專(zhuān)利名稱(chēng)：：有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及有機(jī)薄膜晶體管(OrganicThinFilmTransistor,OTFT)用感光性樹(shù)脂組合物，特別是涉及如下有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物，該組合物應(yīng)用于如有機(jī)薄膜晶體管、利用該有機(jī)薄膜晶體管的柔性顯示屏和OLED(有機(jī)發(fā)光二極管)這樣的需要低溫固化工序的顯示屏的層間絕緣膜和保護(hù)膜時(shí)，能夠在熱處理工序時(shí)將殘余溶劑的量降至最少，同時(shí)因固化度高而確保耐熱性和耐化學(xué)穩(wěn)定性。
背景技術(shù)：
：最近，隨著顯示屏的大型化，其銷(xiāo)售價(jià)格有持續(xù)降低的趨勢(shì)，由此人們不斷努力降低其成本，并且對(duì)利用有機(jī)物質(zhì)的元件的開(kāi)發(fā)方興未艾。最近，由于顯示屏的低價(jià)格化，因此與利用現(xiàn)有的無(wú)機(jī)半導(dǎo)體制作出的元件相比較，對(duì)有機(jī)薄膜晶體管的開(kāi)發(fā)在成本方面是有利的，同時(shí)利用有機(jī)薄膜晶體管能夠賦予元件柔軟性這樣的優(yōu)點(diǎn)，可以預(yù)期其在柔性顯示元件的實(shí)現(xiàn)中將起到核心的作用。但是，在現(xiàn)有的20(TC以上的高溫工序中將有機(jī)薄膜晶體管應(yīng)用于柔性顯示元件制造工序時(shí)，通道部所使用的有機(jī)半導(dǎo)體(OrganicSemicondutor)的遷移率急劇降低，出現(xiàn)塑料基板熱變形這樣的問(wèn)題。為了解決這樣的問(wèn)題，需要15(TC以下的低溫工序，但使用現(xiàn)有的TFT-LCD所使用的層間絕緣膜用感光性樹(shù)脂組合物時(shí)，會(huì)出現(xiàn)一些問(wèn)題。其原因是，現(xiàn)有的絕緣膜是基于在20(TC以上的高溫下進(jìn)行固化的原理設(shè)計(jì)的，而當(dāng)固化溫度降低到15(TC以下時(shí)，膜內(nèi)未揮發(fā)的殘留的溶劑的量增多，該殘留溶劑是通過(guò)交聯(lián)作用基團(tuán)間的空間位阻而使固化度降低的主要因素。這樣，在有機(jī)絕緣膜的固化度較低的情況下，會(huì)出現(xiàn)如下問(wèn)題在導(dǎo)電性薄膜(ITO)的蒸鍍、取向膜的涂布和固化等各個(gè)階段的熱處理工序中耐熱性降低，不僅如此，特別是因在后續(xù)工序中使用的溶劑的表面浸透導(dǎo)致溶脹(swelling)和粘結(jié)力降低這樣的耐化學(xué)特性劣化。
發(fā)明內(nèi)容為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物和利用了該感光性樹(shù)脂組合物的圖案形成方法，該組合物應(yīng)用于如有機(jī)薄膜晶體管、利用該有機(jī)薄膜晶體管的柔性顯示屏和OLED這樣的需要低溫固化工序的顯示屏的層間絕緣膜和保護(hù)膜時(shí)，能夠在熱處理工序時(shí)將殘余溶劑的量降至最少，同時(shí)因固化度高而能夠確保耐熱性和耐化學(xué)穩(wěn)定性。并且，本發(fā)明提供含有有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的固化物的有機(jī)薄膜晶體管。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，在有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物中含有a)玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)或熔融溫度為90'C14(TC的丙烯酸系共聚物、線(xiàn)型酚醛樹(shù)脂或聚酰亞胺樹(shù)脂；b)1，2-醌二疊氮化合物；和c)溶劑，該溶劑的沸點(diǎn)為9(TC150。C，并且將n-BA(乙酸正丁酯)的蒸發(fā)速率設(shè)定為1時(shí)，該溶劑的蒸發(fā)速率為0.31.0。優(yōu)選上述有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物含有a)100重量份玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)或熔融溫度為90'C14(TC的丙烯酸系共聚物、線(xiàn)型酚醛樹(shù)脂或聚酰亞胺樹(shù)脂；b)5重量份50重量份1，2-醌二疊氮化合物；和c)使上述a)+b)的固體組分含量達(dá)到10重量％50重量％的溶劑，該溶劑的沸點(diǎn)為9(TC15(TC，并且將n-BA(乙酸正丁酉旨)的蒸發(fā)速率設(shè)定為1時(shí)，該溶劑的蒸發(fā)速率為0.31.0。并且，本發(fā)明提供利用了上述有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的有機(jī)薄膜晶體管的圖案形成方法。并且，本發(fā)明提供含有上述有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的固化物的有機(jī)薄膜晶體管。本發(fā)明的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物在低溫固化條件下固化度優(yōu)異，特別是由于在90'C15(TC的低溫工序中固化度高而具有優(yōu)異的耐熱性和耐化學(xué)特性，因此其作為需要低溫工序的有機(jī)薄膜晶體管的層間絕緣膜是適合的，不僅如此，其還能夠用作利用了該有機(jī)薄膜晶體管的柔性顯示屏和OLED用層間絕緣膜和保護(hù)膜。具體實(shí)施方式下面，詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明本發(fā)明的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的特征在于，所述組合物含有a)玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)或熔融溫度為9(TC14(TC的丙烯酸系共聚物、線(xiàn)型酚醛樹(shù)脂或聚酰亞胺樹(shù)脂；b)1，2-醌二疊氮化合物；和c)溶劑，該溶劑的沸點(diǎn)為9(TC15(TC，且將n-BA(乙酸正丁酯)的蒸發(fā)速率定為1時(shí)，該溶劑的蒸發(fā)速率為0.31.0。在本發(fā)明的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物中，上述a)玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)或熔融溫度為9(TC140'C的丙烯酸系共聚物、線(xiàn)型酚醛樹(shù)脂或聚酰亞胺樹(shù)脂發(fā)揮了在顯影時(shí)使圖案能夠容易地形成的作用。所述共聚物或樹(shù)脂選自玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)或熔融溫度為90°C140°C的丙烯酸系共聚物、線(xiàn)型酚醛樹(shù)脂和聚酰亞胺樹(shù)脂之中，所述丙烯酸系共聚物、線(xiàn)型酚醛樹(shù)脂和聚酰亞胺樹(shù)脂可以通過(guò)公知的制造玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)或熔融溫度為9(TC14(TC的共聚物或樹(shù)脂的方法來(lái)制造。進(jìn)一步優(yōu)選丙烯酸系共聚物。作為一個(gè)具體實(shí)例，可以以不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或它們的混合物以及烯烴系化合物為單體，在溶劑和聚合引發(fā)劑的存在下通過(guò)自由基反應(yīng)而得到丙烯酸系共聚物。優(yōu)選進(jìn)一步包含含環(huán)氧基不飽和化合物作為單體。作為上述丙烯酸系共聚物的在共聚時(shí)所使用的不飽和羧酸，可以使用丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、馬來(lái)酸、富馬酸、乙烯基乙酸或者它們的酸酐等。并且，在本發(fā)明中作為共聚時(shí)所使用的烯烴系不飽和化合物，有甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸二環(huán)戊酯、丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸異冰片酯、甲基丙烯酸異冰片酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸芐酯、甲基丙烯酸芐酯、苯乙烯、鄰甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對(duì)甲基苯乙烯等，并可以單獨(dú)使用所述化合物或者混合兩種以上來(lái)使用。并且，在本發(fā)明中作為共聚時(shí)所使用的、必要時(shí)含有的含環(huán)氧基不飽和化合物，有丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸-|3-甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-6，7-環(huán)氧庚酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、間乙烯基芐基縮水甘油醚、對(duì)乙烯基芐基縮水甘油醚等，并可以單獨(dú)使用所述化合物或者混合兩種以上來(lái)使用。在制造丙烯酸系共聚物時(shí)，相對(duì)于所有單體，優(yōu)選使用5重量％90重量％的上述不飽和羧酸或其酸酐，進(jìn)一步優(yōu)選使用5重量％40重量％的上述不飽和羧酸或其酸酐，更優(yōu)選使用10重量％30重量。^的上述不飽和羧酸或其酸酐。當(dāng)所述不飽和羧酸或其酸酐在所述范圍內(nèi)時(shí)，可以適當(dāng)?shù)鼐S持在堿性顯影液中的溶解度。并且，相對(duì)于所有單體，優(yōu)選上述烯烴系不飽和化合物為10重量％95重量％，進(jìn)一步優(yōu)選使用20重量％50重量％的上述烯烴系不飽和化合物。所述烯烴系不飽和化合物的用量在上述范圍內(nèi)時(shí)，保存穩(wěn)定性得到提高，并且可以適當(dāng)?shù)鼐S持在顯影液中的溶解性。并且，相對(duì)于所有單體，優(yōu)選使用0重量％70重量％的上述含環(huán)氧基不飽和化合物，進(jìn)一步優(yōu)選使用0重量％60重量％的上述含環(huán)氧基不飽和化合物。所述含環(huán)氧基不飽和化合物的用量大于70重量％時(shí)，共聚物的保存穩(wěn)定性會(huì)降低。使用自由基聚合引發(fā)劑作為上述丙烯酸系共聚物的制造中使用的聚合引發(fā)劑，作為具體例，可以使用2，2'-偶氮二異丁腈、2,2'-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、2,2，-偶氮二(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、l,l，-偶氮二(環(huán)己垸-l-甲腈)、二甲基-2,2'-偶氮二異丁酸酯等，作為上述溶劑，可以使用丙二醇單乙醚乙酸酯、乙氧基丙酸乙酯、乙酸丁酯(butylacetate)、乙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚、丙二醇甲醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、環(huán)己酮、3-甲氧基丙酸乙酯或者3-乙氧基丙酸甲酯等，特別是可以使用丙二醇單乙醚、乙氧基丙酸乙酯或者乙酸丁酯。優(yōu)選本發(fā)明中使用的丙烯酸系共聚物或樹(shù)脂的換算成聚苯乙烯時(shí)的重均分子量(Mw)為500030，000，所述重均分子量(Mw)進(jìn)一步優(yōu)選為500020，000。對(duì)于所述Mw小于5000而得到的膜來(lái)說(shuō)，顯影性、殘膜率等降低，或者圖案形狀、耐熱性等有劣化的傾向，當(dāng)所述Mw大于30,000時(shí)，靈敏度降低，或者圖案形狀有劣化的傾向。本發(fā)明的上述a)共聚物或樹(shù)脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)或熔融溫度(軟化溫度)為90。C14(TC，優(yōu)選為90°C120°C。在所述溫度小于9(TC時(shí)，圖案特性、殘膜率等降低，特別是顯示出耐熱性劣化的傾向，在所述溫度大于14(TC時(shí)，存在固化度變差、耐化學(xué)性以及與下部膜的粘結(jié)力下降這樣的問(wèn)題。本發(fā)明中使用的b)l，2-醌二疊氮化合物作為感光性化合物而使用。作為所述1,2-醌二疊氮化合物，可以使用1,2-醌二疊氮-4-磺酸酯、1,2-醌二疊氮-5-磺酸酯、或者1,2-醌二疊氮-6-磺酸酯等。這樣的醌二疊氮化合物可以通過(guò)使萘醌二疊氮磺酰鹵化合物和酚化合物在弱堿下反應(yīng)來(lái)制造。作為上述酚化合物，可以使用2，3,4-三羥基二苯甲酮、2,4，6-三羥基二苯甲酮、2，2，-二羥基二苯甲酮、4，4'-二羥基二苯甲酮、2,3,4,3'-四羥基二苯甲酮、2,3,4,4，-四羥基二苯甲酮、2,3,4,2，-四羥基-4，-甲基二苯甲酮、2，3,4,4，-四羥基-3，-甲氧基二苯甲酮、2,3,4，2，-四羥基二苯甲酮、2,3,4，6，-四羥基二苯甲酮、2，4,6,3'-四羥基二苯甲酮、2，4，6，4'-四羥基二苯甲酮、2，4，6,5'-四羥基二苯甲酮、3，4，5,3'-四羥基二苯甲酮、3,4,5，4'-四羥基二苯甲酮、3,4,5,5，-四羥基二苯甲酮、雙(2,4-二羥基苯基)甲烷、雙(對(duì)羥基苯基)甲烷、三(對(duì)羥基苯基)甲垸、l，l，l-三(對(duì)羥基苯基)乙烷、雙(2,3，4-三羥基苯基)甲烷、2,2-雙(2，3,4-三羥基苯基)丙烷、U，3-三(2，5-二甲基-4-羥基苯基)-3-苯基丙垸、4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚或者雙(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷等，并可以單獨(dú)使用所述化合物或者混合兩種以上來(lái)使用。利用這樣的酚化合物和萘醌二疊氮磺酰鹵化合物合成醌二疊氮化合物時(shí)，酯化度優(yōu)選為50%90%。當(dāng)所述酯化度在所述范圍內(nèi)時(shí)，殘膜率良好，保存穩(wěn)定性得到提高。在100重量份上述a)共聚物或樹(shù)脂中優(yōu)選含有5重量份50重量份的上述1，2-醌二疊氮化合物，進(jìn)一步優(yōu)選含有10重量份40重量份的上述1，2-醌二疊氮化合物。當(dāng)1,2-醌二疊氮化合物的含量小于5重量份時(shí)，曝光部和非曝光部的溶解度差變小，難以形成圖案，當(dāng)1，2-醌二疊氮化合物的含量大于50重量份時(shí)，短時(shí)間照射光時(shí)，未反應(yīng)的1，2-醌二疊氮化合物大量殘存，在作為顯影液的堿性水溶液中的溶解度過(guò)度降低，存在難以顯影的問(wèn)題。本發(fā)明的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物所使用的上述c)溶劑為低沸點(diǎn)、高揮發(fā)性溶劑，該溶劑的沸點(diǎn)為90。C15(TC，并且將n-BA(乙酸正丁酯)的蒸發(fā)速率定為1時(shí)，該溶劑的蒸發(fā)速率為0.31.0。所述蒸發(fā)速率是指，基于ASTMD3539-87(1996)標(biāo)準(zhǔn)，即殼式薄膜蒸發(fā)計(jì)測(cè)定揮發(fā)性液體蒸發(fā)速率的試驗(yàn)方法(TestMethodsforEvaporationRatesofVolatileLiquidsbyShellThin-FilmEvaporometer)來(lái)測(cè)定蒸發(fā)速率時(shí)，將n-BA(乙酸正丁酯)的蒸發(fā)速率設(shè)定為1而相對(duì)地表示所測(cè)定的溶劑的蒸發(fā)量的值。優(yōu)選上述溶劑的沸點(diǎn)為110。C14(TC。當(dāng)所述沸點(diǎn)在所述范圍內(nèi)時(shí)，即使在低溫固化條件下固化度也良好，并且耐化學(xué)性和耐熱性也優(yōu)異，從而能夠提高有機(jī)薄膜晶體管的可靠性。具體地說(shuō)，作為上述溶劑，有丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯或丙二醇丙醚乙酸酯等丙二醇烷基醚乙酸酯類(lèi)；丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙醚或丙二醇丁醚等丙二醇單烷基醚類(lèi)；乙酸正丁酯。這些溶劑可以單獨(dú)使用或混合所述溶劑中的2種以上來(lái)使用。優(yōu)選使用丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單甲醚、乙酸正丁酯等。優(yōu)選含有使整個(gè)有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的固體組分含量[a)+b)]達(dá)到10重量％50重量％的量的上述溶劑，進(jìn)一步優(yōu)選含有使所述固體組分含量達(dá)到15重量％40重量％的量的上述溶劑。當(dāng)所述整個(gè)組合物的固體組分含量小于10重量％時(shí)，涂布厚度變薄，存在涂布平整性降低這樣的問(wèn)題，當(dāng)所述整個(gè)組合物的固體組分含量大于50重量％時(shí)，涂布厚度變厚，存在涂布時(shí)對(duì)涂布設(shè)備帶來(lái)負(fù)擔(dān)這樣的問(wèn)題。并且，必要時(shí)，可以在本發(fā)明的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物中添加光敏劑、表面活性劑、熱阻聚劑、消泡劑等具有互溶性的添加劑，各添加劑可以分別以0.001重量％10重量％的含量來(lái)使用。優(yōu)選含有如上所述的組分的本發(fā)明的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物在用0.1^m0.2|im的微孔過(guò)濾器等進(jìn)行過(guò)濾后使用。此外，本發(fā)明提供利用了上述有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的有機(jī)薄膜晶體管的圖案形成方法和包含有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的固化物的有機(jī)薄膜晶體管，本發(fā)明的有機(jī)薄膜晶體管的圖案形成方法為將有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物形成為有機(jī)絕緣膜或保護(hù)膜材料，再形成有機(jī)薄膜晶體管用基板的圖案的方法，其特征在于，在所述方法中使用上述有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物。當(dāng)然，應(yīng)用本發(fā)明的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物來(lái)形成顯示屏的圖案的方法通常是可以使用的。作為一個(gè)具體實(shí)例，利用噴霧法、輥涂法、旋轉(zhuǎn)涂布法等將所述有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物涂布到有機(jī)薄膜基板表面上，通過(guò)預(yù)烘干除去溶劑，從而形成涂布膜。此時(shí)，所述預(yù)烘干優(yōu)選于8(TC12(TC的溫度實(shí)施1分鐘15分鐘。其后，利用預(yù)先準(zhǔn)備好的圖案，將可見(jiàn)光線(xiàn)、紫外線(xiàn)、遠(yuǎn)紫外線(xiàn)、電子射線(xiàn)、X射線(xiàn)等照射到上述形成的涂布膜上，用顯影液進(jìn)行顯影后，除去不需要的部分，由此形成預(yù)定圖案。此時(shí)，優(yōu)選固化溫度為80°C15(TC。作為上述顯影液，優(yōu)選使用堿性水溶液，具體地說(shuō)，可以使用氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉等無(wú)機(jī)堿類(lèi)；乙胺、正丙胺等伯胺類(lèi)；二乙胺、二正丙胺等仲胺類(lèi)；三甲胺、甲基二乙胺、二甲基乙胺、三乙胺等叔胺類(lèi)；二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺等醇胺類(lèi)；或四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨等季銨鹽的水溶液等。此時(shí)，作為所述顯影液，使用使堿性化合物溶解且該堿性化合物的濃度為0.1重量％10重量％的顯影液，也可以添加適量的甲醇、乙醇等這樣的水溶性有機(jī)溶劑和表面活性劑。并且，利用如上所述的顯影液進(jìn)行顯影后，用超純水清洗30秒90秒，除去不需要的部分，然后進(jìn)行干燥，從而形成圖案，用烘箱等加熱裝置將圖案于80。C15(TC的溫度加熱處理30分鐘卯分鐘，能夠得到最終圖案。下面，為了理解本發(fā)明，給出優(yōu)選的實(shí)施例，但是下述實(shí)施例只不過(guò)是例示本發(fā)明，本發(fā)明的范圍并不限于下述實(shí)施例。實(shí)施例實(shí)施例1(丙烯酸系共聚物的制造)在裝有冷凝管和攪拌機(jī)的燒瓶中加入10重量份2,2'-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、600重量份四氫呋喃、30重量份甲基丙烯酸、30重量份甲基丙烯酸縮水甘油酯、20重量份苯乙烯和20重量份甲基丙烯酸異冰片酯，進(jìn)行氮?dú)庵脫Q后，緩慢攪拌。使上述反應(yīng)溶液升溫到60°C，維持該溫度26小時(shí)，由此制造出含有丙烯酸系共聚物的聚合物溶液。為了除去聚合物溶液中的未反應(yīng)單體，使IOOO重量份上述聚合物溶液沉淀在10000重量份作為不良溶劑(Poorsolvent)的正己烷(n-Hexane)中。沉淀后，利用篩網(wǎng)(Mesh)進(jìn)行過(guò)濾(Filtering)，通過(guò)該工序，除去溶解有未反應(yīng)物的不良溶劑。其后，為了除去在過(guò)濾(Filtering)工序以后還殘留的包含著未反應(yīng)單體的溶劑，在3(TC以下進(jìn)行真空干燥(VacimmDrying)以完全除去未反應(yīng)單體，從而制造出丙烯酸系共聚物。上述制造的丙烯酸系共聚物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為97°C。(有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的制造)用丙二醇單乙醚乙酸酯溶解100重量份上述制造的丙烯酸系共聚物、20重量份4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯，并使上述物質(zhì)的混合物中的固體組分含量達(dá)到30重量％，然后利用0.2的微孔過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，從而制造出有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物。實(shí)施例2在上述實(shí)施例1的丙烯酸系共聚物的制造中，使用30重量份甲基丙烯酸、60重量份甲基丙烯酸異冰片酯和IO重量份甲基丙烯酸二環(huán)戊酯，制造出玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為117'C的丙烯酸系共聚物，并使用丙二醇單甲醚作為晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的溶劑，除此以外，利用與上述實(shí)施例l相同的方法實(shí)施，從而制造出有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物。實(shí)施例3在上述實(shí)施例1的丙烯酸系共聚物的制造中，使用25重量份甲基丙烯酸、25重量份甲基丙烯酸縮水甘油酯、15重量份甲基丙烯酸異冰片酯、35重量份甲基丙烯酸二環(huán)戊酯，制造出玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為13(TC的丙烯酸系共聚物，并使用乙酸正丁酯作為晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的溶劑，除此以外，利用與實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，從而制造出有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物。在上述實(shí)施例1的丙烯酸系共聚物的制造中，使用30重量份甲基丙烯酸、30重量份甲基丙烯酸異冰片酯、IO重量份甲基丙烯酸二環(huán)戊酯、30重量份苯乙烯，制造出玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為iirc的丙烯酸系共聚物，除此以外，利用與實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，制造出有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物。實(shí)施例5在上述實(shí)施例1的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的制造中，使用玻璃化轉(zhuǎn)變溫度或者軟化溫度(熔融溫度)為12CTC的線(xiàn)型酚醛系共聚物，除此以外，利用與實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，從而制造出有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物。實(shí)施例6在上述實(shí)施例1的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的制造中，使用玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為127'C的聚酰亞胺樹(shù)脂，除此以外，利用與實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，從而制造出有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物。比較例1在上述實(shí)施例1的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的制造中，使用二乙二醇甲醚作為溶劑，除此以外，利用與實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，從而制造出有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物。比較例2在上述實(shí)施例1的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的制造中，使用丙二醇甲醚丙酸酯作為溶劑，除此以外，利用與實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，從而制造出有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物。比較例3在上述實(shí)施例1的丙烯酸系共聚物的制造中，使用30重量份甲基丙烯酸、10重量份甲基丙烯酸縮水甘油酯、40重量份甲基丙烯酸二環(huán)戊酯、20重量份苯乙烯，制造出玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為152"C的丙烯酸系共聚物，除此以外，利用與實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，從而制造出有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物。比較例4在上述實(shí)施例1的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的制造中，使用玻璃化轉(zhuǎn)變溫度或軟化溫度(熔融溫度)為82C的線(xiàn)型酚醛系共聚物，除此以外，利用與實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，從而制造出有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物。比較例5在上述實(shí)施例1的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的制造中，使用玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為155。C的聚酰亞胺樹(shù)脂，除此以外，利用與實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，從而制造出有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物。利用上述實(shí)施例16和比較例15中制造的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物，使用旋轉(zhuǎn)涂布器將其涂布到裸硅晶片(Baresiliconwafer)上，然后在加熱板上于9(TC預(yù)烘干2分鐘，從而形成厚度為3.6,的膜。對(duì)通過(guò)這樣的方法形成的膜使用預(yù)定的圖案掩模(Pattemmask),照射365nm的強(qiáng)度為10mW/cm2的紫外線(xiàn)，基準(zhǔn)曝光量為10uml:lCD(每10um為lCD)。其后，在0.38重量。/。的四甲基氫氧化銨水溶液中于23。C顯影2分鐘后，利用超純水清洗1分鐘，得到圖案膜，然后進(jìn)行500mJ/cm2的照射以進(jìn)行整片曝光(floodExposure),隨后在對(duì)流加熱爐(Convectionoven)中于15(TC進(jìn)行60分鐘固化(Curing)后得到片膜(:7^》厶膜)，對(duì)所得到的片膜評(píng)價(jià)如下所述的物理性質(zhì)后，其結(jié)果列于下表1。I)耐化學(xué)性(ChemicalResistance):將上述形成的裸硅晶片上的片膜于70。C在NMP(N-甲基吡咯烷酮)中浸漬(Dipping)5分鐘后，用超純水進(jìn)行沖洗(Rinse)，利用FE-SEM考察所述片膜斷面，以測(cè)定NMP處理前后的10umCD變化率。變化率為0%20%的情況以〇表示，變化率為20%40%的情況以^為表示，變化率大于40%的情況或圖案發(fā)生剝離的情況以X表示。II)熱重分析(TGAAnalysis):用刀剝下上述形成的晶片上的片膜后，得到30mg的各試樣。利用TGA(熱重分析設(shè)備)將所得到的試樣在220°C下保持60分鐘，以該條件測(cè)定失重(WeightLoss%)。此時(shí)，產(chǎn)生的失重小于0.5重量％的情況以〇表示，產(chǎn)生的失重為0.5重量。％1.5重量％的情況以A表示，產(chǎn)生的失重為1.5重量X以上的情況以X表示。III)厚度的變化率再次在對(duì)流式加熱爐中于15(TC對(duì)上述形成的晶片上的片膜進(jìn)行60分鐘固化，然后，利用FE-SEM考察斷面，測(cè)定厚度的變化率。變化率為0%3%的情況以〇表示，變化率為3%10%的情況以A表示，變化率為10X以上的情況以X表示。<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>通過(guò)上述表1可知，應(yīng)用由本發(fā)明制造的實(shí)施例16的丙烯酸系共聚物樹(shù)脂、線(xiàn)型酚醛共聚物和聚酰亞胺樹(shù)脂以及低沸點(diǎn)的特定溶劑而得到的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物即使在低溫固化條件下，固化度也良好，對(duì)在進(jìn)行后續(xù)工序時(shí)接觸到的熱處理工序和特定溶劑具有優(yōu)異的耐熱性和耐化學(xué)特性。特別是在比較例4的情況中，存在線(xiàn)型酚醛樹(shù)脂的耐熱性降低的問(wèn)題，在比較例5的情況中，存在在提供的固化條件下不引發(fā)充分固化的問(wèn)題?；谝陨辖Y(jié)果可知，本發(fā)明的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物用作需要低溫工序的有機(jī)薄膜晶體管的層間絕緣膜和用作利用了該有機(jī)薄膜晶體管的柔性顯示屏和OLED用保護(hù)膜時(shí)，可靠性?xún)?yōu)異。權(quán)利要求1.一種有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述組合物含有a)玻璃化轉(zhuǎn)變溫度Tg或熔融溫度為90℃～140℃的丙烯酸系共聚物、線(xiàn)型酚醛樹(shù)脂或聚酰亞胺樹(shù)脂；b)1，2-醌二疊氮化合物；和c)溶劑，該溶劑的沸點(diǎn)為90℃～150℃，并且將乙酸正丁酯的蒸發(fā)速率設(shè)定為1時(shí)，該溶劑的蒸發(fā)速率為0.3～1.0。2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述組合物含有a)100重量份玻璃化轉(zhuǎn)變溫度Tg或熔融溫度為9CTC14(TC的丙烯酸系共聚物、線(xiàn)型酚醛樹(shù)脂或聚酰亞胺樹(shù)脂；b)5重量份50重量份的1，2-醌二疊氮化合物；和c)使所述a)+b)的固體組分含量達(dá)到10重量％50重量％的溶劑，該溶劑的沸點(diǎn)為90°C150°C，基于ASTMD3539-87利用殼式薄膜蒸發(fā)計(jì)測(cè)定蒸發(fā)速率時(shí)，將乙酸正丁酯的蒸發(fā)速率設(shè)定為1時(shí)，該溶劑的蒸發(fā)速率為0.31.0。3.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述a)的共聚物或樹(shù)脂的換算成聚苯乙烯時(shí)的重均分子量Mw為5,00030,000。4.如權(quán)利要求l所述的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述溶劑的沸點(diǎn)為110°C140°C。5.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述溶劑為選自由乙酸正丁酯、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇甲醚組成的組中的一種以上的溶劑。6.—種有機(jī)薄膜晶體管的圖案形成方法，其特征在于，該方法利用權(quán)利要求15任一項(xiàng)所述的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物。7.如權(quán)利要求6所述的有機(jī)薄膜晶體管的圖案形成方法，其特征在于，在形成所述圖案時(shí)固化溫度為8(TC15(rC。8.—種有機(jī)薄膜晶體管，其特征在于，所述有機(jī)薄膜晶體管包含權(quán)利要求15任一項(xiàng)所述的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的固化物。9.如權(quán)利要求8所述的有機(jī)薄膜晶體管，其特征在于，所述固化物為有機(jī)薄膜晶體管的絕緣膜或保護(hù)膜。全文摘要本發(fā)明提供有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物，該組合物應(yīng)用于如有機(jī)薄膜晶體管、利用了有機(jī)薄膜晶體管的柔性顯示屏和OLED這樣的需要低溫固化工序的顯示屏的層間絕緣膜和保護(hù)膜時(shí)，能夠在熱處理工序時(shí)將殘余溶劑的量降至最少，同時(shí)因固化度高而確保耐熱性和耐化學(xué)穩(wěn)定性。本發(fā)明涉及的有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的特征在于，所述組合物含有a)玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)或熔融溫度為90℃～140℃的丙烯酸系共聚物、線(xiàn)型酚醛樹(shù)脂或聚酰亞胺樹(shù)脂；b)1，2-醌二疊氮化合物；和c)溶劑，該溶劑的沸點(diǎn)為90℃～150℃，且將n-BA(乙酸正丁酯)的蒸發(fā)速率定設(shè)為1時(shí)，該溶劑的蒸發(fā)速率為0.3～1.0。文檔編號(hào)G03F7/028GK101334587SQ20081012724公開(kāi)日2008年12月31日申請(qǐng)日期2008年6月30日優(yōu)先權(quán)日2007年6月29日發(fā)明者丘冀赫,呂泰勛,尹柱豹,尹赫敏,崔守延,崔相角,李浩真,鄭大眾,金柄郁申請(qǐng)人:東進(jìn)世美肯株式會(huì)社