專利名稱：平板精密懸浮系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種利用傾斜噴射流體的平板精密懸浮系統(tǒng)，其通過流體(氣體或者液體)使平板浮起，其特征在于，包括第一平板懸浮部及第二平板懸浮部，其連續(xù)地重復(fù)形成有平板懸浮部，所述平板懸浮部包括平坦部，平行于所述平板的移送方向平坦地形成，從而形成與平板之間的浮起間隔；噴頭阻塊，其具有上部左右角落處相對于所述平板傾斜而成，并具有對向設(shè)置的一對傾斜部；一對噴頭板，在與對象設(shè)置的一對傾斜部相同高度或低于所述噴頭阻塊的對向設(shè)置的一對傾斜部的位置處，圍繞所述噴頭阻塊的傾斜部和外周面而形成；以及，一對傾斜噴頭部，由所述噴頭阻塊的對向設(shè)置的一對傾斜部和一對噴頭板形成，其中，所述平板懸浮部使通過所述對向設(shè)置的一對傾斜噴頭部吐出的傾斜噴射流體(氣體或者液體)朝所述平板下部向上傾斜地流動，在所述對向吐出的傾斜噴射流體 (氣體或者液體)相遇的噴頭阻塊平坦部上部形成壓力(浮力)，利用所述壓力使得平板浮起一定的間隔；以及，平板吸附部，通過形成在所述第一平板懸浮部和所述第二平板懸浮部之間的一對相反的傾斜噴頭部吐出的傾斜噴射流體(氣體或者液體)生成低壓，以使吸附力作用于所述平板上，在基于所述第一平板懸浮部及所述第二平板懸浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用下，使平板具有穩(wěn)定的浮起固定度。并且，本發(fā)明還涉及一種利用傾斜噴射流體的平板精密懸浮系統(tǒng)，用于通過流體 (氣體或者液體)使平板浮起，其特征在于，包括第一平板懸浮部及第二平板懸浮部，其連續(xù)地重復(fù)形成有平板懸浮部，所述平板懸浮部包括平坦部，平行于平板的移送方向平坦地形成，并且形成與平板之間的浮起間隔；康達條，具有上部左右角落處相對于所述平板傾斜而成的對向設(shè)置的一對康達曲面；一對噴頭板，在低于所述康達條的對向設(shè)置的一對康達曲面高度的位置處，圍繞所述康達條的外周面而形成；以及，對向設(shè)置的一對康達噴頭部， 由所述康達條的對向設(shè)置的一對康達曲面和一對噴頭板形成，其中，所述平板懸浮部使通過所述對向設(shè)置的一對康達噴頭部吐出的康達噴射流體(氣體或者液體)朝所述平板下部流動，在由所述對向地吐出的康達噴射流體(氣體或者液體)相遇的康達條平坦部上部形成壓力(浮力)，利用所述壓力使得平板浮起一定的間隔，以及，平板吸附部，通過形成在所述第一平板懸浮部和所述第二平板懸浮部之間的一對相反向的康達噴頭部吐出的康達噴射流體(氣體或者液體)生成低壓，以使吸附力作用于所述平板上，在基于所述第一平板懸浮部和所述第二平板懸浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用下，使平板具有穩(wěn)定的浮起固定度。
背景技術(shù)：
平板(玻璃基板、薄膜等)的懸浮主要用于，在TFT-IXD(Thin film transistor—liquid crystal display) > PDP (Plasma display panel) > EL (Electro luminescent)等平板顯示裝置(Flat display)的制造工序中，精密地維持或者調(diào)節(jié)平板的平坦度的同時，使得平板上浮一定的間隔或者移送平板的工序中。作為一例，與利用傳送帶或者移送滾輪的移送裝置相比，平板懸浮移送裝置除了具有非接觸式移送的優(yōu)點之外，由于不需要電機、齒輪、皮帶、移送滾輪等，因此移送裝置結(jié)構(gòu)非常簡單，并且具有在移送產(chǎn)品時不會發(fā)生碰撞的優(yōu)點，而且還具有不會因構(gòu)成部件之間的接觸而引發(fā)各種灰塵或者異物的生成的優(yōu)點。因此，其主要適用于怕碰撞、需要維持清潔狀態(tài)的敏感性平板的移送作業(yè)領(lǐng)域。在現(xiàn)有的氣體懸浮裝置中，用一個通路供給空氣，并將其分散供給多個空氣供給孔，從而在維持平板的平坦度的同時使得平板上浮一定的高度或者移送平板。

圖1及圖2為現(xiàn)有的氣體懸浮裝置的部分立體圖和截面圖。如圖1和圖2所示，現(xiàn)有的氣體懸浮裝置包括下部臺面10、墊圈20、氣體懸浮過濾器30、上部臺面40。從空氣供給裝置5供給的空氣經(jīng)由下部臺面10的空氣供給路11，通過墊圈20防止向外部泄露的狀態(tài)下，使得被供給的空氣經(jīng)由氣體懸浮過濾器30的細微孔 31后，經(jīng)過上部臺面40的氣體孔41向平板傳遞空氣浮力。然而，為了消除空氣供給的偏差，現(xiàn)有的氣體懸浮裝置使用了氣體懸浮過濾器30。 即使如此，也無法完全消除靠近供給空氣的通路的區(qū)域的氣壓強、遠離通路的區(qū)域的氣壓低的問題，因此，在平板的整個區(qū)域內(nèi)無法傳遞均勻的氣壓，從而存在平板的平坦度不夠均勻的問題。另外，如下圖所示，現(xiàn)有的氣體懸浮裝置的氣體孔41的空氣壓力分布為從氣體孔的中心部急劇降低的形狀，因此著眼于浮力小的問題，為了產(chǎn)生足夠的浮力為目的，需要增加氣體孔的數(shù)量或者增加空氣供給壓力，這導(dǎo)致了成本上升的問題和效率低下的問題。
權(quán)利要求
1.一種平板精密懸浮系統(tǒng)，通過流體(氣體或者液體)使平板(P)浮起，其特征在于， 包括第一平板懸浮部(400)及第二平板懸浮部(500)，其連續(xù)地重復(fù)形成有平板懸浮部，所述平板懸浮部包括平坦部(302)，平行于所述平板(P)的移送方向平坦地形成，從而形成與平板之間的浮起間隔；噴頭阻塊(301)，其具有上部左右角落處相對于所述平板傾斜而成，并具有對向的傾斜角α的一對傾斜部(303)；一對噴頭板(304)，在低于所述噴頭阻塊的對向設(shè)置的一對傾斜部(303)的位置處，圍繞所述噴頭阻塊(301)的傾斜部(303)和外周面(306)而形成；以及，一對傾斜噴頭部(30 ，由所述噴頭阻塊(301)的對向設(shè)置的一對傾斜部(30 和一對噴頭板(304)形成，并且具有對向的傾斜角α，其中，所述平板懸浮部使通過所述對向設(shè)置的一對傾斜噴頭部吐出的傾斜噴射流體 (氣體或者液體)朝所述平板下部向上傾斜地流動，在所述對向吐出的傾斜噴射流體(氣體或者液體)相遇的噴頭阻塊平坦部上部形成壓力(浮力)，利用所述壓力使得平板浮起一定的間隔；以及，平板吸附部(600)，通過形成在所述第一平板懸浮部和所述第二平板懸浮部之間的一對相反的傾斜噴頭部吐出的傾斜噴射流體(氣體或者液體)生成低壓，以使吸附力作用于所述平板上，在基于所述第一平板懸浮部及所述第二平板懸浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用下，使平板具有穩(wěn)定的浮起固定度(Miffness)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，所述傾斜部(30 和傾斜噴頭部(30 相對于平板(P)的傾斜角α為5 45度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，由所述噴頭阻塊(301)和噴頭板(304)形成的傾斜噴頭部(30 的平面形狀為封閉型的同心圓狀、同心橢圓狀、重疊四邊形，或者條式開放型雙重平行線形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，在形成所述傾斜噴頭部(305)的噴頭板(304)上形成有鋸齒形狀的噴頭(307)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，在所述噴頭板(304)中間形成有噴頭(700)，通過經(jīng)由所述噴頭吐出的噴射流體改變所述流體流動(H)的方向，以防止成為所述平板(P)的振動和浮起不穩(wěn)定的因素的流體流動(H)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，將所述噴頭(700)為康達噴頭。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，在所述平板吸附部(600)上的長度方向上具有一定間隔地設(shè)置隔膜(D)，以防止平板吸附部(600)的壓力損失，并且在平板吸附部的隔膜區(qū)間維持均勻的壓力。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，在給所述傾斜噴頭部(30 供給流體時，使得供給至外側(cè)的左右噴頭部的流體壓力和供給至內(nèi)側(cè)的左右噴頭部的流體壓力相互不同，在外側(cè)的左右噴頭部使用相同的壓力Pl， 在內(nèi)側(cè)的左右噴頭部使用相同的壓力P2，以聯(lián)動調(diào)整第一平板懸浮部(400)和第二平板懸浮部(500)的浮力，以及平板吸附部(600)的吸附力，從而精密地控制平板的浮起間隔。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，通過調(diào)節(jié)所述傾斜噴頭部(305)的傾斜角α、傾斜噴頭部(305)的噴頭間隔或者噴頭阻塊(301)的寬度，來控制平板的浮起間隔。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9任意一項權(quán)利要求所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于， 所述噴頭阻塊(301)及噴頭板(304)相互之間排列成具有一定的間隔的格子狀。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至9任意一項權(quán)利要求所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于， 所述噴頭阻塊(301)和噴頭板(304)沿著長度方向形成。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至9任意一項權(quán)利要求所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于， 在將所述平板(P)傾斜地浮起并且予以移送時，在所述平板的下側(cè)面設(shè)置用于移送的驅(qū)動滾輪(208)，以施加移送力。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至9任意一項權(quán)利要求所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于， 在以所述平板懸浮系統(tǒng)浮起薄平板并且予以移送時，附加設(shè)置具有不同的浮起特性的現(xiàn)有的浮起裝置(300)并一同使用，從而防止平板的下傾。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至9任意一項權(quán)利要求所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于， 在所述平板懸浮系統(tǒng)的一側(cè)或者兩側(cè)進一步包括所述空氣射流刀沖擊干燥裝置(214)。
15.一種平板精密懸浮系統(tǒng)，用于通過流體(氣體或者液體)使平板(P)浮起，其特征在于，包括第一平板懸浮部(400)及第二平板懸浮部(500)，其連續(xù)地重復(fù)形成有平板懸浮部，所述平板懸浮部包括平坦部002)，平行于平板(P)的移送方向平坦地形成，并且形成與平板之間的浮起間隔；康達條001)，具有上部左右角落處相對于所述平板傾斜而成的對向設(shè)置的一對康達曲面(203)；一對噴頭板004)，在低于所述康達條的對向設(shè)置的一對康達曲面Q03)高度的位置處，圍繞所述康達條Ο01)的外周面而形成；以及，對向設(shè)置的一對康達噴頭部005)，由所述康達條Ο01)的對向設(shè)置的一對康達曲面 (203)和一對噴頭板(204)形成，其中，所述平板懸浮部使通過所述對向設(shè)置的一對康達噴頭部(20 吐出的康達噴射流體(氣體或者液體)朝所述平板下部流動，在由所述對向地吐出的康達噴射流體(氣體或者液體)相遇的康達條平坦部(20 上部形成壓力(浮力)，利用所述壓力使得平板浮起一定的間隔，以及，平板吸附部(600)，通過形成在所述第一平板懸浮部和所述第二平板懸浮部之間的一對相反向的康達噴頭部吐出的康達噴射流體(氣體或者液體)生成低壓，以使吸附力作用于所述平板上，在基于所述第一平板懸浮部和所述第二平板懸浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用下，使平板具有穩(wěn)定的浮起固定度。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，由所述康達條(201)和噴頭板(204)形成的康達噴頭部(20 的平面形狀為封閉型的同心圓狀、同心橢圓狀、重疊四邊形，或者條式開放型雙重平行線形。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，在形成所述康達噴頭部O05)的噴頭板(204)上形成有鋸齒形狀的噴頭(307)。
18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，在所述噴頭板O04)中間形成有噴頭(700)，通過經(jīng)由所述噴頭吐出的噴射流體改變所述流體流動(H)的方向，以防止成為所述平板(P)的振動和浮起不穩(wěn)定的因素的流體流動(H)。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于， 所述噴頭(700)為康達噴頭。
20.根據(jù)權(quán)利要求15所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，在所述平板吸附部(600)上設(shè)置有在所述平板吸附部的長度方向上具有一定的間隔的隔膜(D)，以防止平板吸附部(600)的壓力損失，并且在平板吸附部的隔膜區(qū)間維持均勻的壓力。
21.根據(jù)權(quán)利要求15所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，在給所述傾斜噴頭部(30 供給流體時，使得供給至外側(cè)的左右噴頭部的流體壓力和供給至內(nèi)側(cè)的左右噴頭部的流體壓力相互不同，在外側(cè)的左右噴頭部使用相同的壓力P1， 在內(nèi)側(cè)的左右噴頭部使用相同的壓力P2，以聯(lián)動調(diào)整第一平板懸浮部(400)和第二平板懸浮部(500)的浮力以及平板吸附部(600)的吸附力，從而精密地控制平板的浮起間隔。
22.根據(jù)權(quán)利要求15所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，通過調(diào)節(jié)所述康達噴頭部O05)的噴頭間隔或者康達條O01)的寬度，控制平板的浮起間隔。
23.根據(jù)權(quán)利要求15所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，在所述康達條O01)的平坦部(20 上形成有流體排出孔O06)以向所述流體排出孔 (206)排出康達噴射流的流動。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，在所述康達條(201)上設(shè)置有感應(yīng)器，以在平板(P)接近所述平板精密懸浮系統(tǒng)時用于封閉所述流體排出孔006)，若平板接近，則在感應(yīng)其接近后聯(lián)動驅(qū)動器封閉流體排出孔(206)。
25.根據(jù)權(quán)利要求23所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，在平板(P)接近所述平板精密懸浮系統(tǒng)時，為了封閉所述流體排出孔006)，若平板接近，感應(yīng)平板附近A的壓力變化，通過用于開閉操作的操控閥封閉流體排出孔(206)。
26.根據(jù)權(quán)利要求15至25中任意一項權(quán)利要求所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，所述康達條O01)和噴頭板(204)相互之間排列成具有一定間隔的格子狀。
27.根據(jù)權(quán)利要求15至25中任意一項權(quán)利要求所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，所述康達條(201)和噴頭板(204)沿著長度方向形成。
28.根據(jù)權(quán)利要求15至25中任意一項權(quán)利要求所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，在將所述平板(P)傾斜地浮起并且予以移送時，在所述平板的下側(cè)面設(shè)置用于移送的驅(qū)動滾輪O08)以施加移送力。
29.根據(jù)權(quán)利要求15至25中任意一項權(quán)利要求所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，在以所述平板懸浮系統(tǒng)浮起薄平板并且予以移送時，附加具有不同的浮起特性的現(xiàn)有的浮起裝置(300)并一同使用，從而防止平板的下傾。
30.根據(jù)權(quán)利要求15至25中任意一項權(quán)利要求所述的平板精密懸浮系統(tǒng)，其特征在于，在所述平板懸浮系統(tǒng)的一側(cè)或者兩側(cè)進一步包括所述空氣射流刀沖擊干燥裝置 (214)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種利用傾斜噴射流體的平板精密懸浮系統(tǒng)，其通過流體(氣體或者液體)使平板浮起，其包括第一平板懸浮部及第二平板懸浮部，其連續(xù)地重復(fù)形成有平板懸浮部，所述平板懸浮部包括平坦部，平行于所述平板的移送方向平坦地形成，從而形成與平板之間的浮起間隔；噴頭阻塊，其具有上部左右角落處相對于所述平板傾斜而成，并具有對向設(shè)置的一對傾斜部；一對噴頭板，在與對象設(shè)置的一對傾斜部相同高度或低于所述噴頭阻塊的對向設(shè)置的一對傾斜部的位置處，圍繞所述噴頭阻塊的傾斜部和外周面而形成；以及，一對傾斜噴頭部，由所述噴頭阻塊的對向設(shè)置的一對傾斜部和一對噴頭板形成，其中，所述平板懸浮部使通過所述對向設(shè)置的一對傾斜噴頭部吐出的傾斜噴射流體(氣體或者液體)朝所述平板下部向上傾斜地流動，在所述對向吐出的傾斜噴射流體(氣體或者液體)相遇的噴頭阻塊平坦部上部形成壓力(浮力)，利用所述壓力使得平板浮起一定的間隔；以及，平板吸附部，通過形成在所述第一平板懸浮部和所述第二平板懸浮部之間的一對相反的傾斜噴頭部吐出的傾斜噴射流體(氣體或者液體)生成低壓，以使吸附力作用于所述平板上，在基于所述第一平板懸浮部及所述第二平板懸浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用下，使平板具有穩(wěn)定的浮起固定度。
文檔編號G02F1/13GK102484089SQ201080028510
公開日2012年5月30日 申請日期2010年5月7日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月29日
發(fā)明者金永泰 申請人:英泰克普拉斯有限公司, 金永泰