專利名稱：一種修補液晶顯示陣列基板斷線的方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā) 明涉及薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay, TFT-IXD)制造技術(shù)，特別涉及一種修補液晶顯示陣列基板斷線的方法及裝置。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，在TFT-LCD陣列基板(array)制程中常常會出現(xiàn)線路斷開缺陷(line open defect)的情形。此時需要對斷開的線路進行補線，以重新連通所述線路。如圖I所示，是現(xiàn)有的一種陣列基板上的圖案線路出現(xiàn)斷線情形的示意圖；圖I只示出了局部的陣列基板。其中，在基板I進行鍍膜，形成第一圖案2和第二圖案3。其中第二圖案在40和41處斷開，從而將圖案3斷開成三部份(30、31、32)。如圖2所示，示出了現(xiàn)有的一種補線結(jié)構(gòu)的示意圖。從中可以看出，可以重新鍍膜一條補線路徑4，其一端與圖案3的30區(qū)域相連通，另一端與圖案3的32區(qū)域相連通，從而將圖案3重新連通。如圖3所示，是根據(jù)圖2的A-A向剖面的補線后的結(jié)構(gòu)示意圖；從圖2的A-A向剖面可以看出，補線裝置5 (圖中僅示出了一部份)沿著圖2中的補線路徑從左向右均速移動進行鍍膜，在橫跨圖案2的位置處，由于圖案2與基板I存在較大的高度變化，容易在補線路徑4出現(xiàn)斷裂、不連續(xù)的情形，從而使補線失敗，從而導(dǎo)致基板的良率不夠理想。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種修補液晶顯示陣列基板斷線的方法及裝置，可以提高修補液晶顯示陣列基板斷線時的成功率。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明實施例的一方面提供了一種修補液晶顯示陣列基板斷線的方法，包括如下步驟
在發(fā)現(xiàn)液晶顯示陣列基板上的圖案出現(xiàn)斷線時，確定所述圖案的斷線處的補線路徑，并掃描所述補線路徑；
根據(jù)所述補線路徑的掃描結(jié)果，將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間，并為所述每一段路路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度；
在每段路徑區(qū)間上，以所確定的對應(yīng)的鍍膜速度進行鍍膜，使所述補線路徑上形成連通的鍍膜。其中，所述掃描所述補線路徑的步驟為
通過白光干涉或激光掃描的方式對所述補線路徑進行掃描，獲得所述補線路徑上每點的高度數(shù)據(jù)。其中，根據(jù)所述補線路徑的掃描結(jié)果，將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間，并為所述每一段路路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度的步驟具體為
將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間；
根據(jù)每一路徑區(qū)間中各點的高度數(shù)據(jù)的變化大小，為所述路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度，其中，為所述高度數(shù)據(jù)變化大的路徑區(qū)間設(shè)置更慢的鍍膜速度。其中，根據(jù)所述補線路徑的掃描結(jié)果，將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間，并為所述每一段路路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度的步驟具體為
根據(jù)所述補線路徑的掃描結(jié)果，確認(rèn)所述補線路徑上經(jīng)過的所述陣列基板已經(jīng)鍍好的圖案線條邊緣的區(qū)間；
將所述補線路徑上的經(jīng)過圖案線條邊緣的區(qū)間與未經(jīng)過圖案線條邊緣的區(qū)間分別設(shè)置成不同的路徑區(qū)間；
為所述經(jīng)過圖案線條邊緣的路徑區(qū)間設(shè)置更慢的鍍膜速度，為其他未經(jīng)過圖案線條邊緣的路徑區(qū)間設(shè)置較快的鍍膜速度。其中，所述補線路徑上所形成連通的鍍膜將所述出現(xiàn)斷線的圖案的斷線處重新連通，而與其經(jīng)過的其他未出現(xiàn)斷線的圖案之間絕緣。相應(yīng)地，本發(fā)明實施例的另一方面提供一種修補液晶顯示陣列基板斷線的裝置，包括
檢測模塊，用于檢測液晶顯示陣列基板上的圖案是否出現(xiàn)斷線；
掃描模塊，用于在所述檢測裝置檢測至液晶顯示陣列基板上的圖案出現(xiàn)斷線時，確定并掃描為所述圖案的斷線處的補線路徑；
設(shè)置模塊，根據(jù)所述掃描模塊的掃描結(jié)果，將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間，并為所述每一段路路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度；
鍍膜裝置，在所述設(shè)置模塊所設(shè)置的每段路徑區(qū)間上，以所確定的對應(yīng)的鍍膜速度進行鍍膜，使所述補線路徑上形成連通的鍍膜。其中，所述掃描模塊是通過白光干涉或激光掃描的方式對所述補線路徑進行掃描，獲得所述補線路徑上每點的高度數(shù)據(jù)。其中，所述設(shè)置模塊是根據(jù)每一路徑區(qū)間中各點的高度數(shù)據(jù)的變化大小，為所述路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度，其中，為所述高度數(shù)據(jù)變化大的路徑區(qū)間設(shè)置更慢的鍍膜速度。其中，所述設(shè)置模塊是根據(jù)所述掃描模塊的結(jié)果，將所述補線路徑上的經(jīng)過圖案線條邊緣的區(qū)間與未經(jīng)過圖案線條邊緣的區(qū)間分別設(shè)置成不同的路徑區(qū)間；并為所述經(jīng)過圖案線條邊緣的路徑區(qū)間設(shè)置更慢的鍍膜速度，為其他未經(jīng)過圖案線條邊緣的路徑區(qū)間設(shè)置較快的鍍膜速度。實施本發(fā)明實施例，具有如下有益效果
根據(jù)本發(fā)明的實施例，通過將補線路徑分成多個路徑區(qū)間，且為每個路徑區(qū)間設(shè)置相應(yīng)的鍍膜速度，可以通過在不同路徑區(qū)間采用不同的鍍膜速度進行鍍膜，例如，所述經(jīng)過圖案線條邊緣的路徑區(qū)間設(shè)置更慢的鍍膜速度，以增加此路徑區(qū)間的鍍膜厚度，可以使所述補線路徑上形成連通的鍍膜，從而提高補線的成功率。


為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為根據(jù)，是現(xiàn)有的一種陣列基板上的圖案線路出現(xiàn)斷線情形的示意 圖2示出了現(xiàn)有的一種對圖I進行補線的結(jié)構(gòu)的示意 圖3示出根據(jù)圖2的A-A向剖面的補線后的結(jié)構(gòu)示意 圖4示出了本發(fā)明一個實施例中修補液晶顯示陣列基板斷線的結(jié)構(gòu)示意 圖5示出了本發(fā)明一個實施例中對圖4中的補線路徑進行掃描獲得的高度曲線 圖6示出了根據(jù)圖4的B-B向剖面的補線后的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式下面參考附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實施例進行描述。本發(fā)明的一方面，提供了一種修補液晶顯示陣列基板斷線的方法，其包括如下步驟
在發(fā)現(xiàn)液晶顯示陣列基板上的圖案出現(xiàn)斷線時，確定所述圖案的斷線處的補線路徑， 并掃描所述補線路徑，具體地，可以通過白光干涉或激光掃描的方式對所述補線路徑進行掃描，獲得所述補線路徑上每點的高度數(shù)據(jù)；
根據(jù)所述補線路徑的掃描結(jié)果，將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間，并為所述每一段路路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度；
在每段路徑區(qū)間上，以所確定的對應(yīng)的鍍膜速度進行鍍膜，使所述補線路徑上形成連通的鍍膜。其中，在一個實施方案中，根據(jù)所述補線路徑的掃描結(jié)果，將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間，為所述每一段路路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度的步驟具體包括
為根據(jù)所述補線路徑的掃描結(jié)果，將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間，并為所述每一段路路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度的步驟具體為
將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間；
根據(jù)每一路徑區(qū)間中各點的高度數(shù)據(jù)的變化大小，為所述路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度，其中，為所述高度數(shù)據(jù)變化大的路徑區(qū)間設(shè)置更慢的鍍膜速度。在另一個實施方案中，根據(jù)所述補線路徑的掃描結(jié)果，將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間，為所述每一段路路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度的步驟具體包括
根據(jù)所述補線路徑的掃描結(jié)果，確認(rèn)所述補線路徑上經(jīng)過的所述陣列基板已經(jīng)鍍好的圖案線條邊緣的區(qū)間，一般在圖案線條邊緣處，其高度數(shù)據(jù)變化非常大；
將所述補線路徑上的經(jīng)過圖案線條邊緣的區(qū)間與未經(jīng)過圖案線條邊緣的區(qū)間分別設(shè)置成不同的路徑區(qū)間；
為所述經(jīng)過圖案線條邊緣的路徑區(qū)間設(shè)置更慢的鍍膜速度，為其他未經(jīng)過圖案線條邊緣的路徑區(qū)間設(shè)置較快的鍍膜速度。通過上述的補線步驟，使所述補線路徑上所形成連通的鍍膜將所述出現(xiàn)斷線的圖案的斷線處重新連通，而與其經(jīng)過的其他未出現(xiàn)斷線的圖案之間絕緣。本發(fā)明的另一方面，提供一種修補液晶顯示陣列基板斷線的裝置，包括
檢測模塊，用于檢測液晶顯示陣列基板上的圖案是否出現(xiàn)斷線；
掃描模塊，用于在所述檢測裝置檢測至液晶顯示陣列基板上的圖案出現(xiàn)斷線時，確定并掃描為所述圖案的斷線處的補線路徑；
設(shè)置模塊，根據(jù)所述掃描模塊的掃描結(jié)果，將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間，并為所述每一段路路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度；
鍍膜裝置，在所述設(shè)置模塊所設(shè)置的每段路徑區(qū)間上，以所確定的對應(yīng)的鍍膜速度進行鍍膜，使所述補線路徑上形成連通的鍍膜。其中，所述掃描模塊是通過白光干涉或激光掃描的方式對所述補線路徑進行掃描，獲得所述補線路徑上每點的高度數(shù)據(jù)。其中，所述設(shè)置模塊是根據(jù)每一路徑區(qū)間中各點的高度數(shù)據(jù)的變化大小，為所述路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度，其中，為所述高度數(shù)據(jù)變化大的路徑區(qū)間設(shè)置更慢的鍍膜速度。
其中，所述設(shè)置模塊是根據(jù)所述掃描模塊的結(jié)果，將所述補線路徑上的經(jīng)過圖案線條邊緣的區(qū)間與未經(jīng)過圖案線條邊緣的區(qū)間分別設(shè)置成不同的路徑區(qū)間；并為所述經(jīng)過圖案線條邊緣的路徑區(qū)間設(shè)置更慢的鍍膜速度，為其他未經(jīng)過圖案線條邊緣的路徑區(qū)間設(shè)置較快的鍍膜速度。下述參照圖4至圖6，對本發(fā)明的修補液晶顯示陣列基板斷線的方法及裝置的實現(xiàn)過程進行詳述。其中，參照圖4所示，在基板I形成有第一圖案2和第二圖案3，其中第二圖案3有一部份與第一圖案相重疊，且相互絕緣。但對第二圖案3進行鍍膜的過程中，出現(xiàn)了斷線的情形。當(dāng)檢測到基板I上的圖案3出現(xiàn)斷線時，確定出其補線路徑4。此時，可以通過掃描裝置掃描該補線路徑，例如可以通過白光干涉或激光掃描的方式對所述補線路徑進行掃描，獲得所述補線路徑上每點的高度數(shù)據(jù)，從而形成如圖5的補線路徑的高度曲線圖。根據(jù)該掃描結(jié)果，將所述補線路徑分成多個路徑區(qū)間，并為所述每一段路路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度；如圖4中，可以將該補線路徑分為七段，分別為a-b段、b-c段、c-d段、d-e段、e-f段、f-g段、g_h段。其中，a-b段、b-c段、d-e段、f-g段、g-h段中高度變化不大，可以將各路徑區(qū)間的鍍膜速度設(shè)為相同或大致相同，而的c-d段、e-f段中高度變化很大，可以將其對應(yīng)的鍍膜速度設(shè)置為更慢的鍍膜速度?；蛘?，可以根據(jù)對補線路徑的掃描結(jié)果，直接確認(rèn)補線路徑上經(jīng)過的所述陣列基板已經(jīng)鍍好的圖案線條(如圖案2)邊緣的區(qū)間，例如，可以直接確定c-d段、e-f段為經(jīng)過圖案2線條邊緣的區(qū)間；
將所述補線路徑上的經(jīng)過圖案線條邊緣的區(qū)間(c-d段、e-f段)與未經(jīng)過圖案線條邊緣的區(qū)間(a-b段、b-c段、d-e段、f-g段、g-h段)分別設(shè)置成不同的路徑區(qū)間；
為所述經(jīng)過圖案線條邊緣的路徑區(qū)間設(shè)置更慢的鍍膜速度，為其他未經(jīng)過圖案線條邊緣的路徑區(qū)間設(shè)置較快的鍍膜速度，即為(c-d段、e-f段)設(shè)置更慢的鍍膜速度。如圖6所示，是根據(jù)本發(fā)明的修補液晶顯示陣列基板斷線的方法的補線后的結(jié)構(gòu)示意圖。從中可以看出，在每段路徑區(qū)間上，根據(jù)前述確定的對應(yīng)的鍍膜速度進行鍍膜，可以使所述補線路徑4上形成連通的鍍膜。其中，在c-d段、e-f段路徑區(qū)間上采用更慢的鍍膜速度，可以增加鍍膜的厚度，從而可以避免現(xiàn)在技術(shù)中出現(xiàn)鍍膜斷裂的情形，從而提高補膜的成功率，經(jīng)過上述的補線過程，可以使補線路徑4上的鍍膜使出現(xiàn)斷線的第二圖案3的斷線處重新連通，而與其經(jīng)過的其他未出現(xiàn)斷線的圖案(如第一圖案2)之間絕緣。從上可以看出，根據(jù)本發(fā)明的實施例，通過將補線路徑分成多個路徑區(qū)間，且為每個路徑區(qū)間設(shè)置相應(yīng)的鍍膜速度，可以通過在不同路徑區(qū)間采用不同的鍍膜速度進行鍍膜，例如，所述經(jīng)過圖案線條邊緣的路徑區(qū)間設(shè)置更慢的鍍膜速度，以增加此路徑區(qū)間的鍍膜厚度，可以使所述補線路徑上形成連通的鍍膜，從而提高補線的成功率。以上所揭露的僅為本發(fā)·明較佳實施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本發(fā)明之權(quán)利范圍，因此等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
1.一種修補液晶顯示陣列基板斷線的方法，其特征在于，包括如下步驟 在發(fā)現(xiàn)液晶顯示陣列基板上的圖案出現(xiàn)斷線時，確定所述圖案的斷線處的補線路徑，并掃描所述補線路徑； 根據(jù)所述補線路徑的掃描結(jié)果，將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間，并為所述每一段路路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度； 在每段路徑區(qū)間上，以所確定的對應(yīng)的鍍膜速度進行鍍膜，使所述補線路徑上形成連通的鍍膜。
2.如權(quán)利要求I所述的修補液晶顯示陣列基板斷線的方法，其特征在于，所述掃描所述補線路徑的步驟為 通過白光干涉或激光掃描的方式對所述補線路徑進行掃描，獲得所述補線路徑上每點的高度數(shù)據(jù)。
3.如權(quán)利要求2所述的修補液晶顯示陣列基板斷線的方法，其特征在于，根據(jù)所述補線路徑的掃描結(jié)果，將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間，并為所述每一段路路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度的步驟具體為 將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間； 根據(jù)每一路徑區(qū)間中各點的高度數(shù)據(jù)的變化大小，為所述路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度，其中，為所述高度數(shù)據(jù)變化大的路徑區(qū)間設(shè)置更慢的鍍膜速度。
4.如權(quán)利要求2所述的修補液晶顯示陣列基板斷線的方法，其特征在于，根據(jù)所述補線路徑的掃描結(jié)果，將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間，并為所述每一段路路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度的步驟具體為 根據(jù)所述補線路徑的掃描結(jié)果，確認(rèn)所述補線路徑上經(jīng)過的所述陣列基板已經(jīng)鍍好的圖案線條邊緣的區(qū)間； 將所述補線路徑上的經(jīng)過圖案線條邊緣的區(qū)間與未經(jīng)過圖案線條邊緣的區(qū)間分別設(shè)置成不同的路徑區(qū)間； 為所述經(jīng)過圖案線條邊緣的路徑區(qū)間設(shè)置更慢的鍍膜速度，為其他未經(jīng)過圖案線條邊緣的路徑區(qū)間設(shè)置較快的鍍膜速度。
5.如權(quán)利要求1-4任一項所述的修補液晶顯示陣列基板斷線的方法，其特征在于，所述補線路徑上所形成連通的鍍膜將所述出現(xiàn)斷線的圖案的斷線處重新連通，而與其經(jīng)過的其他未出現(xiàn)斷線的圖案之間絕緣。
6.一種修補液晶顯示陣列基板斷線的裝置，其特征在于，包括 檢測模塊，用于檢測液晶顯示陣列基板上的圖案是否出現(xiàn)斷線； 掃描模塊，用于在所述檢測裝置檢測至液晶顯示陣列基板上的圖案出現(xiàn)斷線時，確定并掃描為所述圖案的斷線處的補線路徑； 設(shè)置模塊，根據(jù)所述掃描模塊的掃描結(jié)果，將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間，并為所述每一段路路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度； 鍍膜裝置，在所述設(shè)置模塊所設(shè)置的每段路徑區(qū)間上，以所確定的對應(yīng)的鍍膜速度進行鍍膜，使所述補線路徑上形成連通的鍍膜。
7.如權(quán)利要求6所述的修補液晶顯示陣列基板斷線的裝置，其特征在于，所述掃描模塊是通過白光干涉或激光掃描的方式對所述補線路徑進行掃描，獲得所述補線路徑上每點的高度數(shù)據(jù)。
8.如權(quán)利要求7所述的修補液晶顯示陣列基板斷線的裝置，其特征在于，所述設(shè)置模塊是根據(jù)每一路徑區(qū)間中各點的高度數(shù)據(jù)的變化大小，為所述路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度，其中，為所述高度數(shù)據(jù)變化大的路徑區(qū)間設(shè)置更慢的鍍膜速度。
9.如權(quán)利要求7所述的修補液晶顯示陣列基板斷線的裝置，其特征在于，所述設(shè)置模塊是根據(jù)所述掃描模塊的結(jié)果，將所述補線路徑上的經(jīng)過圖案線條邊緣的區(qū)間與未經(jīng)過圖案線條邊緣的區(qū)間分別設(shè)置成不同的路徑區(qū)間；并為所述經(jīng)過圖案線條邊緣的路徑區(qū)間設(shè)置更慢的鍍膜速度，為其他未經(jīng)過圖案線條邊緣的路徑區(qū)間設(shè)置較快的鍍膜速度。
全文摘要
本發(fā)明實施例公開了一種修補液晶顯示陣列基板斷線的方法，至少包括如下步驟在發(fā)現(xiàn)液晶顯示陣列基板上的圖案出現(xiàn)斷線時，確定所述圖案的斷線處的補線路徑，并掃描所述補線路徑；根據(jù)所述補線路徑的掃描結(jié)果，將所述補線路徑分成至少兩段路徑區(qū)間，并為所述每一段路路徑區(qū)間設(shè)置對應(yīng)的鍍膜速度；在每段路徑區(qū)間上，以所確定的對應(yīng)的鍍膜速度進行鍍膜，使所述補線路徑上形成連通的鍍膜。同時，本發(fā)明實施例提供了一種修補液晶顯示陣列基板斷線的裝置，根據(jù)本發(fā)明的實施例，可以提高補線的成功率。
文檔編號G02F1/13GK102914888SQ20121044837
公開日2013年2月6日 申請日期2012年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月12日
發(fā)明者鄭文達 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司