一種低通濾波器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了高像素圖像傳感器用的一種低通濾波器，包括沿光路方向依次設(shè)置的第一石英晶體片、四分之一波片、第二石英晶體片，其中，在所述第一石英晶體片的光線入射側(cè)表面上鍍有紅外截止膜，在所述第二石英晶體片的光線出射側(cè)表面上鍍有受抑波長(zhǎng)漂移膜。本實(shí)用新型中，紅外截止膜將紅外波長(zhǎng)區(qū)的光截止，受抑波長(zhǎng)漂移膜具有紫外截止、可見光高透射以及入射角引起的波長(zhǎng)漂移小等特點(diǎn)。本實(shí)用新型不僅成本低、重量輕、體積小，而且由于受抑波長(zhǎng)漂移膜本身就是一個(gè)光學(xué)多層膜系統(tǒng)，性能穩(wěn)定可靠，并同時(shí)兼有藍(lán)玻璃穩(wěn)定透射-截止過渡波長(zhǎng)的功能、紫外截止功能和減反射膜的功能。
【專利說明】一種低通濾波器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種高像素圖像傳感器用的低通濾波器，屬于光學(xué)領(lǐng)域，主要應(yīng)用于高像素的單反相機(jī)、微單相機(jī)、智能手機(jī)和平板電腦等數(shù)碼產(chǎn)品。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著數(shù)碼影像技術(shù)的迅速發(fā)展，圖像傳感器CXD或CMOS的像元數(shù)不斷增加，像元尺寸越來越小，圖像分辨率越來越高。目前市場(chǎng)主流圖像傳感器的像元尺寸為3?10微米，分辨率達(dá)到千萬(wàn)級(jí)像素。隨著像元尺寸的變小，分辨率的提高，對(duì)高像素圖像傳感器用的低通濾波器要求也越來越苛刻。
[0003]高像素圖像傳感器用的低通濾波器主要功能可描述如下:作為數(shù)碼影像系統(tǒng)的圖像傳感器CCD或CMOS是一種Si基的離散像素光電探測(cè)器，其光敏感波長(zhǎng)區(qū)約為400nm到llOOnm。在此波長(zhǎng)區(qū)中，人眼能看到的主要是波長(zhǎng)420?650nm的可見光；而從700?IlOOnm的光人眼是看不見的，稱為近紅外光。由于CXD和CMOS的光敏感波長(zhǎng)區(qū)為400?llOOnm，這就是說，圖像傳感器能同時(shí)對(duì)可見光和近紅外光成像，但這兩幅圖像人眼看起來是不一樣的，如果不把近紅外光濾掉，那么可見光圖像和近紅外光圖像就會(huì)疊在一起，圖像就變模糊了。而我們?nèi)搜郾緛砭椭荒芸吹娇梢姽鈭D像，沒有必要看到傳感器感受到的近紅外光圖像，這就是濾波器要截止近紅外光的理由之一；其次，近紅外光是一種熱光，會(huì)致傳感器產(chǎn)生熱噪聲，最終使圖像分辨率和對(duì)比度變差，這是濾波器要截止近紅外光的理由之二。此外，波長(zhǎng)小于400nm的紫外光雖然不會(huì)使傳感器感受出圖像，但由于紫外光的光子能量高，長(zhǎng)期照射會(huì)降低傳感器的使用壽命，故濾波器還必須具有截止紫外光的功能。目前截止近紅外光和紫外光的辦法都是采用光學(xué)干涉薄膜，但光學(xué)干涉薄膜從原理上講勢(shì)必會(huì)存在角度效應(yīng)，即相同顏色的物體由于進(jìn)入圖像傳感器的角度不同會(huì)產(chǎn)生明顯的色差，故濾波器必須用藍(lán)玻璃來穩(wěn)定透射-截止過渡波長(zhǎng)，以消除圖像色差。更為甚者，在用影像系統(tǒng)獲取目標(biāo)圖像時(shí)，圖像傳感器的高頻成分會(huì)反射到基頻成分中，造成所謂莫爾條紋，這時(shí)，圖像將產(chǎn)生周期性的頻譜交疊混淆，甚至出現(xiàn)偽彩色條紋，嚴(yán)重影響圖像清晰度和對(duì)比度，這在高像素圖像傳感器中是絕對(duì)不容許的。目前，消除這種莫爾條紋的方法主要是采用雙折射晶體。從上可知，高像素圖像傳感器用的低通濾波器的功能主要有三個(gè)方面:截止近紅外光和紫外光、穩(wěn)定透射-截止過渡波長(zhǎng)和消除莫爾條紋。在高像素圖像傳感器中，低通濾波器是一個(gè)不可愈越的極其重要的關(guān)鍵器件。
[0004]現(xiàn)用高像素圖像傳感器的低通濾波器主要采用以下結(jié)構(gòu):三片石英晶體片加上一塊藍(lán)玻璃，再在石英晶體片或藍(lán)玻璃上鍍上紅外截止膜、紫外截止膜和減反射膜。三片石英晶體片可消除X，y兩個(gè)方向上的莫爾條紋；藍(lán)玻璃可把濾波器的透射-截止過渡波長(zhǎng)(在透射率T=50%處)穩(wěn)定在650nm附近，由于這個(gè)波長(zhǎng)不會(huì)因目標(biāo)圖像的光線入射角變化而變化，因而能獲得彩色均勻的圖像。但是這種結(jié)構(gòu)有兩個(gè)問題:首先是所用的藍(lán)玻璃迄今只有日本獨(dú)家供應(yīng)，價(jià)格昂貴，而且由于機(jī)械性能脆，切割成小片時(shí)易破碎，化學(xué)穩(wěn)定性也較差，在空氣中易腐蝕；其次是低通濾波器的總厚度較厚，而該低通濾波器需要直接貼在傳感器前面，較大的濾波器厚度會(huì)造成較大的圖像像差，這在高像素圖像傳感器中是必須避免的。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]為克服上述問題，本實(shí)用新型提供了一種高像素圖像傳感器用的低通濾波器，該低通濾波器厚度薄，圖像質(zhì)量好，生產(chǎn)成本低，可廣泛應(yīng)用于高像素的單反相機(jī)、微單相機(jī)、智能手機(jī)和平板電腦等數(shù)碼產(chǎn)品。
[0006]本實(shí)用新型的構(gòu)思是:首先，針對(duì)藍(lán)玻璃的缺陷，探索能否借助于薄膜設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)透射-截止過渡區(qū)的波長(zhǎng)漂移隨入射角的變化減小到滿足使用要求的范圍以內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)取代藍(lán)玻璃的穩(wěn)定透射-截止過渡波長(zhǎng)的功能。其次，探索能否進(jìn)一步減小濾波器的總厚度，若受抑波長(zhǎng)漂移膜能取代掉藍(lán)玻璃，則藍(lán)玻璃的厚度就沒有了，進(jìn)而，若能再減小石英晶體的片數(shù)或厚度，則可進(jìn)一步減小濾波器的總厚度，最終減小平板濾波器在成像光路中引起的像差。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出一種新的濾波器結(jié)構(gòu)，用受抑波長(zhǎng)漂移薄膜濾光片代替現(xiàn)用藍(lán)玻璃，用一片厚度很薄的四分之一波片取代現(xiàn)用三石英晶體片中位置處于中間的那一石英晶體片，這樣，不僅克服了藍(lán)玻璃存在的問題，而且大大減小了濾波器的總厚度。因此，本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)不僅可提高圖像質(zhì)量，而且可大大降低生產(chǎn)成本。
[0008]一種低通濾波器，包括沿光路方向依次設(shè)置的第一石英晶體片、四分之一波片、第二石英晶體片，其中，在所述第一石英晶體片的光線入射側(cè)表面上鍍有紅外截止膜，在所述第二石英晶體片的光線出射側(cè)表面上鍍有受抑波長(zhǎng)漂移膜。
[0009]本實(shí)用新型中，紅外截止膜將紅外波長(zhǎng)區(qū)的光截止，受抑波長(zhǎng)漂移膜具有紫外截止、可見光高透射以及入射角引起的波長(zhǎng)漂移小等特點(diǎn)，受抑波長(zhǎng)漂移膜兼有紫外截止膜、減反射膜和藍(lán)玻璃所具有的功能。
[0010]作為優(yōu)選，所述的紅外截止膜包括交替分布的高折射率層和低折射率層，所述的高折射率層為Ti3O5層、Nb2O5層或ZnS層，所述的低折射率層為SiO2層。上述材質(zhì)的高折射率層和低折射率層的組合能夠使得紅外截止膜具有良好的紅外截止功能。
[0011]進(jìn)一步優(yōu)選，所述的紅外截止膜包括總數(shù)為44層，且為交替分布的高折射率層Ti3O5和低折射率層SiO2，其中，從第一石英晶體片開始各層的厚度依次為12.63,35.09、76.55,9.28,29.64,340.5,97.77,133.0,88.22,128.9,87.1,127.4,86.4,127.6,85.39、129.0,84.36,131.5,84.0,133.8,83.17,136.7,84.19,142.5,91.87,162.5,113.8,176.3、104.2,160.3,109.6,180.9,114.0,167.8,103.1,170.8,116.6,180.4,109.0,153.8,18.6、
6.91,70.51,79.14，單位為nm。該紅外截止膜，波長(zhǎng)420?650nm為高透射帶，平均透射率為99.8%，而波長(zhǎng)700?IlOOnm為截止帶，平均反射率為99.4%。該紅外截止膜在可見光波長(zhǎng)區(qū)具有非常好的透射率，在紅外波長(zhǎng)區(qū)具有非常好的反射率，紅外截止功能優(yōu)異。
[0012]作為優(yōu)選，所述的受抑波長(zhǎng)漂移膜包括從所述第二石英晶體片向外依次設(shè)置的第一匹配膜系、主膜系和第二匹配膜系，其中，所述的第一匹配膜系包括交替分布的低折射率層SiO2和高折射率層Ti3O5，所述的主膜系包括交替分布的低折射率層SiO2和高折射率層Ti3O5，所述的第二匹配膜系包括交替分布的高折射率層Ti3O5和低折射率層SiO2以及插在高折射率層Ti3O5和低折射率層SiO2之間的中間折射率層Ta2O5或Hf02。第一匹配膜系與第二石英晶體片相鄰，主要用于匹配第二石英晶體片和主膜系之間的光學(xué)導(dǎo)納，主膜系主要決定透射-截止過渡波長(zhǎng)650nm附近入射角引起的漂移量，第二匹配膜系與空氣相鄰，用于匹配主膜系和空氣之間的光學(xué)導(dǎo)納，為了達(dá)到最佳匹配效果，插入了中間折射率層Ta2O5或Hf02。所述的受抑波長(zhǎng)漂移膜中高折射率層選用折射率較高的Ti3O5,受抑波長(zhǎng)漂移膜的折射率越高，角度效應(yīng)越小，從而得到對(duì)入射角不敏感的受抑波長(zhǎng)漂移膜。
[0013]更進(jìn)一步優(yōu)選，所述的第一匹配膜系中低折射率層SiO2的厚度為16?318nm，所述的第一匹配膜系中高折射率層Ti3O5的厚度為15?165nm，第一匹配膜系中的低折射率層SiO2和高折射率層Ti3O5的膜厚離散都很大。所述的主膜系中低折射率層SiO2的厚度為48?93nm，所述的主膜系中高折射率層Ti3O5的厚度為274?295nm，主膜系的低折射率層SiO2和高折射率層Ti3O5的膜厚離散都較小。主膜系中，高折射率層Ti3O5的厚度與低折射率層SiO2的厚度之比遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于1，使光線主要在高折射率薄膜中傳播，使受抑波長(zhǎng)漂移膜對(duì)入射角不敏感。所述的第二匹配膜系中高折射率層Ti3O5的厚度為29nm?135nm，所述的第二匹配膜系中低折射率層SiO2的厚度為22nm?113nm，所述的第二匹配膜系中中間折射率層Ta2O5或HfO2的厚度為80?85nm。
[0014]再進(jìn)一步優(yōu)選，所述的第一匹配膜系包括層數(shù)為20層且交替分布的低折射率層SiO2和高折射率層Ti3O5，從所述第二石英晶體片向外各層的厚度依次為175、41、16、165、225、15、46、59、304、46、318、48、306、76、83、22、151、144、29、65，單位為 nm ;所述的主膜系包括層數(shù)為23層且交替分布的低折射率層SiO2和高折射率層Ti3O5,從所述第一匹配膜系向外各層的厚度依次為 93、274、57、288、54、290、54、290、54、290、54、290、54、292、53、293、51、295、48、295、48、277、72，單位為nm ;所述的第二匹配膜系包括層數(shù)為5層，從所述主膜系向外各層分別為高折射率層Ti3O5、低折射率層SiO2、中間折射率層Ta2O5、高折射率層Ti3O5以及低折射率層SiO2，其厚度依次為29、22、82、135、113，單位為11111。該具體條件下的受抑波長(zhǎng)漂移膜具有紫外截止性能優(yōu)異、可見光高透射以及入射角引起的波長(zhǎng)漂移小等特點(diǎn)，因此，該受抑波長(zhǎng)漂移膜兼有紫外截止膜、減反射膜和藍(lán)玻璃所具有的功能，因而，可大大降低生產(chǎn)成本低，同時(shí)重量輕、體積小，而且由于受抑波長(zhǎng)漂移膜本身就是一個(gè)光學(xué)多層膜系統(tǒng)，性能穩(wěn)定可靠。
[0015]作為優(yōu)選，所述的第一石英晶體片的光軸在所述第一石英晶體片的橫截面上的投影(垂直于厚度方向的截面)和所述的第二石英晶體片的光軸在所述第二石英晶體片的橫截面上的投影互相垂直，這樣可保證在兩個(gè)垂直方向上都可抑制高頻諧波引起的莫爾條紋。
[0016]作為優(yōu)選，所述的第一石英晶體片和第二石英晶體片的厚度相等，使其分成O光與e光的分開距離相等，兩個(gè)石英晶體片的空間截止頻率相等，分開的像點(diǎn)可控制在微米量級(jí)(在同一個(gè)像素中)，故不會(huì)對(duì)低頻成像信號(hào)產(chǎn)生太大的影響，但卻避免了高頻的莫爾條紋。
[0017]作為優(yōu)選，所述第一石英晶體片和第二石英晶體片的厚度均為0.85mm,四分之一波片采用塑料玻片，厚度為0.1_，采用上述厚度的第一石英晶體片和第二石英晶體片，空間頻率小于截止頻率1001p/mm的基頻信號(hào)基本上能傳遞透過低通濾波器，對(duì)成像信號(hào)的影響不太大，但空間頻率大于截止頻率1001p/mm的高頻信號(hào)卻受到較大抑制，因此,可以抑制高頻信號(hào)的莫爾干涉條紋。本實(shí)用新型的低通濾波器只需要二片石英晶體片和一片塑料四分之一波片，整個(gè)低通濾波器的總厚度約為1.80_，成像像差可顯著減小，重量可明顯減輕。
[0018]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0019]一、對(duì)像元尺寸為5微米的圖像傳感器，由于現(xiàn)有技術(shù)的低通濾波器需要采用三片石英晶體片以及藍(lán)玻璃，每片石英晶體片的厚度為0.85mm,加上藍(lán)玻璃厚度為0.5mm,而紅外截止膜、紫外截止膜和減反射膜的厚度都是微米級(jí)的，相比石英晶體片和藍(lán)玻璃的厚度可以忽略不計(jì)，故整個(gè)低通濾波器的總厚度約為3.05mm ;而本實(shí)用新型的低通濾波器只需要二片石英晶體片和一片塑料四分之一波片，整個(gè)低通濾波器的總厚度約為1.80_，成像像差可顯著減小，重量可明顯減輕。
[0020]二、現(xiàn)有技術(shù)的藍(lán)玻璃不僅價(jià)格貴、重量重、體積大，而且機(jī)械、化學(xué)性能差，這是因?yàn)檫@種藍(lán)玻璃是由離子著色原理制成的，所以其機(jī)械性能脆、熱膨脹系數(shù)高、應(yīng)力大、耐潮氣和酸堿腐蝕性能差，這會(huì)導(dǎo)致濾波器的制造成品率大大降低，生產(chǎn)成本大大提高；而本實(shí)用新型的低通濾波器采用受抑波長(zhǎng)漂移膜代替藍(lán)玻璃，不僅成本低、重量輕、體積小，而且由于受抑波長(zhǎng)漂移膜本身就是一個(gè)光學(xué)多層膜系統(tǒng)，性能穩(wěn)定可靠，并同時(shí)兼有藍(lán)玻璃穩(wěn)定透射-截止過渡波長(zhǎng)的功能、紫外截止功能和減反射膜的功能。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]圖1是現(xiàn)有技術(shù)的藍(lán)玻璃低通濾波器和本實(shí)用新型的低通濾波器結(jié)構(gòu)示意圖，其中，Ca)為現(xiàn)有技術(shù)的藍(lán)玻璃低通濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖，(b)為本實(shí)用新型的低通濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2是本實(shí)用新型的低通濾波器工作原理說明示意圖；
[0023]圖3是本實(shí)用新型的第一石英晶體片1、四分之一波片2和第二石英晶體片3的光軸位置的示意圖，其中，(a)為第一石英晶體片I的光軸位置，(b)為四分之一波片2的光軸位置，(c)為第二石英晶體片3的光軸位置；
[0024]圖4是本實(shí)用新型的低通濾波器的MTF曲線；
[0025]圖5是本實(shí)用新型的紅外截止膜分光透射特性曲線；
[0026]圖6是本實(shí)用新型的受抑波長(zhǎng)漂移膜每層膜的膜厚和折射率的對(duì)應(yīng)關(guān)系圖；
[0027]圖7是本實(shí)用新型的受抑波長(zhǎng)漂移膜在0°和30°入射角時(shí)的分光透射特性曲線。
【具體實(shí)施方式】
[0028]圖1是現(xiàn)有技術(shù)的藍(lán)玻璃低通濾波器和本實(shí)用新型的低通濾波器結(jié)構(gòu)比較，其中，(a)為現(xiàn)有技術(shù)的藍(lán)玻璃低通濾波器，(b)為本實(shí)用新型的低通濾波器。在高像素圖像傳感器中，至少需要使用2片以上的石英晶體片。圖1(a)和(b)是指獲得同樣濾波效果的情況下進(jìn)行結(jié)構(gòu)比較。在圖1 (a)中，7是厚度約為0.5mm的藍(lán)玻璃，并在光線入射側(cè)表面上鍍有紅外截止膜和紫外截止膜11,而8、9、10都是石英晶體片,對(duì)5微米的像元尺寸,其厚度為0.85mm，然后在石英晶體片10的光線出射側(cè)表面上鍍有減反射膜12，現(xiàn)有技術(shù)的藍(lán)玻璃低通濾波器總厚度為3.05_。在圖1(b)中，為本實(shí)用新型的低通濾波器，包括沿光路方向依次設(shè)置的第一石英晶體片1、四分之一波片2、第二石英晶體片3，其中，在第一石英晶體片I的光線入射側(cè)表面上鍍有紅外截止膜5，在第二石英晶體片3的光線出射側(cè)表面上鍍有受抑波長(zhǎng)漂移膜6。第一石英晶體片I和第二石英晶體片3的厚度均為0.85mm,四分之一波片2采用塑料玻片，厚度為0.1mm,本實(shí)用新型的低通濾波器的總厚度為1.80_。
[0029]圖2是本實(shí)用新型的低通濾波器工作原理說明。低通濾波器的工作原理是利用光的雙折射原理，當(dāng)光線垂直入射到雙折射晶體上時(shí)，若入射光與光軸的夾角為Θ (此角常稱方位角)，n。和分別為晶體中尋常光(O光)和非常光(e光)的折射率，T為晶體的厚度，則ο光與e光分開的距離d為
[0030]
【權(quán)利要求】
1.一種低通濾波器，其特征在于，包括沿光路方向依次設(shè)置的第一石英晶體片、四分之一波片、第二石英晶體片，其中，在所述第一石英晶體片的光線入射側(cè)表面上鍍有紅外截止膜，在所述第二石英晶體片的光線出射側(cè)表面上鍍有受抑波長(zhǎng)漂移膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低通濾波器，其特征在于，所述的紅外截止膜包括交替分布的高折射率層和低折射率層，所述的高折射率層為Ti3O5層、Nb2O5層或ZnS層，所述的低折射率層為SiO2層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的低通濾波器，其特征在于，所述的紅外截止膜包括總數(shù)為44層，且為交替分布的高折射率層Ti3O5和低折射率層SiO2，其中，從第一石英晶體片開始各層的厚度依次為 12.63,35.09,76.55,9.28,29.64,340.5,97.77,133.0,88.22,128.9、87.1,127.4,86.4,127.6,85.39,129.0,84.36,131.5,84.0,133.8,83.17,136.7,84.19、142.5,91.87,162.5,113.8,176.3,104.2,160.3,109.6,180.9,114.0,167.8,103.1、170.8,116.6,180.4,109.0,153.8,18.6,6.91,70.51,79.14，單位為 nm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低通濾波器，其特征在于，所述的受抑波長(zhǎng)漂移膜包括從所述第二石英晶體片向外依次設(shè)置的第一匹配膜系、主膜系和第二匹配膜系，其中，所述的第一匹配膜系包括交替分布的低折射率層SiO2和高折射率層Ti3O5，所述的主膜系包括交替分布的低折射率層SiO2和高折射率層Ti3O5，所述的第二匹配膜系包括交替分布的高折射率層Ti3O5和低折射率層SiO2以及插在高折射率層Ti3O5和低折射率層SiO2之間的中間折射率層Ta2O5或HfO2。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的低通濾波器，其特征在于，所述的第一匹配膜系中低折射率層SiO2的厚度為16~318nm，所述的第一匹配膜系中高折射率層Ti3O5的厚度為15~165nm ； 所述的主膜系中低折射率層SiO2的厚度為48~93nm，所述的主膜系中高折射率層Ti3O5的厚度為274~295nm ； 所述的第二匹配膜系中高折射率層Ti3O5的厚度為29nm~135nm，所述的第二匹配膜系中低折射率層SiO2的厚度為22nm~113nm，所述的第二匹配膜系中中間折射率層Ta2O5或HfO2的厚度為80~85nm。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的低通濾波器，其特征在于，所述的第一匹配膜系包括層數(shù)為20層且交替分布的低折射率層SiO2和高折射率層Ti3O5，從所述第二石英晶體片向外各層的厚度依次為 175、41、16、165、225、15、46、59、304、46、318、48、306、76、83、22、151、144、29、65，單位為nm ； 所述的主膜系包括層數(shù)為23層且交替分布的低折射率層SiO2和高折射率層Ti3O5,從所述第一匹配膜系向外各層的厚度依次為93、274、57、288、54、290、54、290、54、290、54、290、54、292、53、293、51、295、48、295、48、277、72，單位為 nm ； 所述的第二匹配膜系包括層數(shù)為5層，從所述主膜系向外各層分別為高折射率層Ti3O5、低折射率層SiO2、中間折射率層Ta2O5、高折射率層Ti3O5以及低折射率層SiO2，其厚度依次為 29、22、82、135、113，單位為 nm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低 通濾波器，其特征在于，所述的第一石英晶體片的光軸在所述第一石英晶體片的橫截面上的投影和所述的第二石英晶體片的光軸在所述第二石英晶體片的橫截面上的投影互相垂直。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低通濾波器，其特征在于，所述的第一石英晶體片和第二石英晶體片的厚度相等。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低通濾波器，其特征在于，所述的第一石英晶體片和第二石英晶體片 的厚度均為0.85mm,四分之一波片采用塑料玻片，厚度為0.1mm。
【文檔編號(hào)】G02B5/30GK203535253SQ201320624895
【公開日】2014年4月9日 申請(qǐng)日期:2013年10月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月10日
【發(fā)明者】顧培夫, 艾曼靈, 金波, 張梅驕 申請(qǐng)人:杭州科汀光學(xué)技術(shù)有限公司