專利名稱：感光性糊劑、圖案的形成方法和平面顯示器面板用部件的制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及等離子體顯示面板、場致發(fā)射顯示器、熒光顯示管等平面顯示器用部件中使用的適合形成圖案的感光性糊劑、使用該感光性糊劑的圖案的形成方法、和平面顯示器面板用部件的制造方法。
背景技術：
近年來，活躍地進行等離子體顯示器、場致發(fā)射顯示器、熒光顯示管、液晶顯示裝置、有機電致發(fā)光顯示器、發(fā)光二極管顯示器等平面顯示器的開發(fā)。其中，等離子體顯示器是通過如下方式進行顯示的，所述方式是使在前面玻璃基板與背面玻璃基板之間具有的放電空間內對置的陽極電極與陰極電極之間產(chǎn)生等離子體放電，并使由封入到上述放電空間內的氣體產(chǎn)生的紫外線照射設于放電空間內的熒光體，使其發(fā)光。此外，場致發(fā)射顯示器是通過使場致發(fā)射得到的電子照射熒光體來進行顯示的。等離子體顯示器、熒光顯示管等氣體放電類型的顯示器需要用于隔開放電空間的絕緣性隔壁。此外，場致發(fā)射顯示器需要用于將柵極電極和陰極隔絕的絕緣性隔壁。此外，報道有場致發(fā)射顯示器、特別是表面?zhèn)鲗碗娮影l(fā)射元件顯示器通過在面板側設置隔壁而能夠抑制發(fā)光的混色。這些等離子體顯示面板、場致發(fā)射顯示器等的絕緣性隔壁的形成需要能夠以高精度對玻璃粉末等無機材料進行圖案加工的材料和加工方法。作為進行這種無機材料的微細圖案加工的方法，提出了采用感光性糊劑法形成圖案的方法(例如專利文獻I 3)。為了顯示器的高清晰化，希望這些顯示器用隔壁的頂部寬度窄。然而，感光性糊劑涂布膜存在如下問題，即，由于分散含有大量的無機微粒而難以避免曝光光的散射，特別是容易發(fā)生由于表面附近的光散射引起的頂部寬度的寬大。為了解決該問題，提出了如下方案，即，通過添加波長365nm處的吸光系數(shù)大于波長405nm處的吸光系數(shù)和波長436nm處的吸光系數(shù)的紫外線吸收劑而能夠形成頂部寬度窄的隔壁(專利文獻4)。 現(xiàn)有技術文獻
專利文獻
專利文獻I: 日本特許第3249576號公報(權利要求 O
專利文獻2: 日本特許第3239759號公報(權利要求 O
專利文獻3: 日本特許第3402070號公報(權利要求 O
專利文獻4: 日本特開2008 --- 224940號公報
發(fā)明內容

然而，專利文獻4中記載的紫外線吸收劑存在如下問題，S卩，在低溫下保存感光性 糊劑時會部分作為結晶析出，該結晶成為曝光光的散射源，因而在采用感光性糊劑法的圖案形成中容易產(chǎn)生缺陷，而且該結晶在煅燒ェ序被除去而在除去后殘留空間，因此隔壁產(chǎn)
3生缺損、空洞。因此，本發(fā)明的課題是提供ー種感光性糊劑，其是含有可有效形成頂部寬度窄的隔壁的紫外線吸收劑的感光性糊劑，即使在低溫下保管糊劑，該紫外線吸收劑也不會析出。為了解決上述問題，本發(fā)明具有以下構成。即，通過以含有包含低軟化點玻璃粉末的無機成分、感光性有機成分、具有下述通式(I)所示結構的化合物、光聚合引發(fā)劑和溶劑為特征的感光性糊劑來達成。
權利要求
1.ー種感光性糊劑，其特征在于，含有包含低軟化點玻璃粉末的無機成分、感光性有機成分、具有下述通式(I)所示結構的化合物、光聚合引發(fā)劑和溶劑，
2.如權利要求I所述的感光性糊劑，其特征在于，所述溶劑的溶解度參數(shù)為18 30MPa1/2的范圍內。
3.如權利要求I或2所述的感光性糊劑，其特征在于，所述具有通式(I)所示結構的化合物是2 - (2,4 一二羥基苯基)一 2H—苯并三唑。
4.如權利要求I 3中任一項所述的感光性糊劑，其特征在于，所述溶劑是Y—丁內酷。
5.如權利要求I 4中任一項所述的感光性糊劑，其特征在于，所述光聚合引發(fā)劑是2 一節(jié)基ー 2 —二甲氨基ー I 一(4 ー嗎啉代苯基)—I 一丁酮。
6.—種圖案形成方法,其特征在于,在基板上涂布權利要求I 5中任一項所述的感光性糊劑，并進行曝光、顯影、煅燒。
7.ー種平面顯示器面板用部件的制造方法，其特征在于，包括使用權利要求6所述的圖案形成方法來形成隔壁的ェ序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種感光性糊劑，其是含有可有效形成頂部寬度窄的隔壁的紫外線吸收劑的感光性糊劑，即使在低溫下保管糊劑，該紫外線吸收劑也不會析出。所述感光性糊劑的特征在于，含有包含低軟化點玻璃粉末的無機成分、感光性有機成分、具有下述通式(1)所示結構的化合物、光聚合引發(fā)劑和溶劑。式中，R1～R4各自為氫原子、碳原子數(shù)1～10的烷基或烷氧基、羥基中的任一種，且至少1個是羥基。此外，R5～R8各自為氫原子、碳原子數(shù)1～10的烷基、鹵素原子中的任一種。
文檔編號G03F7/031GK102918459SQ20118002670
公開日2013年2月6日 申請日期2011年3月17日 優(yōu)先權日2010年8月27日
發(fā)明者谷野貴廣, 井口雄一朗, 山本洋平 申請人:東麗株式會社