技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提出一種用于曝光的光源模塊。利用本發(fā)明的曝光用光源模塊單元包括：光源板，其構(gòu)成為，多個單位紫外線發(fā)光元件以矩陣形態(tài)的列陣構(gòu)造貼裝于電路基板上，并裝載于支撐板；光學板，其具有如下構(gòu)造，多個單位聚光透鏡以從與所述發(fā)光元件分別對應的位置相對主光軸向穿過所述光源板上的紫外線發(fā)光元件列陣的中心的任意基準中心軸線側(cè)偏心的狀態(tài)的矩陣形態(tài)的列陣結(jié)構(gòu)設置在以與所述光源板相互面對的形態(tài)配置于所述紫外線發(fā)光元件的光射出側(cè)的透鏡板。根據(jù)所述構(gòu)成，使得從各個單位紫外線發(fā)光元件(UV?LED)照射而來的擴散光有效地聚光至以孔(aperture)形態(tài)設定在曝光裝置的光學系統(tǒng)的收光區(qū)域，從而可謀求通過低耗電的光亮的最大化，尤其通過實現(xiàn)高效率、高輸出的單一波長、短波長的紫外線光，可確保突破性地提高曝光圖案的微細化和分辨率的曝光性能的同時，可具有實用且經(jīng)濟可行地替代現(xiàn)有曝光裝置的光源的效果。

技術(shù)研發(fā)人員：趙南稙;印致億;樸鐘沅;宋友莉;丁海一
受保護的技術(shù)使用者：趙南稙;東莞華晶光電科技有限公司
文檔號碼：201510726723
技術(shù)研發(fā)日：2015.10.30
技術(shù)公布日：2017.02.15