專利名稱：用于層壓紫外線固化型波導材料的方法和裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及用于層壓紫外線固化型波導材料的方法和裝置，更具體地，涉及可以同時執(zhí)行層壓處理和紫外線照射處理的用于層壓紫外線固化型波導材料的方法和裝置。
背景技術：
傳統(tǒng)上，在層壓紫外線固化型波導材料的情況下，在執(zhí)行層壓 處理之后執(zhí)行紫外線照射處理。因此，需要執(zhí)行包括層壓處理和紫外線照射處理在內的兩個單獨處理。相應地，增加了制造時間和成本。 此外，由于在層壓處理之后樹脂材料是未固化的，因此會擔心可能產生變形或剝離。
作為層壓紫外線固化型波導材料的傳統(tǒng)方法的實例，下面將參 考圖1至圖4描述制造光學波導的情況。
首先，在圖1A中，將第一光學波導材料12層壓至基板11上。 基板11是薄板形的，并且例如使用諸如丙烯酸樹脂板或聚碳酸酯板 等樹脂板或金屬板。對于第一光學波導材料12，通常使用紫外線固 化型環(huán)氧基樹脂材料或其它紫外線固化型材料，例如丙烯基、含氟聚 酰亞胺基或硅樹脂基紫外線固化型材料。
圖2A和圖2B示出用于執(zhí)行圖1A的步驟的方法和裝置，其中 通過排氣法將第一光學波導材料12層壓至基板11上。將被層壓的材 料，即基板11固定到層壓膜21 (殼體21a)側，將基板ll和未固化 的第一光學波導材料12置于兩個層壓膜21和22之間，使兩個層壓 膜21和22之間減壓并排氣(箭頭A)，然后使用空氣從層壓膜22 外側對第一光學波導材料12側施加均勻的負載(箭頭B)。如圖1B 所示，通過該層壓步驟使第一光學波導材料12與層壓基板11結合。
接下來，在圖1C中，將紫外線照射到第一光學波導材料12(箭
頭C)上以使第一光學波導材料12固化。除了照射紫外線以使第一 光學波導材料12固化的情況以外，在一些情況下還可以通過化學固 化方法使第一光學波導材料12固化。
接下來，在圖1D中，第一光學波導材料12層壓至基板11上， 并進一步將第二光學波導材料13層壓至固化的第一光學波導材料12 上。
圖3A和圖3B示出用于執(zhí)行圖1D所示步驟的方法和裝置，其 中通過排氣法將第二光學波導材料13層壓至第一光學波導材料12 上。將由基板11和固化的第一光學波導材料12構成的層壓制品以及 未固化的第二光學波導材料13置于兩個層壓膜23和24之間，并且 使兩個層壓膜23和24之間的部分減壓和排氣(箭頭A)，然后使用 空氣從層壓膜24外側對第二光學波導材料13側(箭頭B)施加均勻 的負載。通過該層壓步驟，將由基板11和固化的第一光學波導材料 12構成的層壓制品以及未固化的第二光學波導材料13層壓起來。在 圖1E中示出由基板11、第一光學波導材料12和第二光學波導材料 13構成的層壓制品。
接下來，在圖1F中，通過使用掩模15的公知方法來曝光和圖 案化第二光學波導材料13。在圖1G中示出經過如此曝光和圖案化的 層壓制品。在圖1H中，使第二光學波導材料13顯影以完成圖案化。
在圖II中，將第三光學波導材料14層壓至第二光學波導材料 13上。第三光學波導材料14的材料與第一光學波導材料12的材料 相同。
圖4A和圖4B示出用于執(zhí)行圖ll所示步驟的方法和裝置，其中 通過排氣法將第三光學波導材料14層壓至第二光學波導材料13上。 將由基板11、固化的第一光學波導材料12和未固化的第二光學波導 材料13構成的層壓制品以及第三光學波導材料14置于兩個層壓膜 25和26之間，并且使兩個層壓膜25和26之間的部分減壓和排氣(箭 頭A)，然后使用空氣從層壓膜26外側對第三光學波導材料14偵ij(箭 頭B)施加均勻的負載。
圖1J示出通過該層壓步驟制造的由基板11、第一光學波導材料
12、第二光學波導材料13和第三光學波導材料14構成的層壓制品。 隨后，在圖1K中，在第三光學波導材料14上照射紫外線以使 第三光學波導材料14固化。除了照射紫外線以使第三光學波導材料 14固化的情況以外，在一些情況下還可以通過化學固化法使第三光 學波導材料14固化。
如上所述，根據層壓紫外線固化型波導材料的傳統(tǒng)方法，執(zhí)行 層壓處理，然后再執(zhí)行紫外線照射步驟。此外，層壓處理使用如下方 法通過將層壓材料(未固化)和被層壓的材料(通常是固化的)置 于層壓膜之間并進行排氣，然后使用空氣進行均勻加壓。對于在具有 凹凸部分的材料上進行層壓的情況，相應地，使用擠壓的層壓法具有 會將氣泡混合到層壓表面中的問題。在使用真空加壓的傳統(tǒng)層壓方法 中，可以避免這個問題。
作為現有技術，特開平7-218921A (專利文獻1)已經披露了一 種制造液晶面板的方法，其中，在制造液晶面板的情況下，將在空氣 中結合的一對基片放置在真空中并且從放置在真空中的一對基片兩 側施加壓力。
特開平8-201747A (專利文獻2)已經披露了 一種制造液晶面板 的方法，其中，當要將多個玻璃基片粘附到一個玻璃基片上時，通過 包含間隙保持材料的紫外線固化樹脂來分別覆蓋所述一個玻璃基片 和多個玻璃基片，通過較小玻璃基片的各個外圍位置處的分隔物形成 閉合室，對每個閉合室減壓以對空氣中的玻璃基片加壓，然后用紫外 線照射紫外線固化樹脂以使紫外線固化樹脂固化。
此外，在特開平11-293202A (專利文獻3)中，其目的是實施 層壓以滿足諸如在層壓中對準兩個基片、紫外線照射或均勻加壓以及 結合基片等所需功能。通過切換排氣裝置和加壓供氣裝置來對兩個基 片均勻地加壓并使其結合，此外，紫外線透射通過紫外線透射板和上 基片并由此照射在上基片和下基片之間的密封部件上，從而使得密封 部件中的紫外線固化樹脂固化。
根據參考圖1至圖4描述的層壓紫外線固化型波導材料的傳統(tǒng) 方法，在執(zhí)行層壓基片的步驟之后執(zhí)行照射紫外線的步驟。因此，需
要執(zhí)行包括基片層壓處理和紫外線照射處理在內的兩個單獨處理。相 應地，增加了制造時間和成本。此外，由于在層壓處理后樹脂材料是 未固化的，因此存在可能引起變形和剝離的顧慮。
在專利文獻1所披露的液晶面板制造方法中，提出將對一對基 片排氣以及使用空氣均勻加壓相結合的基片層壓方法。然而，該基片 層壓方法適用于制造液晶面板的處理，而不適用于層壓紫外線固化型 波導材料的情況。此外，未披露紫外線照射處理。
在專利文獻2所披露的液晶面板制造方法中，在層壓一個玻璃 基片和多個玻璃基片以使紫外線固化樹脂固化的情況下，與現有技術 一樣，需要在執(zhí)行基片層壓步驟之后執(zhí)行紫外線照射步驟。因此，需 要執(zhí)行包括基片層壓處理和紫外線照射處理在內的兩個單獨處理。相 應地，增加了制造時間和成本。
此外，在專利文獻3所披露的液晶面板制造方法中，在層壓多 個基片的情況下，通過使用包括排氣和利用空氣加壓在內的兩種方法 來均勻地加壓和結合多個基片，并且執(zhí)行紫外線固化作為隨后的步 驟。因此，與現有技術一樣，需要在執(zhí)行基片層壓步驟之后執(zhí)行紫外 線照射步驟。因此，需要執(zhí)行包括基片層壓處理和紫外線照射處理在 內的兩個單獨處理。相應地，增加了制造時間和成本。

發(fā)明內容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種用于層壓紫外線固化型波導材 料的方法和裝置，在將至少兩個紫外線固化型光學波導材料相互層壓 并且將紫外線照射到兩個紫外線固化型波導材料的至少一個上以進 行固化的情況下，該方法和裝置可以相應地較少制造時間和成本，而 不需要執(zhí)行包括材料層壓處理和紫外線照射處理在內的兩個單獨處 理，并且通過在同一處理中執(zhí)行層壓和通過紫外線照射進行固化的操 作，可以防止層壓后樹脂導致材料發(fā)生變形和剝離。
為了達到該目的，根據本發(fā)明的第一方面，提供一種層壓紫外 線固化型樹脂材料的方法，包括以下步驟
將基板和紫外線固化型樹脂材料置于一對膜之間；以及
通過對所述一對膜之間的部分減壓或者通過對所述膜施加外部 壓力而將所述樹脂材料層壓到所述基板上，同時使紫外線通過所述膜 照射在所述樹脂材料上以固化所述樹脂材料。
此外，根據本發(fā)明的第二方面，提供一種層壓紫外線固化型波 導材料的方法，包括以下步驟
通過加壓將第一光學波導材料層壓到基板上，同時使紫外線照 射在所述第一光學波導材料上以固化所述第一光學波導材料；
通過加壓將第二光學波導材料層壓到所述第一光學波導材料 上，同時使紫外線通過掩模照射在所述第二光學波導材料上以執(zhí)行圖 案化；以及
通過加壓將第三光學波導材料層壓到所述第二光學波導材料 上，同時使紫外線照射在所述第三光學波導材料上以固化所述第三光 學波導材料。
根據本發(fā)明的第三方面，在本發(fā)明的第二方面中，優(yōu)選的是， 所述第一光學波導材料、所述第二光學波導材料和所述第三光學波導 材料都是紫外線固化型樹脂材料；
所述第二光學波導材料至少具有與所述第一光學波導材料和所 述第三光學波導材料中的每一個都不相同的折射率組成。
此外，根據本發(fā)明的第四方面，提供一種用于層壓紫外線固化
型樹脂材料的裝置，包括
層壓裝置，其用于在將基板和所述紫外線固化型樹脂材料置于 一對膜之間后，通過對所述一對膜之間的部分減壓或者通過將外部壓 力施加到所述膜上而將所述紫外線固化型樹脂材料層壓到所述基板 上；以及
照射裝置，其用于使紫外線通過所述膜照射到所述樹脂材料上，
其中，
所述層壓裝置設置有開口部分，并且，
在所述開口部分上設置有能夠透射紫外線的耐壓玻璃，以便在 由所述層壓裝置執(zhí)行層壓步驟的同時由所述照射裝置利用紫外線進 行照射。
根據本發(fā)明的第五方面，在本發(fā)明的第四方面中，優(yōu)選的是， 所述紫外線固化型樹脂材料是由紫外線固化型樹脂制成的波導材料。
根據本發(fā)明的第六方面，在本發(fā)明的第二方面中，優(yōu)選的是， 所述第二光學波導材料的折射率組成大于所述第一光學波導材料和 所述第三光學波導材料中每一個的折射率組成。
根據本發(fā)明，可以在一個步驟的處理中執(zhí)行包括材料層壓處理 和紫外線照射處理在內的兩個單獨處理。因此，可以相應地減少制造 時間和成本。此外，通過在同一處理中執(zhí)行層壓和使用紫外線照射進 行固化的操作，可以防止層壓后樹脂導致材料發(fā)生變形和剝離。


圖1A至圖1K是示出用于層壓紫外線固化型波導材料的傳統(tǒng)工 序的視圖。
圖2A和圖2B是示出在圖1的傳統(tǒng)實例中通過排氣法在基板上 層壓第一光學波導材料的方法和裝置的視圖。
圖3A和圖3B是示出在圖1的傳統(tǒng)實例中通過排氣法在第一光 學波導材料上層壓第二光學波導材料的方法和裝置的視圖。
圖4A和圖4B是示出在圖1的傳統(tǒng)實例中通過排氣法在第二光 學波導材料上層壓第三光學波導材料的方法和裝置的視圖。
圖5A至圖5G是示出根據本發(fā)明實施例的層壓紫外線固化型波 導材料的工序的視圖。
圖6A和圖6B是示出在圖5的實施例中用于在基板上層壓第一 光學波導材料并照射紫外線的方法和裝置的視圖。
圖7A和圖7B是示出在圖5的實施例中用于在由基板和第一光 學波導材料構成的層壓制品上層壓第二光學波導材料并執(zhí)行圖案化 的方法和裝置的視圖。
圖8A和圖8B是示出在圖5的實施例中用于層壓第三光學波導 材料并照射紫外線的方法和裝置的視圖。
圖9A至圖91是示出根據本發(fā)明另一個實施例的層壓紫外線固 化型波導材料的工序的視圖。
圖IOA和圖10B是示出在圖9的實施例中用于在基板上層壓第
一光學波導材料并照射紫外線的方法和裝置的視圖。
圖IIA和圖11B是示出在圖9的實施例中用于層壓第三光學波 導材料并照射紫外線的方法和裝置的視圖。
具體實施例方式
下面參考附圖詳細描述根據本發(fā)明的實施例。
圖5A至圖5G和圖6至圖8示出根據本發(fā)明的用于層壓紫外線 固化型波導材料的方法和裝置的第一實施例。
首先，在圖5A中，將第一光學波導材料32層壓到紫外線透射 型基板31 (要被層壓的材料)的一個表面(下表面)上，同時使紫 外線通過基板31照射到第一光學波導材料32上以固化第一光學波導 材料32?；?1是薄板型的，并且與傳統(tǒng)技術一樣，可以使用諸如 丙烯酸樹脂板或聚碳酸酯板等樹脂板或金屬板。對于第一光學波導材 料32，與傳統(tǒng)技術一樣，通?？梢允褂米贤饩€固化型環(huán)氧基樹脂材 料或其它丙烯基、含氟聚酰亞胺基或硅樹脂基紫外線固化型材料。
圖6A和圖6B示出圖5A的方法和裝置，根據本發(fā)明第一實施 例，該方法和裝置用于同時執(zhí)行在基板31上層壓第一光學波導材料 32的步驟和使紫外線通過基板31照射到第一光學波導材料32上以 使第一光學波導材料32固化的步驟。將要被層壓的材料，即基板31 固定到上層壓膜41 (上殼體41a)側，將基板31和未固化的第一光 學波導材料32置于兩個層壓膜41和42之間，并且使兩個層壓膜41 和42之間的部分減壓并排氣(箭頭A)，然后通過下殼體42a的加 壓口 42c將加壓空氣施加到殼體中，并使用空氣從層壓膜42的外側 (下側)對第一光學波導材料32側施加均勻的負載(箭頭B)。在 沿著箭頭A方向進行排氣時，下殼體42a的加壓口 42c閉合并且上 殼體41a的吸氣口 41c打開。另一方面，在沿著箭頭B的方向施加 加壓空氣時，下殼體42a的加壓口 42c打開并且上殼體41a的吸氣口 41c閉合。
在這些情況下，在根據本發(fā)明的實施例中，假定兩個層壓膜41
和42都是紫外線透射型。此外，上殼體41a具有由可以透射紫外線 的耐壓玻璃形成的窗口部分41b。窗口部分41b的面積稍大于基板31 或第一光學波導材料32的面積，并且從上方通過窗口部分41b照射 的紫外線還通過上層壓膜41照射到第一光學波導材料32上。通過該 層壓步驟，將第一光學波導材料32層壓到基板31上，并且在圖5B 中示出在紫外線照射步驟中固化的第一光學波導材料32。
接下來，如箭頭D所示，將由基板31和第一光學波導材料32 構成的層壓制品上下翻轉。
隨后，在圖5C中，將第二光學波導材料33層壓在由基板31和 第一光學波導材料32構成的層壓制品上，并且同時通過使用掩模35 將紫外線照射在第二光學波導材料33上(箭頭C)以使第二光學波 導材料33固化。如圖5D所示，相應地，透射通過掩模35的開口部 分35a的紫外線在第二光學波導材料33中產生曝光部分33a和未曝 光部分33b。
圖7A和圖7B示出圖5C的方法和裝置，根據本發(fā)明的第一實 施例，該方法和裝置用于同時執(zhí)行在由基板31和第一光學波導材料 32構成的層壓制品上層壓第二光學波導材料33的步驟和在第二光學 波導材料33上照射紫外線以使第二光學波導材料33固化的步驟。將 要被層壓的材料，即由基板31和第一光學波導材料32構成的層壓制 品固定到下層壓膜42側，將層壓制品和未固化的第二光學波導材料 33置于兩個層壓膜41和42之間，對兩個層壓膜41和42之間的部 分減壓和排氣(箭頭A)，然后通過下殼體42a的加壓口 42c將加壓 空氣施加到殼體中并且使用空氣從層壓膜42的外側(下側)對第一 光學波導材料32側施加均勻負載(箭頭B)。與圖6的情況一樣， 在沿著箭頭A方向排氣時，下殼體42a的加壓口 42c閉合并且上殼 體41a的吸氣口 41c打開。另一方面，在沿著箭頭B的方向施加加 壓空氣時，下殼體42a的加壓口 42c打開并且上殼體41a的吸氣口 41c閉合。
此外，與圖6A和6B的情況一樣，假定兩個層壓膜41和42都 是紫外線透射型。此外，在上殼體41a中，掩模35設置在由可以透
射紫外線的耐壓玻璃形成的窗口部分41b上。窗口部分41b的面積稍
大于基板31或第一光學波導材料32的面積，并且從上方通過窗口部 分41b照射的紫外線還通過上層壓膜41照射在第二光學波導材料33 上。通過該層壓步驟，將第二光學波導材料33層壓到第一光學波導 材料32上，并且在圖5D中示出在紫外線照射步驟中固化的第二光 學波導材料33。
接下來，在圖5E中，執(zhí)行顯影以完成對如下部分的圖案化艮P， 使用掩模35通過在第二光學波導材料33上照射紫外線而固化的部 分。相應地，留下第二光學波導材料33中固化的曝光部分33a，并 移除未曝光部分33b。
隨后，將由基板31、第一光學波導材料32和第二光學波導材料 33 (曝光和固化部分)構成的層壓制品上下(箭頭D)翻轉。
然后，在圖5F中，將第三光學波導材料34層壓到由基板31、 第一光學波導材料32和第二光學波導材料33 (曝光和固化部分)構
成的層壓制品的第二光學波導材料33上。第三光學波導材料34的材 料與第一光學波導材料32的材料相同。
圖8A和圖8B示出圖5F中的方法和裝置，根據本發(fā)明的第一 實施例，該方法和裝置用于同時執(zhí)行在由基板31、第一光學波導材 料32和第二光學波導材料33構成的層壓制品的第二光學波導材料 33上層壓第三光學波導材料34的步驟和在第三光學波導材料34上 照射紫外線以使第三光學波導材料34固化的步驟。
將要被層壓的材料，即由基板31、第一光學波導材料32和第二 光學波導材料33構成的層壓制品固定到上層壓膜41側，將層壓制品 和未固化的第三光學波導材料34置于兩個層壓膜41和42之間，對 兩個層壓膜41和42之間的部分減壓和排氣(箭頭A)，然后通過下 殼體42a的加壓口 42c將加壓空氣施加到殼體中并且使用空氣從層壓 膜42的外側(下側)對第三光學波導材料34側施加均勻負載(箭頭 B)。
此外，下殼體42a具有由可以透射紫外線的耐壓玻璃形成的窗 口部分41b。窗口部分41b的面積稍大于基板31或第一光學波導材
料32的面積，并且從上方通過窗口部分41b照射的紫外線還通過上
層壓膜41照射到第三光學波導材料34上。圖5G示出在層壓步驟和 紫外線照射步驟中固化的層壓制品。
圖9A至圖91以及圖10和圖11示出根據本發(fā)明的用于層壓紫 外線固化型波導材料的方法和裝置的第二實施例。
首先，在圖9A中，將第一光學波導材料32層壓到作為要被層 壓的材料的基板31上，同時將紫外線照射到第一光學波導材料32 上以使第一光學波導材料32固化。基板31是薄板狀的，并且與傳統(tǒng) 技術一樣，可以使用諸如丙烯酸樹脂板或聚碳酸酯板等樹脂板或金屬 板。對于第一光學波導材料32，與傳統(tǒng)技術一樣，通?？梢允褂米?外線固化型環(huán)氧基樹脂材料或其他丙烯基、含氟聚酰亞胺基或硅樹脂 基紫外線固化型材料。
圖IOA和圖10B示出圖9A的方法和裝置，該方法和裝置用于 同時執(zhí)行在基板31上層壓第一光學波導材料32的步驟和使紫外線通 過層壓膜41照射在第一光學波導材料32上以使第一光學波導材料 32固化的步驟。將要被層壓的材料，即基板31固定到下層壓膜42 上，并且將基板31和未固化的第一光學波導材料32置于兩個層壓膜 41和42之間，對兩個層壓膜41和42之間的部分減壓和排氣(箭頭 A)，然后通過下殼體42a的加壓口 42c將加壓空氣施加到殼體中， 并且使用空氣從層壓膜42的外側(下側)對基板31側施加均勻的負 載(箭頭B)。在沿著箭頭A的方向排氣時，下殼體42a的加壓口 42c閉合并且上殼體41a的吸氣口 41c打開。另一方面，在沿著箭頭 B的方向施加加壓空氣時，下殼體42a的加壓口 42c打開并且上殼體 41a的吸氣口 41c閉合。
在這些情況下，在根據本發(fā)明的該實施例中，假定兩個層壓膜 41和42都是紫外線透射型的。此外，上殼體41a具有由可以透射紫 外線的耐壓玻璃形成的窗口部分41b。窗口部分41b的面積稍大于基 板31或第一光學波導材料32的面積，并且從上方通過窗口部分41b 照射的紫外線還通過上層壓膜41照射到第一光學波導材料32上。通 過該層壓步驟，將第一光學波導材料32層壓到基板31上，并且在圖
9B中示出在紫外線照射步驟中固化的第一光學波導材料32。
接下來，如箭頭D所示，將由基板31和第一光學波導材料32 構成的層壓制品上下翻轉。
隨后，在圖9C中，將第二光學波導材料33層壓在由基板31和 第一光學波導材料32構成的層壓制品上，以便獲得如圖9D所示的 層壓制品。接下來，如圖9E所示，通過使用掩模35將紫外線照射 在第二光學波導材料33上(箭頭C)以使第二光學波導材料33固化。 如圖9F所示，相應地，透射通過掩模35的開口部分35a的紫外線在 第二光學波導材料33中產生曝光部分33a和未曝光部分33b。
接下來，在圖9G中，執(zhí)行顯影以完成對如下部分的圖案化艮P， 使用掩模35通過在第二光學波導材料33上照射紫外線而固化的部 分。相應地，留下第二光學波導材料33中固化的曝光部分33a，并 移除未曝光部分33b。
此外，將層壓板上下翻轉(箭頭D)。
圖11A和圖11B示出圖9H中的方法和裝置，該方法和裝置用 于同時執(zhí)行在由基板31、第一光學波導材料32和第二光學波導材料 33構成的層壓制品的第二光學波導材料33上層壓第三光學波導材料 34的步驟和在第三光學波導材料34上照射紫外線以使第三光學波導 材料34固化的步驟。
將要層壓的材料，即由基板31、第一光學波導材料32和第二光 學波導材料33構成的層壓制品固定到下層壓膜42側，并且將該層壓 制品和未固化的第三光學波導材料34置于兩個層壓膜41和42之間， 對兩個層壓膜41和42之間的部分減壓和排氣(箭頭A)，然后通過 下殼體42a的加壓口 42c將加壓空氣施加到殼體中，并且使用空氣從 層壓膜42的外側(下側)對第三光學波導材料34側施加均勻的負載 (箭頭B)。
此外，上殼體41a具有由可以透射紫外線的耐壓玻璃形成的窗 口部分41b。窗口部分41b的面積稍大于基板31或第一光學波導材 料32的面積，并且從上方通過窗口部分41b照射的紫外線還通過上 層壓膜41照射到第三光學波導材料34上。圖91示出在層壓步驟和
紫外線照射步驟中固化的層壓制品。
雖然已經參考附圖描述了根據本發(fā)明的實施例，但是本發(fā)明不 限于這些實施例，而是可以在不脫離本發(fā)明精神或范圍的情況下采用 各種形式、修改和變型。
如上所述，根據本發(fā)明，不需要執(zhí)行包括材料層壓處理和紫外 線照射處理在內的兩個單獨處理，在將至少兩個紫外線固化型光學波 導材料相互層壓并且將紫外線照射到兩個紫外線固化型波導材料的 至少一個上以進行固化的情況下，可以相應地減少制造時間和成本。 此外，通過在同一處理中執(zhí)行層壓和通過紫外線照射進行固化的操 作，可以防止層壓后樹脂導致材料剝離。
權利要求
1. 一種層壓紫外線固化型樹脂材料的方法，包括以下步驟將基板和紫外線固化型樹脂材料置于一對膜之間；以及通過對所述一對膜之間的部分減壓或者通過對所述膜施加外部壓力而將所述樹脂材料層壓到所述基板上，同時使紫外線通過所述膜照射在所述樹脂材料上以固化所述樹脂材料。
2. —種層壓紫外線固化型波導材料的方法，包括以下步驟通過加壓將第一光學波導材料層壓到基板上，同時使紫外線照射在所述第一光學波導材料上以固化所述第一光學波導材料；通過加壓將第二光學波導材料層壓到所述第一光學波導材料 上，同時使紫外線通過掩模照射在所述第二光學波導材料上以執(zhí)行圖 案化；以及通過加壓將第三光學波導材料層壓到所述第二光學波導材料 上，同時使紫外線照射在所述第三光學波導材料上以固化所述第三光 學波導材料。
3. 根據權利要求2所述的層壓紫外線固化型波導材料的方法，其中，所述第一光學波導材料、所述第二光學波導材料和所述第三光 學波導材料都是紫外線固化型樹脂材料；所述第二光學波導材料至少具有與所述第一光學波導材料和所 述第三光學波導材料中的每一個都不相同的折射率組成。
4. 一種用于層壓紫外線固化型樹脂材料的裝置，包括 層壓裝置，其用于在將基板和所述紫外線固化型樹脂材料置于一對膜之間后，通過對所述一對膜之間的部分減壓或者通過將外部壓 力施加到所述膜上而將所述紫外線固化型樹脂材料層壓到所述基板 上；以及 照射裝置，其用于使紫外線通過所述膜照射到所述樹脂材料上，其中，所述層壓裝置設置有開口部分，并且，在所述開口部分上設置有能夠透射紫外線的耐壓玻璃，以便在 由所述層壓裝置執(zhí)行層壓步驟的同時由所述照射裝置利用紫外線進 行照射。
5. 根據權利要求4所述的層壓裝置，其中， 所述紫外線固化型樹脂材料是由紫外線固化型樹脂制成的波導材料。
6. 根據權利要求2所述的層壓紫外線固化型波導材料的方法，其中，所述第一光學波導材料、所述第二光學波導材料和所述第三光 學波導材料都是紫外線固化型樹脂材料；所述第二光學波導材料的折射率組成大于所述第一光學波導材 料和所述第三光學波導材料的折射率組成。
全文摘要
本發(fā)明公開一種用于層壓紫外線固化型波導材料的方法和裝置。將基板(31)和紫外線固化型波導材料(32)置于一對膜(41、42)之間，對所述一對膜之間的部分減壓或者將外部壓力施加到所述膜上，從而將所述紫外線固化型波導材料層壓到所述基板上，并且同時將紫外線通過所述膜照射到所述紫外線固化型波導材料上以固化所述波導材料。
文檔編號G02F1/1333GK101382688SQ200810214368
公開日2009年3月11日 申請日期2008年9月5日 優(yōu)先權日2007年9月7日
發(fā)明者柳澤賢司 申請人:新光電氣工業(yè)株式會社