劑，從而獲得熱固化性組合物。
本實(shí)施方式的光導(dǎo)波路的制造方法中的下部基板和芯部的制造方 法示于圖1A 圖1E中。首先，如圖1A所示，在下部基材膜ll上涂布 將第一光固化性樹脂溶解在溶劑中而得到的溶液。然后，通過使溶劑蒸 發(fā)而在下部基材膜11上層疊包覆形成用光固化樹脂層12。包覆形成用 光固化樹脂層12經(jīng)光照射而變化成下部包覆層13。由此，形成在下部 基材膜11上層疊有下部包覆層13的下部基板部10 (參照?qǐng)D1B)。
在下部基板部10上涂布已調(diào)整為比下部包覆層13的折射率高的第 二光固化性樹脂的溶液。然后通過使溶劑蒸發(fā)，層疊芯部形成用光固化 性樹脂層21 (參照?qǐng)D1C)。在芯部形成用光固化性樹脂層21中，通過
10遮蓋成為芯部的位置以外的部分而照射光，形成芯部22 (參照?qǐng)D1D)。 芯部22以外的部分經(jīng)顯影而除去。這樣，就形成芯部(參照?qǐng)D1E)。
接下來，將本實(shí)施方式的光導(dǎo)波路的制造方法中的上部基板的制造 方法示于圖2A 圖2D。在上部基材膜31上涂布將第一光固化性樹脂溶 解于溶劑中而得到的溶液。然后，通過使溶液蒸發(fā)，將包覆形成用光固 化樹脂層32層疊于上部基材膜31上(參照?qǐng)D2A)。包覆形成用光固化 樹脂層32通過照射光，變化成上部包覆層33 (參照?qǐng)D2B )。
在上部包覆層33上，再次涂布將第一光固化性樹脂層溶解于溶劑 中而得到的溶液。然后，通過使溶液蒸發(fā)，將包覆形成用光固化樹脂層 34層疊于上部包覆層33上(參照?qǐng)D2C)。對(duì)于形成包覆形成用光固化 樹脂層34和上部包覆層33的組合物，可以使用相同的組合物，也可以 使用不同的組合物。此時(shí)，包覆形成用光固化樹脂層34,優(yōu)選相對(duì)于上 述芯部22的高度為1-1.2倍的膜厚。這是由于，當(dāng)包覆形成用光固化樹 脂層34的膜厚比芯部22的高度薄時(shí)，在之后與形成有芯部22的層疊 體粘合時(shí)，有可能會(huì)在下部包覆層13和包覆形成用光固化樹脂層34之 間產(chǎn)生空隙。另一方面是由于，包覆形成用光固化樹脂層34的膜厚超 過芯部22高度的1.2倍時(shí)，在與形成有芯部22的層疊體貼合時(shí)的作業(yè) 性變差。在包覆形成用光固化樹脂層34上，還可以形成用于使得作為 干膜的處理容易的剝離膜35 (參照?qǐng)D2D)。由此，形成上部基板部30。
接著，將本實(shí)施方式的光導(dǎo)波路的制造方法示于圖3A 圖3C。上部 基板部30的狀態(tài)中，包覆形成用光固化樹脂層34還未固化。因此，包 覆形成用光固化樹脂層34為柔軟的狀態(tài)。這里，如圖3A所示，將下部 基板部10的形成有芯部22側(cè)與上部基板部30的包覆形成用光固化樹 脂層34側(cè)貼合。此時(shí)，在包覆形成用光固化樹脂層34上形成有剝離膜 35時(shí)，必須將剝離膜35剝離。
通過如上所述進(jìn)行貼合，則包覆形成用光固化樹脂層34如圖3B所 示，位于芯部22的周圍。此時(shí)，包覆形成用光固化樹脂層34有可能會(huì) 從下部包覆層13上露出，要將該露出部分除去。而且，在將下部基板 部10和上部基板部30貼合時(shí)，以使得芯部22與上部包覆層33接觸的 方式貼合。然后，通過照射光，包覆形成用光固化樹脂層34被固化， 變化成包覆層36 (參照?qǐng)D3C )。通過這樣進(jìn)行，包覆形成用光固化樹脂層34就被夾持在固化的上 部包覆層33和固化的下部包覆層13中，而且被上部包覆層33和下部 包覆層13所夾持的芯部22作為間隔物(spacer)而發(fā)揮功能。即，可 以使得上部基材膜31和下部基材膜11之間的包覆層的厚度為一定。進(jìn) 而，由于芯部22和上部基材膜31之間的間隔以及芯部22和下部基材 膜ll之間是預(yù)先固化的包覆層13、 33，所以可以使位于芯部22上下的 包覆層的厚度均一。由此，就可以使得芯部22周邊的包覆層的厚度均 一，因此可以改良在芯部22傳播的光的光學(xué)特性。
此外，下部基材膜11或上部基材膜31可以使用用于使在上述的制 造方法中使用的光固化性樹脂固化的光透過的基材膜。這是由于，可以 通過使用于使光固化性樹脂固化的光透過基材膜而入射。通過這樣進(jìn) 行，就可以容易地使光固化性樹脂固化。
進(jìn)而，包覆層13、 33、 36和芯部22的相對(duì)折射率差A(yù)優(yōu)選為1% 以上。該相對(duì)折射率差A(yù)是指下式所示的值。
△ = ( nl-n2 ) /nl
這里，nl是芯部22的折射率，n2是包覆層13、 33、 36折射率。通 過這樣進(jìn)行，由于可以將光關(guān)閉在芯部22內(nèi)，因此可以制成良好的光 導(dǎo)波路。
進(jìn)而，還優(yōu)選用使組成比變化的相同構(gòu)成物質(zhì)來制作芯部22和包 覆層13、 33、 36。通過用使組成比變化的相同構(gòu)成物質(zhì)來制作，可以改 良芯部22與包覆層13、 33、 36的粘合性。此外，用于使光固化性樹脂 固化的光可以使用紫外光。這是由于，通過使用紫外光，可以使用透明 的基材膜和樹脂。
在以上那樣的光導(dǎo)波路的制造方法中，通過使包覆形成用光固化樹 脂層34位于固化的下部包覆層13和固化的上部包覆層33之間，可以 利用包覆形成用光固化樹脂層34來包圍芯部22。此外，將剝?nèi)冸x膜 35的上部基板部30向已制成有芯部22的下部基板部10上擠壓時(shí)，通 過固化的上部包覆層33與芯部22進(jìn)行接觸，可以下部基材膜11和上 部基材膜31之間的厚度確定一致。此外，由于預(yù)先經(jīng)光固化，所以芯部22的上部基材膜31側(cè)的上部 包覆層33的厚度、以及下部基材膜11側(cè)的下部包覆層13的厚度均可 以為一定的厚度。由此，就可以使芯部22在包覆層中的位置均一。因 此，容易與光學(xué)部件的位置匹配，而且作為膜導(dǎo)波路的彎曲耐久性提高。
另外，本發(fā)明不僅限于上述的實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明的主旨的 范圍，當(dāng)然可以進(jìn)行各種變更。此外，固化性樹脂不僅限于光固化性樹 脂，還可以使用熱固化性樹脂。
權(quán)利要求
1. 一種光導(dǎo)波路用干膜，其特征在于，具有基材膜、在所述基材膜上形成的包覆層、以及在所述包覆層上形成的未固化的芯部形成用組合物層。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的光導(dǎo)波路用干膜，其特征在于，所述芯 部形成用組合物層是光固化性樹脂層。
3. —種光導(dǎo)波路用干膜，其特征在于，具有 基材膜、在所述基材膜上形成的包覆層、以及 在所述包覆層上形成的未固化的包覆部形成用組合物層。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的光導(dǎo)波路用干膜，其特征在于，所述包 覆部形成用組合物層是光固化性樹脂層。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l-4中任一項(xiàng)所述的光導(dǎo)波路用干膜，其特征在 于，所述基材膜使50%以上的用于使所述固化性樹脂固化的光透過。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的光導(dǎo)波路用干膜，其特征在 于，進(jìn)一步層疊有剝離膜。
7. —種光導(dǎo)波路的制造方法，其特征在于，是具有傳播光的芯部、 以及以包圍所述芯部周圍的方式配設(shè)的包覆部的光導(dǎo)波路的制造方法，將具有第一基材膜、第一包覆層和芯部的第一層疊膜以及具有第二 基材膜和第二包覆層的第二層疊膜，以所述第一層疊膜的所述芯部與所 述第二層疊膜的所述第二包覆層相對(duì)的方式，介由包覆部形成用固化性 樹脂層而貼合，使由所述第一層疊膜和所述第二層疊膜所夾持的包覆部形成用固 化性樹脂層固化，其中，所述第一包覆層形成于所述第一基材膜上，所述芯部形成于 所述第一包覆層上并且比所述包覆層的折射率高，所述第二包覆層形成 于所述第二基材膜上。
8. —種光導(dǎo)波路的制造方法，其特征在于，是具有傳播光的芯部、 以及以包圍所述芯部周圍的方式配設(shè)的包覆部的光導(dǎo)波路的制造方法，將具有第一基材膜、第一包覆層和芯部的第一層疊膜以及由具有第 二基材膜、第二包覆層和固化性樹脂層的干膜構(gòu)成的第二層疊膜，以所述第一層疊膜的芯部與所述第二層疊膜的固化性樹脂層相對(duì)的方式貼 合，使所述固化性樹脂層固化，其中，所述第一包覆層形成于所述第一基材膜上，所述芯部形成于 所述第 一 包覆層上并且比所述第 一 包覆層的折射率高，所述第二包覆層 形成于所述第二基材膜上，所述固化性樹脂層形成在所述第二包覆層上 并由包覆層形成用固化性樹脂構(gòu)成。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的光導(dǎo)波路的制造方法，其特征在于， 使用透過所述基材膜的光來使所述固化性樹脂固化。
10. 根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的光導(dǎo)波路的制造方法，其特征在于， 所述包覆層與所述芯層的相對(duì)折射率差為1%以上。
11. 根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的光導(dǎo)波路的制造方法，其特征在于， 所述包覆層和所述芯層由使組成比變化的相同構(gòu)成物質(zhì)制成。
全文摘要
本發(fā)明提供可以使芯部周邊的包覆層的厚度為一定的光導(dǎo)波路的制造方法。一種光導(dǎo)波路的制造方法，其特征在于，通過如下方法形成第一層疊膜在第一基材膜上形成包覆形成用第一固化性樹脂層，通過使其固化形成包覆層，在該包覆層上形成固化后的折射率比包覆層高的芯形成用第二固化性樹脂層，通過選擇性地使其固化而形成芯部。通過如下方法形成第二層疊膜在第二基材膜上形成包覆形成用第三固化性樹脂層，通過使其固化形成包覆層。將形成有芯部的第一層疊膜和第二層疊膜介由包覆形成用第四固化性樹脂層貼合，使第一層疊膜和第二層疊膜所夾持的固化性樹脂層固化，從而制成包覆層。
文檔編號(hào)G02B6/13GK101490590SQ20078002687
公開日2009年7月22日 申請(qǐng)日期2007年7月18日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月18日
發(fā)明者江利山祐一 申請(qǐng)人:Jsr股份有限公司