缺陷檢查裝置和缺陷檢查方法
【專利摘要】本發(fā)明所涉及的缺陷檢查裝置用于檢測(cè)形成于面板的配線的缺陷位置，具備：探測(cè)器，其對(duì)上述配線的端子部施加電壓；探測(cè)器移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使上述探測(cè)器移動(dòng)到上述端子部；第一紅外傳感器，其拍攝上述面板的整個(gè)面；第二紅外傳感器，其拍攝上述面板的局部；以及傳感器移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使上述第二紅外傳感器移動(dòng)到上述面板的各個(gè)位置，上述第一紅外傳感器包括多個(gè)紅外照相機(jī)。
【專利說(shuō)明】缺陷檢查裝置和缺陷檢查方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及檢測(cè)形成于面板的配線的缺陷的檢查裝置和檢查方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在液晶面板的制造工藝中，例如有陣列(TFT )工序、單元(液晶)工序、模塊工序等。其中，在陣列工序中，在透明基板上形成柵極電極、半導(dǎo)體膜、源極/漏極電極、保護(hù)膜、透明電極之后，進(jìn)行陣列缺陷檢查，檢查電極、配線等的短路、斷線等缺陷的有無(wú)。
[0003]通常，陣列缺陷檢查使用如下方法:使探測(cè)器接觸配線的端部，測(cè)定配線兩端的電阻、相鄰的配線間的電阻、電容。但是，在用該方法進(jìn)行的陣列缺陷檢查中，即使能夠檢測(cè)出配線部的缺陷的有無(wú)，也不容易確定該缺陷的位置。
[0004]例如，作為確定缺陷的位置的檢查方法，有作業(yè)人員用顯微鏡觀察基板來(lái)進(jìn)行確定的目視檢查，但該檢查方法中作業(yè)人員的負(fù)擔(dān)大，另外，用目視識(shí)別缺陷很難，有時(shí)還會(huì)弄錯(cuò)缺陷的位置。因此，提出了用紅外照相機(jī)拍攝基板，進(jìn)行圖像處理，確定缺陷位置的紅外檢查。
[0005]專利文獻(xiàn)I涉及紅外檢查，如圖9所示，公開了如下技術(shù):在薄膜晶體管液晶基板中，在掃描線811?815和信號(hào)線821?825之間賦予電壓V，從而使短路缺陷803發(fā)熱。另一方面，在電壓施加前后，沿著虛線806對(duì)掃描線811?815和信號(hào)線821?825用紅外顯微鏡檢測(cè)圖像信號(hào)，取檢測(cè)出的圖像信號(hào)的差值，算出向X、Y方向的投影，從而確定短路缺陷803的像素地址。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)_7] 專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本公開專利公報(bào)“特開平6-51011號(hào)公報(bào)(平成6年2月25日公開)，，

【發(fā)明內(nèi)容】

_9] 發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0010]但是，在專利文獻(xiàn)I中使用了紅外顯微鏡，因此在采用了沿著虛線806掃描的構(gòu)成，而如大型液晶面板那樣檢查區(qū)域達(dá)到較大范圍的設(shè)備中，有紅外檢查所需的時(shí)間變長(zhǎng)、生產(chǎn)率降低的問(wèn)題。
[0011]因此，本發(fā)明的目的在于，提供在短時(shí)間內(nèi)確定短路缺陷的位置，從而生產(chǎn)率比以往優(yōu)異的缺陷檢查裝置和缺陷檢查方法。
[0012]用于解決問(wèn)題的方案
[0013]為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明所涉及的缺陷檢查裝置用于檢測(cè)形成于面板的配線的缺陷位置，其特征在于，具備:探測(cè)器，其對(duì)上述配線的端子部施加電壓；探測(cè)器移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使上述探測(cè)器移動(dòng)到上述端子部；第一紅外傳感器，其拍攝上述面板的整個(gè)面；第二紅外傳感器，其拍攝上述面板的局部；以及傳感器移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使上述第二紅外傳感器移動(dòng)到上述面板的各個(gè)位置，上述第一紅外傳感器包括多個(gè)紅外照相機(jī)。
[0014]另外，為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明所涉及的缺陷檢查方法用于檢測(cè)形成于面板的配線的缺陷位置，其特征在于，包括:對(duì)上述配線的端子部施加電壓的步驟；用多個(gè)紅外照相機(jī)拍攝上述面板的整個(gè)面的步驟；以及用I個(gè)以上的紅外照相機(jī)拍攝上述面板的局部的步驟。
[0015]發(fā)明效果
[0016]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供在短時(shí)間內(nèi)確定短路缺陷的位置，從而生產(chǎn)率比以往優(yōu)異的缺陷檢查裝置和缺陷檢查方法。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1是示出本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的缺陷檢查裝置的主要構(gòu)成的框圖。
[0018]圖2是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的缺陷檢查裝置的立體圖。
[0019]圖3是示出宏觀傳感器周邊的構(gòu)成的立體圖。
[0020]圖4是表示紅外照相機(jī)在液晶面板上的視野的俯視圖。
[0021 ] 圖5是表示被液晶面板反射的紅外照相機(jī)的視野的側(cè)視圖。
[0022]圖6是液晶面板和探測(cè)器的俯視圖。
[0023]圖7是示出利用紅外檢查來(lái)探測(cè)短路缺陷的流程的圖。
[0024]圖8是示出像素部的缺陷的示意圖。
[0025]圖9是用于說(shuō)明現(xiàn)有技術(shù)所涉及的短路像素地址確定方法的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0026]下面，參照附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明所涉及的一個(gè)實(shí)施方式。在本實(shí)施方式中，說(shuō)明如下缺陷檢查裝置:其能夠通過(guò)使用多個(gè)紅外照相機(jī)拍攝液晶面板的整個(gè)面，省去用紅外照相機(jī)掃描掃描線和信號(hào)線的工夫，縮短缺陷檢查所需的時(shí)間。
[0027]此外，在本實(shí)施方式中，是以形成在母基板上的多個(gè)液晶面板為缺陷檢查對(duì)象，但本發(fā)明不限于此，只要是形成有配線的面板即可，能將本發(fā)明所涉及的缺陷檢查方法應(yīng)用于包括太陽(yáng)能面板的各種電子設(shè)備。
[0028]圖1是示出作為一個(gè)實(shí)施方式的缺陷檢查裝置100的主要構(gòu)成的框圖。缺陷檢查裝置100是對(duì)形成在母基板I上的多個(gè)液晶面板2逐一地按順序檢查配線等的短路缺陷的裝置，具備:紅外傳感器3、傳感器移動(dòng)機(jī)構(gòu)4、主控制部5、電壓施加部6、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部7、探測(cè)器8以及探測(cè)器移動(dòng)機(jī)構(gòu)9。在此，主控制部5控制探測(cè)器移動(dòng)機(jī)構(gòu)9、紅外傳感器3、傳感器移動(dòng)機(jī)構(gòu)4以及電壓施加部6。電壓施加部6電連接于探測(cè)器8，對(duì)液晶面板2的掃描線和信號(hào)線施加電壓。數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部7與主控制部5連接，存儲(chǔ)由紅外傳感器3拍攝的圖像數(shù)據(jù)。
[0029]圖2是示出本實(shí)施方式所涉及的缺陷檢查裝置100的立體圖。缺陷檢查裝置100在圖1所示的主要構(gòu)成的基礎(chǔ)上，還具備:基板對(duì)準(zhǔn)臺(tái)11、對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)12以及光學(xué)照相機(jī)
13。在基板對(duì)準(zhǔn)臺(tái)11上，利用基板移動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)載置母基板1，調(diào)整母基板I的位置。對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)12設(shè)置于基板對(duì)準(zhǔn)臺(tái)11的上方，由主控制部5 (圖1)控制，確認(rèn)母基板I的位置。光學(xué)照相機(jī)13由主控制部5 (圖1)控制，用于將用紅外傳感器3探測(cè)到的短路缺陷拍攝為可視圖像?；蛘哂糜谂臄z探測(cè)器8，進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn)。
[0030]在此，探測(cè)器8用于對(duì)液晶面板2的掃描線和信號(hào)線施加電壓，探測(cè)器移動(dòng)機(jī)構(gòu)9是為了對(duì)形成于母基板I的多個(gè)液晶面板2逐一地按順序進(jìn)行檢查，使探測(cè)器8向與要檢查的每個(gè)液晶面板2的端子部抵接的位置移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。并且，探測(cè)器移動(dòng)機(jī)構(gòu)9具備探測(cè)器保持部9a、門式導(dǎo)軌9b、上下導(dǎo)軌9c、弓丨導(dǎo)保持部9d以及移位導(dǎo)軌9e。門式導(dǎo)軌9b、上下導(dǎo)軌9c以及移位導(dǎo)軌9e能夠沿著各導(dǎo)軌的長(zhǎng)邊方向獨(dú)立地移動(dòng)探測(cè)器8。在圖2所示的XYZ坐標(biāo)系中,若將后述的移位導(dǎo)軌9e的長(zhǎng)邊方向設(shè)為X軸方向，將門式導(dǎo)軌9b的長(zhǎng)邊方向設(shè)為Y軸方向，將上下導(dǎo)軌9c的長(zhǎng)邊方向設(shè)為Z軸方向，則探測(cè)器保持部9a保持探測(cè)器8，可滑動(dòng)地設(shè)置于門式導(dǎo)軌9b的Y軸方向，上下導(dǎo)軌9c裝配為可使門式導(dǎo)軌9b在Z軸方向滑動(dòng)。引導(dǎo)保持部9d保持上下導(dǎo)軌9c，可滑動(dòng)地設(shè)置于移位導(dǎo)軌9e的X軸方向。
[0031]另外，紅外傳感器3用于取得液晶面板2的紅外圖像，具備宏觀傳感器3a和微觀傳感器3b。宏觀傳感器3a具備4個(gè)紅外照相機(jī)，由于組合了 4個(gè)紅外照相機(jī)，因而能夠拓寬視野，一次拍攝I個(gè)液晶面板2的整個(gè)面。關(guān)于宏觀傳感器3a，在后面詳述。另外，微觀傳感器3b具備I個(gè)紅外照相機(jī)，能夠?qū)⒁壕姘?的局部納入視野。
[0032]另外，傳感器移動(dòng)機(jī)構(gòu)4使紅外傳感器3移動(dòng)到液晶面板2上，具備:傳感器保持部4a、4b、4c、移位導(dǎo)軌4d、引導(dǎo)保持部4e以及門式導(dǎo)軌4f。傳感器保持部4a保持宏觀傳感器3a，傳感器保持部4b保持微觀傳感器3b，傳感器保持部4c保持光學(xué)照相機(jī)13。傳感器保持部4a?4c可獨(dú)立滑動(dòng)地設(shè)置在移位導(dǎo)軌4d上。移位導(dǎo)軌4d設(shè)置為長(zhǎng)邊方向與Y軸平行，保持于引導(dǎo)保持部4e。引導(dǎo)保持部4e可滑動(dòng)地設(shè)置于門式導(dǎo)軌4f。門式導(dǎo)軌4f設(shè)置為長(zhǎng)邊方向與X軸平行。
[0033]探測(cè)器移動(dòng)機(jī)構(gòu)9和傳感器移動(dòng)機(jī)構(gòu)4具有各自的導(dǎo)軌，能夠在基板對(duì)準(zhǔn)臺(tái)11的上方互不干擾地移動(dòng)。因此，能夠在使探測(cè)器8接觸液晶面板2的狀態(tài)下，進(jìn)一步使宏觀傳感器3a、微觀傳感器3b以及光學(xué)照相機(jī)13移動(dòng)到液晶面板2上。
[0034]圖3是表示宏觀傳感器的構(gòu)成的立體圖。下面，說(shuō)明宏觀傳感器3a。設(shè)圖3所示的XYZ坐標(biāo)系為與圖2同樣的坐標(biāo)系。宏觀傳感器3a具備4個(gè)紅外照相機(jī)31?34。紅外照相機(jī)31?34的鏡頭的中心軸從與液晶面板2垂直的方向上傾斜，從而防止了將被液晶面板2反射的紅外照相機(jī)31?34自身拍攝為熱源。紅外照相機(jī)31?34以位于與基板對(duì)準(zhǔn)臺(tái)11平行的長(zhǎng)方形的4個(gè)頂點(diǎn)的位置關(guān)系設(shè)置于傳感器保持部4a。另外，紅外照相機(jī)31?34的旋轉(zhuǎn)軸全部為相同方向。另外，紅外照相機(jī)31的鏡頭的中心軸與紅外照相機(jī)33的鏡頭的中心軸平行，紅外照相機(jī)32的鏡頭的中心軸與紅外照相機(jī)34的鏡頭的中心軸平行。
[0035]圖4是表示紅外照相機(jī)31?34在液晶面板2上的視野的俯視圖。根據(jù)上述構(gòu)成，紅外照相機(jī)31?34的視野分別為梯形形狀，將4個(gè)組合起來(lái)能夠拍攝I個(gè)液晶面板2的整個(gè)面。對(duì)于用紅外照相機(jī)31?34拍攝的圖像，在利用主控制部5對(duì)各拍攝圖像中為梯形形狀的面板的形狀進(jìn)行坐標(biāo)變換而成為面板形狀為長(zhǎng)方形的圖像后，識(shí)別出視野重疊的區(qū)域，以成為一個(gè)圖像的方式進(jìn)行圖像合成。在此，紅外照相機(jī)31的視野僅與紅外照相機(jī)33的視野重疊，紅外照相機(jī)32的視野僅與紅外照相機(jī)34的視野重疊。
[0036]將圖像內(nèi)的面板形狀從梯形坐標(biāo)變換為長(zhǎng)方形的方法有投影變換。例如若指定梯形的4個(gè)角的點(diǎn)，則能利用矩陣運(yùn)算變換為長(zhǎng)方形。具體來(lái)說(shuō)，事先計(jì)算并保存變換矩陣，在實(shí)際測(cè)量時(shí)使用該變換矩陣將圖像變換為長(zhǎng)方形。實(shí)際上是長(zhǎng)方形的面板在照相機(jī)圖像中映為梯形形狀，因此，選擇圖像內(nèi)的梯形形狀的面板的4個(gè)角，以由選擇的4個(gè)點(diǎn)構(gòu)成的四邊形為長(zhǎng)方形的方式，利用公知的運(yùn)算方法算出變換矩陣。將其按每個(gè)照相機(jī)實(shí)施并保存。
[0037]并且，在利用上述投影變換將宏觀照相機(jī)圖像內(nèi)的面板的形狀變?yōu)殚L(zhǎng)方形的狀態(tài)下貼合多個(gè)宏觀照相機(jī)的圖像。貼合位置信息只要事先計(jì)算并保存即可。能夠利用對(duì)貼合圖像的圖像處理來(lái)確定圖像上的缺陷位置。
[0038]利用坐標(biāo)變換將上述圖像上的缺陷位置變換為面板坐標(biāo)系(例如面板中心為面板坐標(biāo)系的原點(diǎn))中的缺陷位置坐標(biāo)，從而能夠確定缺陷位置。具體來(lái)說(shuō)，根據(jù)照相機(jī)裝配位置算出面板坐標(biāo)系中的照相機(jī)位置的鉛垂線的位置，當(dāng)照相機(jī)移動(dòng)時(shí)，使用照相機(jī)移動(dòng)軸的位置傳感器信息來(lái)算出照相機(jī)位置的鉛垂線的位置。另外，事先算出上述照相機(jī)位置的鉛垂線的位置和上述貼合圖像內(nèi)的各像素的坐標(biāo)變換矩陣。能夠使用這些信息將上述圖像上的缺陷位置變換為面板坐標(biāo)系中的缺陷位置坐標(biāo)。
[0039]在此，對(duì)于紅外照相機(jī)31?34，只要至少在連結(jié)彼此的照相機(jī)的直線的正下方?jīng)]有液晶面板2，就不會(huì)相互映入，因此，紅外照相機(jī)31和紅外照相機(jī)33不會(huì)相互映入，紅外照相機(jī)32和紅外照相機(jī)34不會(huì)相互映入。另外，關(guān)于紅外照相機(jī)31和紅外照相機(jī)32，也能夠如以下說(shuō)明的那樣，設(shè)置為不相互映入。
[0040]圖5是紅外照相機(jī)31和紅外照相機(jī)32設(shè)置為不相互映入的一例。圖5 (a)是表示紅外照相機(jī)31的視野和被液晶面板2反射的視野的圖，圖5 (b)是表示紅外照相機(jī)32的視野和被液晶面板2反射的視野的圖。紅外照相機(jī)32與紅外照相機(jī)31相比中心軸更為傾斜，從而能夠使紅外照相機(jī)31不映入。關(guān)于紅外照相機(jī)33和紅外照相機(jī)34，也同樣能夠設(shè)置為不相互映入，關(guān)于紅外照相機(jī)31和紅外照相機(jī)34、紅外照相機(jī)32和紅外照相機(jī)33，也同樣能夠設(shè)置為不相互映入。
[0041 ] 如上所述，宏觀傳感器3a具備多個(gè)紅外照相機(jī)，從而能夠一次拍攝超過(guò)40英寸的大型液晶面板2的整個(gè)面。因此，具有如下優(yōu)點(diǎn):能夠省去像以往那樣用紅外照相機(jī)掃描掃描線和信號(hào)線的工夫，縮短缺陷檢查所需的時(shí)間。另外，在具備多個(gè)紅外照相機(jī)的情況下，與使用單體的紅外照相機(jī)的情況下相比，能夠使紅外照相機(jī)的設(shè)置位置較低，因此，還有能夠使檢查裝置小型化的優(yōu)點(diǎn)。另外，具有如下優(yōu)點(diǎn):紅外照相機(jī)設(shè)置為不相互映入，從而能夠防止將紅外照相機(jī)識(shí)別為熱源。
[0042]在本實(shí)施方式中，使用如下方法:經(jīng)由探測(cè)器對(duì)液晶面板2的掃描線和信號(hào)線施加電壓，用上述宏觀傳感器3a、微觀傳感器3b測(cè)量因電流流過(guò)缺陷部而產(chǎn)生的發(fā)熱，確定缺陷部的位置。下面，使用圖6和圖7詳述探測(cè)器的構(gòu)成和缺陷檢查方法。
[0043]圖6 Ca)是形成于母基板I的液晶面板2的俯視圖。在液晶面板2上形成有:像素部17，其在掃描線和信號(hào)線交叉的各交點(diǎn)形成有TFT ;以及周邊回路部18，其分別驅(qū)動(dòng)掃描線和信號(hào)線。在液晶面板2的緣部設(shè)置有端子部19a?19d，端子部19a?19d與像素部17、周邊回路部18的各配線相連。
[0044]圖6 (b)是表示用于與設(shè)置于液晶面板2的端子部19a?19d導(dǎo)通的探測(cè)器的一例的俯視圖。探測(cè)器8呈與液晶面板2的大小為大致相同大小的框狀的形狀，具備與端子部19a?19d對(duì)應(yīng)的多個(gè)探針21a?21d。多個(gè)探針21a?21d能夠經(jīng)由未圖示的開關(guān)繼電器使每一個(gè)探針21單獨(dú)地連接于電壓施加部6。因此，探測(cè)器8能夠選擇性地使與端子部19a?19d相連的多個(gè)配線連接，或者將多個(gè)配線一并連接。
[0045]另外，探測(cè)器8呈與液晶面板2大致相同大小的框狀的形狀，因此在將端子部19a?19d和探針21a?21d的位置對(duì)準(zhǔn)時(shí)，從探測(cè)器8的框部的內(nèi)側(cè)用光學(xué)照相機(jī)13來(lái)確認(rèn)。
[0046]圖7是示出利用紅外檢查來(lái)探測(cè)短路缺陷的流程的圖。對(duì)于形成于母基板I的多個(gè)液晶面板2，按照從SI (將步驟I記為SI。以下同樣。)到S9的步驟依次實(shí)施缺陷檢查。
[0047]在SI中，在缺陷檢查裝置100的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)11上載置母基板I，調(diào)整基板的位置使其與XY坐標(biāo)軸平行。在S2中，利用探測(cè)器移動(dòng)機(jī)構(gòu)9將探測(cè)器8移動(dòng)到成為檢查對(duì)象的液晶面板2的上部，使探針21a?21d接觸液晶面板2的端子部19a?19d。
[0048]在S3中，與各種缺陷的模式對(duì)應(yīng)地選擇配線，進(jìn)行導(dǎo)通的探針21的切換。在S4中，設(shè)定對(duì)缺陷塊24內(nèi)的配線施加的電壓值。利用電壓施加部6來(lái)調(diào)整施加于配線的電壓值，通常施加幾十伏程度的電壓。
[0049]圖8作為一例而示意性地示出像素部17中產(chǎn)生的缺陷的位置。圖8 (a)示出例如像掃描線和信號(hào)線那樣，配線X和配線Y在上下交叉的位置發(fā)生短路的缺陷23。這種缺陷23是通過(guò)將導(dǎo)通的探針21切換為圖6所示的21a和21d或者21b和21c，從而電流流過(guò)缺陷23而發(fā)熱的。
[0050]圖8 (b)示出例如像掃描線和輔助電容線那樣，在相鄰的配線X的配線間發(fā)生短路的缺陷23。這種缺陷23是通過(guò)將導(dǎo)通的探針21切換為21b的奇數(shù)號(hào)和21d的偶數(shù)號(hào)，從而電流流過(guò)缺陷23而發(fā)熱的。
[0051]圖8 (c)示出例如像信號(hào)線和輔助電容線那樣，在相鄰的配線Y的配線間發(fā)生短路的缺陷23。這種缺陷23是通過(guò)將導(dǎo)通的探針21切換為21a的奇數(shù)號(hào)和21c的偶數(shù)號(hào)，從而電流流過(guò)缺陷23而發(fā)熱的。
[0052]在S5中，利用宏觀傳感器3a進(jìn)行液晶面板2整個(gè)面的紅外檢查。在此，宏觀傳感器3a能夠通過(guò)檢測(cè)從缺陷23放出的紅外光來(lái)鎖定缺陷23的位置。因此，無(wú)需使宏觀傳感器3a掃描就能夠測(cè)量液晶面板2的整個(gè)面，能夠縮短紅外檢查的時(shí)間。
[0053]在S6中，傳感器移動(dòng)機(jī)構(gòu)4以使在S5中檢測(cè)出的缺陷收進(jìn)微觀傳感器3b的視野的方式移動(dòng)微觀傳感器3b。作為微觀測(cè)量用的紅外線照相機(jī)的微觀傳感器3b是能進(jìn)行微觀測(cè)量的紅外線照相機(jī)，該微觀測(cè)量能進(jìn)行比宏觀傳感器3a高分辨率的拍攝。宏觀傳感器3a中的缺陷檢測(cè)位置精度實(shí)現(xiàn)將缺陷收進(jìn)微觀傳感器3b的圖像視野內(nèi)的精度，利用由微觀傳感器3b進(jìn)行的微觀測(cè)量來(lái)確定更高精度的缺陷位置。在S7中，利用微觀傳感器3b進(jìn)行液晶面板2局部的紅外檢查。用微觀傳感器3b拍攝因電流流過(guò)而發(fā)熱的缺陷23，檢測(cè)從缺陷23放出的紅外光。利用宏觀傳感器3a鎖定了發(fā)熱部的位置，因此能夠?qū)⑽⒂^傳感器3b直接對(duì)準(zhǔn)發(fā)熱部，能夠在短時(shí)間內(nèi)對(duì)缺陷23的修正所需的缺陷的種類等信息進(jìn)行更詳細(xì)的測(cè)量。在測(cè)量的熱圖像(利用宏觀傳感器取得的圖像、利用微觀傳感器取得的圖像)中，缺陷23的溫度表示得比周邊高，因此能從缺陷23和配線的位置關(guān)系確定缺陷位置，存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部7。
[0054]在S8中，對(duì)于檢查中的液晶面板2，判斷各種缺陷模式的所有檢查是否結(jié)束，若有未檢查的缺陷模式，則返回步驟S3，根據(jù)下一個(gè)缺陷模式切換探測(cè)器8的連接，重復(fù)缺陷檢查。
[0055]在S9中，對(duì)于檢查中的母基板1，判斷所有的液晶面板2的陣列缺陷檢查是否結(jié)束，若還有未檢查的液晶面板2，則返回步驟SI，探測(cè)器移動(dòng)到成為下一個(gè)檢查對(duì)象的液晶面板2，重復(fù)缺陷檢查。
[0056]此外，本發(fā)明中的宏觀傳感器所具有的紅外照相機(jī)的數(shù)量不限于本實(shí)施方式，也可以具備5個(gè)以上。
[0057]另外，本發(fā)明中的宏觀傳感器的設(shè)置方向不限于本實(shí)施方式，也可以將照相機(jī)的鏡頭的中心軸設(shè)置為與地面垂直的方向。這是因?yàn)?，即使是使被液晶面?反射的紅外照相機(jī)31?34自身作為熱源映入了，也能通過(guò)取對(duì)液晶面板2施加電壓前后的圖像的差值，而在某種程度上抵消以紅外照相機(jī)31?34自身為熱源的圖像。
[0058]此外，本發(fā)明不限于上述的實(shí)施方式。本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠在權(quán)利要求所示的范圍內(nèi)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種變更。即，只要在權(quán)利要求所示的范圍內(nèi)組合適當(dāng)變更的技術(shù)手段，就能得到新的實(shí)施方式。即，在說(shuō)明書中所述的【具體實(shí)施方式】不過(guò)是闡明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，不應(yīng)狹義地解釋為僅限于這樣的具體例，能夠在本發(fā)明的精神和所記載的權(quán)利要求的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更而實(shí)施。
[0059](本發(fā)明的總括)
[0060]如上所述，本發(fā)明所涉及的缺陷檢查裝置用于檢測(cè)形成于面板的配線的缺陷位置，其特征在于，具備:探測(cè)器，其對(duì)上述配線的端子部施加電壓；探測(cè)器移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使上述探測(cè)器移動(dòng)到上述端子部；第一紅外傳感器，其拍攝上述面板的整個(gè)面；第二紅外傳感器，其拍攝上述面板的局部；以及傳感器移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使上述第二紅外傳感器移動(dòng)到上述面板的各個(gè)位置，上述第一紅外傳感器包括多個(gè)紅外照相機(jī)。
[0061]而且，本發(fā)明所涉及的缺陷檢查裝置也可以在上述構(gòu)成的基礎(chǔ)上，將上述多個(gè)紅外照相機(jī)配置為:被上述面板反射時(shí)不會(huì)相互映入。
[0062]而且，本發(fā)明所涉及的缺陷檢查裝置也可以在上述構(gòu)成的基礎(chǔ)上，具備:控制部，其處理用上述多個(gè)紅外照相機(jī)拍攝的多個(gè)圖像，上述控制部設(shè)為如下構(gòu)成:識(shí)別上述多個(gè)紅外照相機(jī)的視野重疊的區(qū)域，以上述面板整體成為一個(gè)圖像的方式將用上述多個(gè)紅外照相機(jī)拍攝的上述多個(gè)圖像合成。
[0063]本發(fā)明所涉及的缺陷檢查方法用于檢測(cè)形成于面板的配線的缺陷位置，包括:對(duì)上述配線的端子部施加電壓的步驟；用多個(gè)紅外照相機(jī)拍攝上述面板的整個(gè)面的步驟；以及用I個(gè)以上的紅外照相機(jī)拍攝上述面板的局部的步驟。
[0064]而且，本發(fā)明所涉及的缺陷檢查方法也可以在上述構(gòu)成的基礎(chǔ)上，在用多個(gè)紅外照相機(jī)拍攝上述面板的整個(gè)面的步驟中，以被上述面板反射時(shí)不會(huì)相互映入的方式拍攝。
[0065]而且，本發(fā)明所涉及的缺陷檢查方法也可以在上述構(gòu)成的基礎(chǔ)上，包括:識(shí)別上述多個(gè)紅外照相機(jī)的視野重疊的區(qū)域的步驟；以及以上述面板整體成為一個(gè)圖像的方式合成圖像的步驟。
[0066]工業(yè)h的可利用件
[0067]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供在短時(shí)間內(nèi)確定短路缺陷的位置，從而生產(chǎn)率比以往優(yōu)異的缺陷檢查裝置和缺陷檢查方法。
[0068]因此，能將本發(fā)明所涉及的缺陷檢查方法應(yīng)用于包括液晶面板和太陽(yáng)能面板的各種電子設(shè)備。
[0069]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0070]1母基板
[0071]2液晶面板(面板)
[0072]3紅外傳感器
[0073]3a宏觀傳感器
[0074]31、32、33、34 紅外照相機(jī)
[0075]3b微觀傳感器
[0076]4傳感器移動(dòng)機(jī)構(gòu)
[0077]5主控制部
[0078]6電壓施加部
[0079]7數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部
[0080]8探測(cè)器
[0081]9探測(cè)器移動(dòng)機(jī)構(gòu)
【權(quán)利要求】
1.一種缺陷檢查裝置，用于檢測(cè)形成于面板的配線的缺陷位置，其特征在于，具備: 探測(cè)器，其對(duì)上述配線的端子部施加電壓； 探測(cè)器移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使上述探測(cè)器移動(dòng)到上述端子部； 第一紅外傳感器，其拍攝上述面板的整個(gè)面； 第二紅外傳感器，其拍攝上述面板的局部；以及 傳感器移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使上述第二紅外傳感器移動(dòng)到上述面板的各個(gè)位置， 上述第一紅外傳感器包括多個(gè)紅外照相機(jī)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于， 上述多個(gè)紅外照相機(jī)配置為:被上述面板反射時(shí)不會(huì)相互映入。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的缺陷檢查裝置，其特征在于， 還具備:控制部，其處理用上述多個(gè)紅外照相機(jī)拍攝的多個(gè)圖像， 上述控制部識(shí)別上述多個(gè)紅外照相機(jī)的視野重疊的區(qū)域，以上述面板整體成為一個(gè)圖像的方式將用上述多個(gè)紅外照相機(jī)拍攝的上述多個(gè)圖像合成。
4.一種缺陷檢查方法，用于檢測(cè)形成于面板的配線的缺陷位置，其特征在于，包括: 對(duì)上述配線的端子部施加電壓的步驟； 用多個(gè)紅外照相機(jī)拍攝上述面板的整個(gè)面的步驟；以及 用I個(gè)以上的紅外照相機(jī)拍攝上述面板的局部的步驟。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的缺陷檢查方法，其特征在于， 在用多個(gè)紅外照相機(jī)拍攝上述面板的整個(gè)面的步驟中，以被上述面板反射時(shí)不會(huì)相互映入的方式拍攝。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的缺陷檢查方法，其特征在于，還包括: 識(shí)別上述多個(gè)紅外照相機(jī)的視野重疊的區(qū)域的步驟；以及 以上述面板整體成為一個(gè)圖像的方式合成圖像的步驟。
【文檔編號(hào)】G02F1/13GK103620482SQ201280029756
【公開日】2014年3月5日 申請(qǐng)日期:2012年5月18日 優(yōu)先權(quán)日:2011年6月24日
【發(fā)明者】柳瀨正和 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社