專利名稱：皮秒脈沖對(duì)比度單次測量儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及激光參數(shù)診斷，特別是一種皮秒脈沖對(duì)比度單次測量裝置。
背景技術(shù)：
高功率的激光脈沖被廣泛應(yīng)用在激光等離子體相互作用、X射線激光、多光子 電離、高次諧波產(chǎn)生等強(qiáng)場物理研究中。利用超短超強(qiáng)激光脈沖打靶時(shí)，主脈沖之 前的噪聲信號(hào)如果超過一定強(qiáng)度，就會(huì)破壞靶面并產(chǎn)生等離子體，產(chǎn)生復(fù)雜的不利 影響。因此，需要監(jiān)測激光脈沖之前的噪聲信號(hào)強(qiáng)度。
為了獲得超短超強(qiáng)的拍瓦激光，采用了光學(xué)參量啁啾脈沖放大(OPCPA)技術(shù)。 該技術(shù)是將欲放大的一束低能量飛秒寬帶種子信號(hào)光脈沖，通過正啁啾色散的方法 在時(shí)域上展寬，展寬后的脈沖在時(shí)域上表現(xiàn)為啁啾脈沖。然后用一束高能量納秒級(jí) 窄帶泵浦光與展寬后的啁啾種子光在非線性晶體中進(jìn)行參量耦合，使種子光脈沖放 大。放大之后的種子光脈沖再通過負(fù)啁啾色散的方法被壓縮成飛秒脈沖輸出。神光 II第九路系統(tǒng)改造成的拍瓦激光裝置，就是采用了 OPCPA技術(shù)，實(shí)現(xiàn)1000J、 lps 的脈沖輸出。
在OPCPA中，利用光柵對(duì)實(shí)現(xiàn)脈沖的展寬與壓縮，分別稱之為展寬器和壓縮 器。由于光柵本身的面型缺陷，以及展寬器、壓縮器之間的不完全匹配，會(huì)導(dǎo)致壓 縮之后的脈沖形狀與種子光的脈沖形狀有所區(qū)別。在時(shí)間上表現(xiàn)為，主脈沖前后有 一個(gè)很長的臺(tái)階(pedestral)，如圖4所示。為了監(jiān)測并控制壓縮之后的皮秒脈沖的 時(shí)間波形，使之滿足物理實(shí)驗(yàn)的需要，需要測量主脈沖之前10ps及其以外的信號(hào) 強(qiáng)度，保證這些時(shí)刻的激光信號(hào)強(qiáng)度相對(duì)于主脈沖的強(qiáng)度的比值小于<10氣即脈沖 對(duì)比度<10"。
現(xiàn)有的短脈沖激光對(duì)比度單次診斷裝置的基本結(jié)構(gòu)如圖1所示。待測脈沖作為 基頻光，聚焦透鏡1聚焦到一個(gè)二倍頻晶體2上，產(chǎn)生二倍頻光。然后用準(zhǔn)直透鏡 3得到基頻和二倍頻的平行光束，柱面透鏡4將入射的矩形光束聚焦成直線，由沃 拉斯頓棱鏡5將并行的基頻信號(hào)和倍頻信號(hào)在空間上分開。再通過一個(gè)菲涅耳雙棱 鏡6將分開的基頻信號(hào)和倍頻信號(hào)偏轉(zhuǎn)，以實(shí)現(xiàn)傾斜相交。在兩信號(hào)的相交位置放
3置三倍頻晶體7，可以得到三倍頻光。通過成像透鏡8，并使用濾波片9過濾掉殘 余的基頻光和二倍頻光，CCD10上接收到三倍頻信號(hào)，通過一定的計(jì)算，從而得 出最后結(jié)果。
該技術(shù)存在的問題是不能實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)范圍的對(duì)比度測量，而且時(shí)間延遲有限。
其光程延遲的產(chǎn)生是基于分波前的原理，將基頻和二倍頻兩個(gè)寬光束傾斜相交，兩 束光到達(dá)三倍頻晶體表面時(shí)，在晶體表面的不同位置，基頻光和二倍頻光之間就存 在逐漸變化的光程差，從而實(shí)現(xiàn)不同時(shí)間延遲位置的同時(shí)測量?，F(xiàn)有的對(duì)比度單次 測量技術(shù)中，同一個(gè)晶體中同時(shí)測量多個(gè)時(shí)間延遲位置，從而不同時(shí)間延遲之間對(duì)
應(yīng)的光束會(huì)相互干擾。因此，其可測動(dòng)態(tài)范圍只能達(dá)到104數(shù)量級(jí)。另一方面，可 測量的時(shí)間延遲受基頻信號(hào)與倍頻信號(hào)的光束寬度以及雙棱鏡大小的限制，只能測 到士10ps以內(nèi)的范圍。因此，現(xiàn)有單次測量系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)范圍和時(shí)間延遲都不能滿足 應(yīng)用需求。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型所要解決的問題在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種皮秒脈沖 對(duì)比度單次測量裝置，提高對(duì)比度測量的動(dòng)態(tài)范圍，擴(kuò)展對(duì)比度測量的時(shí)間延遲， 以滿足物理實(shí)驗(yàn)對(duì)超短超強(qiáng)激光系統(tǒng)的對(duì)比度要求。
本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是
一種皮秒脈沖對(duì)比度單次測量裝置，特點(diǎn)在于由分光鏡、第一反射鏡、第二反 射鏡、第三反射鏡、第四反射鏡、基頻達(dá)曼光柵、基頻補(bǔ)償光柵組、第五反射鏡、 第六反射鏡、二倍頻晶體、二倍頻達(dá)曼光柵、二倍頻補(bǔ)償光柵組、反射鏡組、合束 鏡組、三倍頻晶體組、濾光片組和光電倍增管組構(gòu)成，其位置關(guān)系如下
入射的待測脈沖作為基頻光，經(jīng)過所述的分光鏡被分為透射光束和反射光束， 該透射光束通過由第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡和第四反射鏡組成的光程 延遲機(jī)構(gòu)，入射到基頻達(dá)曼光柵上，形成基頻多路子光束，每一路子光束都各自對(duì) 應(yīng)所述的基頻補(bǔ)償光柵組的一塊基頻補(bǔ)償光柵，然后射向合束鏡組的相應(yīng)的合束 鏡，所述的反射光束通過第五反射鏡、第六反射鏡，進(jìn)入所述的二倍頻晶體，得到 二倍頻光，該二倍頻光入射到二倍頻達(dá)曼光柵上，形成二倍頻多路子光束，每路二 倍頻子光束都對(duì)應(yīng)二倍頻補(bǔ)償光柵組的一塊二倍頻補(bǔ)償光柵，得到二倍頻多路子光 束，該二倍頻多路子光束通過反射鏡組相應(yīng)的反射鏡反射后進(jìn)入所述的合束鏡組，與所述的基頻子光束合束后共線傳輸， 一起進(jìn)入三倍頻晶體組，得到三倍頻光，該 多束三倍頻光通過濾光片組，被光電倍增管組探測三倍頻信號(hào)的強(qiáng)度，計(jì)算后就可 以得到待測脈沖的對(duì)比度。
所述的基頻補(bǔ)償光柵組由五塊結(jié)構(gòu)相同的基頻補(bǔ)償光'柵構(gòu)成，所述的二倍頻補(bǔ) 償光柵組由五塊結(jié)構(gòu)相同的二倍頻補(bǔ)償光柵構(gòu)成，所述的反射鏡組由五塊結(jié)構(gòu)相同 的反射鏡構(gòu)成，所述的合束鏡組的由五塊結(jié)構(gòu)相同的合束鏡構(gòu)成、所述的三倍頻晶 體組由五塊結(jié)構(gòu)相同的三倍頻晶體構(gòu)成、所述的濾光片組由五塊結(jié)構(gòu)相同的濾光片 構(gòu)成，所述的光電倍增管組由五塊結(jié)構(gòu)相同的光電倍增管構(gòu)成。
.本實(shí)用新型采用分振幅方法，通過達(dá)曼光柵得到5個(gè)相同、相互分離的子光束， 分別在5塊三倍頻晶體中實(shí)現(xiàn)不同時(shí)間延遲位置的對(duì)比度測量。由于各個(gè)子光束在 空間上是分離的，角度不同情況下，相鄰兩光束之間就存在著光程差。偏折的角度 越大，傳播距離越長，其光程差也就越大。因此能夠用此方法實(shí)現(xiàn)大的時(shí)間延遲。
短脈沖對(duì)比度測量的基本原理是三階互相關(guān)過程。
待測脈沖關(guān)于時(shí)間t的函數(shù)是/(0 ，對(duì)應(yīng)的三階互相關(guān)信號(hào)為 /3(r)=2 (/ — r)力 (1) 式中r為時(shí)間延遲。尸W可以通過二倍頻晶體得到，附加上時(shí)間延遲r之后，
在三倍頻晶體中得到該三階互相關(guān)信號(hào)。 本實(shí)用新型的技術(shù)效果是，
1) 能夠?qū)崿F(xiàn)動(dòng)態(tài)范圍在108以上的對(duì)比度測量。本方案中，每一塊三倍頻晶體 只對(duì)應(yīng)一個(gè)時(shí)間延遲位置，因此不存在上述現(xiàn)有技術(shù)的干擾。這種方法類似于5個(gè) 重復(fù)頻率下的對(duì)比度測量裝置的疊加，每個(gè)重復(fù)頻率下的對(duì)比度測量裝置測量一個(gè) 時(shí)間延遲位置，能夠?qū)崿F(xiàn)高動(dòng)態(tài)范圍的對(duì)比度測量。
2) 時(shí)間延遲能夠擴(kuò)展到100ps。因?yàn)榛l光子光束和二倍頻光子光束之間的光 程延遲，是由角度和空氣中的傳輸距離共同決定的，改變兩塊達(dá)曼光柵之間的距離， 或者達(dá)曼光柵和補(bǔ)償光柵之間的距離，都能實(shí)現(xiàn)光程延遲的調(diào)節(jié)。


圖1是現(xiàn)有的短脈沖對(duì)比度單次測量裝置示意圖；.圖2是本實(shí)用新型皮秒對(duì)比度單次測量儀示意圖； 圖3是圖2皮秒對(duì)比度單次測量儀的俯視示意圖； 圖4是拍瓦激光裝置中壓縮器輸出的皮秒脈沖的時(shí)間特性示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，但不應(yīng)以此限制本實(shí)用新 型的保護(hù)范圍。
先請(qǐng)參閱圖2和圖3，圖2和圖3是本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施例示意圖，由 圖可見，本實(shí)用新型皮秒脈沖對(duì)比度單次測量裝置，由分光鏡2-l、第一反射鏡2-2、 第二反射鏡2-3、第三反射鏡2-4、第四反射鏡2-5、基頻達(dá)曼光柵2-6、基頻補(bǔ)償 光柵組2-7、第五反射鏡2-8、第六反射鏡2-9、 二倍頻晶體2-10、 二倍頻達(dá)曼光柵 2-11、 二倍頻補(bǔ)償光柵組2-12、反射鏡組2-13、合束鏡組2_ 14、三倍頻晶體組2-15、 濾光片組2-16和光電倍增管組2-17構(gòu)成，其位置關(guān)系如下入射的待測脈沖作為 基頻光，經(jīng)過所述的分光鏡2-l被分為透射光束和反射光束，該透射光束通過由第 一反射鏡2-2、第二反射鏡2-3、第三反射鏡2-4和第四反射鏡2-5組成的光程延遲 機(jī)構(gòu)，入射到基頻達(dá)曼光柵2-6上，形成基頻五路子光束，每一路子光束都各自對(duì) 應(yīng)所述的基頻補(bǔ)償光柵組2-7的一塊基頻補(bǔ)償光柵，然后射向合束鏡組的2—14相 應(yīng)的合束鏡，所述的反射光束通過第五反射鏡2-8、第六反射鏡2-9，進(jìn)入所述的二 倍頻晶體2-10，得到二倍頻光，該二倍頻光入射到二倍頻達(dá)曼光柵2-11上，形成 二倍頻五路子光束，每路二倍頻子光束都對(duì)應(yīng)二倍頻補(bǔ)償光柵組2-11的一塊二倍 頻補(bǔ)償光柵，得到二倍頻五路子光束，該二倍頻五路子光束通過反射鏡組2-13相 應(yīng)的反射鏡反射后進(jìn)入所述的合束鏡組2_14，與所述的基頻子光束合束后共線傳 輸， 一起進(jìn)入三倍頻晶體組2-15，得到三倍頻光，該五束三倍頻光通過濾光片組 2-16，被光電倍增管組2-17探測三倍頻信號(hào)的強(qiáng)度，計(jì)算后就可以得到待測脈沖的 對(duì)比度。
本實(shí)施例中的基頻多路子光束和二倍頻多路子光束均取5路，因此，相應(yīng)的基 頻補(bǔ)償光柵組2-7由五塊基頻補(bǔ)償光柵構(gòu)成，二倍頻補(bǔ)償光柵組2-11由五塊二倍頻 補(bǔ)償光柵組成，所述的合束鏡組的2—14由五塊合束鏡組成，所述的三倍頻晶體組 2-15由五塊三倍頻晶體組成，所述的濾光片組2-16由五塊濾光片組成，所述的光電倍增管組2-17由五只光電倍增管組成。
入射的待測脈沖作為基頻光，經(jīng)過分光鏡2-l—分為二，透射光束通過第一反 射鏡2-2、第二反射鏡2-3、第三反射鏡2-4和第四反射鏡2-5組成的光程延遲機(jī)構(gòu)， 入射到基頻達(dá)曼光柵2-6上，轉(zhuǎn)換為基頻多路子光束，每一個(gè)子光束都對(duì)應(yīng)一個(gè)補(bǔ) 償光柵2-7，以補(bǔ)償達(dá)曼光柵產(chǎn)生的色散。分光鏡2—1的反射光束通過第五反射鏡 2-8、第六反射鏡2-9，進(jìn)入二倍頻晶體2-10,得到二倍頻光，該二倍頻光也通過對(duì) 應(yīng)的二倍頻達(dá)曼光柵2-11、 二倍頻補(bǔ)償光柵2-12，從而得到二倍頻多路子光束。然 后該二倍頻多路子光束通過反射鏡2-13和合束鏡2-14，與基頻子光束共線傳輸， 一起進(jìn)入三倍頻晶體2-15，得到三倍頻光。使用濾光片2-16過濾掉殘余的基頻光 和二倍頻光之后，用光電倍增管2-17探測三倍頻信號(hào)的強(qiáng)度，計(jì)算后就可以得到 待測脈沖的對(duì)比度。第一反射鏡2-2、第二反射鏡2-3、第三反射鏡2-4、第四反射 鏡2-5構(gòu)成的光程延遲器，是用來補(bǔ)償分光鏡的反射光在傳輸中爬升和下降帶來的 附加延遲。
在達(dá)曼光柵分光中的光程延遲方式，如圖3所示。錯(cuò)位放置的兩塊基頻達(dá)曼光 柵2-6和二倍頻達(dá)曼光柵2-11上出射的子光束，在俯視圖中以鏡像方式入射到相應(yīng) 的碁頻補(bǔ)償光柵2—7上和二倍頻補(bǔ)償光柵2—12上。
圖3中使用的為1X10的達(dá)曼光柵，由于達(dá)曼光柵的對(duì)稱性，因此只利用了其 中的五束分光子光束。L表示達(dá)曼光柵和補(bǔ)償光柵組之間的垂直距離，di為基頻達(dá) 曼光柵的光柵常數(shù)，d2為二倍頻達(dá)曼光柵的常數(shù)，d尸2 d2， m!、 m2、 m3、 m4、 m5 為基頻達(dá)曼光柵上的五束子光束到補(bǔ)償光柵組中對(duì)應(yīng)小光柵的距離，ni、 n2、 ii3、 n4、 n5為基頻達(dá)曼光柵上的五束子光束到補(bǔ)償光柵組中對(duì)應(yīng)小光柵的距離，e卜e 2、 e3、 e4、 e5為基頻和二倍頻達(dá)曼光柵上的五束子光束的衍射角。這樣，基頻 五個(gè)子光束和二倍頻五個(gè)子光束之間對(duì)應(yīng)的光程延遲可以表示為
ff^ — w5 =￡/cos《一丄/cos《 附2 — w4 =_L/cosS2 —Z/cosS4 <附3 —w3 =Z//cos《-Z/cos^3 (2) w4 —w2 =Z/cos《—丄/cos《
'將基頻光和二倍頻光的中間一束調(diào)節(jié)為等光程，即令mrnf0。具體通過由第 一反射鏡2-2、第二反射鏡2-3、第三反射鏡2-4、第四反射鏡2-5構(gòu)成的光程延遲
7機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。7 = 0時(shí)，它輸出的三倍頻光強(qiáng)記為IQ=/3(r = 0)。在中心光束兩側(cè)，基
頻子光束和二倍頻子光束的光程差逐漸增加，從而實(shí)現(xiàn)不同的光程延遲。俯視圖中， 在中心光束上側(cè)，基頻子光束的光程依次遞減，二倍頻子光束的光程依次增加。它 們?nèi)肷涞剿龅娜额l晶體組2-11上，就會(huì)得到不同時(shí)間延遲位置T的對(duì)比度強(qiáng)度 值。
當(dāng)需要實(shí)現(xiàn)10ps光程延遲的測量時(shí)，以中心光束上側(cè)為例，可以建立光柵常
數(shù)d!和d2、衍射角02和94、垂直距離L之間的方程組
Z/cosS2 _￡/cosP4 =-3附附(10/ ) 々—=3;1^ (3) y2sin<94 =7A2ffl
方程組中d尸200um， d2=100um，入ul.053um， X2 =0.527um，求解得到 L二5352.86mm， 92=0.卯5° ， 94=2.114° 。此時(shí)中心光束上側(cè)第二路子光束中，基 頻和二倍頻之間的時(shí)間延遲為20ps。經(jīng)過三倍頻晶體組2-11的互相關(guān)作用之后就
得到兩個(gè)強(qiáng)度值1+1=/3("+10戸)、1+2=/3(2" = +20戸)。在中心光束下側(cè)，基頻子
光束的光程依次增加，二倍頻子光束的光程依次遞減，經(jīng)'過三倍頻晶體組2-11的
互相關(guān)作用之后也得到兩個(gè)強(qiáng)度值1-尸/30 = -IO戸)、L2=/3(r = -20戸)。。
這樣就可以通過計(jì)算得到士10ps、 土20ps這4個(gè)時(shí)間延遲位置的脈沖對(duì)比度 (Pulse constract): SNR= 1/10
其中，i=-2、 -1、 +1、 +2。
為了得到基頻光和二倍頻光之間100ps的光程延遲，只需要將方程組(3)做
如下修改
丄/cos612 _L/cose4 = —30附m(100/w) <《sin<92 =3;^ (4)
可以得到I^53528.6mm， 62=0.卯5° ， 04=2.114° 。此時(shí)可以得到土 100ps、 士200ps這4個(gè)時(shí)間延遲位置的脈沖對(duì)比度。但該情況下達(dá)曼光柵和補(bǔ)償光柵之間 的距離比較大。從實(shí)際應(yīng)用的角度考慮，測量系統(tǒng)中需要采用1X64的達(dá)曼光柵代 替1X10的達(dá)曼光柵，可利用的為32束子光束，此時(shí)為基頻光的第一級(jí)衍射與二 倍頻光的第32級(jí)衍射相對(duì)應(yīng)，得到方程組
8<formula>formula see original document page 9</formula>。
本實(shí)施例中，每一個(gè)時(shí)間延遲位置，單獨(dú)使用一塊三倍頻晶體，可以避免干擾， 提高對(duì)比度測量的動(dòng)態(tài)范圍。利用達(dá)曼光柵分光中的角度以及錯(cuò)位放置，形成靜態(tài) 分布的光程延遲，可以避免在每一路中都使用光程延遲機(jī)構(gòu)，降低對(duì)比度測量系統(tǒng) 的成本。
權(quán)利要求1、一種皮秒脈沖對(duì)比度單次測量裝置，特征在于由分光鏡(2-1)、第一反射鏡(2-2)、第二反射鏡(2-3)、第三反射鏡(2-4)、第四反射鏡(2-5)、基頻達(dá)曼光柵(2-6)、基頻補(bǔ)償光柵組(2-7)、第五反射鏡(2-8)、第六反射鏡(2-9)、二倍頻晶體(2-10)、二倍頻達(dá)曼光柵(2-11)、二倍頻補(bǔ)償光柵組(2-12)、反射鏡組(2-13)、合束鏡組(2—14)、三倍頻晶體組(2-15)、濾光片組(2-16)和光電倍增管組(2-17)構(gòu)成，其位置關(guān)系如下入射的待測脈沖作為基頻光，經(jīng)過所述的分光鏡(2-1)被分為透射光束和反射光束，該透射光束通過由第一反射鏡(2-2)、第二反射鏡(2-3)、第三反射鏡(2-4)和第四反射鏡(2-5)組成的光程延遲機(jī)構(gòu)，入射到基頻達(dá)曼光柵(2-6)上，形成基頻多路子光束，每一路子光束都各自對(duì)應(yīng)所述的基頻補(bǔ)償光柵組(2-7)的一塊基頻補(bǔ)償光柵，然后射向合束鏡組的(2—14)相應(yīng)的合束鏡，所述的反射光束通過第五反射鏡(2-8)和第六反射鏡(2-9)進(jìn)入所述的二倍頻晶體(2-10)，得到二倍頻光，該二倍頻光入射到二倍頻達(dá)曼光柵(2-11)上，形成二倍頻多路子光束，每路二倍頻子光束都對(duì)應(yīng)二倍頻補(bǔ)償光柵組(2-11)的一塊二倍頻補(bǔ)償光柵，得到二倍頻多路子光束，該二倍頻多路子光束通過反射鏡組(2-13)相應(yīng)的反射鏡反射后進(jìn)入所述的合束鏡組(2—14)，與所述的基頻子光束合束后共線傳輸，一起進(jìn)入三倍頻晶體組(2-15)，得到三倍頻光，該多束三倍頻光通過濾光片組(2-16)，被光電倍增管組(2-17)探測三倍頻信號(hào)的強(qiáng)度，計(jì)算后就可以得到待測脈沖的對(duì)比度。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的皮秒脈沖對(duì)比度單次測量裝置，其特征在于所述的 基頻補(bǔ)償光柵組(2-7)由五塊結(jié)構(gòu)相同的基頻補(bǔ)償光柵構(gòu)成，所述的二倍頻補(bǔ)償 光柵組(2-11)由五塊結(jié)構(gòu)相同的二倍頻補(bǔ)償光柵構(gòu)成，所述的反射鏡組(2-13) 由五塊結(jié)構(gòu)相同的反射鏡構(gòu)成，所述的合束鏡組的(2_14)由五塊結(jié)構(gòu)相同的合 束鏡構(gòu)成、所述的三倍頻晶體組(2-15)由五塊結(jié)構(gòu)相同的三倍頻晶體構(gòu)成、所述 的濾光片組(2-16)由五塊結(jié)構(gòu)相同的濾光片構(gòu)成，所述的光電倍增管組(2-17) 由五塊結(jié)構(gòu)相同的光電倍增管構(gòu)成。
專利摘要一種皮秒脈沖對(duì)比度單次測量裝置，由分光鏡、第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡、第四反射鏡、基頻達(dá)曼光柵、基頻補(bǔ)償光柵組、第五反射鏡、第六反射鏡、二倍頻晶體、二倍頻達(dá)曼光柵、二倍頻補(bǔ)償光柵組、反射鏡組、合束鏡組、三倍頻晶體組、濾光片組和光電倍增管組構(gòu)成，本實(shí)用新型采用達(dá)曼光柵實(shí)現(xiàn)待測脈沖及其二倍頻信號(hào)的多路分光，以實(shí)現(xiàn)10⁸以上的對(duì)比度測量。而且，可以利用達(dá)曼光柵分光時(shí)產(chǎn)生的不同角度，得到漸變的光程延遲。改變達(dá)曼光柵之間的距離，以及達(dá)曼光柵和補(bǔ)償光柵之間的距離，可以調(diào)節(jié)光程延遲的最大值，實(shí)現(xiàn)100ps的時(shí)間延遲測量。
文檔編號(hào)G02F1/35GK201237532SQ20082015190
公開日2009年5月13日 申請(qǐng)日期2008年8月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月13日
發(fā)明者朱健強(qiáng), 李小燕, 歐陽小平 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所