專利名稱：一種五自由度鏡頭調整裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及芯片掃描設備技術，特別是涉及一種五自由度鏡頭調整裝置。
背景技術：
芯片例如LED芯片的分揀是芯片產業(yè)化生產過程中的一個關鍵環(huán)節(jié)，它為后續(xù)的 工藝過程提供了必要的數(shù)據(jù)參數(shù)。芯片分揀通常是這樣進行的芯片位于供給平臺Wafer 表面，掃描系統(tǒng)位于供給平臺Wafer上部，通過掃描系統(tǒng)掃描出的芯片的圖像，再根據(jù)掃描 結果對芯片進行分揀。因此，影響芯片分揀成敗的關鍵取決于掃描系統(tǒng)對芯片位置的準確 定位。 現(xiàn)有技術中，掃描鏡頭的調節(jié)多是采用三維調整機構，對掃描鏡頭的位置進行調 節(jié)。但是，三維調整機構只能調整掃描鏡頭與芯片的相對位置，不能夠對調整掃描鏡頭對芯 片的垂直度。往往造成掃描系統(tǒng)掃描出的芯片位置與供給平臺Wafer運動位置存在偏差， 嚴重影響擺臂移送系統(tǒng)對晶片的精確抓取，從而造成芯片漏檢或損傷。因此，調整掃描鏡頭 對于芯片的垂直度是個關鍵因素。 故，針對現(xiàn)有技術不足，提供一種能夠調整掃描鏡頭對芯片的垂直度的五自由度 鏡頭調整裝置甚為必要。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于避免現(xiàn)有技術的不足之處而提供一種五自由度鏡頭調整裝置，
通過該裝置能夠有效調整掃描鏡頭對芯片的垂直度。 本發(fā)明的目的通過以下技術措施實現(xiàn) —種五自由度鏡頭調整裝置，包括能夠沿X、 Y、 Z三個方向調整的三維調整機構和 鏡頭夾緊座，所述鏡頭夾緊座包括相互配合連接的陰夾緊座和陽夾緊座，陰夾緊座和陽夾 緊座相互配合固定鏡頭，其特征在于所述五自由度鏡頭調整裝置設置有旋轉裝置，所述鏡 頭夾緊座與所述旋轉裝置連接，所述旋轉裝置與所述三維調整機構連接，
所述旋轉裝置包括第一旋轉裝置和第二旋轉裝置， 所述第一旋轉裝置包括第一旋轉支座板、第一旋轉軸、第一上調整螺釘和第一下 調整螺釘，所述第一旋轉軸設置于所述第一旋轉支座板和所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座之 間，并與所述第一旋轉支座板和所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座中的其中之一固定連接并且與 另外一個相貼，所述第一旋轉支座板設置有第一上通孔和第一下通孔，所述第一上通孔和 所述第一下通孔設置有內螺紋，所述第一上調整螺釘與所述第一上通孔配合，所述第一下 調整螺釘與所述第一下通孔配合，所述第一旋轉支座板與所述三維調整機構固定連接；
所述第二旋轉裝置包括第二旋轉支座板、第二旋轉調整板、第二旋轉軸和第二上 調整螺釘、第二下調整螺釘，所述第二旋轉支座板所在的平面與所述第二旋轉調整板所在 的平面平行，所述第二旋轉支座板和所述第二旋轉調整板設置于所述鏡頭夾緊座的兩側， 所述第二旋轉支座板所在的平面與所述第一旋轉支座板所在的平面相互垂直，所述第二旋轉支座板、所述第二旋轉調整板設置與所述第一旋轉支座板固定連接，所述第二旋轉軸設 置于所述第二旋轉支座板和所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座之間，并與所述第二旋轉支座板和 所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座中的其中之一固定連接并且與另外一個相貼，所述第二旋轉調 整板設置有第二上通孔和第二下通孔，所述第二上通孔和所述第二下通孔設置有內螺紋， 所述第二上調整螺釘與所述第二上通孔配合，所述第二下調整螺釘與所述第二下通孔配 合。優(yōu)選的，上述第一旋轉軸與所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座固定連接且所述第一旋轉軸與 所第一旋轉支座板相貼，所述第一旋轉軸與所述陽夾緊座一體成型。 優(yōu)選的，上述第一旋轉軸與所述第一旋轉支座板固定連接且所述第一旋轉軸與所
述鏡頭夾緊座的陽夾緊座相貼，所述第一旋轉軸與所述第一旋轉支座板一體成型。 另一優(yōu)選的，上述第二旋轉軸與所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座固定連接，且所述第
二旋轉軸與所述第二旋轉支座板相貼，所述第二旋轉軸與所述陽夾緊座一體成型。 另一優(yōu)選的，上述第二旋轉軸與所述第二旋轉調整板固定連接，且所述第二旋轉
軸與所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座相貼，所述第二旋轉軸與所述第二旋轉調整板一體成型。 進一步的，上述第二旋轉支座板設置有螺孔，所述第一旋轉支座板設置有螺孔，所
述第二旋轉支座板與所述第一旋轉支座板通過螺絲固定； 所述第二旋轉調整板設置有螺孔，所述第一旋轉支座板設置有螺孔，所述第二旋 轉調整板與所述第一旋轉支座板通過螺絲固定。 更進一步的，上述第一上通孔設置為兩個，所述第一下調整螺釘設置為兩個；所述 第一上調整螺釘設置為兩個，所述第一下調整螺釘設置為兩個。 更進一步的，上述第二上通孔設置為一個，所述第二下調整螺釘設置為一個，所述 第二上調整螺釘設置為一個，所述第二下調整螺釘設置為一個。 本發(fā)明的一種五自由度鏡頭調整裝置，包括能夠沿X、Y、Z三個方向調整的三維調 整機構和鏡頭夾緊座，所述鏡頭夾緊座包括相互配合連接的陰夾緊座和陽夾緊座，陰夾緊 座和陽夾緊座相互配合固定鏡頭，所述五自由度鏡頭調整裝置設置有旋轉裝置，所述鏡頭 夾緊座與所述旋轉裝置連接，所述旋轉裝置與所述三維調整機構連接，所述旋轉裝置包括 第一旋轉裝置和第二旋轉裝置，所述第一旋轉裝置包括第一旋轉支座板、第一旋轉軸、第一 上調整螺釘和第一下調整螺釘，所述第一旋轉軸設置于所述第一旋轉支座板和所述鏡頭夾 緊座的陽夾緊座之間，并與所述第一旋轉支座板和所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座中的其中之 一固定連接并且與另外一個相貼，所述第一旋轉支座板設置有第一上通孔和第一下通孔， 所述第一上通孔和所述第一下通孔設置有內螺紋，所述第一上調整螺釘與所述第一上通孔 配合，所述第一下調整螺釘與所述第一下通孔配合，所述第一旋轉支座板與所述三維調整 機構固定連接；所述第二旋轉裝置包括第二旋轉支座板、第二旋轉調整板、第二旋轉軸和第 二上調整螺釘、第二下調整螺釘，所述第二旋轉支座板所在的平面與所述第二旋轉調整板 所在的平面平行，所述第二旋轉支座板和所述第二旋轉調整板設置于所述鏡頭夾緊座的兩 側，所述第二旋轉支座板所在的平面與所述第一旋轉支座板所在的平面相互垂直，所述第 二旋轉支座板、所述第二旋轉調整板設置與所述第一旋轉支座板固定連接，所述第二旋轉 軸設置于所述第二旋轉支座板和所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座之間，并與所述第二旋轉支座 板和所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座中的其中之一固定連接并且與另外一個相貼，所述第二旋 轉調整板設置有第二上通孔和第二下通孔，所述第二上通孔和所述第二下通孔設置有內螺
5紋，所述第二上調整螺釘與所述第二上通孔配合，所述第二下調整螺釘與所述第二下通孔
配合。本發(fā)明的一種五自由度鏡頭調整裝置，在三維旋轉機構的基礎上增設了旋轉裝置，通
過第一旋轉裝置和第二旋轉裝置可以實現(xiàn)對鏡頭垂直度的精確調節(jié)。該五自由度鏡頭調整 裝置結構簡單、調節(jié)方便、經濟實用。


利用附圖對本發(fā)明作進一步描述，但附圖中的內容不構成對本發(fā)明的任何限制。
圖1是本發(fā)明一種五自由度鏡頭調整裝置的結構示意圖；
圖2是圖1的爆炸圖。
具體實施例方式
結合以下實施例對本發(fā)明作進一步說明。 —種五自由度鏡頭調整裝置，如圖1、圖2所示，包括能夠沿X、 Y、 Z三個方向調整 的三維調整機構1、鏡頭夾緊座2、旋轉裝置3。鏡頭夾緊座2包括陰夾緊座21和陽夾緊座 22，陰夾緊座21與陽夾緊座22配合可將鏡頭5固定于其中。旋轉裝置3與鏡頭夾緊座2 連接，三維調整機構1與旋轉裝置3固定連接。三維調整機構1設置有X向調節(jié)旋鈕11、 Y向調節(jié)旋鈕12和Z向調節(jié)旋鈕13，通過調節(jié)三維調整機構1可帶動旋轉裝置3沿X、 Y、 Z三個方向調整，鏡頭夾緊座2也跟著作相應調整，進而調整鏡頭5的位置。通過旋轉裝置 3，可調整鏡頭5的垂直度。旋轉裝置3包括第一旋轉裝置31和第二旋轉裝置32。第一旋 轉裝置31包括第一旋轉支座板311、第一旋轉軸312、第一上調整螺釘313和第一下調整螺 釘314。第一旋轉軸312設置于第一旋轉支座板311和鏡頭夾緊座2的陽夾緊座22之間， 第一旋轉軸312與鏡頭夾緊座2的陽夾緊座22固定連接，為了便于生產制造、降低設備成 本，第一旋轉軸312與陽夾緊座22 —體成型。第一旋轉支座板311設置有第一上通孔3111 和第一下通孔3112，第一上通孔3111和第一下通孔3112設置有內螺紋，第一上調整螺釘 313與第一上通孔3111配合，第一下調整螺釘314與第一下通孔3112配合，第一旋轉支座 板311與三維調整機構1固定連接。 第二旋轉裝置32包括第二旋轉支座板321、第二旋轉軸322、第二上調整螺釘323、 第二下調整螺釘324和第二旋轉調整板325。第二旋轉支座板321所在的平面與第二旋轉 調整板325所在的平面平行，第二旋轉支座板321和第二旋轉調整板325設置于鏡頭夾緊 座2的兩側，第二旋轉支座板321所在的平面與所述第一旋轉支座板311所在的平面相互 垂直，第二旋轉支座板321、第二旋轉調整板325分別與第一旋轉支座板311固定連接，這 種結構設計便于鏡頭5與夾緊座2的結構相配合。具體的，第二旋轉支座板321設置有螺 孔3211，第一旋轉支座板311也設置有螺孔3113，通過螺絲穿過第二旋轉支座板321的螺 孔3211和第一旋轉支座板311的螺孔3113使第二旋轉支座板321固定于第一旋轉支座板 311。第二旋轉調整板325設置有螺孔3253，第一旋轉支座板311也設置有螺孔3114，通過 螺絲穿過第二旋轉調整板325的螺孔3253和第一旋轉支座板311的螺孔3114使第二旋轉 調整板325固定于第一旋轉支座板311。第二旋轉軸322設置于第二旋轉支座板321和鏡 頭夾緊座2的陽夾緊座22之間，第二旋轉軸322與第二旋轉支座板321固定連接，且第二旋 轉軸322與鏡頭夾緊座2的陽夾緊座22相貼。通常，為了降低便于生產和降低設備成本，
6第二旋轉軸322與第二旋轉支座板321 —體成型。第二旋轉調整板325設置有第二上通孔 3251和第二下通孔3252，第二上通孔3251和第二下通孔3252設置有內螺紋，第二上調整 螺釘323與第二上通孔3251配合，第二下調整螺釘324與第二下通孔3252配合。由于第 二旋轉支座板321和第二旋轉調整板325體積較小，因此將第二上通孔3251、第二下通孔 3252、第二上調整螺釘323和第二下調整螺釘324各設置為一個即可。
本發(fā)明的一種五自由度鏡頭調整裝置，其工作原理是其旋轉裝置3的第一旋轉 支座板311、第二旋轉支座板321和第二旋轉調整板325之間，相互配合固定，將鏡頭夾緊 座2固定。由于第二旋轉支座板321和第二旋轉調整板325對鏡頭夾緊座2的兩側夾持作 用，當調節(jié)第一旋轉裝置31的第一上調整螺釘313和第一下調整螺釘314時，第一上調整 螺釘313和第一下調整螺釘314會對鏡頭夾緊座2的陽夾緊座22產生作用力，整個鏡頭夾 緊座2將以第一旋轉軸312與第一旋轉支座板311的接觸線為支點作繞第一旋轉軸312的 旋轉，從而實現(xiàn)對鏡頭夾緊座2的調整。鏡頭夾緊座2的旋轉方向可以通過第一上調整螺 釘313和第一下調整螺釘314的旋緊方向改變。 第二旋轉支座板321與第二旋轉調整板分325別與第一旋轉支座板311固定連 接，當調整第二上調整螺釘323和第二下調整螺釘324時，鏡頭夾緊座2將以第二旋轉軸 322為支點作繞第二旋轉軸322的轉動，從而實現(xiàn)對鏡頭5的調整。鏡頭夾緊座2的旋轉方 向可以通過第二上調整螺釘323和第二下調整螺釘324的旋緊方向改變。
通過第一旋轉裝置31和第二旋轉裝置32可以實現(xiàn)對鏡頭5的垂直度的精確調 整。具有調整精度高、調節(jié)方便的特點。此外，該旋轉裝置3結構簡單，成本低廉。
需要說明的是，在本實施例中第一旋轉裝置31的第一旋轉軸312與陽夾緊座22 固定連接，且第一旋轉軸312與第一旋轉支架座311相貼。還可以將第一旋轉軸312與第 一支座板311固定連接，且第一旋轉軸312與陽夾緊座22相貼，為了便于制造和安裝，還可 將第一旋轉軸312與第一支座板311設置為一體成型。 此外，在本實施例中，第二旋轉軸322與第二旋轉支座板321固定連接，且第二旋 轉軸322與鏡頭夾緊座2的陽夾緊座22相貼。還可以將第二旋轉裝置32的第二旋轉軸322 與陽夾緊座22固定連接，且第二旋轉軸322與第二旋轉支座板321相貼。為了降低便于生 產和降低設備成本，還可將第二旋轉軸322與第二旋轉支座板321設置為一體成型。需要 說明的是，第二旋轉支座板321、第二旋轉調整板325與第一旋轉支座板311的連接關系除 了本實施例中的螺絲連接方式外，還可以通過其他方式固定。 最后應當說明的是，以上實施例僅用以說明本發(fā)明的技術方案而非對本發(fā)明保護
范圍的限制，盡管參照較佳實施例對本發(fā)明作了詳細說明，本領域的普通技術人員應當理 解，可以對本發(fā)明的技術方案進行修改或者等同替換，而不脫離本發(fā)明技術方案的實質和范圍。
權利要求
一種五自由度鏡頭調整裝置，包括能夠沿X、Y、Z三個方向調整的三維調整機構和鏡頭夾緊座，所述鏡頭夾緊座包括相互配合連接的陰夾緊座和陽夾緊座，陰夾緊座和陽夾緊座相互配合固定鏡頭，其特征在于所述五自由度鏡頭調整裝置設置有旋轉裝置，所述鏡頭夾緊座與所述旋轉裝置連接，所述旋轉裝置與所述三維調整機構連接，所述旋轉裝置包括第一旋轉裝置和第二旋轉裝置，所述第一旋轉裝置包括第一旋轉支座板、第一旋轉軸、第一上調整螺釘和第一下調整螺釘，所述第一旋轉軸設置于所述第一旋轉支座板和所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座之間，并與所述第一旋轉支座板和所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座中的其中之一固定連接并且與另外一個相貼，所述第一旋轉支座板設置有第一上通孔和第一下通孔，所述第一上通孔和所述第一下通孔設置有內螺紋，所述第一上調整螺釘與所述第一上通孔配合，所述第一下調整螺釘與所述第一下通孔配合，所述第一旋轉支座板與所述三維調整機構固定連接；所述第二旋轉裝置包括第二旋轉支座板、第二旋轉調整板、第二旋轉軸和第二上調整螺釘、第二下調整螺釘，所述第二旋轉支座板所在的平面與所述第二旋轉調整板所在的平面平行，所述第二旋轉支座板和所述第二旋轉調整板設置于所述鏡頭夾緊座的兩側，所述第二旋轉支座板所在的平面與所述第一旋轉支座板所在的平面相互垂直，所述第二旋轉支座板、所述第二旋轉調整板設置與所述第一旋轉支座板固定連接，所述第二旋轉軸設置于所述第二旋轉支座板和所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座之間，并與所述第二旋轉支座板和所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座中的其中之一固定連接并且與另外一個相貼，所述第二旋轉調整板設置有第二上通孔和第二下通孔，所述第二上通孔和所述第二下通孔設置有內螺紋，所述第二上調整螺釘與所述第二上通孔配合，所述第二下調整螺釘與所述第二下通孔配合。
2. 根據(jù)權利要求1所述的一種五自由度鏡頭調整裝置，其特征在于所述第一旋轉軸 與所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座固定連接，且所述第一旋轉軸與所第一旋轉支座板相貼，所 述第一旋轉軸與所述陽夾緊座一體成型。
3. 根據(jù)權利要求1所述的一種五自由度鏡頭調整裝置，其特征在于所述第一旋轉軸 與所述第一旋轉支座板固定連接，且所述第一旋轉軸與所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座相貼， 所述第一旋轉軸與所述第一旋轉支座板一體成型。
4. 根據(jù)權利要求1所述的一種五自由度鏡頭調整裝置，其特征在于所述第二旋轉軸 與所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座固定連接，且第二旋轉軸與所述第二旋轉支座板相貼，所述 第二旋轉軸與所述陽夾緊座一體成型。
5. 根據(jù)權利要求1所述的一種五自由度鏡頭調整裝置，其特征在于所述第二旋轉軸 與所述第二旋轉調整板固定連接，且第二旋轉軸與所述鏡頭夾緊座的陽夾緊座相貼，所述 第二旋轉軸與所述第二旋轉調整板一體成型。
6. 根據(jù)權利要求1或2或3或4或5所述的一種五自由度鏡頭調整裝置，其特征在于 所述第二旋轉支座板設置有螺孔，所述第一旋轉支座板設置有螺孔，所述第二旋轉支座板 與所述第一旋轉支座板通過螺絲固定；所述第二旋轉調整板設置有螺孔，所述第一旋轉支座板設置有螺孔，所述第二旋轉調 整板與所述第一旋轉支座板通過螺絲固定。
7. 根據(jù)權利要求6所述的一種五自由度鏡頭調整裝置，其特征在于所述第一上通孔 設置為兩個，所述第一下調整螺釘設置為兩個；所述第一上調整螺釘設置為兩個，所述第一下調整螺釘設置為兩個。
8.根據(jù)權利要求7所述的一種五自由度鏡頭調整裝置，其特征在于所述第二上通孔設置為一個，所述第二下調整螺釘設置為一個，所述第二上調整螺釘設置為一個，所述第二 下調整螺釘設置為一個。
全文摘要
一種五自由度鏡頭調整裝置，包括三維調整機構、鏡頭夾緊座和旋轉裝置，旋轉裝置包括第一旋轉裝置和第二旋轉裝置，第一旋轉裝置包括第一旋轉支座板、第一旋轉軸、第一上調整螺釘和第一下調整螺釘，第二旋轉裝置包括第二旋轉支座板、第二旋轉調整板、第二旋轉軸和第二上調整螺釘、第二下調整螺釘，第二旋轉支座板所在的平面與第二旋轉調整板所在的平面平行，第二旋轉支座板和第二旋轉調整板設置于所述鏡頭夾緊座的兩側，第二旋轉支座板所在的平面與第一旋轉支座板所在的平面相互垂直。本發(fā)明可對鏡頭垂直度進行精確調節(jié)，具有結構簡單、調節(jié)方便、經濟實用的特點。
文檔編號G02B7/02GK101750702SQ200910214408
公開日2010年6月23日 申請日期2009年12月30日 優(yōu)先權日2009年12月30日
發(fā)明者吳濤, 李斌, 李海洲, 鄭振華, 黃禹, 龔時華 申請人:東莞華中科技大學制造工程研究院;東莞市華科制造工程研究院有限公司