專利名稱：濾色器的制造方法、帶圖案基板的制造方法及小型光掩模的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在場(chǎng)致發(fā)射型顯示裝置、熒光顯示裝置、等離子顯示器(PDP)及液晶 顯示裝置等中所使用的濾色器和帶圖案基板的制造方法，特別是關(guān)于使用多個(gè)小型光掩模 的濾色器的制造方法、帶圖案基板的制造方法及小型光掩模。
背景技術(shù)：
在彩色液晶顯示裝置等中所使用的濾色器，是彩色液晶顯示裝置等中必不可欠缺 的部件，具有提高液晶顯示裝置的畫質(zhì)、或?qū)Ω飨袼刭x予各個(gè)原色色彩的作用。如下地制造 構(gòu)成該濾色器的濾波器節(jié)或黑矩陣。即，在玻璃基板等上涂布了感光性材料之后，干燥除去 剩余的溶劑。接著，通過(guò)使用超高壓水銀燈的接近式曝光(接近曝光)等，經(jīng)由用于形成像 素的光掩模向感光性材料照射活性能量射線。由此，提高能量照射部的固化(底片型)或 堿溶解度(正片型)，除去在堿溶液等中溶解的部分。通過(guò)對(duì)各顏色重復(fù)該工序，由此制作 濾色器ο近年來(lái)，彩色液晶顯示裝置作為液晶彩色電視機(jī)、汽車導(dǎo)航儀用以及液晶顯示裝 置一體式的筆記本計(jì)算機(jī)，形成了較大的市場(chǎng)。此外，作為活用了節(jié)能、省空間的特征的桌 面計(jì)算機(jī)用的監(jiān)視器及電視機(jī)也得到了普及。并且，隨著在市場(chǎng)上一般的普及，顏色再現(xiàn)特 性的提高的要求變高。此外，為了提高對(duì)比度，一般在濾色器的各顏色的濾波器節(jié)之間配置黑矩陣。近年 來(lái)，從環(huán)境問(wèn)題、低反射化，低成本化的觀點(diǎn)考慮，代替金屬鉻制的黑矩陣，而關(guān)注在樹(shù)脂中 分散了遮光性的色素的樹(shù)脂制黑矩陣。但是，在樹(shù)脂制黑矩陣中，與金屬鉻制黑矩陣相比， 存在有遮光性(光學(xué)濃度)較低的問(wèn)題。為了提高濾色器的顏色再現(xiàn)特性及黑矩陣的遮光性，需要將感光性著色組成物中 的色素的含有量增多或?qū)⒛ず裨龊?。但是，在接近式曝?接近曝光)等、將來(lái)自作為光源 的超高壓水銀燈的紫外光等作為活化能量源的現(xiàn)有手法中，當(dāng)色素的含有量增多時(shí)，發(fā)生 感度降低、顯影性、解像性惡化等問(wèn)題。此外，當(dāng)增厚膜厚時(shí)，曝光用光不能到達(dá)膜底部，而 發(fā)生濾波器節(jié)及黑矩陣的直線性和截面形狀變得不良等問(wèn)題。此外，在本發(fā)明的記載中， 所謂濾波器節(jié)是指紅色、綠色、藍(lán)色等個(gè)別的著色像素，所謂黑矩陣是指以提高對(duì)比度為目 的、對(duì)這些濾波器節(jié)進(jìn)行區(qū)分的遮光性的黑色細(xì)線圖案。此外，在以下的記載中，將來(lái)自作 為曝光光源的激光器的光(激光束)簡(jiǎn)單表記為激光。另一方面，隨著彩色液晶顯示裝置的普及，對(duì)濾色器的降低成本要求增大。在上述 的接近式曝光方式中，一般使用超高壓水銀燈作為光源，將通過(guò)復(fù)眼透鏡或微透鏡等使照 度不均勻變均勻的照明光，通過(guò)準(zhǔn)直透鏡變換為平行光。形成有光掩模、彩色光阻等感光性 樹(shù)脂層的基板，具有數(shù)十Pm 數(shù)百μ m的間隙配置。從光掩模之上照射平行光，將光掩模 的圖案轉(zhuǎn)印到基板上。這樣，在采用了超高壓水銀燈的接近式曝光方式中，不需要使用投影曝光系統(tǒng)，作 為裝置結(jié)構(gòu)非常簡(jiǎn)單，因此裝置價(jià)格便宜。此外，由于能夠通過(guò)一次照射對(duì)與光掩模相同面積的基板進(jìn)行曝光，所以若使用與基板的尺寸大致相同尺寸的大型的光掩模，則具有生產(chǎn) 節(jié)拍較短的優(yōu)點(diǎn)。但是，隨著使用了濾色器的制品的大畫面化、或者用于將這些大畫面多面 貼附在1個(gè)大尺寸透明基板上，光掩模也必不得不進(jìn)一步大型化。光掩模的大型化與制造 成本的增加相關(guān)聯(lián)，如何降低光掩模的成本成為課題。作為降低光掩模的制造成本的方式，在專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了如下的無(wú)掩模曝光方 式將激光用作光源，在根據(jù)圖像數(shù)據(jù)調(diào)制光的同時(shí)進(jìn)行相對(duì)掃描，由此形成二維畫像。在 專利文獻(xiàn)2中公開(kāi)了在形成濾色器的黑矩陣時(shí)使用的激光曝光裝置。激光曝光方式能夠不 使用高價(jià)的光掩模地形成像素，所以能夠期待大幅度的成本降低。但是，在不使用光掩模的 激光曝光方式中，曝光所使用的空間調(diào)制元件和適合于激光的感光性樹(shù)脂組成物的開(kāi)發(fā)較 難。并且，形狀較好的微細(xì)圖案形成中存在難點(diǎn)。此外，在專利文獻(xiàn)1中所記載的方法中， 需要設(shè)置氧氣遮斷膜、提高曝光時(shí)的感度。此外，在專利文獻(xiàn)3中公開(kāi)了噴墨方式，該噴墨方式為，能夠?qū)、G、B的3色的著 色樹(shù)脂組成物用作為墨，并同時(shí)印刷各色。由于能夠同時(shí)印刷各色，所以材料的浪費(fèi)也較 少。并且，由于像素的形成工序縮短，所以能夠期待環(huán)境負(fù)荷的降低和大幅度的成本降低。 但是，在噴墨方式中存在的問(wèn)題為，由墨排出裝置印刷的著色層不成為平坦的形狀而成為 凸型形狀。專利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2007-11231號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開(kāi)2005-316166號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開(kāi)平6-347637號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問(wèn)題而做出的，其目的在于提供一種濾色器的制造方法、 帶圖案基板的制造方法及小型光掩模，直線性、截面形狀良好，作為濾色器能夠形成具有足 夠的膜厚的濾波器節(jié)及黑矩陣，且為了降低高價(jià)的光掩模成本而能夠使光掩模小型化，并 且還能夠抑制生產(chǎn)率的降低。此外，根據(jù)所使用的曝光光源的波長(zhǎng)或者感光性樹(shù)脂層的感度特性，還存在光固 化不充分、在后續(xù)工序的熱處理中在感光性樹(shù)脂層中產(chǎn)生褶皺的問(wèn)題，或者難以通過(guò)一次 曝光工序來(lái)形成作為液晶用間隔件的高度不同的構(gòu)造物的圖案曝光等問(wèn)題。本發(fā)明提出了 能夠任意設(shè)定曝光量、解決上述問(wèn)題的技術(shù)。根據(jù)本發(fā)明人的研究，將激光用作光源、且經(jīng)由用于形成像素的光掩模進(jìn)行接近 式曝光，由此能夠使光掩模小型化。此外，通過(guò)以累積曝光量為1 150mJ/cm2的方式進(jìn)行 曝光，抑制燒蝕現(xiàn)象引起的感光性樹(shù)脂涂膜的分解，能夠形成足夠膜厚的濾波器節(jié)。本發(fā)明 是基于這種見(jiàn)解而做出的。本發(fā)明第一技術(shù)方案的發(fā)明為一種濾色器的制造方法，其特征在于，按如下順序 多次重復(fù)至少如下工序(a)涂布工序，在基板上涂布由感光性樹(shù)脂組成物構(gòu)成的感光性 樹(shù)脂層；(b)圖案曝光工序，對(duì)上述基板上的感光性樹(shù)脂層進(jìn)行圖案曝光并使其固化；(C) 顯影工序，除去上述感光性樹(shù)脂層的未曝光(未固化)部分，并對(duì)曝光后的感光性樹(shù)脂層進(jìn) 行顯影；以及(d)燒成工序，使上述顯影后的感光性樹(shù)脂層熱固化；并形成濾波器節(jié)及黑矩 陣，在該濾色器的制造方法中，在上述曝光工序(b)中，將激光用作光源，且經(jīng)由用于形成像素的光掩模，以累積曝光量成為1 150mJ/cm2的方式進(jìn)行接近式曝光。本發(fā)明第二技術(shù)方案的發(fā)明為，如第一技術(shù)方案所記載的濾色器的制造方法，其 特征在于，在上述曝光工序(b)中，多次重復(fù)照射上述激光。本發(fā)明第三技術(shù)方案的發(fā)明為，如第一或第二技術(shù)方案所記載的濾色器的制造方 法，其特征在于，上述激光的頻率為1 500Hz。本發(fā)明第四技術(shù)方案的發(fā)明為，如第一或第二技術(shù)方案所記載的濾色器的制造方 法，其特征在于，上述激光的每1個(gè)脈沖的能量密度為0. 1 lOOOmJ/cm2，且脈沖寬度為 0. 1 3000nsec。本發(fā)明第五技術(shù)方案的發(fā)明為，如第一或第二技術(shù)方案所記載的濾色器的制造方 法，其特征在于，在上述曝光工序(b)中，以累積曝光量成為1 50mJ/cm2的方式照射上述 激光，使上述感光性樹(shù)脂層光固化。本發(fā)明第六技術(shù)方案的發(fā)明為，如第一或第二技術(shù)方案所記載的濾色器的制造方 法，其特征在于，上述感光性樹(shù)脂組成物所使用的光重合開(kāi)始劑在308nm的摩爾吸光系數(shù) (ε 308)大于在365nm的摩爾吸光系數(shù)(ε 365)。本發(fā)明第七技術(shù)方案的發(fā)明為，如第一或第二技術(shù)方案所記載的濾色器的制造方 法，其特征在于，上述感光性樹(shù)脂組成物所使用的光重合開(kāi)始劑的質(zhì)量(I)相對(duì)于單體的 質(zhì)量(M)之比(Ι/Μ)在0.01 0.45的范圍內(nèi)。本發(fā)明第八技術(shù)方案的發(fā)明為，如第一技術(shù)方案所記載的濾色器的制造方法，其 特征在于，上述光掩模是圖案區(qū)域比上述基板上的曝光區(qū)域整體小的多個(gè)小型光掩模。本發(fā)明第九技術(shù)方案的發(fā)明為一種帶圖案基板的制造方法，其特征在于，包括 (a)涂布工序，在矩形的基板上涂布由感光性樹(shù)脂組成物構(gòu)成的感光性樹(shù)脂層；(b)圖案曝 光工序，在使上述基板沿長(zhǎng)度方向移動(dòng)的同時(shí)，對(duì)該基板上的感光性樹(shù)脂層進(jìn)行圖案曝光 并使其感光；在該帶圖案基板的制造方法中，在上述曝光工序(b)中，將激光用作曝光光 源，且將用于形成圖案的小型光掩模在上述基板的寬度方向上配設(shè)多個(gè)，進(jìn)行對(duì)相同的圖 案重復(fù)照射激光的接近式曝光。本發(fā)明第十技術(shù)方案的發(fā)明為，如第九技術(shù)方案所記載的帶圖案基板的制造方 法，其特征在于，上述小型光掩模在寬度方向上配設(shè)多個(gè)，是在上述基板的移動(dòng)方向上存在 2列。本發(fā)明第十一技術(shù)方案的發(fā)明為，如第九或第十技術(shù)方案所記載的帶圖案基板的 制造方法，其特征在于，上述小型光掩模在同一掩模面內(nèi)將不同種類的圖案在上述基板的 移動(dòng)方向上形成2種以上，按照種類選擇曝光某一種圖案。本發(fā)明第十二技術(shù)方案的發(fā)明為，如第九或第十技術(shù)方案所記載的帶圖案基板的 制造方法，其特征在于，在上述圖案曝光中，改變來(lái)自上述激光的曝光的發(fā)射數(shù)量來(lái)進(jìn)行曝 光量不同的圖案曝光。本發(fā)明第十三技術(shù)方案的發(fā)明為一種小型光掩模，在第八技術(shù)方案所記載的濾色 器的制造方法或第九技術(shù)方案所記載的帶圖案基板的制造方法中使用，其特征在于，在同 一掩模面內(nèi)配設(shè)了 2種以上的不同種類的圖案。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)以低功率短時(shí)間照射特定波長(zhǎng)的激光，由此使感光性樹(shù)脂組成物在極短時(shí)間內(nèi)固化或者感光，因此能夠使用較小的光掩模而以低成本形成形狀優(yōu)良的濾 波器節(jié)及黑矩陣。此外，由于并用多個(gè)小型光掩模，所以能夠不降低生產(chǎn)率地進(jìn)行高精度的 圖案形成。尤其是，使用多個(gè)小型的光掩模，以在大尺寸的透明基板(涂布了感光性樹(shù)脂的 基板)的矩形基板的寬度(寬)方向上排列的形狀配列而進(jìn)行激光曝光，由此能夠不降低 生產(chǎn)量地實(shí)施有效的曝光。并且，通過(guò)本發(fā)明的技術(shù)，能夠大幅度地降低光掩模的成本。通 過(guò)在矩形基板的寬度方向上配設(shè)小型光掩模，由此與在矩形基板的長(zhǎng)度方向上配設(shè)的情況 相比能夠減少小型光掩模的數(shù)量。此外，通過(guò)以累積曝光量成為1 150mJ/cm2的方式進(jìn)行接近式曝光，能夠抑制 燒蝕現(xiàn)象引起的感光性樹(shù)脂層的分解或蒸發(fā)，能夠制造足夠膜厚的濾波器節(jié)及黑矩陣或者 TFT等帶圖案基板。本發(fā)明所記載的技術(shù)，除適用于液晶顯示裝置用基板的制造以外，還能 夠適用于等離子顯示器、有機(jī)EL顯示裝置用基板、布線基板、太陽(yáng)能電池用途等的帶圖案 基板的制造。并且，本發(fā)明在形成使用感光性樹(shù)脂層的濾波器節(jié)、或者在形成了濾色器或TFT 元件的基板上形成構(gòu)造物等時(shí)，通過(guò)改變激光光源的發(fā)射數(shù)量來(lái)進(jìn)行曝光量不同的圖案曝 光，由此具有能夠自由度較高地形成作為目的的濾波器節(jié)或構(gòu)造物的較大效果。通過(guò)使用 能夠進(jìn)行光取向的有機(jī)材料而同時(shí)進(jìn)行分割曝光，由此能夠形成具有多個(gè)取向區(qū)域的液晶 用取向膜圖案?；蛘撸ㄟ^(guò)使用能夠通過(guò)激光曝光來(lái)進(jìn)行延遲調(diào)整的液晶聚合物，由此能夠 形成對(duì)每個(gè)顏色控制了延遲的相位差圖案。在將藍(lán)色顏料作為顏色材料的感光性樹(shù)脂層 的圖案曝光中，通過(guò)在有效畫面的周邊部或基板端面?zhèn)仍黾觼?lái)自激光光源的曝光的發(fā)射數(shù) 量，由此能夠消除伴隨固化不足的褶皺產(chǎn)生問(wèn)題。同樣，通過(guò)調(diào)整來(lái)自激光光源的曝光的發(fā) 射數(shù)量，由此能夠形成用于液晶單元的間隙調(diào)整的高度不同的間隔件。


圖1是示出使用多個(gè)小型光掩模對(duì)CF圖案進(jìn)行曝光的情況的俯視圖。圖2是示出1個(gè)光掩模的結(jié)構(gòu)的俯視圖和截面圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的濾色器的制造方法的特征在于，對(duì)每個(gè)顏色重復(fù)如下工序在基板上涂 布感光性樹(shù)脂組成物的工序；經(jīng)由用于形成像素的多個(gè)小型光掩模，對(duì)成為濾波器節(jié)或黑 矩陣的部分以累積曝光量成為1 150mJ/cm2的方式照射激光而使其固化的工序；進(jìn)行顯 影而除去上述感光性樹(shù)脂層的未曝光部分的工序；以及使上述顯影后的感光性樹(shù)脂層熱固 化的工序，形成黑矩陣及濾波器節(jié)。本發(fā)明的技術(shù)為，通過(guò)將以線型酚醛樹(shù)脂為基體的正片型感光性樹(shù)脂用作抗蝕圖 案，由此能夠形成TFT等有源矩陣元件的圖案?；蛘吣軌蜻m用于在形成有TFT元件的基板 上形成濾色器的稱作COA的技術(shù)中。通過(guò)對(duì)改變了發(fā)射數(shù)量的曝光量或激光照射角度進(jìn)行 調(diào)整，能夠形成能夠調(diào)整液晶分子取向的取向膜圖案以及延遲不同的相位差圖案。通過(guò)本發(fā)明的濾色器的制造方法制作的濾色器為，在透明基板上具備濾波器節(jié)及 黑矩陣，濾波器節(jié)能夠具備從由紅、綠、藍(lán)、黃、橙及青構(gòu)成的組中選擇的至少兩個(gè)顏色。再 將其作為液晶用的情況下，還依次層疊了透明導(dǎo)電層、取向膜層，例如使其與形成了薄膜晶7體管(TFT)那樣的電極的對(duì)置基板對(duì)置并隔著液晶層構(gòu)成液晶顯示裝置。以下，將透明基 板、黑矩陣、紅、綠、藍(lán)的著色像素層組合作為濾色器。根據(jù)需要，能夠在上述濾色器上設(shè)置 平坦化層、保護(hù)層或透明導(dǎo)電層。濾色器的基板能夠使用玻璃基板、石英基板、塑料基板等公知的透明基板材料。其 中，玻璃基板的透明性、強(qiáng)度、耐熱性、耐大氣性優(yōu)良。也可以如上所述使用預(yù)先形成有驅(qū)動(dòng) TFT等液晶的有源元件的基板，并在該基板上形成濾色器。[感光性樹(shù)脂組成物的涂布工序]在感光性樹(shù)脂組成物的涂布工序中，使用擠壓式涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)等公知的涂 布裝置來(lái)均勻地進(jìn)行涂布。之后，為了除去溶劑成分，能夠根據(jù)需要來(lái)實(shí)施減壓干燥處理或 預(yù)烘處理。作為用于濾色器的感光性樹(shù)脂組成物，通常使用將丙烯樹(shù)脂作為基體、作為顏色 材料分散了有機(jī)顏料的底片型的感光性樹(shù)脂。在以TFT等液晶驅(qū)動(dòng)為前提的有源元件的圖 案形成中，使用將線型酚醛樹(shù)脂作為基體的正片型感光性樹(shù)脂。[曝光工序]在曝光工序中，對(duì)上述感光性樹(shù)脂層的成為濾波器節(jié)或黑矩陣的部分，照射激光 來(lái)使其固化或者感光。具體而言，經(jīng)由比基板小的光掩模，對(duì)形成在大尺寸的基板上的感光 性樹(shù)脂層分別照射激光而使其固化或者感光。如圖1所示，沿著涂布了感光性樹(shù)脂層的矩形的大型基板20的寬度方向，配設(shè)多 個(gè)小型的光掩模10。并且，與各個(gè)光掩模10對(duì)應(yīng)地設(shè)置激光光源(未圖示)。通過(guò)配設(shè)多 個(gè)光掩模10，能夠防止激光曝光導(dǎo)致的生產(chǎn)量降低。配設(shè)小型光掩模10的方向?yàn)榫匦位?板20的寬度方向的情況下，能夠減少掩模的個(gè)數(shù)。因此，矩形基板20在曝光時(shí)沿長(zhǎng)度方向 進(jìn)行基板進(jìn)給。為了緩和大畫面上的連接不均勻，也可以在大型基板的寬度方向上，排列多 列的小型光掩模10而不是1列。具體而言，小型光掩模10沿著基板20的寬度方向配置多 個(gè)，且相對(duì)于1列在寬度方向上錯(cuò)開(kāi)1個(gè)掩膜的量而配置另1列。此外，為了緩和大畫面中的連接不均勻，優(yōu)選使形成在小型光掩模10內(nèi)的同一圖 案的尺寸和配列以數(shù)微米或超微的單位來(lái)隨機(jī)化。同樣，也可以在曝光時(shí)隨機(jī)化地微調(diào)整 小型光掩模位置。另外，由圖中的虛線包圍的區(qū)域21是與4個(gè)液晶面板相當(dāng)?shù)钠毓鈪^(qū)域， 在該例子中，從矩形基板20形成4個(gè)液晶面板。一般的光掩模為，在作為用于曝光的開(kāi)口部的有效圖案的周邊具有邊框狀的非有 效部。本發(fā)明所使用的小型光掩模10，如上所述在被曝光對(duì)象的矩形基板的寬度方向上配 設(shè)多個(gè)，但為了使非有效部的未曝光圖案消失，優(yōu)選如圖1所示以錯(cuò)開(kāi)配列的方式排列2列 或者3列以上。通過(guò)進(jìn)行使小型光掩模本身移動(dòng)的步進(jìn)曝光，能夠確保較高的生產(chǎn)量。在形成具有4個(gè)取向區(qū)域的取向膜圖案的情況下，能夠?qū)?列小型掩模的排列配 置2組來(lái)應(yīng)對(duì)。在形成取向膜圖案的情況下，也可以與激光光源一起將小型光掩?；蛘咂?開(kāi)口部相對(duì)于矩形基板的進(jìn)給方向例如傾斜45度來(lái)使用。激光向矩形基板上的感光性樹(shù) 脂層的面的入射角度，例如也可以具有20度 70度傾斜。參照?qǐng)D2(a)的截面圖及圖2(b)的俯視圖進(jìn)一步詳細(xì)地說(shuō)明光掩模的構(gòu)造。通過(guò) 在透明基板11的下表面上形成遮光膜12，并在遮光膜12設(shè)置開(kāi)口圖案，由此形成光掩模 10。通過(guò)從透明基板11的上面?zhèn)冉?jīng)由百葉窗15照射激光，由此透射了開(kāi)口圖案的光被轉(zhuǎn) 印。此外，圖中的13a、13b表示不同種類的圖案，14表示掩模上的激光照射區(qū)域。
本發(fā)明的小型光掩模10，優(yōu)選在矩形基板的進(jìn)給方向上配設(shè)不同種類的圖案。例 如，如圖2(a)、(b)所示，也可以配設(shè)濾色器種類不同的CF-a圖案13a和CF_b圖案13b的 兩種。并且，不一定限定于兩種，也能夠配設(shè)三種以上。濾波器節(jié)的寬度或大小不同的這些 CF-a圖案13a和CF_b圖案13b，通過(guò)將另一個(gè)用百葉窗15覆蓋并不使其曝光，由此能夠僅 進(jìn)行單個(gè)品種的生產(chǎn)。即，能夠?qū)γ總€(gè)品種進(jìn)行選擇曝光。該技術(shù)具有的效果為品種切換 作業(yè)極少，并且不需要制作每一個(gè)品種的新的光掩模。在形成取向膜圖案形成的情況下，在矩形基板的鉛直方向或者矩形基板的寬度方 向上改變激光的照射角度地進(jìn)行曝光，由此能夠?qū)嵤┫Ｍ娜∠蛱幚?。在取向膜圖案形成 時(shí)，也可以將封入了液晶的液晶單元作為矩形基板進(jìn)行處理，并且在電場(chǎng)或磁場(chǎng)環(huán)境下進(jìn) 行激光照射。激光能夠使用半導(dǎo)體激光器、YAG (固體)激光器、氣體激光器(氬激光器、氦氖激 光器、二氧化碳激光器、準(zhǔn)分子激光器)等公知的激光器。YAG激光器能夠優(yōu)選使用343nm 或者355nm的振蕩波長(zhǎng)。在形成取向膜圖案或相位差圖案時(shí)，從補(bǔ)充不足的光的波段的觀 點(diǎn)來(lái)看，也可以并用LED光源和短弧燈。激光可以無(wú)偏振、或者也可以是通過(guò)偏振鏡使其偏 振。其中，優(yōu)選能夠使用準(zhǔn)分子激光器，該準(zhǔn)分子激光器使用氬、氪、氙等稀有氣體與 氟、氯等鹵素氣體的混合氣體來(lái)發(fā)出激光。準(zhǔn)分子激光器根據(jù)該混合氣體的種類的組合的 不同，振蕩波長(zhǎng)不同，有 193nm(ArF)、248nm(KrF)、308nm(XeCL)、35Inm(XeF)等。此外，準(zhǔn)分 子激光器的脈沖寬度為數(shù)十ns，波束的截面反映放電區(qū)域的形狀，以高功率振蕩長(zhǎng)方形的 波束。也存在波束較粗、脈沖能量較大而發(fā)出數(shù)千mj的裝置。準(zhǔn)分子激光器，與使波束集 中為一點(diǎn)的加工相比，更適合于以較高的照射強(qiáng)度對(duì)比較大的面積進(jìn)行總括處理加工的領(lǐng) 域。作為將激光束擴(kuò)展成狹縫狀的光學(xué)系統(tǒng)，被稱為“擴(kuò)展器”的光學(xué)鏡頭系統(tǒng)較好， 而使用多棱鏡那種旋轉(zhuǎn)體的方式，因?yàn)樵谄毓鈺r(shí)在感光性樹(shù)脂層面上產(chǎn)生光的干涉所以不 優(yōu)選。優(yōu)選并用作為微透鏡集合體的復(fù)眼透鏡。著色涂膜必須賦予不會(huì)分解膜的程度的適度能量而使其固化或者感光。當(dāng)激光的 照射強(qiáng)度過(guò)低時(shí)，存在到使其充分地光固化或感光為止花費(fèi)時(shí)間，生產(chǎn)率(生產(chǎn)節(jié)拍)降 低的問(wèn)題。相反，當(dāng)激光光的照射強(qiáng)度過(guò)高時(shí)，會(huì)產(chǎn)生稱為燒蝕(abrasion)的樹(shù)脂分解或 抗蝕成分的發(fā)散導(dǎo)致的減膜。在本發(fā)明中所使用的激光的每1個(gè)脈沖的能量密度優(yōu)選為 0. lmj/cm2 以上 1000mJ/cm2 以下。為了使抗蝕涂膜充分固化，優(yōu)選為0. 3mJ/cm2以上，最優(yōu)選lmj/cm2以上。并且，為 了不產(chǎn)生由于燒蝕造成的作為感光性樹(shù)脂層的著色涂膜的減膜，優(yōu)選為150mJ/cm2以下，更 優(yōu)選50mJ/cm2以下。根據(jù)激光的照射強(qiáng)度、生產(chǎn)量及感光性樹(shù)脂層的感度的關(guān)系，優(yōu)選ImJ/ cm2 50mJ/cm2的范圍。此外，脈沖寬度優(yōu)選0. Insec以上、3000nSeC以下。為了不會(huì)因燒蝕現(xiàn)象而使著色 涂膜分解，脈沖寬度更優(yōu)選0.5nSec以上、最優(yōu)選Insec以上。在進(jìn)行激光掃描曝光時(shí)，為 了防止圖案變粗、提高圖案的對(duì)準(zhǔn)精度，優(yōu)選lOOOnsec以下、最優(yōu)選50nSec以下。從基板 的進(jìn)給速度和激光的照射強(qiáng)度之間的關(guān)系考慮，脈沖寬度特別優(yōu)選從Insec到50nSec的范圍。9
在本發(fā)明的技術(shù)中，掩模開(kāi)口寬度、激光振蕩頻率、用于得到需要的曝光量的照射 次數(shù)(發(fā)射數(shù)量)以及照射密度，對(duì)于確保較高的生產(chǎn)率來(lái)說(shuō)是重要的要素。若將被曝光對(duì)象的矩形基板的方向的小型光掩模的開(kāi)口寬度設(shè)為“掩模開(kāi)口寬 度”，將向同一濾波器節(jié)的激光曝光的重復(fù)照射設(shè)為“發(fā)射數(shù)量”，則成為生產(chǎn)率的指標(biāo)的曝 光速度(矩形基板的進(jìn)給速度的關(guān)系)成為下式。曝光速度=(掩模開(kāi)口寬度X振蕩頻率)/發(fā)射數(shù)量此外，以上述一次集中的“發(fā)射數(shù)量”所照射的濾波器節(jié)的數(shù)量、“發(fā)射像素?cái)?shù)量” 成為下式所示的整數(shù)。即，在本發(fā)明中，以上述一次集中的“發(fā)射數(shù)量”照射的濾波器節(jié)，相 對(duì)于矩形基板的移動(dòng)方向成為大致2個(gè)像素到20個(gè)像素的整數(shù)。發(fā)射像素?cái)?shù)量<掩模開(kāi)口寬度/ (發(fā)射數(shù)量X像素間距)并且，激光的振蕩頻率優(yōu)選IHz以上、5000Hz以下。為了縮短曝光處理時(shí)間更優(yōu) 選IOHz以上，在著色感光性樹(shù)脂組成物的曝光中最優(yōu)選30Hz以上。在掃描曝光時(shí)為了提 高對(duì)準(zhǔn)精度而更優(yōu)選500Hz以下。為了在確保高精度的同時(shí)容易進(jìn)行與基板進(jìn)給的同步， 特別優(yōu)選30Hz 500Hz的范圍。在本發(fā)明中，能夠?qū)⒓す夥譃槎啻蔚卣丈溆筛泄庑詷?shù)脂組成物構(gòu)成的感光性樹(shù)脂 層。為了抑制燒蝕現(xiàn)象，將激光的脈沖能量抑制為較低并多次重復(fù)是有效的手段。累積曝 光量?jī)?yōu)選為1 150mJ/cm2，最優(yōu)選1 50mJ/cm2。當(dāng)累積曝光量超過(guò)150mJ/cm2時(shí)，因燒 蝕現(xiàn)象而作為感光性樹(shù)脂層的著色涂膜的分解發(fā)展，最終不能得到足夠的膜厚的濾波器節(jié) 或黑矩陣。另一方面，若感光性樹(shù)脂組成物與著色組成物的匹配良好，則能夠以最低累積曝 光量lmj/cm2，作為濾色器而形成濾波器節(jié)?；谙拗埔壕卧g隙而形成不同高度的間隔件的目的，改變來(lái)自激光光源的發(fā) 射數(shù)量地進(jìn)行曝光，是簡(jiǎn)便、自由度高的手段。這些高度或大小不同的構(gòu)造物的發(fā)射數(shù)量 (曝光量)，例如在lOmJ/cm2 40mJ/cm2的范圍內(nèi)，能夠具有平緩的直線性地形成發(fā)射數(shù)量 (曝光量)和構(gòu)造物的高度。換言之，能夠與發(fā)射數(shù)量對(duì)應(yīng)地形成不同高度的構(gòu)造物。[顯影工序]在著色涂膜那樣的底片型的感光性樹(shù)脂層的情況下，在顯影工序中，通過(guò)以往公 知的顯影方法，除去感光性樹(shù)脂層的未曝光部分而形成濾波器節(jié)或黑矩陣。在除去未曝光 部分時(shí)，作為堿性顯影液，使用碳酸鈉、氫化鈉等的水溶液，也能夠使用二甲胺，三乙醇胺等 有機(jī)堿。此外，在顯影液中還能夠添加消泡剤或界面活性劑。作為顯影處理方法，能夠適用 噴淋顯影法、噴射顯影法，浸泡(浸漬)顯影法、攪拌(盛液)顯影法等。在為線型酚醛樹(shù) 脂那樣的正片型感光性樹(shù)脂的情況下，用堿性顯影液除去感光后的感光性樹(shù)脂層來(lái)形成正 片型的圖案作為帶圖案基板。[燒成工序]在本發(fā)明中，在形成濾波器節(jié)及黑矩陣之后，設(shè)置實(shí)施熱處理而使其固化的硬膜 工序。作為熱處理方法，能夠利用基于對(duì)流爐、加熱板、鹵素管取暖器、IR爐的加熱等，不特 別限度。在此，燒成條件優(yōu)選以200 250°C加熱10分鐘 60分鐘。[感光性樹(shù)脂組成物]接著，對(duì)能夠用于本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組成物進(jìn)行說(shuō)明。能夠在本發(fā)明中使用的 感光性樹(shù)脂組成物，優(yōu)選具有在液晶面板化工序中所需要的耐熱性。并且，在以后工序的使用堿的顯影工序中，是能夠進(jìn)行圖案顯影的感光性樹(shù)脂材料即可，不進(jìn)行限定。例如，作為 著色感光性樹(shù)脂組成物，可以舉出有機(jī)顏料、含有具有乙烯性不飽和雙鍵的單體及光重合 開(kāi)始劑且能夠通過(guò)激光照射進(jìn)行固化的感光性樹(shù)脂組成物。作為基于液晶單元間隙限制 或液晶取向限制的目的而形成的間隔件或肋條、取向控制用和形成突起的感光性樹(shù)脂組成 物，能夠使用以丙烯樹(shù)脂為基體的感光性樹(shù)脂組成物。底片型感光性樹(shù)脂組成物或者正片 型感光性樹(shù)脂組成物，根據(jù)目的分開(kāi)使用即可。除了上述樹(shù)脂之外，在本發(fā)明中，作為有機(jī)樹(shù)脂能夠適用聚酰亞胺、聚砜、聚酯、聚 酰胺、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸酯、聚苯硫醚、聚二苯醚、降冰片烯等樹(shù)脂。不需要限定用于取向膜圖案的材料。作為取向膜材料，例如能夠使用如下的光取 向性聚合體將聚酰胺酸、聚酰亞胺、聚酰胺酸酯、聚苯乙烯、苯乙烯-苯基馬來(lái)酰亞胺共聚 體、聚甲基丙烯酸酯等作為骨架，并在它們的主鏈或側(cè)鏈具有感光性基及取向性基。同樣， 也沒(méi)有必要特別限定相位差圖案所使用的材料，但是能夠舉出感光性的棒狀聚合性液晶化 合物、感光性的碟形聚合性化合物。[顏料]作為著色感光性樹(shù)脂組成物所含有的顏料，能夠使用一般市售的有機(jī)顏料，根據(jù) 所形成的濾波器節(jié)的色相，能夠并用染料、天然色素、無(wú)機(jī)顏料。作為有機(jī)顏料，優(yōu)選使用發(fā) 色性較高、且耐熱性、尤其是耐熱分解性較好的顏料。有機(jī)顏料能夠單獨(dú)使用1種，或者混 合使用2種以上。此外，有機(jī)顏料也可以是通過(guò)鹽磨處理、化學(xué)膏方法等而微細(xì)化后的顏 料。為了在取得色度和亮度的平衡的同時(shí)確保良好的涂布性能、感度和顯影性等，能 夠使著色感光性樹(shù)脂組成物含有無(wú)機(jī)顏料。作為無(wú)機(jī)顏料，能夠舉出氧化鈦、硫酸鋇、氧化 鋅、硫酸鉛、黃鉛、鋅黃、鐵丹(紅色氧化鐵(III))、鎘紅、群青、普魯士藍(lán)、氧化鉻綠、鎳綠、 棕土、鈦黑、合成鉄黑、炭黑等。無(wú)機(jī)顏料能夠單獨(dú)使用1種，或者混合使用2種以上。無(wú)機(jī) 顏料以顏料的合計(jì)質(zhì)量為基準(zhǔn)(100質(zhì)量％ )能夠使用0. 1 10質(zhì)量％的量。此外，在本發(fā)明所使用的感光性樹(shù)脂組成物中，為了進(jìn)行調(diào)色而能夠在不降低耐 熱性的范圍內(nèi)含有染料。染料以顏料的合計(jì)質(zhì)量為基準(zhǔn)(100質(zhì)量％ )，能夠使用0. 1 1. 0 質(zhì)量％的量。[具有乙烯性不飽和雙鍵的單體]具有乙烯性不飽和雙鍵的單體是通過(guò)照射激光而固化的成分。作為具有乙烯性不 飽和雙鍵的單體的例子能夠舉出甲基丙烯酸羥乙酯、丙烯酸羥丙酯、2-丙烯酸環(huán)己基酯、 聚乙二醇二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯 酸酯、三環(huán)癸基甲基丙烯酸酯、密胺丙烯酸酯、環(huán)氧丙烯酸酯等各種丙烯酸乙酯及甲基丙烯 酸酯、丙烯酸、苯乙烯、醋酸乙烯酯、丙烯酰胺，N-羥甲基丙烯酰胺、丙烯腈等。從提高著色組成物的感度的觀點(diǎn)來(lái)看，具有乙烯性不飽和雙鍵的單體優(yōu)選具有 4 12個(gè)乙烯性不飽和雙鍵。具有乙烯性不飽和雙鍵的單體，能夠單獨(dú)使用或者混合使 用兩種以上。相對(duì)于顏料100質(zhì)量份，具有乙烯性不飽和雙鍵的單體的含有量?jī)?yōu)選能夠以 10 300質(zhì)量份、更優(yōu)選以10 200質(zhì)量份的量使用。[光重合開(kāi)始劑]作為光重合開(kāi)始劑，能夠適當(dāng)使用在308nm的摩爾吸光系數(shù)(ε 308)比在365nm11的摩爾吸光系數(shù)(ε 365)大的光重合開(kāi)始劑。在此，摩爾吸光系數(shù)是指，將光重合開(kāi)始劑用 乙腈稀釋為約1. OX 10_5摩爾/ml，將其波長(zhǎng)的吸收波普用摩爾濃度換算后的值。作為光重合開(kāi)始劑，使用苯乙酮類光重合開(kāi)始劑、安息香類光重合開(kāi)始劑、二苯酮 類光重合開(kāi)始劑、硫雜蒽酮類光重合開(kāi)始劑、三嗪類光重合開(kāi)始劑、硼酸鹽類光重合開(kāi)始 劑、咔唑類光重合開(kāi)始劑、咪唑類光重合開(kāi)始劑等。這些光重合開(kāi)始劑，能夠單獨(dú)使用1種 或混合使用2種以上。光重合開(kāi)始劑的含有量，相對(duì)于顏料100質(zhì)量份能夠以5 200質(zhì) 量份、優(yōu)選10 150質(zhì)量份的量使用。此外，作為苯乙酮類光重合開(kāi)始劑，存在4'-苯氧基苯乙酮、育畜磷、2，2_二乙氧 基苯乙酮、2-羥基-2-甲基-1-[4-(叔丁基)苯基]-1-丙酮、1-羥基環(huán)己基苯基甲酮、2-甲 基-U4_(甲基硫代)苯基]-2-嗎啉丙磺酸-1-丙酮、2-苯甲基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎 啉苯基)-丁烷-1-丙酮等。作為安息香類光重合開(kāi)始劑，有安息香、安息香甲基醚、安息香 乙基醚、安息香異丙醚、安息香雙甲醚等。作為二苯酮類光重合開(kāi)始劑，存在二苯酮、安息香酸、安息香酸甲基、4-苯基二苯 甲酮、羥基二苯甲酮、堿化二苯甲酮、4-安息香-4'-甲基二苯硫醚等。作為硫雜蒽酮類光重合開(kāi)始劑，存在硫雜蒽酮、2-氯噻噸酮、2-甲基硫雜蒽酮、異 丙基噻噸酮、異丙基硫雜蒽酮0、4異構(gòu)混合)等。作為三嗪類光重合開(kāi)始劑，存在2，4，6-三氯-S-三嗪、2-苯基-4，6-二(三氯 甲基)-s-三嗪、2-(p-甲氧基苯基)-4，6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-(p-對(duì)甲苯基)-4， 6-二(三氯甲基)-S-三嗪、2-胡椒酸-4，6-二(三氯甲基)-S-三嗪、2，4-二(三氯甲 基)-6-苯乙烯基-S-三嗪、2-(萘酚-1-基)-4，6- 二(三氯甲基)-S-三嗪、2- (4-甲氧 基-萘酚-1-基)-4，6- 二(三氯甲基)-S-三嗪、2，4-三氯甲基-(胡椒酸)-6-三嗪、2， 4-三氯甲基-甲氧基苯基)-6-三嗪等。此外，光重合開(kāi)始劑的質(zhì)量⑴相對(duì)于具有乙烯性不飽和雙鍵的單體質(zhì)量(M)之 比(I/M)，優(yōu)選在0.01 0.45的范圍。從基于光重合開(kāi)始劑的減量的成本降低的觀點(diǎn)來(lái) 看，(I/M)優(yōu)選較小、優(yōu)選0.30以下。但是，若比(I/M)小于0.01，則難以發(fā)揮光重合開(kāi)始 劑的基本作用。在本發(fā)明所使用的感光性樹(shù)脂組成物中，基本上不需要增感劑，但是也可以并用 光重合開(kāi)始劑和增感劑。這些增感劑能夠單獨(dú)使用1種，或者混合使用2種以上。增感劑 的含有量相對(duì)于光重合開(kāi)始劑100質(zhì)量份，優(yōu)選為0. 1 6. 0質(zhì)量份。在本發(fā)明所使用的感光性樹(shù)脂組成物中，還可以含有作為連鎖傳遞劑起作用的多 官能硫醇。這些多官能硫醇，能夠單獨(dú)使用1種，或者混合使用2種以上。多官能硫醇的含 有量，相對(duì)于顏料100質(zhì)量份優(yōu)選為0. 05 100質(zhì)量份，更優(yōu)選0. 1 60質(zhì)量份。在本發(fā)明所使用的感光性樹(shù)脂組成物中，為了穩(wěn)定組成物的隨時(shí)間變化的粘度， 能夠含有儲(chǔ)藏穩(wěn)定劑。此外，為了提高與透明基板的密接性，還能夠含有有機(jī)硅烷偶聯(lián)劑等 密接提高劑。儲(chǔ)藏穩(wěn)定劑相對(duì)于感光性樹(shù)脂組成物中的顏料100質(zhì)量份，能夠以0. 1 10 質(zhì)量份的量來(lái)使用。在本發(fā)明所使用的感光性樹(shù)脂組成物中，為了提高顏料的分散性及提高與涂布基 材的密接性，能夠含有透明樹(shù)脂。透明樹(shù)脂是在可見(jiàn)光區(qū)域的400 700nm的全波長(zhǎng)區(qū)域 中的透射率優(yōu)選為80%以上、更優(yōu)選為95%以上的樹(shù)脂。透明樹(shù)脂包含熱可塑性樹(shù)脂、熱固化性樹(shù)脂及感光性樹(shù)脂，可以將它們單獨(dú)或者混合兩種以上來(lái)使用。作為感光性透明樹(shù)脂，能夠使用具有乙烯性不飽和雙鍵的樹(shù)脂。例如能夠舉出如 下的樹(shù)脂使具有氫氧基、羧基、氨基等反應(yīng)性取代基的高分子，與具有異氰酸酯基、醛基、 環(huán)氧基、羧基等反應(yīng)性取代基的(甲基)丙烯化合物或苯丙烯酸反應(yīng)，將(甲基)丙烯?；?、 苯乙烯基等具有乙烯性不飽和雙鍵的官能基導(dǎo)入到上述高分子中。具體而言，存在如下地得到的樹(shù)脂使將具有氫氧基的乙烯性不飽和單體以及其 他的乙烯性不飽和單體進(jìn)行共聚而成的共聚體，與具有能夠與氫氧基反應(yīng)的官能基及乙烯 性不飽和雙鍵的化合物反應(yīng)。作為能夠與氫氧基反應(yīng)的官能基，能夠舉出異氰酸酯基、羧基 等，但是在反應(yīng)性的這一點(diǎn)上優(yōu)選異氰酸酯基。作為異氰酸酯基及具有乙烯性不飽和雙鍵 的化合物，具體而言，能夠舉出2-丙烯酸乙基異氰酸甲酯，2-異丁烯?；一惽杷峒柞?等。此外，還使用將含有苯乙烯-順丁烯二酸酐共聚體或α-烯烴-順丁烯二酸酐共聚體 等酸酐的高分子，通過(guò)羥基烷基(甲基)丙烯酸酯等具有氫氧基的(甲基)丙烯化合物進(jìn) 行了半酯化的化合物。在本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組成物中，為了使顏料充分分散到組成物中，并在玻璃基 板等的透明基板上以干燥膜厚成為0. 2 5 μ m方式涂布，而容易地形成濾波器節(jié)，能夠含 有溶劑。溶劑能夠單獨(dú)或者混合使用。在使顏料分散到具有乙烯性不飽和雙鍵的單體中時(shí)，能夠適當(dāng)使用界面活性劑、 樹(shù)脂型顏料分散劑、色素誘導(dǎo)體等的分散劑。分散劑使顏料良好分散，防止分散后的顏料的 再凝聚的效果較好，所以在采用利用分散劑將顏料分散到透明樹(shù)脂及有機(jī)溶劑中而成的感 光性樹(shù)脂組成物的情況下，能夠得到透明性良好的濾色器。顏料分散劑相對(duì)于感光性樹(shù)脂 組成物中的顏料100質(zhì)量份，能夠以0. 1 40質(zhì)量份、優(yōu)選0. 1 30質(zhì)量份的量來(lái)使用。實(shí)施例下面，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例及比較例進(jìn)行說(shuō)明。此外，在實(shí)施例及比較例中， “份”及“ ％ ”分別表示“質(zhì)量份”及“質(zhì)量％ ”。首先，對(duì)在實(shí)施例及比較例中使用的丙烯樹(shù)脂溶液及顏料分散體的調(diào)制進(jìn)行說(shuō) 明。樹(shù)脂的分子量是通過(guò)GPCOiaschromato-graphy)測(cè)量的聚苯乙烯換算的質(zhì)量平均分子量。[丙烯樹(shù)脂溶液的合成例]向反應(yīng)容器放入環(huán)己酮370份，并在向容器注入氮?dú)獾耐瑫r(shí)加熱到80°C。在該溫 度下，將甲基丙烯酸20. 0份、甲基丙烯酸甲酯10. 0份、η- 丁基丙烯酸甲酯55. 0份、2-羥基 甲基丙烯酸甲酯15. 0份、2，2'-偶氮二異丁腈4. 0份的混合物滴落1個(gè)小時(shí)來(lái)進(jìn)行了聚 合反應(yīng)。滴定結(jié)束后，進(jìn)一步使其在80°C反應(yīng)3個(gè)小時(shí)后，添加將偶氮二異丁腈1. 0份溶解 到環(huán)己酮50份中的混合液，進(jìn)一步在80°C繼續(xù)反應(yīng)1個(gè)小時(shí)，得到丙烯樹(shù)脂共聚體溶液。 在冷卻到室溫之后，采樣大約2g丙烯樹(shù)脂溶液，以180°C進(jìn)行20分鐘的加熱干燥并測(cè)定不 揮發(fā)量。接著，向之前合成的丙烯樹(shù)脂溶液中以不揮發(fā)量成為20質(zhì)量％的方式添加環(huán)己酮 來(lái)調(diào)制丙烯樹(shù)脂溶液。得到的丙烯樹(shù)脂的質(zhì)量平均分子量Mw為40000。[顏料分散體的調(diào)制]將表1所示的組成的混合物均勻地?cái)嚢杌旌?，使用直徑Imm的玻璃珠通過(guò)混砂機(jī) 中分散5個(gè)小時(shí)。之后，通過(guò)5 μ m的過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，調(diào)制出紅色顏料分散體R-1、綠色顏料分散體G-1、藍(lán)色顏料分散體B-I及黑色顏料分散體BM-1。此外，表1中所記載的材料如 下。 · PR254 二酮吡咯并吡咯類顏料(C. I. Pigment Red 254)(CIBAVISI0N 公司制 ‘Μ 卟辦 7 才一 l· 夕 F B-CF“)· PRl77 蒽醌類顏料(C. I. Pigment Red 177)(CIBAVISI0N 公司制“夕 口毛 7 夕一卟 l· 夕 F A2B”)· PG36 鹵化銅酞菁藍(lán)類顏料(C. I. Pigment Green 36)(東洋墨制造公司制“〗J才乂一>夕‘'J 一 > 6YK” )· PB15:6 ε型銅酞菁藍(lán)顏料(C. I. Pigment Blue 15:6)(BASF 制“ 丨J 才少· > Ji 一 L-6700F” )· PY150 偶氮鎳絡(luò)合物類顏料(C. I. Pigment Yellow 150)(LANXESS 公司制 “E4GN”)*CB:炭黑(C. I. Pigment Black 7)(三菱化學(xué)公司制“MA11”)·顏料分散劑日本Lubrizol公司制的“義八一、20000”)·丙烯樹(shù)脂溶液前面調(diào)制的丙烯樹(shù)脂溶液 溶劑環(huán)己酮[表 1]
權(quán)利要求
1.一種濾色器的制造方法，其特征在于，按如下順序多次重復(fù)至少如下工序(a)涂布工序，在基板上涂布由感光性樹(shù)脂組成物構(gòu)成的感光性樹(shù)脂層；(b)圖案曝光工序，對(duì)上述基板上的感光性樹(shù)脂層進(jìn)行圖案曝光并使其固化；(c)顯影工序，除去上述感光性樹(shù)脂層的未曝光(未固化)部分，并對(duì)曝光后的感光性 樹(shù)脂層進(jìn)行顯影；以及(d)燒成工序，使上述顯影后的感光性樹(shù)脂層熱固化， 形成濾波器節(jié)及黑矩陣，在上述曝光工序(b)中，將激光用作光源，且經(jīng)由用于形成像素的光掩模，以累積曝光 量成為1 150mJ/cm2的方式進(jìn)行接近式曝光。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾色器的制造方法，其特征在于， 在上述曝光工序(b)中，多次重復(fù)照射上述激光。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的濾色器的制造方法，其特征在于， 上述激光的頻率為1 500Hz。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的濾色器的制造方法，其特征在于，上述激光的每1個(gè)脈沖的能量密度為0. 1 lOOOmJ/cm2，且脈沖寬度為0. 1 3000nseco
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的濾色器的制造方法，其特征在于，在上述曝光工序(b)中，以累積曝光量成為1 50mJ/cm2的方式照射上述激光，使上 述感光性樹(shù)脂層光固化。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的濾色器的制造方法，其特征在于，上述感光性樹(shù)脂組成物所使用的光重合開(kāi)始劑在308nm的摩爾吸光系數(shù)(ε 308)大于 在365nm的摩爾吸光系數(shù)(ε 365)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的濾色器的制造方法，其特征在于，上述感光性樹(shù)脂組成物所使用的光重合開(kāi)始劑的質(zhì)量(I)相對(duì)于單體的質(zhì)量(M)之比 (Ι/Μ)在0. 01 0. 45的范圍內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾色器的制造方法，其特征在于，上述光掩模是圖案區(qū)域比上述基板上的曝光區(qū)域整體小的多個(gè)小型光掩模。
9.一種帶圖案基板的制造方法，其特征在于，包括(a)涂布工序，在矩形的基板上涂布由感光性樹(shù)脂組成物構(gòu)成的感光性樹(shù)脂層；和(b)圖案曝光工序，在使上述基板沿長(zhǎng)度方向移動(dòng)的同時(shí)，對(duì)該基板上的感光性樹(shù)脂層 進(jìn)行圖案曝光并使其感光，在上述曝光工序(b)中，將激光用作曝光光源，且將用于形成圖案的小型光掩模在該 基板的寬度方向上配設(shè)多個(gè)，進(jìn)行對(duì)相同的圖案重復(fù)照射激光的接近式曝光。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的帶圖案基板的制造方法，其特征在于，上述小型光掩模在寬度方向上配設(shè)多個(gè)，是在上述基板的移動(dòng)方向上存在2列。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的帶圖案基板的制造方法，其特征在于，上述小型光掩模在同一掩模面內(nèi)將不同種類的圖案在上述基板的移動(dòng)方向上形成2 種以上，按照種類選擇曝光某一種圖案。
12.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的帶圖案基板的制造方法，其特征在于，在上述圖案曝光中，改變來(lái)自上述激光的曝光的發(fā)射數(shù)量來(lái)進(jìn)行曝光量不同的圖案曝光。
13. —種小型光掩模，用于權(quán)利要求8所述的濾色器的制造方法或權(quán)利要求9所述的帶 圖案基板的制造方法，其特征在于，在同一掩模面內(nèi)配設(shè)2種以上的不同種類的圖案。
全文摘要
一種濾色器的制造方法，按如下順序多次重復(fù)至少如下工序涂布工序，在基板上涂布由感光性樹(shù)脂組成物構(gòu)成的感光性樹(shù)脂層；圖案曝光工序，對(duì)感光性樹(shù)脂層進(jìn)行圖案曝光并使其固化；顯影工序，對(duì)感光性樹(shù)脂層進(jìn)行顯影；以及燒成工序，使顯影后的感光性樹(shù)脂層熱固化，形成濾波器節(jié)及黑矩陣，在上述曝光工序中，將激光用作光源，且經(jīng)由用于形成像素的光掩模，以累積曝光量成為1～150mJ/cm2的方式進(jìn)行接近式曝光。
文檔編號(hào)G02B5/20GK102047152SQ20098011943
公開(kāi)日2011年5月4日 申請(qǐng)日期2009年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月28日
發(fā)明者原田元?dú)? 池田武司, 青木英士 申請(qǐng)人:凸版印刷株式會(huì)社