專利名稱:一種co2激光器的光束調(diào)整裝置及其方法
一種C02激光器的光束調(diào)整裝置及其方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種C02激光器的光束調(diào)整裝置及其方法。
背景技術(shù):
C02激光器由于其自身特點(diǎn),其光束在很多時(shí)候呈現(xiàn)橢圓形光斑,這樣在用于C02激光打標(biāo)機(jī)加工時(shí)往往會(huì)使得線條寬度不一致;另外激光加工時(shí)需要好的光束質(zhì)量才能將激光聚焦成更小的點(diǎn)已達(dá)到更好的加工效果。
發(fā)明內(nèi)容、
本發(fā)明提供一種C02激光器的光束調(diào)整裝置及其方法,可以將C02激光器原本呈橢圓形光斑變成非橢圓形光斑,從而達(dá)到改善激光橢圓度,并壓縮光斑尺寸提高光束質(zhì)量的目的。本發(fā)明提供一種C02激光器的光束調(diào)整裝置,包括一 C02激光器、位于光路上的一第一反射鏡片、一第二反射鏡片、一第三反射鏡片、位于第二反射鏡片與第三反射鏡片之間的一旋光器、以及一偏振合束鏡片,該偏振合束鏡片具有合束鍍膜面,其中,第二反射鏡片的反射面與第一反射鏡片的反射面與第二反射鏡片的反射面呈平行關(guān)系,第三反射鏡片的反射面與第二反射鏡片的反射面呈垂直關(guān)系,第三反射鏡片的反射面與偏振合束鏡片的合束鍍膜面呈平行關(guān)系。本發(fā)明還提供一種C02激光器的光束調(diào)整方法,其包括如下步驟a、C02激光器輸出激光;b、C02激光器輸出的激光入射經(jīng)過第一反射鏡片,第一反射鏡片將入射激光分成兩束激光;C、經(jīng)由第一反射鏡片分成的兩束激光,分別為第一束激光和第二束激光,第一束激光沿原路繼續(xù)傳播,并直接進(jìn)入入射偏振合束鏡片;第二束激光反射進(jìn)入第二反射鏡片;d、第二束激光在第二反射鏡片導(dǎo)引下通過旋光器后偏振方向選擇90°,再通過第三反射鏡片的導(dǎo)引,入射到偏振合束鏡片內(nèi);e、偏振合束鏡片將第一束激光和第二束激光合成一束激光。C02激光器發(fā)出的激光束,通過本發(fā)明的方法,可以將C02激光器原本呈橢圓形光斑變成非橢圓形光斑,從而達(dá)到改善激光橢圓度,并壓縮光斑尺寸提高光束質(zhì)量的目的。
下面參照附圖結(jié)合實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。圖I為本發(fā)明C02激光器的光束調(diào)整的示意圖;圖2為本發(fā)明C02激光器的光束調(diào)整的另一示意圖。具體實(shí)施方式
下面結(jié)合
及具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明。如圖I所述為本發(fā)明C02激光光束示意圖,其包括輸入激光光束100的C02激光器10、位于光束路徑上 的第一、第二、第三反射鏡片20、30、40、位于第二和第三反射鏡片30、40之間的旋光器50、以及一偏振合束鏡片60,偏振合束鏡片60具有射出激光的合束鍍膜面。其中,第一反射鏡片20的反射面與第二反射鏡片30的反射面呈平行關(guān)系;第三反射鏡片40的反射面與第二反射鏡片30的反射面呈90°垂直關(guān)系;第三反射鏡片40的反射面與偏振合束鏡片60的合束鍍膜面呈平行關(guān)系。如圖1,C02激光器10輸出呈橢圓形的激光光束100,該橢圓形的激光光束100首先通過第一反射鏡片20,第一反射鏡片20將激光光束分隔成為第一、第二激光束101、102兩束半橢圓形光束、并同時(shí)將第一激光束101光路引導(dǎo)沿原路傳播,并直接進(jìn)入入射偏振合束鏡片60。第二激光束102由第一反射鏡片20反射90度至第二反射鏡片30,第二激光束102在第二反射鏡片30的導(dǎo)引下通過旋光器50后偏振方向旋轉(zhuǎn)90°,再通過第三反射鏡片3的導(dǎo)引入射到偏振合束鏡片60,該偏振合束鏡片60在偏振方向相互垂直的兩束半橢圓形激光光束合成一束,從而達(dá)到改善激光橢圓度,并壓縮光斑尺寸提高光束質(zhì)量的目的。如圖2,偏振合束鏡片60是一種具有特殊膜系設(shè)計(jì)的鏡片,能使兩束偏振方向相互垂直的激光合成一束,且該種偏振鏡片只能針對(duì)兩束偏振方向相互垂直的激光,對(duì)其他如相互平行的激光是無法實(shí)現(xiàn)合束作用的,這就是為什么本發(fā)明需要旋光器50使激光偏振方向旋轉(zhuǎn)90° ,即如圖2所不的A表不plO. 6um偏振方向平行入射面光路,即第一激光束101,圖2所示的B表示slO. 6um偏振方向垂直如赦免光路,即第二激光束102,經(jīng)過偏振合束鏡片60合成一束激光。C02激光器發(fā)出的激光束,通過本發(fā)明的方法,可以將C02激光器原本呈橢圓形光斑變成非橢圓形光斑,從而達(dá)到改善激光橢圓度,并壓縮光斑尺寸提高光束質(zhì)量的目的。
權(quán)利要求
1.一種C02激光器的光束調(diào)整裝置,其特征在于包括一 C02激光器、位于光路上的一第一反射鏡片、一第二反射鏡片、一第三反射鏡片、位于第二反射鏡片與第三反射鏡片之間的一旋光器、以及一偏振合束鏡片,該偏振合束鏡片具有合束鍍膜面,其中,第二反射鏡片的反射面與第一反射鏡片的反射面與第二反射鏡片的反射面呈平行關(guān)系,第三反射鏡片的反射面與第二反射鏡片的反射面呈垂直關(guān)系,第三反射鏡片的反射面與偏振合束鏡片的合束鍍膜面呈平行關(guān)系。
2.如權(quán)利要求I所述C02激光器的光束調(diào)整方法,其特征在于,其包括如下步驟 a、C02激光器輸出激光; b、C02激光器輸出的激光入射經(jīng)過第一反射鏡片,第一反射鏡片將入射激光分成兩束激光; C、經(jīng)由第一反射鏡片分成的兩束激光,分別為第一束激光和第二束激光,第一束激光沿原路繼續(xù)傳播,并直接進(jìn)入入射偏振合束鏡片;第二束激光反射進(jìn)入第二反射鏡片; d、第二束激光在第二反射鏡片導(dǎo)弓I下通過旋光器后偏振方向選擇90°,再通過第三反射鏡片的導(dǎo)引,入射到偏振合束鏡片內(nèi); e、偏振合束鏡片將第一束激光和第二束激光合成一束激光。
全文摘要
本發(fā)明提供一種CO2激光器的光束調(diào)整裝置及其方法,包括CO2激光器、第一、第二、第三反射鏡片、旋光器、以及偏振合束鏡片;CO2激光器輸出的激光入射經(jīng)過第一反射鏡片,第一反射鏡片將入射激光分成兩束,分別為第一束激光和第二束激光,第一束激光沿原路繼續(xù)傳播,并直接進(jìn)入入射偏振合束鏡片;第二束激光反射進(jìn)入第二反射鏡片,并在第二反射鏡片導(dǎo)引下通過旋光器后偏振方向選擇90°,再通過第三反射鏡片的導(dǎo)引,入射到偏振合束鏡片內(nèi);偏振合束鏡片將第一束激光和第二束激光合成一束激光。CO2激光器發(fā)出的激光束,通過本發(fā)明的方法,可以將CO2激光器原本呈橢圓形光斑變成非橢圓形光斑,從而達(dá)到改善激光橢圓度,并壓縮光斑尺寸提高光束質(zhì)量的目的。
文檔編號(hào)G02B27/28GK102736250SQ201110080888
公開日2012年10月17日 申請(qǐng)日期2011年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月31日
發(fā)明者汪玉樹, 高云峰 申請(qǐng)人:深圳市大族激光科技股份有限公司