專利名稱：一種縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是涉及浸入式顯微系統(tǒng)中的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置，特別是涉及一種用于浸入式顯微鏡(Immersion Microscope)的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置。
背景技術(shù): 在半導(dǎo)體等行業(yè)，對(duì)于細(xì)微電子器件的故障解析和可靠性評(píng)價(jià)是確保成品率的關(guān)鍵。通常采用的方式是將電子器件作為試樣，在顯微鏡下進(jìn)行觀測(cè)，以確定是否存在影響器件正常工作的缺陷或雜質(zhì)。然而，伴隨著電子器件的特征線寬向著32納米以下不斷縮小，以及基底(如半導(dǎo)體硅片)尺寸的不斷增大，傳統(tǒng)觀測(cè)方式的技術(shù)成本在迅速上升。
浸入式顯微鏡系統(tǒng)，通過在物鏡前端和基底(如硅片或液晶基板等)之間的薄層縫隙中填充純水等液體，以提高該區(qū)域介質(zhì)的折射率，從而間接增大物鏡的數(shù)值孔徑(NA)，獲得了更高的觀測(cè)分辨率(例如參見中國(guó)專利200680039343.2)。由于浸入式方式主要涉及物鏡前端和基底之間的區(qū)域，對(duì)原有光路系統(tǒng)影響小，因此很好的繼承了已有技術(shù)，在提高觀測(cè)分辨率的同時(shí)具備了良好的經(jīng)濟(jì)性。
目前浸入式顯微鏡系統(tǒng)主要通過間斷供液的方案(如參見美國(guó)專利US2005179997A1和日本專利JP2010026218A)，將液體輸送到基底上方和物鏡間的局部區(qū)域內(nèi)。間斷供液采用一次觀測(cè)對(duì)應(yīng)一次供液的模式，即在開始觀測(cè)前輸入一定容量液體到待觀測(cè)表面，完成該次觀測(cè)后則通過回收管路將液體抽離，在觀測(cè)過程中液體不更新。間斷供液方案具有形式簡(jiǎn)單和易于實(shí)現(xiàn)等優(yōu)點(diǎn)，然而該方案存在明顯不足。首先是污染物易累積，觀測(cè)可靠性有待提高。由于液體不流動(dòng)，伴隨著觀測(cè)的進(jìn)行，基底表層和流場(chǎng)外圍的污染物向觀測(cè)區(qū)域和物鏡下表面不斷的擴(kuò)散并累積，這將引起微納觀測(cè)的成像失真。其次是檢測(cè)效率低，由于間斷性供液模式難以實(shí)現(xiàn)連續(xù)性的檢測(cè)，因此對(duì)較大面積的基底(如12英寸硅片)進(jìn)行全面檢測(cè)時(shí)需花費(fèi)大量的時(shí)間，這使得其越來越難以滿足待測(cè)基底尺度不斷增大這一發(fā)展趨勢(shì)的要求。
結(jié)合液體的流動(dòng)更新和基底的快速運(yùn)動(dòng)，可大幅提升檢測(cè)的效率。一方面通過進(jìn)出口壓差驅(qū)動(dòng)液體流動(dòng)帶走污染物、提高觀測(cè)區(qū)域的均一性(例如參見中國(guó)專利201210036522.8);另一方面通過基底的實(shí)時(shí)快速運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)不同區(qū)域連續(xù)性的觀測(cè)?；椎目焖龠\(yùn)動(dòng)提高了檢測(cè)的效率，卻加大液體的污染并降低觀測(cè)可靠性，主要體現(xiàn)在: I)基底運(yùn)動(dòng)引發(fā)污染物回流，影響觀測(cè)質(zhì)量。在粘性力作用下，運(yùn)動(dòng)的基底將帶動(dòng)液體形成剪切流動(dòng)，其與供液驅(qū)動(dòng)的壓差流方向相反時(shí)，液體內(nèi)部將不可避免的發(fā)生回流，即離開觀測(cè)區(qū)域的帶污染物液體再次或多次進(jìn)入該區(qū)域，從而嚴(yán)重影響觀測(cè)質(zhì)量。填充在物鏡和基底之間的液體實(shí)質(zhì)上起到的是投影物鏡的作用，對(duì)其均一性有著極高的要求。然而基底待觀測(cè)表面及其外圍常存在著一定程度的污染，伴隨著對(duì)不同位置的連續(xù)性觀測(cè)，液體極易被污染，若發(fā)生回流，將破壞觀測(cè)區(qū)液體的均一性，并惡化觀測(cè)質(zhì)量。
2)基底運(yùn)動(dòng)引發(fā)的回流易導(dǎo)致污染沉積，由此造成持續(xù)的觀測(cè)失真。污染物在經(jīng)過回流之后，更加接近于物鏡下表面，更易吸附在物鏡表面，將造成長(zhǎng)期的危害。在觀測(cè)之后增加物鏡清洗工序(如參見日本專利JP2007065257A)將有助于獲得潔凈的物鏡表面，但卻因此降低了工作效率，間接增加了觀測(cè)的成本。
發(fā)明內(nèi)容:
本發(fā)明的目的是提供一種用于浸入式顯微鏡的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置，在基底和物鏡的末端元件之間實(shí)時(shí)更新液體的同時(shí)，通過非均勻供液和回流液體的吸收及補(bǔ)償設(shè)計(jì)，以獲得動(dòng)態(tài)穩(wěn)定的均勻流場(chǎng)。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下:
在透鏡組和基底之間設(shè)置的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置；所述的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置中心開有柱狀的觀測(cè)腔，
1)垂直于基底向外，一側(cè)依次開有:
注液排孔陣列，為2 6組弧度取60 150°環(huán)形柱狀排孔陣列，其孔徑范圍是0.1 2mm ；
注液腔，為弧度取60 150°環(huán)形柱狀腔體；
注液端吸液排孔，為I 3組弧度取60 130°的環(huán)形圓柱排孔陣列，其孔徑范圍是0.1 L 5mm ；
2)垂直于基底向外，另一側(cè)依次開有:
回收排孔陣列，為2 6組弧度取60 150°環(huán)形柱狀排孔陣列，其孔徑范圍是0.1 2mm ；
回收腔，為弧度取60 150°環(huán)形柱狀腔體；
回收端補(bǔ)液排孔，為廣3組弧度取60 130°的環(huán)形圓柱排孔陣列，其孔徑范圍是0.05^0.8mm ；
過縫隙流控制裝置中心、垂直于基底的截面上，注液腔及注液排孔陣列與基底的夾角均為α角且大小范圍是1(Γ90°，回收腔及回收排孔陣列與基底的夾角均為β角且大小范圍是10 90°。所述的注液排孔陣列，為同心圓的環(huán)形結(jié)構(gòu)，同一圓環(huán)位置上的孔徑相等，注液排孔陣列的孔徑隨圓環(huán)半徑的增大而增大。所述的回收排孔陣列，為同心圓的環(huán)形結(jié)構(gòu)，同一圓環(huán)位置上的孔徑相等，回收排孔陣列的孔徑隨圓環(huán)半徑的增大而增大。所述的注液排孔陣列和回收排孔陣列的下表面距離縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置下表面
0.5 5mm。所述的注液排孔陣列孔徑為注液端吸液排孔孔徑的1.5^2倍。所述的回收排孔陣列孔徑為回收端補(bǔ)液排孔孔徑的2 3倍。垂直于基底、注液腔及回收腔的中心連線，沿法向中線向外，開有側(cè)端面吸液排孔，為廣3組弧度取30 80°的環(huán)形圓柱排孔陣列，其孔徑范圍是0.05 lmm。本發(fā)明具有的有益效果是:
I)液體持續(xù)更新，具備了高質(zhì)量的長(zhǎng)期觀測(cè)能力。通過液體流動(dòng)實(shí)時(shí)更新，有助于液體保持潔凈。相比于間斷供液方式，可有效提高長(zhǎng)時(shí)間觀測(cè)下的觀測(cè)質(zhì)量。2)通過獨(dú)特的供液回收結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，獲得具有強(qiáng)抗回流能力的觀測(cè)區(qū)流場(chǎng)。通過供液腔體和非均勻排孔相結(jié)合的液體輸送方案，在觀測(cè)區(qū)域內(nèi)形成大范圍同方向的強(qiáng)液流，從而有效抑制回流對(duì)觀測(cè)區(qū)域液流的干擾。3)利用吸收及補(bǔ)償通道實(shí)時(shí)排走回流液體，從源頭上抑制回流，流動(dòng)均一性好、觀測(cè)質(zhì)量高。由于液體存在粘性，基底運(yùn)動(dòng)將牽拉液體形成剪切流動(dòng)，其與供液流動(dòng)耦合后將導(dǎo)致無法避免的液體回流。通過在觀測(cè)區(qū)外圍設(shè)置回流液體的吸收及補(bǔ)償通道，形成屏障避免被污染的液體回流到觀測(cè)區(qū)，因此液體均一穩(wěn)定且消除了物鏡的二次污染，可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期持續(xù)的可靠觀測(cè)。


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圖1是本發(fā)明與透鏡組相裝配的簡(jiǎn)化示意 圖2是本發(fā)明的仰視 圖3是本發(fā)明的P-P剖面視 圖4是表征基底向回收端方向運(yùn)動(dòng)時(shí)的液體更新原理；
圖5是表征基底向注液端方向運(yùn)動(dòng)時(shí)的液體更新原理；
圖6是表征基底向注液端方向運(yùn)動(dòng)時(shí)的外圍回流液體吸收；
圖7是表征基底沿法向中線方向運(yùn)動(dòng)時(shí)的回流液體吸收；
圖中:1、浸入式顯微鏡，2、透鏡組，3、縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置，4、基底，5、目鏡，6、觀測(cè)腔，7A、注液腔，7B、注液排孔陣列，7C、回收端補(bǔ)液排孔，8A、回收腔，8B、回收排孔陣列，8C、注液端吸液排孔，8D、側(cè)端面吸液排孔，9、縫隙流，10、基底運(yùn)動(dòng)方向，11A、入口液流，11B、觀測(cè)中心液流，11C、出口液流，12、注液端補(bǔ)償液流，13、回收端液體回流，14A、注液端液體回流，14B、注液端液體對(duì)流，15、回收端液體對(duì)流，16、徑向中線，17、法向中線，18、流速分布，19、側(cè)面液流，20、排孔液流。
具體實(shí)施方式
:
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，說明本發(fā)明的具體實(shí)施方式
。圖1示意性地表示了本發(fā)明實(shí)施方案的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置與透鏡組的裝配，在透鏡組2和基底4之間設(shè)置的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置3，可在浸入式顯微鏡I等顯微設(shè)備中應(yīng)用。在實(shí)際觀測(cè)中，基底4 (硅片或液晶基板等)表面的光線，經(jīng)由基底4上方的縫隙液膜(圖中未給出)和透鏡組2，被相關(guān)設(shè)備獲取以用于顯微分析。出于設(shè)備利用率和經(jīng)濟(jì)性的考慮，浸入式顯微觀測(cè)可存在直接目測(cè)和圖像解析兩種模式。如果觀測(cè)光線的波長(zhǎng)為可見光，則可通過目鏡5進(jìn)行直接觀測(cè)；如果采用紫外光，則首先通過CCD相機(jī)采集觀測(cè)數(shù)據(jù)，并在監(jiān)測(cè)設(shè)備中加以顯示。圖2 圖3示意性地表示了本發(fā)明實(shí)施方案的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置，中心開有柱狀的觀測(cè)腔6，
O垂直于基底4向外,一側(cè)依次開有:
注液排孔陣列7B，為2 6組弧度取60 150°環(huán)形柱狀排孔陣列，其孔徑范圍是
0.1 2mm ；
注液腔7A，為弧度取60 150°環(huán)形柱狀腔體；
注液端吸液排孔SC，為I 3組弧度取60 130°的環(huán)形圓柱排孔陣列，其孔徑范圍是 0.1 L 5mm ； 2)垂直于基底4向外，另一側(cè)依次開有: 回收排孔陣列SB，為2 6組弧度取60 150°環(huán)形柱狀排孔陣列，其孔徑范圍是0.1 2mm ； 回收腔8A，為弧度取60 150°環(huán)形柱狀腔體； 回收端補(bǔ)液排孔7C，為廣3組弧度取60 130°的環(huán)形圓柱排孔陣列，其孔徑范圍是0.05^0.8mm ； 過縫隙流控制裝置3中心、垂直于基底4的截面上，注液腔7A及注液排孔陣列7B與基底4的夾角均為α角且大小范圍是1(Γ90°，回收腔8Α及回收排孔陣列8Β與基底4的夾角均為β角且大小范圍是1(Γ90°。
注液排孔陣列7Β，為同心圓的環(huán)形結(jié)構(gòu)，同一圓環(huán)位置上的孔徑相等，注液排孔陣列7Β的孔徑隨圓環(huán)半徑的增大 而增大。
回收排孔陣列SB，為同心圓的環(huán)形結(jié)構(gòu)，同一圓環(huán)位置上的孔徑相等，回收排孔陣列8Β的孔徑隨圓環(huán)半徑的增大而增大。
注液排孔陣列7Β和回收排孔陣列SB的下表面距離縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置3下表面0.5 5mm。
注液排孔陣列7B孔徑為注液端吸液排孔SC孔徑的1.5^2倍。
回收排孔陣列SB孔徑為回收端補(bǔ)液排孔7C孔徑的2 3倍。
垂直于基底4、注液腔7A及回收腔8A的中心連線，沿法向中線17向外，開有側(cè)端面吸液排孔8D，為廣3組弧度取30 80°的環(huán)形圓柱排孔陣列，其孔徑范圍是0.05 lmm。
流場(chǎng)初始化中，從外界管路接入的液體在一定壓力作用下同時(shí)經(jīng)由注液腔7A和注液排孔陣列7B輸入，在基底4和觀測(cè)腔6之間的區(qū)域形成縫隙流9，隨后從回收腔8A和回收排孔陣列8B實(shí)現(xiàn)回收。為了促使液體更加快速的流動(dòng)，注液回收腔體及排孔與基底可存在向外傾斜的角度(α、β )，優(yōu)選的角度范圍為5(Γ80度，同時(shí)排孔的孔徑由外向內(nèi)逐漸減小。這種大范圍漸進(jìn)變化的供液方式，促進(jìn)在觀測(cè)區(qū)域形成均勻的大流量液流，從而使本發(fā)明所生成的縫隙流具備較強(qiáng)的抗外界干擾能力。此外，在外圍設(shè)置回收端補(bǔ)液排孔7C和注液端吸液排孔8C，及時(shí)補(bǔ)償并吸收由于基底運(yùn)動(dòng)形成的液體回流，進(jìn)一步保障觀測(cè)區(qū)的液體均一性、提升觀測(cè)質(zhì)量。
圖4表示基底向回收端方向運(yùn)動(dòng)時(shí)本發(fā)明的液體更新原理。此時(shí)入口液流IlA和出口液流Iic形成的壓差流動(dòng)，與基底運(yùn)動(dòng)方向10近似相同，因此觀測(cè)中心液流IlB流動(dòng)方向一致性好、液體更新效率高。除中心流動(dòng)外，注液腔7Α輸入的外側(cè)部分液體形成了注液端補(bǔ)償液流12，從而對(duì)抗注液端外圍有可能被牽拉進(jìn)觀測(cè)區(qū)域的液體，這部分液體最終通過注液腔吸液排孔8C實(shí)施回收。在回收腔8Α外側(cè)，基底牽拉運(yùn)動(dòng)的液體由于受到壁面阻礙，必然形成回收端液體回流13 ;本發(fā)明通過回收端補(bǔ)液排孔7C輸入液體，促使這部分流經(jīng)過觀測(cè)區(qū)域的液體盡快的從回收腔8Α排走。
圖5表示基底向注液端方向運(yùn)動(dòng)時(shí)本發(fā)明的液體更新原理。此時(shí)基底運(yùn)動(dòng)形成的剪切流動(dòng)與注液回收形成的壓差流動(dòng)二者方向相反，觀測(cè)中心液流IlB因此呈現(xiàn)不同方向的分層流動(dòng)，將引發(fā)較強(qiáng)的液體回流，并導(dǎo)致觀測(cè)質(zhì)量的下降。仔細(xì)分析縫隙流動(dòng)可知，接近基底的液體在粘性力作用下隨基底發(fā)生運(yùn)動(dòng)，在受到壁面阻礙后形成注液端液體回流14A。這部分液體極易在注液腔7A向內(nèi)液流的帶動(dòng)作用下回流到觀測(cè)區(qū)域，惡化觀測(cè)質(zhì)量。在本發(fā)明中，通過在注液腔7A外圍設(shè)置注液端吸液排孔8C，使得注液腔7A輸入的部分液體形成注液端液體對(duì)流14B以對(duì)抗回流，最終迫使回流的液體從注液端吸液排孔8C排走，由此從源頭上抑制了回流?；谕瑯拥脑?，回收端補(bǔ)液排孔7C在另一側(cè)形成回收端液體對(duì)流15，促使相應(yīng)的回流液體從回收腔8A排走。
圖6，圖7從仰視圖角度分析本發(fā)明對(duì)側(cè)邊液體的吸收原理，及分析該位置可能發(fā)生回流的消除原理。在具體實(shí)施中，除沿徑向中線16左右兩端的回流之外，法向中線17上下兩端的液體若不能及時(shí)吸收也可能引發(fā)回流現(xiàn)象。如圖6，取基底4向注液腔7A方向運(yùn)動(dòng)這種惡劣工況為例，此時(shí)液體的流速分布18—致性差。由于受到基底運(yùn)動(dòng)所形成液流的阻礙，部分液體向著法向中線17兩端流動(dòng)，形成側(cè)面液流19并最終被側(cè)端面吸液排孔8D吸收，消除了其再次進(jìn)入觀測(cè)區(qū)域的可能性。與此同時(shí)，觀測(cè)區(qū)域外的其它液體也都快速有效的被回收，注液腔7A兩端的輸出液體通過注液端吸液排孔8C實(shí)施回收，回收端補(bǔ)液排孔7C輸入的排孔液流20則通過回收腔8A回收。另外一種典型工況是基底沿法向中線17(即垂直注液回收端方向)運(yùn)動(dòng)，此時(shí)基底運(yùn)動(dòng)促使更多從注液腔體及排孔輸入的液體傾向于沿基底運(yùn)動(dòng)方向流動(dòng)，最后被側(cè)端面吸液排孔8D吸收。側(cè)端面吸液排孔8D的孔徑選擇不能太大，以避免對(duì)觀測(cè)區(qū)域正常流動(dòng)的干擾。具體實(shí)施中，若基底沿法向中線17的運(yùn)動(dòng)工況較頻繁，則可適當(dāng)增大側(cè)端面吸液排孔8D的密度和孔徑，以便提升該工況下液體的吸收效率。
本發(fā)明具有的有益效果是: I)液體持續(xù)更新，具備了高質(zhì)量的長(zhǎng)期觀測(cè)能力。通過液體流動(dòng)實(shí)時(shí)更新，有助于液體保持潔凈。相比于間斷供液方式，可有效提高長(zhǎng)時(shí)間觀測(cè)下的觀測(cè)質(zhì)量。
2)通過獨(dú)特的供液回收結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，獲得具有強(qiáng)抗回流能力的觀測(cè)區(qū)流場(chǎng)。通過供液腔體和非均勻排孔相結(jié)合的液體輸送方案，在觀測(cè)區(qū)域內(nèi)形成大范圍同方向的強(qiáng)液流，從而有效抑制回流對(duì)觀測(cè)區(qū)域液流的干擾。
3)利用吸收及補(bǔ)償通道實(shí)時(shí)排走回流液體，從源頭上抑制回流，流動(dòng)均一性好、觀測(cè)質(zhì)量高。由于液體存在粘性，基底運(yùn)動(dòng)將牽拉液體形成剪切流動(dòng)，其與供液流動(dòng)耦合后將導(dǎo)致無法避免的液體回流。通過在觀測(cè)區(qū)外圍設(shè)置回流液體的吸收及補(bǔ)償通道，形成屏障避免被污染的液體回流到觀測(cè)區(qū)，因此液體均一穩(wěn)定且消除了物鏡的二次污染，可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期持續(xù)的可靠觀測(cè)。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，凡依本發(fā)明申請(qǐng)專利范圍所做的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本發(fā)明的涵蓋范圍。
權(quán)利要求
1.一種縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置，在透鏡組(2)和基底(4)之間設(shè)置的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置(3);其特征在于:所述的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置(3)中心開有柱狀的觀測(cè)腔(6)， 1)垂直于基底(4)向外,一側(cè)依次開有: 注液排孔陣列(7B)，為2 6組弧度取60 150°環(huán)形柱狀排孔陣列，其孔徑范圍是.0.1 2mm ； 注液腔(7A)，為弧 度取60 150°環(huán)形柱狀腔體； 2)垂直于基底(4)向外，另一側(cè)依次開有: 回收排孔陣列(8B)，為2 6組弧度取60 150°環(huán)形柱狀排孔陣列，其孔徑范圍是.0.1 2mm ； 回收腔(8A)，為弧度取60 150°環(huán)形柱狀腔體； 過縫隙流控制裝置(3)中心、垂直于基底(4)的截面上，注液腔(7A)及注液排孔陣列(7B)與基底(4)的夾角均為α角且大小范圍是1(Γ90°，回收腔(8Α)及回收排孔陣列(8Β)與基底(4)的夾角均為β角且大小范圍是1(Γ90°。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于浸入式顯微鏡中的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置，其特征在于:所述縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置(3)的注液腔(7Α)外側(cè)還設(shè)有注液端吸液排孔(SC)，為I 3組弧度取60 130°的環(huán)形圓柱排孔陣列，其孔徑范圍是0.Γ1.5mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種用于浸入式顯微鏡中的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置，其特征在于:所述縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置(3)的回收腔(8A)外側(cè)還設(shè)有 回收端補(bǔ)液排孔(7C)，為廣3組弧度取60 130°的環(huán)形圓柱排孔陣列，其孔徑范圍是 0.05 0.8mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于浸入式顯微鏡中的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置，其特征在于:所述的注液排孔陣列(7B)，為同心圓的環(huán)形結(jié)構(gòu)，同一圓環(huán)位置上的孔徑相等，注液排孔陣列(7B)的孔徑隨圓環(huán)半徑的增大而增大。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于浸入式顯微鏡中的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置，其特征在于:所述的回收排孔陣列(8B)，為同心圓的環(huán)形結(jié)構(gòu)，同一圓環(huán)位置上的孔徑相等，回收排孔陣列(SB)的孔徑隨圓環(huán)半徑的增大而增大。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于浸入式顯微鏡中的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置，其特征 在于:所述的注液排孔陣列(7B)和回收排孔陣列(SB)的下表面距離縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置(3)下表面0.5 5mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于浸入式顯微鏡中的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置，其特征在于:所述的注液排孔陣列(7B)孔徑為注液端吸液排孔(SC)孔徑的1.5^2倍。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種用于浸入式顯微鏡中的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置，其特征在于:所述的回收排孔陣列(8B)孔徑為回收端補(bǔ)液排孔(7C)孔徑的2 3倍。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種用于浸入式顯微鏡中的縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置，其特征在于:垂直于基底(4)、注液腔(7A)及回收腔(8A)的中心連線，沿法向中線(17)向外，開有側(cè)端面吸液排孔(8D)，為廣3組弧度取30 80°的環(huán)形圓柱排孔陣列，其孔徑范圍是.0.05 Imm0
全文摘要
本發(fā)明公開了一種縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置，縫隙流動(dòng)態(tài)維持裝置是在透鏡組和基底之間設(shè)置的裝置，中心開有觀測(cè)腔并向外依次設(shè)置有注液及回收排孔陣列、注液腔和回收腔、注液端吸液排孔和回收端補(bǔ)液排孔。通過供液腔體和非均勻排孔相結(jié)合的液體輸送方案，在觀測(cè)區(qū)域內(nèi)形成大范圍同方向的強(qiáng)液流，從而有效抑制被污染液體進(jìn)入觀測(cè)區(qū)域。同時(shí)，通過設(shè)置液體的吸收及補(bǔ)償通道，將隨基底運(yùn)動(dòng)的污染液體在觀測(cè)區(qū)域外圍直接吸收，從而進(jìn)一步保障觀測(cè)區(qū)液體均一穩(wěn)定且消除了物鏡的二次污染，可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期持續(xù)的可靠觀測(cè)，尤其適用于需要基底高速運(yùn)動(dòng)的顯微觀測(cè)系統(tǒng)。
文檔編號(hào)G02B21/33GK103149673SQ20131011928
公開日2013年6月12日 申請(qǐng)日期2013年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月9日
發(fā)明者陳暉 , 陳淑梅, 杜恒 申請(qǐng)人:福州大學(xué)