壓印方法、壓印裝置和制造物品的方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種壓印方法，包括：變形步驟，所述變形步驟將模具的圖案表面變形以使模具從圖案表面的中心部向外逐漸地跟壓印材料相接觸；獲取步驟，所述獲取步驟獲取偏移量，所述偏移量指示模具上的標(biāo)記由于圖案表面的變形而沿平行于基板表面的方向偏移了多少；檢測(cè)步驟，所述檢測(cè)步驟在圖案表面變形時(shí)檢測(cè)模具上的標(biāo)記和基板上的標(biāo)記，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果獲取模具和基板的相對(duì)位置；以及對(duì)準(zhǔn)步驟，所述對(duì)準(zhǔn)步驟在圖案表面變形時(shí)利用所述偏移量和相對(duì)位置對(duì)準(zhǔn)模具和基板。以及一種壓印裝置和制造物品的方法。
【專利說(shuō)明】壓印方法、壓印裝置和制造物品的方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種壓印方法、一種壓印裝置和一種制造物品的方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 將形成在模具上的圖案轉(zhuǎn)印到基板上的壓印技術(shù)作為光刻技術(shù)的一種而吸引關(guān) 注。在使用這種壓印技術(shù)的壓印裝置中，包括其上形成有微細(xì)凹凸圖案的圖案表面的模具 跟輸送到基板上的壓印材料（樹脂）相接觸。在模具和樹脂彼此接觸時(shí)，如果在圖案的凹 部中留有氣泡，那么轉(zhuǎn)印到基板上的圖案可能會(huì)出現(xiàn)損失。為了解決該問(wèn)題，日本專利公開 特許公報(bào)JP2009-536591描述的壓印裝置通過(guò)將圖案表面變形為向基板彎曲的凸起形狀 并且使模具跟樹脂相接觸而抑制圖案的凹部中存留的氣泡。
[0003] 另一方面，壓印裝置還需要將模具的圖案準(zhǔn)確地轉(zhuǎn)印至形成在基板上的目標(biāo)區(qū) 域。為了實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)，日本專利特許公報(bào)JP4185941提出了一種在將模具的圖案轉(zhuǎn)印至目 標(biāo)區(qū)域時(shí)使用印模逐一對(duì)準(zhǔn)方法（die-by-die alignment method)作為對(duì)準(zhǔn)方法的壓印裝 置。印模逐一對(duì)準(zhǔn)方法是一種光學(xué)地檢測(cè)形成在基板上的每一個(gè)目標(biāo)區(qū)域中的標(biāo)記和形成 在模具上的標(biāo)記，由此校正基板和模具之間相對(duì)位置偏移的對(duì)準(zhǔn)方法。
[0004] 當(dāng)形成在模具上的整個(gè)圖案跟基板上的樹脂形成接觸時(shí)，圖案表面（凸起形狀） 的變形會(huì)變小。如果模具和基板在此狀態(tài)下對(duì)準(zhǔn)，那就會(huì)產(chǎn)生剪切應(yīng)力，由此使得難以改變 模具和基板的相對(duì)位置。執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)要耗費(fèi)相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間。因此，在模具的整個(gè)圖案跟樹脂 形成接觸之前也就是在圖案表面變形時(shí)需要對(duì)準(zhǔn)模具和基板。但是，在模具的圖案表面變 形時(shí)，形成在模具上的標(biāo)記的位置跟變形之前相比有所改變。因此難以準(zhǔn)確地執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明提供了一種有利于準(zhǔn)確地對(duì)準(zhǔn)模具和基板的技術(shù)。
[0006] 根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種通過(guò)在具有其上形成有標(biāo)記的圖案表面的模具 跟基板上的壓印材料相接觸的同時(shí)固化壓印材料而將圖案轉(zhuǎn)印至基板上的壓印材料的壓 印方法，所述方法包括：變形步驟，所述變形步驟通過(guò)向模具施加第一作用力將圖案表面變 形為向基板彎曲的凸起形狀以使模具從圖案表面的中心部向外逐漸地跟壓印材料相接觸； 獲取步驟，所述獲取步驟獲取偏移量，所述偏移量指示模具上的標(biāo)記由于圖案表面的變形 而沿平行于基板表面的方向偏移了多少；檢測(cè)步驟，所述檢測(cè)步驟在圖案表面變形的同時(shí) 檢測(cè)模具上的標(biāo)記和基板上的標(biāo)記，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果獲取模具和基板的相對(duì)位置；以及對(duì) 準(zhǔn)步驟，所述對(duì)準(zhǔn)步驟在圖案表面變形的同時(shí)利用所述偏移量和相對(duì)位置將模具和基板對(duì) 準(zhǔn)，以使得在圖案表面的變形已經(jīng)變小并且因此偏移量也已經(jīng)變小時(shí)模具上的標(biāo)記和基板 上的標(biāo)記彼此對(duì)準(zhǔn)。
[0007] 根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種用于通過(guò)在具有其上形成有標(biāo)記的圖案表面的 模具跟壓印材料相接觸的同時(shí)固化壓印材料而將圖案轉(zhuǎn)印至基板上的壓印材料的壓印裝 置，所述壓印裝置包括：變形單元，所述變形單元被構(gòu)造用于通過(guò)向模具施加第一作用力將 圖案表面變形為向基板彎曲的凸起形狀以使模具從圖案表面的中心部向外逐漸地跟壓印 材料相接觸；獲取單元，所述獲取單元被構(gòu)造用于獲取偏移量，所述偏移量指示模具上的標(biāo) 記由于圖案表面的變形而沿平行于基板表面的方向偏移了多少；檢測(cè)單元，所述檢測(cè)單元 被構(gòu)造用于在圖案表面變形的同時(shí)檢測(cè)模具上的標(biāo)記和基板上的標(biāo)記，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果獲 取模具和基板的相對(duì)位置；以及控制單元，所述控制單元被構(gòu)造用于在圖案表面變形的同 時(shí)利用所述偏移量和相對(duì)位置控制模具和基板之間的對(duì)準(zhǔn)，以使得在圖案表面的變形已經(jīng) 變小并且因此偏移量也已經(jīng)變小時(shí)模具上的標(biāo)記和基板上的標(biāo)記彼此對(duì)準(zhǔn)。
[0008] 根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種通過(guò)在具有其上形成有標(biāo)記的圖案表面的模具 跟壓印材料相接觸的同時(shí)固化壓印材料而將圖案轉(zhuǎn)印至基板上的壓印材料的壓印方法，所 述方法包括：將圖案表面和基板設(shè)置為彼此不平行的狀態(tài)以使模具從圖案表面的邊緣逐漸 地跟壓印材料相接觸的步驟；獲取偏移量的步驟，所述偏移量指示模具上的標(biāo)記和基板上 的標(biāo)記中的至少一者由于使圖案表面和基板不平行的狀態(tài)而沿平行于基板表面的方向偏 移了多少；在圖案表面和基板彼此不平行的同時(shí)檢測(cè)模具上的標(biāo)記和基板上的標(biāo)記并根據(jù) 檢測(cè)結(jié)果獲取模具和基板的相對(duì)位置的步驟；以及在圖案表面和基板彼此不平行的同時(shí)利 用所述偏移量和相對(duì)位置將模具和基板對(duì)準(zhǔn)，以使得在圖案表面和基板已經(jīng)變?yōu)楸舜似叫?并且因此偏移量也已經(jīng)變小時(shí)圖案表面和形成在基板上的目標(biāo)區(qū)域彼此對(duì)準(zhǔn)的步驟。
[0009] 根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種制造物品的方法，所述方法包括：利用壓印方法 在基板上形成圖案；以及處理其上已經(jīng)形成有圖案的基板以制造物品，其中所述壓印方法 是一種通過(guò)在具有其上形成有標(biāo)記的圖案表面的模具跟壓印材料相接觸的同時(shí)固化壓印 材料而將圖案轉(zhuǎn)印至基板上的壓印材料的方法，包括：變形步驟，所述變形步驟通過(guò)向模具 施加作用力將圖案表面變形為向基板彎曲的凸起形狀以使模具從圖案表面的中心部向外 逐漸地跟壓印材料相接觸；獲取步驟，所述獲取步驟獲取偏移量，所述偏移量指示模具上的 標(biāo)記由于圖案表面的變形而沿平行于基板表面的方向偏移了多少；檢測(cè)步驟，所述檢測(cè)步 驟在圖案表面變形的同時(shí)檢測(cè)模具上的標(biāo)記和基板上的標(biāo)記，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果獲取模具和 基板的相對(duì)位置；以及對(duì)準(zhǔn)步驟，所述對(duì)準(zhǔn)步驟在圖案表面變形的同時(shí)利用所述偏移量和 相對(duì)位置將模具和基板對(duì)準(zhǔn)，以使得在圖案表面的變形已經(jīng)變小并且因此偏移量也已經(jīng)變 小時(shí)|旲具上的標(biāo)記和基板上的標(biāo)記彼此重置。
[0010] 本發(fā)明的更多特征將根據(jù)以下參照附圖對(duì)示范性實(shí)施例的說(shuō)明變得顯而易見。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011] 圖1是示出了根據(jù)第一實(shí)施例的壓印裝置1〇〇的視圖；
[0012] 圖2是示出了在圖案表面變形為向基板彎曲的凸起形狀時(shí)模具的截面圖；
[0013] 圖3是示出了模具上的標(biāo)記和基板上的標(biāo)記的視圖；
[0014] 圖4是示出了在從Z方向看時(shí)基板上的標(biāo)記和多個(gè)檢測(cè)單元之間的位置關(guān)系的視 圖；
[0015] 圖5是示出了在模具跟基板上的樹脂形成接觸之前和之后模具的圖案表面的截 面形狀的視圖；
[0016] 圖6是示出了根據(jù)第一實(shí)施例的壓印裝置的壓印處理的流程圖；
[0017] 圖7是示出了偏移量和空氣室壓力之間對(duì)應(yīng)關(guān)系的曲線圖；以及
[0018] 圖8是示出了在模具傾斜并且跟基板上的樹脂相接觸時(shí)模具和基板的截面圖。

【具體實(shí)施方式】
[0019] 以下將參照附圖介紹本發(fā)明的示范性實(shí)施例。要注意的是相同的附圖標(biāo)記在各圖 中始終表示相同的元件，因此不再對(duì)其給出重復(fù)性的說(shuō)明。
[0020] <第一實(shí)施例>
[0021] 將參照?qǐng)D1介紹根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的壓印裝置100。壓印裝置100在其上形 成有微細(xì)凹凸圖案的模具跟樹脂相接觸時(shí)固化基板上的壓印材料（樹脂），并通過(guò)從固化 的樹脂中釋放模具的過(guò)程執(zhí)行將圖案轉(zhuǎn)印到基板上的壓印處理。壓印裝置100通過(guò)對(duì)形成 在基板上的每一個(gè)目標(biāo)區(qū)域執(zhí)行與模具的對(duì)準(zhǔn)（印模逐一對(duì)準(zhǔn)）來(lái)執(zhí)行上述的壓印處理。
[0022] 目前商用的壓印裝置采用熱循環(huán)方法和光固化方法。在熱循環(huán)方法中，熱塑性樹 脂被提供（應(yīng)用）作為基板上的壓印材料。然后，熱塑性樹脂被加熱至等于或高于玻璃化 轉(zhuǎn)變溫度的溫度，由此增加樹脂的流動(dòng)性。在此狀態(tài)下，模具跟形成在基板上的樹脂相接觸 并執(zhí)行冷卻。此后，通過(guò)從樹脂中釋放模具即可在基板上形成圖案。另一方面，在光固化方 法中，紫外光固化樹脂被提供作為基板上的壓印材料。然后，當(dāng)模具跟形成在基板上的紫外 光固化樹脂相接觸時(shí)用紫外線照射紫外光固化樹脂。在通過(guò)紫外光照射將樹脂固化之后， 通過(guò)從樹脂中釋放模具即可在基板上形成圖案。在基板上施加紫外光固化樹脂并用紫外線 照射樹脂的光固化方法被應(yīng)用于第一實(shí)施例中的壓印裝置100。
[0023] 圖1是示出了第一實(shí)施例中的壓印裝置100的示意圖。第一實(shí)施例中的壓印裝置 100包括用于保持模具3的壓印頭4、用于保持基板2的基板臺(tái)1以及用于發(fā)射紫外線以固 化輸送到基板上的紫外光固化樹脂（以下被稱作樹脂）的光源8。壓印裝置100還包括用 于向模具側(cè)表面施加作用力（第二作用力）的致動(dòng)器10、用于檢測(cè)模具上的標(biāo)記7和基板 上的標(biāo)記6的多個(gè)檢測(cè)單元5 (觀測(cè)鏡）、用于將模具3變形的變形單元11以及控制單元 12?？刂茊卧?2包括CPU和存儲(chǔ)器并控制整套壓印裝置100 (壓印裝置100中的各個(gè)單 元）。也就是說(shuō)，控制單元12控制模具3和基板2之間的對(duì)準(zhǔn)并控制壓印裝置100的壓印 處理。
[0024] 模具3通常由能夠透過(guò)紫外線的材料例如石英制成。包括要轉(zhuǎn)印至基板上的樹脂 的凹凸圖案7a以及用于跟基板2對(duì)準(zhǔn)的標(biāo)記7b的圖案部3b被形成在模具3的基板側(cè)的表 面的一部分（圖案表面3a)上。模具3的圖案表面相對(duì)側(cè)的表面內(nèi)凹以減小圖案部3b的 周圍部分的厚度，由此構(gòu)成凹部3c。減小圖案部3b的周圍部分的厚度允許在向空氣室13 施加壓力時(shí)（隨后介紹）模具3 (圖案表面3a)容易變形。作為基板2,例如使用單晶硅基 板或類似的基板。樹脂被施加在基板2的上表面（被處理表面）上，并且模具和施加在基 板2上的樹脂彼此接觸。通過(guò)在樹脂和模具3 (圖案部3b)彼此接觸時(shí)用紫外線照射樹脂 然后從固化的樹脂中釋放模具3,即可將模具3的圖案轉(zhuǎn)印至樹脂。
[0025] 壓印頭4通過(guò)例如真空吸力或靜電力來(lái)保持模具3。凹部4a被形成在壓印頭4的 跟模具3相接觸的表面中并且由模具3覆蓋以用作幾乎密封的空間。由壓印頭4的凹部4a 和模具3的凹部3c界定的空間以下將被稱作空氣室13?？諝馐?3通過(guò)管路連接至變形單 元11。變形單元11包括壓力調(diào)節(jié)器例如伺服閥以及用于在向空氣室13提供壓縮空氣的供 給源和將空氣室13抽至真空的真空源之間切換的選擇閥?？諝馐?3的壓力可以通過(guò)在供 給源中、沿路徑、或在空氣室13內(nèi)等處設(shè)置壓力傳感器來(lái)測(cè)量?？梢詥为?dú)地測(cè)量由供給源 施加的壓力。
[0026] 變形單元11控制空氣室13的壓力以在執(zhí)行壓印處理時(shí)例如在模具3跟基板上的 樹脂相接觸（壓靠）時(shí)升高。這就使得可以通過(guò)向模具3施加作用力（第一作用力）將模 具3變形以使圖案表面3a如圖2所示變形為向基板2彎曲的凸起形狀。圖2是示出了在 圖案表面3a變形為向基板2彎曲的凸起形狀時(shí)模具3的截面圖。在模具3這樣變形并且 跟基板上的樹脂相接觸時(shí)，模具3的圖案表面3a上的圖案從圖案表面3a的中心部向外跟 樹脂形成接觸。這樣就能抑制在模具3的圖案7a中截留氣泡。因此可以避免轉(zhuǎn)印到基板 上的圖案損失。要注意的是，隨著模具3從圖案表面3a的中心部向外逐漸地跟基板上的樹 脂形成接觸，變形單元11逐漸地降低空氣室13的壓力。也就是說(shuō)，隨著圖案表面3a逐漸 地跟基板上的樹脂相接觸，施加至模具3的作用力逐漸減弱。通過(guò)這種處理，在整個(gè)圖案部 3b (模具3的整個(gè)圖案）跟基板上的樹脂形成接觸時(shí)，圖案表面3a的變形會(huì)變小，并且因此 圖案表面3a可以是基本平坦的。另一方面，為了從固化的樹脂中釋放模具3,變形單元11 逐漸地升高空氣室13的壓力。這就允許從樹脂中將模具3的圖案表面3a從圖案表面3a 的邊緣向其中心部逐漸地釋放，由此避免轉(zhuǎn)印到基板上的圖案損失。
[0027] 多個(gè)檢測(cè)單元5被設(shè)置在壓印頭4的凹部4a中并且傾斜以避免阻擋用于固化樹 脂的紫外線。每一個(gè)檢測(cè)單元5檢測(cè)形成在基板上的目標(biāo)區(qū)域中的標(biāo)記6(以下稱作基板 上的標(biāo)記6)以及形成在模具3上的標(biāo)記7b (以下稱作模具上的標(biāo)記7b)?？刂茊卧?2利 用來(lái)自各個(gè)檢測(cè)單元5的檢測(cè)結(jié)果獲取模具3和基板2的相對(duì)位置，并通過(guò)移動(dòng)基板臺(tái)1 或壓印頭4執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)以使模具上的標(biāo)記7b和基板上的標(biāo)記6彼此重疊。此時(shí)，形狀差異可 能出現(xiàn)在模具3的圖案部3b和基板上的目標(biāo)區(qū)域之間，并且因此模具上的標(biāo)記7b和基板 上的標(biāo)記6可能沒有彼此重疊。在此情況下，控制單元12利用致動(dòng)器10例如壓電元件向 模具3的側(cè)表面施加作用力，由此改變模具3的圖案表面3a(圖案部3b)的形狀差異以使 模具3的圖案部3b跟目標(biāo)區(qū)域重疊。因此，壓印處理能夠通過(guò)將模具3的圖案部3b準(zhǔn)確 地覆蓋在基板的目標(biāo)區(qū)域上來(lái)執(zhí)行。模具3的圖案部3b和基板上的目標(biāo)區(qū)域之間的形狀 差異包括放大、畸變、梯形化和平行四邊形化。
[0028] 將參照?qǐng)D3和圖4介紹利用檢測(cè)單元5檢測(cè)模具上的標(biāo)記7b和基板上的標(biāo)記6 并獲取相對(duì)位置的方法。首先將參照?qǐng)D3介紹模具上的標(biāo)記7b和基板上的標(biāo)記6。參照?qǐng)D 3,附圖標(biāo)記31表不|旲具上的標(biāo)記7b ;附圖標(biāo)記32表不基板上的標(biāo)記6 ;并且附圖標(biāo)記33 和34表不使|旲具上的標(biāo)記7b和基板上的標(biāo)記6重置的結(jié)果。如圖3中的31和32所不，豐旲 具上的標(biāo)記7b和基板上的標(biāo)記6形成具有不同節(jié)距（pitch)的柵格測(cè)試圖。當(dāng)模具上的 標(biāo)記7b和基板上的標(biāo)記6重疊時(shí)，即可因此生成如圖3中的33所示的在其中亮部和暗部 根據(jù)節(jié)距差異而交錯(cuò)排列的莫爾圖。莫爾圖中亮部和暗部的位置根據(jù)兩種柵格測(cè)試圖（模 具上的標(biāo)記7b和基板上的標(biāo)記6)中相對(duì)位置的改變而改變。例如，如果模具上的標(biāo)記7b 和基板上的標(biāo)記6沿X方向相對(duì)偏移，那么由圖3中的33指示的莫爾圖就改變?yōu)橛蓤D3中 的34指示的莫爾圖。莫爾圖的改變將模具上的標(biāo)記7b和基板上的標(biāo)記6之間的相對(duì)位置 差異放大并投影。因此，檢測(cè)單元5能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)模具上的標(biāo)記7b和基板上的標(biāo)記6的 相對(duì)位置。在第一實(shí)施例中，檢測(cè)單元5利用通過(guò)重疊標(biāo)記7b和6生成的莫爾圖來(lái)檢測(cè)模 具上的標(biāo)記7b和基板上的標(biāo)記6的相對(duì)位置。但是，本發(fā)明并不局限于此。例如，只需由 檢測(cè)單元5利用譬如方塊標(biāo)記（Box mark)中的方塊來(lái)檢測(cè)模具上的標(biāo)記7b和基板上的標(biāo) 記6。
[0029] 以下將參照?qǐng)D4介紹多個(gè)檢測(cè)單元5的布置。圖4是示出了在從Z方向看時(shí)基板 上的標(biāo)記6和所述多個(gè)檢測(cè)單元5之間的位置關(guān)系的視圖。基板上的目標(biāo)區(qū)域2a包括多 個(gè)芯片區(qū)域2b (在圖4中有六個(gè)芯片區(qū)域）。X-方向的檢測(cè)標(biāo)記6x和Y-方向的檢測(cè)標(biāo)記 6y被形成在目標(biāo)區(qū)域2a的四個(gè)角部。X-方向的檢測(cè)標(biāo)記6x是在其中柵格測(cè)試圖沿X方 向排列的標(biāo)記6,如圖3中的31所示。Y-方向的檢測(cè)標(biāo)記6y是在其中柵格測(cè)試圖沿Y方 向排列的標(biāo)記，就像由圖3中的31指示的標(biāo)記6轉(zhuǎn)過(guò)90° -樣。模具上的標(biāo)記7b由節(jié)距 跟基板上的標(biāo)記6的柵格測(cè)試圖的節(jié)距不同的柵格測(cè)試圖構(gòu)成，如圖3中利用32介紹的， 并且被設(shè)置在模具上跟基板上的標(biāo)記6的位置相對(duì)應(yīng)的位置。多個(gè)檢測(cè)單元5被設(shè)置為使 得每一個(gè)檢測(cè)單元通過(guò)模具上對(duì)應(yīng)于一個(gè)標(biāo)記6的標(biāo)記7b來(lái)觀測(cè)（檢測(cè)）基板（目標(biāo)區(qū) 域）上的所述標(biāo)記6 (6x或6y)。根據(jù)每一個(gè)檢測(cè)單元5的檢測(cè)結(jié)果即可獲取基板上的標(biāo)記 6和模具上的標(biāo)記7b的相對(duì)位置。例如，每一個(gè)檢測(cè)單兀5_1、5_2、5_5和5-6檢測(cè)基板上 的X-方向檢測(cè)標(biāo)記6x以及模具上對(duì)應(yīng)于該標(biāo)記6x的標(biāo)記7b。每一個(gè)檢測(cè)單元5-3、5-4、 5-7和5-8檢測(cè)基板上的Y-方向檢測(cè)標(biāo)記6y以及模具上對(duì)應(yīng)于該標(biāo)記6y的標(biāo)記7b。
[0030] 如上所述，可以利用多個(gè)檢測(cè)單元5檢測(cè)模具上的標(biāo)記7b以及形成在目標(biāo)區(qū)域2a 的四個(gè)角部的標(biāo)記6,由此根據(jù)檢測(cè)結(jié)果獲取目標(biāo)區(qū)域2a和模具3的圖案部3b的相對(duì)位 置。根據(jù)由所述多個(gè)檢測(cè)單元5檢測(cè)的相對(duì)位置，控制單元12控制對(duì)準(zhǔn)以使目標(biāo)區(qū)域2a 和模具3的圖案部3b彼此重疊。還可以根據(jù)所述多個(gè)檢測(cè)單元5的檢測(cè)結(jié)果來(lái)檢測(cè)目標(biāo) 區(qū)域2a和模具3的圖案部3b之間的相對(duì)形狀差異（放大、變形為梯形或平行四邊形、扭曲 等）。例如，如果所述多個(gè)檢測(cè)單元5已經(jīng)檢測(cè)到模具上的標(biāo)記7b相對(duì)于基板上的標(biāo)記6 向外偏移相同的量，那就表明在目標(biāo)區(qū)域2a和模具3的圖案部3b之間已經(jīng)出現(xiàn)放大差異。 如果已經(jīng)出現(xiàn)這樣的放大差異，那就可以通過(guò)由致動(dòng)器10向模具3的側(cè)表面施加作用力而 將豐旲具上的標(biāo)記7b重置在基板上的標(biāo)記6上。
[0031] 假設(shè)具有上述布置的壓印裝置100要在整個(gè)圖案部3b跟基板上的樹脂相接觸時(shí) 對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)區(qū)域2a和模具3的圖案部3。在此情況下，由于模具3的圖案表面3a和基板上 的樹脂之間的接觸面積較大，因此兩者之間的剪切應(yīng)力也較大。具體地，在壓印處理中，除 了較大的接觸面積以外，樹脂的厚度是較小的納米（nm)量級(jí)，并且因此剪切應(yīng)力進(jìn)一步加 大。也就是說(shuō)，在整個(gè)圖案部3b都跟基板上的樹脂相接觸時(shí)，由于圖案表面3a和基板上的 樹脂之間的剪切應(yīng)力而難以改變模具3和基板2的相對(duì)位置。對(duì)準(zhǔn)模具3和基板2要耗費(fèi) 相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間。結(jié)果，對(duì)準(zhǔn)模具3和基板2所耗費(fèi)的時(shí)間要長(zhǎng)于在模具3的圖案7a中完成 樹脂填充所耗費(fèi)的時(shí)間，由此降低了壓印裝置的處理能力。因此，即使在模具3和基板2彼 此接近時(shí)也就是圖案表面3a變形為向基板2彎曲的凸起形狀時(shí)也希望壓印裝置100將模 具3和基板2對(duì)準(zhǔn)。
[0032] 但是，在模具3變形時(shí)，模具上的標(biāo)記7b的位置根據(jù)變形而沿平行于基板表面 (X-Y平面）的方向偏移。因此難以準(zhǔn)確地對(duì)準(zhǔn)模具3和基板2。例如，圖5示出了在模具 3跟基板上的樹脂形成接觸之前和之后模具3的圖案表面3a(圖案部3b)的截面形狀。參 照?qǐng)D5,附圖標(biāo)記51表示在模具3跟基板上的樹脂形成接觸之前也就是在圖案表面3a變形 為向基板2彎曲的凸起形狀時(shí)圖案表面3a的截面形狀；且附圖標(biāo)記52表示在模具3的整 個(gè)圖案部3b跟基板上的樹脂相接觸時(shí)也就是在圖案表面3a的變形較小時(shí)（圖案表面3a 基本是平坦的）圖案表面3a的截面形狀。正如根據(jù)圖5顯而易見的那樣，在圖案表面3a 變形時(shí)（圖5中的51)，模具上的標(biāo)記7b跟其中圖案表面3a基本平坦的狀態(tài)（圖5中的 52)相比沿平行于基板表面的方向（-X方向）偏移。如果模具3的圖案表面平行于基板表 面（其上形成有標(biāo)記的表面），那么標(biāo)記不會(huì)偏移。在模具的圖案表面平行于基板表面時(shí)檢 測(cè)到的模具上的標(biāo)記位置和基板上的標(biāo)記位置不同于上述表面彼此不平行時(shí)的檢測(cè)到的 位置。為了解決該問(wèn)題，第一實(shí)施例中的壓印裝置100包括用于獲取偏移量的獲取單元，所 述偏移量指示模具上的標(biāo)記7b在圖案表面3a變形為凸起形狀時(shí)由于圖案表面3a的變形 而沿平行于基板表面的方向偏移了多少。在圖案表面3a變形為凸起形狀時(shí)，壓印裝置100 考慮了由獲取單元獲取的偏移量而對(duì)模具3和基板2進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。要注意的是，在第一實(shí)施 例中，控制單元12被構(gòu)造為包括獲取單元并且具備獲取偏移量的功能。但是，本發(fā)明并不 局限于此?？刂茊卧?2和獲取單元可以是獨(dú)立的單元。
[0033] 將參照?qǐng)D6介紹根據(jù)第一實(shí)施例的壓印裝置100的壓印處理。圖6是示出了根據(jù) 第一實(shí)施例的壓印裝置1〇〇的壓印處理的流程圖。圖6示出的壓印處理通過(guò)運(yùn)行圖1所示 的控制單元12的存儲(chǔ)單元中存儲(chǔ)的程序來(lái)執(zhí)行?？刂茊卧?2的處理單元處理存儲(chǔ)單元中 存儲(chǔ)的程序。本發(fā)明的壓印處理根據(jù)控制單元12的存儲(chǔ)單元中存儲(chǔ)的程序執(zhí)行。
[0034] 在步驟S71，控制單元12控制基板臺(tái)1的運(yùn)動(dòng)以使基準(zhǔn)板9的標(biāo)記9a被設(shè)置在模 具上的對(duì)應(yīng)標(biāo)記7b的下方，也就是說(shuō)，從檢測(cè)單元5的角度看，模具上的標(biāo)記7b跟基準(zhǔn)板 9的對(duì)應(yīng)標(biāo)記9a重疊。在這一階段，模具3的圖案表面3a尚未變形。例如，基準(zhǔn)板9如圖 1所示被設(shè)置在保持基板2的基板臺(tái)1上。然后，在步驟S71，模具上的標(biāo)記7b和基準(zhǔn)板9 的標(biāo)記9a需要落在每一個(gè)檢測(cè)單元5的測(cè)量范圍（例如聚焦深度）以內(nèi)?？刂茊卧?2由 此即可控制壓印頭4或基板臺(tái)1沿Z方向的運(yùn)動(dòng)以調(diào)節(jié)模具3和基準(zhǔn)板9沿Z方向的相對(duì) 位置。
[0035] 在步驟S72,控制單元12在改變施加至模具3的作用力的同時(shí)利用每一個(gè)檢測(cè)單 元5檢測(cè)偏移量，由此獲取表示偏移量和施加至模具3的作用力之間對(duì)應(yīng)關(guān)系的信息。例 如，控制單元12控制變形單元11以改變作為施加至模具的作用力的、空氣室13的壓力。這 就能將模具3的圖案表面3a變形為向基板2彎曲的凸起形狀。此時(shí)，基準(zhǔn)板9的標(biāo)記9a的 位置被設(shè)定為基準(zhǔn)位置，并且在圖案表面3a變形時(shí)所述基準(zhǔn)位置和模具上的一個(gè)對(duì)應(yīng)標(biāo) 記7b的位置之間的差異被設(shè)定為偏移量。通過(guò)改變空氣室13的壓力并將此時(shí)模具上的標(biāo) 記7b的位置和基準(zhǔn)板9的標(biāo)記9a的位置之間的差異設(shè)定為偏移量來(lái)重復(fù)由每一個(gè)檢測(cè)單 元5進(jìn)行的檢測(cè)（測(cè)量）過(guò)程。這就使得可以獲取如圖7所示的空氣室13的壓力和偏移 量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。參照?qǐng)D7,四個(gè)測(cè)量值通過(guò)線性函數(shù)逼近，并且將被逼近的線性函數(shù)存 儲(chǔ)在控制單元12中作為表示偏移量和施加至模具的作用力之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系的信息。盡管 在圖7中通過(guò)線性函數(shù)逼近多個(gè)測(cè)量點(diǎn)，但是本發(fā)明并不局限于此。除了線性函數(shù)以外，多 個(gè)測(cè)量點(diǎn)可以根據(jù)保持模具3的方法或者向模具3施加作用力的方法通過(guò)二階或更高階的 函數(shù)或多項(xiàng)式逼近。圖7示出了已經(jīng)針對(duì)模具上的一個(gè)標(biāo)記7b獲取的偏移量和空氣室13 的壓力之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。因此，可以針對(duì)模具上的每一個(gè)標(biāo)記7b獲取如圖7所示的對(duì)應(yīng)關(guān) 系。
[0036] 第一實(shí)施例中的壓印裝置100利用基準(zhǔn)板9獲取模具上的標(biāo)記7b的位置和基準(zhǔn) 板9的標(biāo)記9a的位置之間的差異作為偏移量。但是，本發(fā)明并不局限于此。可以無(wú)需使用 基準(zhǔn)板9即可獲取偏移量。例如，控制單元12存儲(chǔ)在模具3的圖案表面3a尚未變形時(shí)就 已檢測(cè)到的模具上的標(biāo)記7b的位置作為基準(zhǔn)位置。控制單元12隨后即可將存儲(chǔ)在控制單 元12中的基準(zhǔn)位置和已經(jīng)在模具3的圖案表面3a變形時(shí)檢測(cè)到的模具上的標(biāo)記7b的位 置之間的差異設(shè)定為偏移量。可選地，偏移量可以利用基板上的標(biāo)記6獲取。例如，控制單 元12將模具上的標(biāo)記7b設(shè)置在基板上的對(duì)應(yīng)標(biāo)記6下方以使得從檢測(cè)單元5的角度看， 模具上的標(biāo)記7b跟基板上的對(duì)應(yīng)標(biāo)記6重疊（模具上的標(biāo)記7b跟基板上的對(duì)應(yīng)標(biāo)記6相 一致）。此時(shí)，在多個(gè)檢測(cè)單元5中可能存在無(wú)法看到跟基板上的對(duì)應(yīng)標(biāo)記6重疊的模具上 的標(biāo)記7b的檢測(cè)單元5。在此情況下，模具3的圖案部3b和基板上的目標(biāo)區(qū)域之間已經(jīng)出 現(xiàn)形狀差異。模具3的圖案表面3a的形狀差異可以通過(guò)由上述致動(dòng)器10向模具3的側(cè)表 面施加作用力來(lái)校正以使模具上的所有標(biāo)記7b跟基板上的對(duì)應(yīng)標(biāo)記6重疊。這就使得可 以在模具3的圖案表面3a尚未變形為向基板彎曲的凸起形狀時(shí)將模具上的所有標(biāo)記7b重 疊在基板上的對(duì)應(yīng)標(biāo)記6上，由此將基板上的標(biāo)記6的位置設(shè)定為基準(zhǔn)位置。然后就可以 將每一個(gè)基準(zhǔn)位置和已經(jīng)在模具3的圖案表面3a變形時(shí)檢測(cè)到的模具上的一個(gè)對(duì)應(yīng)標(biāo)記 7b的位置之間的差異設(shè)定為偏移量。
[0037] 在步驟S73,控制單元12控制基板臺(tái)1以使基板上要經(jīng)受壓印處理的目標(biāo)區(qū)域2a 被設(shè)置在模具3的圖案部3b下方。在步驟S73,由于圖案表面3a尚未變形為凸起形狀，因 此通過(guò)在此處理中校正目標(biāo)區(qū)域和模具3的圖案部3b之間的形狀差異容易在后續(xù)處理中 對(duì)準(zhǔn)模具和目標(biāo)區(qū)域。因此，在步驟S73,模具3的圖案表面3a的形狀差異可以通過(guò)由上述 致動(dòng)器10向模具的側(cè)表面施加作用力來(lái)校正以使模具上的所有標(biāo)記分別跟基板上的對(duì)應(yīng) 標(biāo)記6重疊。
[0038] 在步驟S74,控制單元12控制變形單元11以向空氣室13施加壓力，由此將模具3 的圖案表面3a變形為凸起的形狀。在步驟S75,控制單元12在模具3的圖案表面3a變形 為凸起形狀時(shí)促使壓印頭4下降。也就是說(shuō)，控制單元12將壓印頭4沿-Z方向運(yùn)動(dòng)以縮 短模具3和基板2之間的距離。作為縮短模具3和基板2之間距離的方法，第一實(shí)施例中 的壓印裝置100將壓印頭4沿-Z方向運(yùn)動(dòng)。但是，本發(fā)明并不局限于此。例如，基板臺(tái)1 可以沿+Z方向運(yùn)動(dòng)或者壓印頭4和基板臺(tái)1均可運(yùn)動(dòng)。
[0039] 在步驟S76,控制單元12控制每一個(gè)檢測(cè)單元5以檢測(cè)模具上的標(biāo)記7b和基板上 的標(biāo)記6。在步驟S77,控制單元12從在步驟S72獲得的表示偏移量和施加至模具3的作 用力之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系的信息中獲取跟施加至模具3的作用力相對(duì)應(yīng)的偏移量。如上所述， 所述信息在控制單元12中被存儲(chǔ)為例如線性函數(shù)?？刂茊卧?2能夠從變形單元11獲取 施加至模具3的作用力（空氣室13的壓力），并利用存儲(chǔ)在控制單元12中的信息（線性函 數(shù)）計(jì)算跟壓力相對(duì)應(yīng)的偏移量。
[0040] 在步驟S78,當(dāng)圖案表面變形時(shí)，控制單元12利用根據(jù)步驟S76中檢測(cè)單元5的檢 測(cè)結(jié)果和步驟S77中獲取的偏移量而獲得的相對(duì)位置來(lái)將模具3和目標(biāo)區(qū)域2a對(duì)準(zhǔn)。在 步驟S79,控制單元12確定模具3的整個(gè)圖案部3b是否跟基板上的樹脂相接觸，也就是說(shuō) 模具3的圖案表面3a的變形是否已經(jīng)變小并且偏移量是否已經(jīng)變小。如果在步驟S79確 定圖案部3b尚未全部跟樹脂接觸，那么處理就返回至步驟S76以重復(fù)對(duì)準(zhǔn)模具3和目標(biāo)區(qū) 域2a的處理（步驟S76至S78)。這就使得可以在模具3的圖案表面3a變形為凸起形狀且 圖案部3b尚未全部跟基板上的樹脂接觸時(shí)（僅有一部分圖案部3b跟樹脂接觸）重復(fù)進(jìn)行 所述對(duì)準(zhǔn)。如上所述，在從一部分圖案部3b跟基板上的樹脂形成接觸時(shí)直到整個(gè)圖案部3b 跟樹脂形成接觸為止的時(shí)間段期間，也就是在模具跟樹脂逐漸形成接觸時(shí)，空氣室13的壓 力被改變并且偏移量也因此改變。在此過(guò)程中，通過(guò)在步驟S79中重復(fù)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)即可通過(guò) 從所述信息中依次獲取跟施加至模具3的作用力相對(duì)應(yīng)的偏移量來(lái)執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)。另一方面， 如果在步驟S79中確定整個(gè)圖案部3b都跟樹脂相接觸，那么處理就前進(jìn)至步驟S80。
[0041] 在步驟S80,控制單元12在模具3的整個(gè)圖案部3b跟基板上的樹脂相接觸時(shí)將模 具3和目標(biāo)區(qū)域2a對(duì)準(zhǔn)。如上所述，在模具3的整個(gè)圖案部3b跟基板上的樹脂相接觸時(shí)， 由于剪切應(yīng)力而難以改變模具3和基板2的相對(duì)位置。第一實(shí)施例中的壓印裝置100能夠 在模具3的圖案表面3a跟基板上的樹脂形成接觸之前在圖案表面3a變形為凸起形狀時(shí)將 模具3和目標(biāo)區(qū)域2a對(duì)準(zhǔn)。因此，在模具3的整個(gè)圖案部3b跟基板上的樹脂相接觸時(shí)，第 一實(shí)施例中的壓印裝置100只需微調(diào)模具3和目標(biāo)區(qū)域2a之間的對(duì)準(zhǔn)。也就是說(shuō)可以縮 短在模具3的整個(gè)圖案部3b跟基板上的樹脂相接觸時(shí)執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)所耗費(fèi)的時(shí)間。因此在完 成模具圖案中的樹脂填充之前即可完成模具3和目標(biāo)區(qū)域之間的對(duì)準(zhǔn)。
[0042] 在步驟S81，控制單元12確定模具3的圖案7a中的樹脂填充是否完成。如果模具 3的圖案7a中的樹脂填充尚未完成，則控制單元12等待（重復(fù)步驟S81中的處理）；否則 處理前進(jìn)至步驟S82。在步驟S82,控制單元12控制光源8以用紫外線照射基板上的樹脂。 在步驟S83,控制單元12將壓印頭4沿+Z方向運(yùn)動(dòng)以從基板上被紫外光照射固化的樹脂中 釋放模具3。這樣就能將模具3的圖案7a轉(zhuǎn)印至基板上的樹脂。盡管第一實(shí)施例中的壓印 裝置100將壓印頭4沿+Z方向運(yùn)動(dòng)，但是本發(fā)明并不局限于此。例如，基板臺(tái)1可以沿-Z 方向運(yùn)動(dòng)或者壓印頭4和基板臺(tái)1均可運(yùn)動(dòng)。
[0043] 如上所述，第一實(shí)施例中的壓印裝置100考慮了在模具3的圖案表面3a變形時(shí)由 于模具3變形造成的偏移量來(lái)將模具3和基板對(duì)準(zhǔn)。這就使得即使在模具3的整個(gè)圖案部 3b跟基板上的樹脂形成接觸之前也可以準(zhǔn)確地執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)。因此，在模具3的整個(gè)圖案部3b 跟基板上的樹脂相接觸時(shí)只需微調(diào)模具3和基板2之間的對(duì)準(zhǔn)。因此可以縮短在模具3的 整個(gè)圖案部3b跟基板上的樹脂相接觸時(shí)執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)所耗費(fèi)的時(shí)間。
[0044] 盡管第一實(shí)施例中的壓印裝置100在改變施加至模具3的作用力時(shí)利用每一個(gè)檢 測(cè)單元5檢測(cè)偏移量并獲取表示偏移量和施加至模具3的作用力之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系的信息， 但是本發(fā)明并不局限于此。壓印裝置100可以包括例如用于直接測(cè)量模具3的圖案表面3a 的變形量的測(cè)量單元。包括這種測(cè)量單元的壓印裝置1〇〇在改變施加至模具3的作用力時(shí) 利用測(cè)量單元測(cè)量圖案表面3a的變形量并且利用每一個(gè)檢測(cè)單元5檢測(cè)偏移量。壓印裝 置1〇〇隨后獲取指示偏移量和圖案表面3a的變形量之間對(duì)應(yīng)關(guān)系的信息。在此情況下，在 步驟S77,控制單元12可以從測(cè)量單元獲取模具3的圖案表面3a的變形量，并且利用指示 偏移量和圖案表面3a的變形量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系的信息來(lái)計(jì)算跟獲取的變形量相對(duì)應(yīng)的偏 移量。作為測(cè)量單元，例如用光測(cè)量基板2和模具3的圖案表面3a之間距離的間隙測(cè)量單 元是可用的。間隙測(cè)量單元利用從測(cè)量光源發(fā)出的光照射基板。此時(shí)，從測(cè)量光源發(fā)出的 光透過(guò)模具以照射基板。通過(guò)使用圖像傳感器觀測(cè)與模具、樹脂和基板干涉所獲得的干涉 光即可測(cè)量圖案表面3a和基板2之間的距離。
[0045] 盡管已經(jīng)在第一實(shí)施例中介紹了在模具變形為凸起形狀時(shí)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記偏移的情況， 但是本發(fā)明并不局限于模具變形為凸起形狀的情況。基板可以變形為凸起的形狀?？刂茊?元12能夠獲取跟施加至基板2的作用力相對(duì)應(yīng)的偏移量。
[0046] 盡管已經(jīng)在上述實(shí)施例中介紹了在模具變形為凸起形狀時(shí)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記偏移的情況， 但是本發(fā)明并不局限于模具變形為凸起形狀的情況。如果模具的圖案表面和基板表面彼此 不平行，模具上的標(biāo)記7b的位置就會(huì)偏移。如圖8所示，在模具3傾斜并且從圖案部3b的 邊緣跟基板上的樹脂14相接觸時(shí)，模具3的圖案表面3a和基板表面彼此不平行。因此，標(biāo) 記的位置根據(jù)模具的傾斜而偏移。在此情況下，類似于模具變形（彎曲）為凸起形狀的上 述情況，即使在模具傾斜并且跟基板上的樹脂14相接觸時(shí)，也可以通過(guò)預(yù)先獲取模具傾斜 度和每一個(gè)標(biāo)記的位置偏移量之間的關(guān)系來(lái)準(zhǔn)確地執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)。
[0047] <制造物品的方法實(shí)施例>
[0048] 根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的制造物品的方法適合用于制造物品例如微型器件譬如半導(dǎo) 體器件或具有微型結(jié)構(gòu)的元件。根據(jù)本實(shí)施例的制造物品的方法包括通過(guò)使用上述壓印裝 置和壓印方法在施加到基板上的樹脂上形成模具圖案的步驟（在基板上執(zhí)行壓印處理的 步驟），以及處理其上在上述步驟中形成有圖案的基板的步驟。該制造方法進(jìn)一步包括其他 的公知步驟（例如氧化、成膜、沉積、摻雜、平坦化、蝕刻、光阻去除、劃片、接合和封裝）。在 跟常規(guī)方法相比較時(shí)，根據(jù)本實(shí)施例的制造物品的方法在物品的性能、品質(zhì)、生產(chǎn)率和生產(chǎn) 成本中的至少一個(gè)方面占優(yōu)。
[0049] 盡管已經(jīng)參照示范性實(shí)施例介紹了本發(fā)明，但是應(yīng)該理解本發(fā)明并不局限于公開 的示范性實(shí)施例。所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍應(yīng)該跟最廣義的解讀相符從而涵蓋所有這樣的 修改以及等價(jià)結(jié)構(gòu)和功能。
【權(quán)利要求】
1. 一種通過(guò)在具有其上形成有標(biāo)記的圖案表面的模具跟基板上的壓印材料相接觸的 同時(shí)固化壓印材料而將圖案轉(zhuǎn)印至基板上的壓印材料的壓印方法，所述方法包括： 變形步驟，所述變形步驟通過(guò)向模具施加第一作用力將圖案表面變形為向基板彎曲的 凸起形狀以使模具從圖案表面的中心部向外逐漸地跟壓印材料相接觸； 獲取步驟，所述獲取步驟獲取偏移量，所述偏移量指示模具上的標(biāo)記由于圖案表面的 變形而沿平行于基板表面的方向偏移了多少； 檢測(cè)步驟，所述檢測(cè)步驟在圖案表面變形的同時(shí)檢測(cè)模具上的標(biāo)記和基板上的標(biāo)記， 并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果獲取模具和基板的相對(duì)位置；以及 對(duì)準(zhǔn)步驟，所述對(duì)準(zhǔn)步驟在圖案表面變形的同時(shí)利用所述偏移量和相對(duì)位置將模具和 基板對(duì)準(zhǔn)，以使得在圖案表面的變形已經(jīng)變小并且因此偏移量也已經(jīng)變小時(shí)模具上的標(biāo)記 和基板上的標(biāo)記彼此對(duì)準(zhǔn)。
2. 如權(quán)利要求1所述的方法，其中在獲取步驟中，在將圖案表面變形之前，通過(guò)向模具 施加第二作用力改變圖案表面和基板之間的形狀差異以使圖案表面跟形成在基板上的目 標(biāo)區(qū)域相一致之后的模具上的標(biāo)記的位置被設(shè)定為基準(zhǔn)位置，并且所述基準(zhǔn)位置與由于圖 案表面變形而沿平行于基板表面的方向偏移的模具上的標(biāo)記的位置之間的差異被獲取作 為偏移量。
3. 如權(quán)利要求1所述的方法，其中在變形步驟中施加至模具以將模具變形的第一作用 力隨著模具從圖案表面的中心部向外跟壓印材料逐漸形成接觸而減弱。
4. 如權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括： 測(cè)量步驟，所述測(cè)量步驟在改變施加至模具的第一作用力的同時(shí)測(cè)量偏移量，并獲取 表不第一作用力和偏移量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系的信息， 其中在獲取步驟中，根據(jù)施加至模具的作用力從所述信息中獲取偏移量。
5. 如權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括： 測(cè)量步驟，所述測(cè)量步驟在改變施加至模具的第一作用力的同時(shí)測(cè)量所述偏移量和圖 案表面的變形量，并獲取表示變形量和偏移量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系的信息， 其中在獲取步驟中，根據(jù)變形量從所述信息中獲取偏移量。
6. 如權(quán)利要求4所述的方法，其中在模具跟壓印材料逐漸形成接觸的同時(shí)，從所述信 息中依次獲取跟施加至模具的第一作用力相對(duì)應(yīng)的偏移量，并且利用依次獲取的偏移量和 所述相對(duì)位置來(lái)將模具和基板對(duì)準(zhǔn)。
7. 如權(quán)利要求4所述的方法，其中為了在測(cè)量步驟中獲取所述信息，設(shè)置在其上設(shè)置 基板的基板臺(tái)上的基準(zhǔn)板的標(biāo)記在圖案表面尚未變形的同時(shí)被設(shè)置在模具上的標(biāo)記下方， 并且基準(zhǔn)板的標(biāo)記的位置與由于圖案表面變形而已經(jīng)偏移的模具上的標(biāo)記的位置之間的 差異被測(cè)量作為偏移量。
8. 如權(quán)利要求1所述的方法，其中獲取步驟、檢測(cè)步驟和對(duì)準(zhǔn)步驟在圖案表面的中心 部跟壓印材料形成接觸之前執(zhí)行。
9. 如權(quán)利要求1所述的方法，其中獲取步驟、檢測(cè)步驟和對(duì)準(zhǔn)步驟在從中心部跟壓印 材料形成接觸時(shí)直到模具的整個(gè)圖案跟壓印材料形成接觸為止的時(shí)間段期間執(zhí)行。
10. -種用于通過(guò)在具有其上形成有標(biāo)記的圖案表面的模具跟壓印材料相接觸的同時(shí) 固化壓印材料而將圖案轉(zhuǎn)印至基板上的壓印材料的壓印裝置，所述壓印裝置包括： 變形單元，所述變形單元被構(gòu)造用于通過(guò)向模具施加第一作用力將圖案表面變形為向 基板彎曲的凸起形狀以使模具從圖案表面的中心部向外逐漸地跟壓印材料相接觸； 獲取單元，所述獲取單元被構(gòu)造用于獲取偏移量，所述偏移量指示模具上的標(biāo)記由于 圖案表面的變形而沿平行于基板表面的方向偏移了多少； 檢測(cè)單元，所述檢測(cè)單元被構(gòu)造用于在圖案表面變形的同時(shí)檢測(cè)模具上的標(biāo)記和基板 上的標(biāo)記，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果獲取模具和基板的相對(duì)位置；以及 控制單元，所述控制單元被構(gòu)造用于在圖案表面變形的同時(shí)利用所述偏移量和相對(duì)位 置控制模具和基板之間的對(duì)準(zhǔn)，以使得在圖案表面的變形已經(jīng)變小并且因此偏移量也已經(jīng) 變小時(shí)模具上的標(biāo)記和基板上的標(biāo)記彼此對(duì)準(zhǔn)。
11. 一種通過(guò)在具有其上形成有標(biāo)記的圖案表面的模具跟壓印材料相接觸的同時(shí)固化 壓印材料而將圖案轉(zhuǎn)印至基板上的壓印材料的壓印方法，所述方法包括： 將圖案表面和基板設(shè)置為彼此不平行的狀態(tài)以使模具從圖案表面的邊緣逐漸地跟壓 印材料相接觸的步驟； 獲取偏移量的步驟，所述偏移量指示模具上的標(biāo)記和基板上的標(biāo)記中的至少一者由于 使圖案表面和基板不平行的狀態(tài)而沿平行于基板表面的方向偏移了多少； 在圖案表面和基板彼此不平行的同時(shí)檢測(cè)模具上的標(biāo)記和基板上的標(biāo)記并根據(jù)檢測(cè) 結(jié)果獲取模具和基板的相對(duì)位置的步驟；以及 在圖案表面和基板彼此不平行的同時(shí)利用所述偏移量和相對(duì)位置將模具和基板對(duì)準(zhǔn)， 以使得在圖案表面和基板已經(jīng)變?yōu)楸舜似叫胁⑶乙虼似屏恳惨呀?jīng)變小時(shí)圖案表面和形 成在基板上的目標(biāo)區(qū)域彼此對(duì)準(zhǔn)的步驟。
12. -種制造物品的方法，所述方法包括： 利用壓印方法在基板上形成圖案；以及 處理其上已經(jīng)形成有圖案的基板以制造物品， 其中所述壓印方法是一種通過(guò)在具有其上形成有標(biāo)記的圖案表面的模具跟壓印材料 相接觸的同時(shí)固化壓印材料而將圖案轉(zhuǎn)印至基板上的壓印材料的方法，包括： 變形步驟，所述變形步驟通過(guò)向模具施加作用力將圖案表面變形為向基板彎曲的凸起 形狀以使模具從圖案表面的中心部向外逐漸地跟壓印材料相接觸； 獲取步驟，所述獲取步驟獲取偏移量，所述偏移量指示模具上的標(biāo)記由于圖案表面的 變形而沿平行于基板表面的方向偏移了多少； 檢測(cè)步驟，所述檢測(cè)步驟在圖案表面變形的同時(shí)檢測(cè)模具上的標(biāo)記和基板上的標(biāo)記， 并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果獲取模具和基板的相對(duì)位置；以及 對(duì)準(zhǔn)步驟，所述對(duì)準(zhǔn)步驟在圖案表面變形的同時(shí)利用所述偏移量和相對(duì)位置將模具和 基板對(duì)準(zhǔn)，以使得在圖案表面的變形已經(jīng)變小并且因此偏移量也已經(jīng)變小時(shí)模具上的標(biāo)記 和基板上的標(biāo)記彼此重置。
【文檔編號(hào)】G03F7/00GK104122746SQ201410166556
【公開日】2014年10月29日 申請(qǐng)日期:2014年4月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月24日
【發(fā)明者】佐藤浩司 申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社