本發(fā)明涉及用于諸如平版印刷或檢查機械的目標處理機械的封閉件。

背景技術：

這樣的封閉件的例子可見于轉讓給本發(fā)明所有人的國際公布WO2013/037802。WO2013/037802中公開的諸如平版印刷或檢查機械的目標處理機械包括剛性：基板；投射柱，其用于將一個或多個光學或粒子光束投射到目標上；支撐框架，其用于支撐突起柱，該支撐框架由基板支撐并固定到基板；塔板，其包括用于承載目標的可動部分以及由基板支撐并固定到基板的固定部分。該目標處理機械布置在封閉件內，該封閉件也被稱為真空腔室，封閉支撐框架和柱。封閉件布置成用于在封閉件的內部空間中提供并保持真空環(huán)境。封閉件包括：基板，其形成封閉件的一部分；以及多個壁面板，所述多個壁面板由所述基板支撐并固定到所述基板。封閉件包括：門框架，其用于一個側壁；以及門，其尺寸基本上為壁面板的尺寸，并且配合到門框架中。

轉讓給本發(fā)明所有人的國際公布WO2012/080278公開了一種平版印刷系統單元，其包括容納在其自身的真空腔室內的平版印刷設備。平版印刷系統的面向用于服務目的的自由區(qū)域的一側包括用于將基質傳送進入和離開真空腔室的裝載鎖定系統，并且還包括能夠針對這樣的服務目的而打開的進入門。因此，平版印刷系統單元在與裝載鎖定系統相同的一側上設置有門。該門是可移除的且可附接的，并且能夠例如利用傳送單元整體移除。傳送單元被布置成用以支撐門，并且包括一個或多個傳送元件，例如輪或軌道。平版印刷設備由支撐結構支撐，該支撐結構用于將平版印刷設備定位在升高的位置處。裝載鎖定系統結合到門中。

美國專利4,948,979公開了一種真空裝置，其包括：真空工作腔室，其用于對諸如基質的材料執(zhí)行預定處理；和真空前室，其用于改變該材料。兩個真空腔室都通過聯接構件聯接，以便連通相應腔室的內部，并且通過定位成用于聯接構件的閥裝置來管理該連通。真空腔室可以被構造成能夠相對于彼此移動或水平地樞轉。根據這種真空裝置的構造，在兩個真空腔室分開的狀態(tài)下執(zhí)行真空泄漏操作、真空處理操作以及材料交換操作，以消除一個真空腔室的振動的傳遞，由此在不受影響的情況下精確地執(zhí)行各個過程。因此，在每個材料交換操作期間，真空腔室需要彼此分開和聯接，從而需要較多的時間和勞動力。此外，當聯接真空腔室時，聯接構件的前表面在聯接構件待聯接時必須彼此接觸。盡管在美國專利4,948,979中沒有詳細描述，但是當聯接構件聯接時，它們需要提供不透真空的聯接。在美國專利4,948,979中沒有描述如何獲得這種不透真空的聯接。

為了在腔室之間獲得不透真空的聯接，需要真空腔室相對于彼此精確且仔細地對準。具體地，在真空腔室聯接期間，需要真空前室相對于真空工作腔室精確且仔細地對準，以便以不透真空的接觸方式布置聯接構件的前表面并且確保保持腔室內的真空條件。

技術實現要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種新型的和改進的用于目標處理機械的封閉件，其具體允許目標處理機械和傳送裝置之間更加精確的對準，該傳送裝置為例如裝載鎖定系統，該裝載鎖定系統用于將目標傳送進入和離開封閉件內的目標處理機械。

根據第一個方面，本發(fā)明提供用于封閉目標處理機械的組件，其中所述組件包括封閉件和傳送單元，其中所述封閉件包括：

基板，所述基板用于將所述目標處理機械布置在所述基板上，

側壁面板，所述側壁面板固定到所述基板，和

頂壁面板，所述頂壁面板固定到所述側壁面板，

其中所述封閉件包括處于所述封閉件的側壁中的進入開口，

其中所述傳送單元包括用于使所述傳送單元相對于所述基板運動和/或定位的一個或多個傳送元件，其中所述傳送單元包括門面板，所述門面板被布置成用于關閉所述進入開口，所述門面板借助于柔性聯接件安裝到所述傳送單元，其中所述柔性聯接件被布置成用以至少當所述傳送單元布置在所述封閉件的進入開口的前部中時允許所述門面板相對于所述傳送單元至少沿著朝向和/或遠離所述封閉件的方向運動。

通過布置能夠在傳送單元上運動的門面板，當布置在進入開口處尤其用于關閉進入開口時門面板的安裝公差和/或安裝不精確性或偏差至少基本上被門面板相對于傳送單元的運動所吸收。根據本發(fā)明，傳送單元能夠相對于基板精確地定位，而基本上與當布置在進入開口處時門面板的安裝公差和/或安裝不精確性或偏差無關。這允許基板上的目標處理機械和傳送單元之間更加精確地對準，該傳送單元例如設置有傳送裝置，例如用于將目標傳送進入和離開封閉件內的目標處理機械的裝載鎖定系統。

此外，在封閉件內的空間排空期間和/或在維持封閉件內的真空條件期間封閉件和/或門面板的變形也至少基本上被門面板相對于傳送單元的運動所吸收。因此，這樣的變形至少基本上不會干擾基板上的目標處理機械和布置在傳送單元上的傳送裝置之間的精確對準。

根據本發(fā)明，門面板借助于柔性聯接件安裝到傳送單元。通過經由柔性聯接件將門面板布置在傳送單元上，當布置在進入開口處尤其用于關閉進入開口時門面板的安裝公差和/或安裝不精確性或偏差至少基本上被所述柔性聯接件吸收。

根據本發(fā)明，所述柔性聯接件被布置成用以具體地當所述傳送單元布置在所述封閉件的進入開口的前部中時允許所述門面板相對于所述傳送單元優(yōu)選地至少沿著朝向和/或遠離所述封閉件的方向運動。沿著朝向和/或遠離所述封閉件的方向的靈活性對于吸收在關閉進入開口期間和/或排空封閉件內部空間期間和/或維持封閉件內真空條件期間的門面板的任何運動和/或偏差是尤其有利的。

由于根據本發(fā)明的柔性聯接件，傳送單元相對于封閉件的對準不必如根據美國專利4,948,979的真空腔室的對準那么精確和小心。

在一個實施例中，柔性聯接件包括門面板和傳送單元之間的彈性連接件。在一個實施例中，柔性聯接件包括彈簧安裝座。這樣的彈簧安裝座一方面提供門面板和傳送單元之間期望的可動性。另一方面，彈簧安裝座可以提供預載力，以將門面板相對于傳送單元推壓到期望位置，從而例如輔助門面板相對于封閉件的對準和/或輔助向預真空密封件提供預載，如下所詳述的。

在一個實施例中，所述門面板借助于一個或多個片簧安裝到所述傳送單元。使用片簧是尤為有利的，原因在于它們能夠提供沿著與片簧的縱向方向大致垂直的方向的所需的柔性聯接，此外它們還沿著與片簧的縱向方向大致垂直的方向提供門面板和傳送單元之間的基本上固定的定位。在一個實施例中，所述門面板借助于所述一個或多個片簧懸置在所述傳送單元上。

在一個實施例中，所述門面板被布置成用以抵靠所述封閉件，以用于關閉所述進入開口。當傳送單元朝向封閉件運動時，門面板抵靠封閉件，優(yōu)選地抵靠封閉件的圍繞進入開口布置的預真空密封件或真空密封件。

當門面板布置成抵靠封閉件并關閉進入開口時，門面板優(yōu)選地提供為封閉件的側壁或側壁部分。在一個實施例中，門面板包括劃界或界定封閉件的內部區(qū)域的第一表面，并且優(yōu)選地包括與第一表面相對的第二表面，該第二表面至少部分地劃界或界定圍繞封閉件外側的周圍區(qū)域。在一個實施例中，進入開口和門面板的尺寸基本上為封閉件的整個側壁的尺寸，以允許容易地進入封閉件的內部區(qū)域進行例如維護或服務操作。

在一個實施例中，具有所述門面板的所述傳送單元能夠從所述封閉件拆卸，優(yōu)選地其中具有所述門面板的所述傳送單元整體上能夠從所述封閉件移除。因此，傳送單元能夠在需要的情況下快速地用另一個傳送單元替換，這減少了目標處理機械例如維護期間的停機時間。

在一個實施例中，所述組件包括定位構件和互補定位構件，其中所述定位構件固定地連接到所述基板，所述互補定位構件固定地連接到所述傳送單元，其中所述定位構件和所述互補定位構件被布置成用以至少當所述定位構件和所述互補定位構件連接在一起時將所述基板和所述傳送單元相對于彼此對準。所述定位構件和互補定位構件有助于所述傳送單元相對于所述基板的精確對準。

在一個實施例中，所述定位構件和所述互補定位構件分別包括第一對準構件和第一互補對準構件之一，以至少當所述第一對準構件和所述第一互補對準構件連接在一起時提供所述基板和所述傳送單元之間的固定距離。在一個實施例中，所述第一對準構件包括凹陷部，并且其中所述第一互補對準構件包括插塞，其中所述插塞能夠插入到所述凹陷部中，以提供所述基板和所述傳送單元之間的所述固定距離。在一個實施例中，所述插塞能夠插入到所述凹陷部中，以提供所述傳送單元相對于所述基板的固定定位。

在一個實施例中，所述定位構件和所述互補定位構件分別包括第二對準構件和第二互補對準構件之一，以至少當所述第二對準構件和所述第二互補對準構件連接在一起時提供所述基板和所述傳送單元之間的固定旋轉取向，尤其是圍繞與所述基板大致垂直地延伸的軸線的固定旋轉取向。在一個實施例中，所述第二對準構件包括接觸表面，所述第二互補對準構件包括鄰接構件，其中所述鄰接構件能夠布置成抵靠所述接觸表面，以提供所述基板和所述傳送單元之間的所述固定旋轉取向。

在一個實施例中，所述基板包括預載構件，所述傳送單元包括互補預載構件，其中所述預載構件和所述互補預載構件布置成用以彼此聯接，以提供具有所述門面板的所述傳送單元朝向所述封閉件的機械預載。在一個實施例中，所述預載構件和所述互補預載構件包括孔口和鉤部之一，其中所述鉤部被布置成用以運動到所述孔口中，以用于將所述預載構件和所述互補預載構件彼此聯接。在一個實施例中，鉤部聯接到致動器，該致動器用于提供預載力，以用于輔助將傳送單元相對于基板定位在固定和/或剛性位置處。此外，該預載力將門面板推向封閉件并且輔助進入開口的關閉，如下文所詳述。

在一個實施例中，所述組件還包括預真空密封件和真空密封件，至少當所述門面板布置在所述封閉件的進入開口的前部中時，所述預真空密封件和真空密封件均圍繞所述封閉件的側壁中的進入開口布置。具體地，預載力將門面板推靠預真空密封件。在門面板抵靠預真空密封件的情況下，可以利用預真空泵排空封閉件的內部。由于封閉件內部的壓力相對于封閉件外側的環(huán)境空氣壓力減小，所以門面板被環(huán)境空氣壓力進一步推向封閉件，具體地抵靠真空密封件。當門面板被推靠真空密封件時，封閉件內的空間可以進一步被排空，以獲得和/或保持封閉件內的真空條件。

要注意的是，本文所用的術語真空并不是指完美的真空，而是指封閉件內的內部壓力小于封閉件周圍的環(huán)境中的壓力。例如，對于封閉件中的帶電粒子平版印刷機械，封閉件內的真空壓力優(yōu)選地為10^-3mbar或更低，更優(yōu)選地為10^-6mbar或更低。

在一個實施例中，所述真空密封件布置在所述預真空密封件和所述進入開口之間。因此，至少在封閉件的側壁中的開口的平面中看時，真空密封件布置在預真空密封件中。在使用時，真空密封件與封閉件內的排空空間相鄰地布置，而預真空密封件與封閉件外側周圍的環(huán)境大氣相鄰地布置。

在一個實施例中，所述預真空密封件包括柔性翼片，至少當所述門面板布置在所述封閉件的進入開口的前部中時，所述柔性翼片沿著一方向在所述門面板和所述封閉件之間延伸過一距離，該距離大于所述真空密封件沿該方向的厚度。該柔性翼片延伸過較大的距離，例如越過真空密封件5mm或更多，優(yōu)選地越過真空密封件10至20mm，以便在門面板關閉到封閉件時輔助密封封閉件，但是還沒有抵靠所述封閉件和/或所述封閉件的真空密封件。

雖然預真空密封件可以布置在門面板上，但是優(yōu)選的是，預真空密封件布置在封閉件的側壁中，優(yōu)選地布置在封閉件的側壁的第一凹部中。雖然真空密封件可以布置在門面板上，但是優(yōu)選的是，真空密封件布置在封閉件的側壁中，優(yōu)選地布置在封閉件的側壁的第二凹部中。

在一個實施例中，所述組件包括基座，并且其中所述基座設置有傳送單元位置，以用于所述傳送單元布置在所述傳送單元位置上。在一個實施例中，所述基板布置在所述基座上的固定和/或剛性位置處。

要指出的是，在本申請的背景下，術語“固定”指的是至少基本上約束所有三個平移自由度(X，Y和Z)的狀況，術語“剛性”指的是至少基本上約束所有三個旋轉自由度(Rx，Ry和Rz)的狀況。

在一個實施例中，所述傳送單元包括支撐構件，所述基座的傳送單元位置包括支撐構件接觸表面，其中每個所述支撐構件接觸表面被布置成用以接納一個所述支撐構件，其中所述支撐構件和支撐構件接觸表面被布置成用以提供所述傳送單元和所述基座之間的固定距離和/或用以提供圍繞與所述基座和/或基板大致平行地延伸的軸線的固定旋轉取向。因為基板優(yōu)選地布置在所述基座上的固定和/或剛性位置處，并且支撐構件和支撐構件接觸表面提供傳送單元相對于基座的至少部分地固定的和/或剛性的定位，所以基座提供了用于目標處理機械和所述傳送單元上的傳送裝置之間的精確對準的額外對準手段。具體地，與第一對準構件和第一互補對準構件以及第二對準構件和第二互補對準構件結合，傳送單元和基板形成確切且確定的定位，其中所有六個自由度受到約束或控制。

在一個實施例中，所述基座設置有布置在所述傳送單元位置處的接口單元，其中所述接口單元至少當所述傳送單元大致布置在所述基座上的所述傳送單元位置處時能夠連接到所述傳送單元。

在一個實施例中，所述接口單元被布置成用以提供所述傳送單元和技術服務連接件之間的連接，以用于將設施提供到所述傳送單元，其中所述設施包括電源、供水裝置和/或排水裝置、真空管道以及供氣裝置中的一個或多個。接口單元將諸如電源的設施提供給傳送單元和/或布置在所述傳送單元上的傳送裝置，和/或接口單元將諸如電源和真空管道的設施提供給門面板，優(yōu)選地經由柔性電纜和導管提供，以保持門面板和傳送單元的可動性。

在一個實施例中，所述接口單元包括致動器，所述致動器用于使所述接口單元或所述接口單元的聯接單元朝向所述傳送單元運動，以提供所述連接。在一個實施例中，所述致動器被布置成用以使所述接口單元或所述聯接單元大致沿豎直方向運動。因此，布置在底板中或附近的接口單元被致動以向上運動離開底板，從而連接到傳送單元的底側。當傳送單元運動離開封閉件時，接口單元通過致動器縮回，由此能夠容易地進入封閉件，而接口單元基本上不形成障礙。

在一個實施例中，所述傳送元件包括一個或多個氣墊，所述氣墊能夠連接到壓縮空氣供應裝置。在一個實施例中，所述一個或多個氣墊布置在所述傳送單元的底側處，并且優(yōu)選地布置成用以使所述傳送單元大致懸置在底板上方，例如懸置在所述封閉件附近的大致關閉的底板上方。在一個實施例中，所述一個或多個氣墊布置在所述傳送單元的底側處，以提供所述傳送單元在所述底板上方的大致平衡和/或穩(wěn)定的懸置。當傳送單元需要移動時，壓縮空氣供應裝置連接到所述一個或多個氣墊，以允許傳送單元懸置在底板表面上方，具體地懸置在封閉件附近的關閉的底板表面上方，并且能夠由操作者容易地在所述底板表面上方沿所有方向移動。

在一個實施例中，所述門面板設置有經過開口，并且其中所述組件還包括傳送裝置，所述傳送裝置布置在所述傳送單元上的固定和/或剛性位置處，大致與所述經過開口相鄰。在一個實施例中，所述傳送裝置包括裝載鎖定系統，所述裝載鎖定系統經由柔性聯接件連接到所述門面板，優(yōu)選地經由圍繞所述經過開口的真空波紋管連接到所述門面板。

在一個實施例中，所述門面板設置有一個或多個真空泵，具體是一個或多個渦輪分子泵。在一個實施例中，所述一個或多個真空泵經由柔性導管連接到所述傳送單元，優(yōu)選地經由真空波紋管連接到所述傳送單元，以便至少大致保持所述門面板和所述傳送單元之間的可動性。

在一個實施例中，所述柔性導管能夠連接到所述接口單元，具體地以提供所述一個或多個真空泵和所述傳送單元中的真空管道之間的連接，所述真空管道優(yōu)選地連接到預真空泵。所述一個或多個渦輪分子泵能夠連接到接口單元，以用于提供到一個或多個預真空泵的流體連接，所述一個或多個預真空泵布置在相距封閉件和傳送單元一定距離處。

根據第二個方面，本發(fā)明提供適合于且用于如上所述的組件的傳送單元。

根據另一個方面，本發(fā)明提供一種用于封閉目標處理機械的組件的傳送單元，其中所述組件包括封閉件、門面板和傳送單元，

其中所述封閉件包括處于所述封閉件的側壁中的進入開口，并且其中所述門面板被布置成用以關閉所述進入開口，并且

其中所述傳送單元包括一個或多個傳送元件，所述一個或多個傳送元件用于使所述傳送單元相對于所述封閉件運動，具體地用于使所述傳送單元與所述封閉件和/或所述門面板相鄰地定位，其中所述傳送元件包括能夠與壓縮空氣供應裝置連接的一個或多個氣墊。

在一個實施例中，所述一個或多個氣墊布置在所述傳送單元的底側處，并且優(yōu)選地布置成用以使所述傳送單元大致懸置在底板上方，具體地懸置在所述封閉件附近的大致關閉的底板上方。

在一個實施例中，所述一個或多個氣墊布置在所述傳送單元的底側處，以提供所述傳送單元在所述底板上方的大致平衡和/或穩(wěn)定的懸置。

根據另一個方面，本發(fā)明提供一種用于封閉目標處理機械的組件，其中所述組件包括封閉件、門、傳送單元以及用于至少支撐所述傳送單元的底板區(qū)段，

其中所述封閉件包括處于所述封閉件的側壁中的進入開口，并且其中所述門面板被布置成用以關閉所述進入開口，

其中所述傳送單元包括用于使所述傳送單元相對于所述封閉件運動的一個或多個傳送元件，并且

其中所述底板區(qū)段與所述封閉件和/或所述門面板相鄰地布置，并且設置有傳送單元位置，以用于所述傳送單元定位在所述傳送單元位置上。

在一個實施例中，所述封閉件布置在所述底板區(qū)段上的固定和/或剛性位置處。

在一個實施例中，所述傳送單元包括支撐構件，所述底板區(qū)段的傳送單元位置包括支撐構件接觸表面，其中每個所述支撐構件接觸表面被布置成用以接納一個所述支撐構件，其中所述支撐構件和支撐構件接觸表面被布置成用以提供所述傳送單元和所述底板區(qū)段之間的固定距離和/或用以提供圍繞與所述底板區(qū)段大致平行地延伸的軸線的固定旋轉取向。

在一個實施例中，所述底板區(qū)段設置有布置在所述傳送單元位置處的接口單元，其中所述接口單元至少當所述傳送單元大致布置在所述底板區(qū)段上的所述傳送單元位置處時能夠連接到所述傳送單元。

在一個實施例中，所述接口單元被布置成用以提供所述傳送單元和技術服務連接件之間的連接，以用于將設施提供到所述傳送單元，其中所述設施包括電源、供水裝置和/或排水裝置、真空管道以及供氣裝置中的一個或多個。

在一個實施例中，所述接口單元包括致動器，所述致動器用于使所述接口單元或所述接口單元的聯接單元朝向所述傳送單元運動，以提供所述連接，優(yōu)選地其中所述致動器被布置成用以使所述接口單元或所述聯接單元大致沿豎直方向運動。

在一個實施例中，所述底板區(qū)段包括基座，具體是用于承載所述傳送單元的大致剛性的和/或整體的基座。在一個實施例中，所述基座被布置成用以承載所述封閉件，優(yōu)選地相對于所述基座在大致剛性和/或固定位置中承載所述封閉件。

說明書中所述和所示的各個方面和特征只要有可能就是能夠單獨地應用的。這些單獨的方面，尤其是所附從屬權利要求中描述的方面和特征可以作為分案申請的主題。

附圖說明

以下將參考附圖中所示的示例性實施例來描述本發(fā)明，其中：

圖1示意性地示出了根據本發(fā)明的組件的第一實施例，

圖2A、2B和2C示意性地示出了根據本發(fā)明的組件的第二實施例，

圖3A、3B、3C和3D示意性地示出了根據本發(fā)明的組件的第三實施例，

圖4更詳細地示出了根據本發(fā)明的組件的第四實施例，

圖5示出了圖4的組件的分解圖，

圖6示出了圖4的組件的傳送單元和門面板的分解圖，

圖7示出了門面板和傳送單元之間的柔性聯接件之一的細節(jié)，

圖8示出了圖4的傳送單元的底側，

圖9示出了封閉件的進入開口下方的基板部分的細節(jié)，該部分至少在圖4所示的組裝狀態(tài)中面向傳送單元，

圖10示出了傳送單元的一部分的細節(jié)，該部分至少在圖4所示的組裝狀態(tài)中面向基板，

圖11示出了根據另一個實施例的傳送單元的底側的細節(jié)，

圖12示出了封閉件的前部中的基座部分的俯視圖，以及

圖13示出了傳送單元，其包括傳送裝置，該傳送裝置用于將基質傳送進入和離開封閉件。

具體實施方式

附圖示意性地示出了根據本發(fā)明的組件的各個例子，該組件優(yōu)選地提供用于目標處理機械的封閉件，該目標處理機械為例如WO2012/080278和WO2013/037802中所述的目標處理機械，這兩篇文獻也是本發(fā)明的所有人所擁有的，并且這些文獻均以引用方式全文并入本文中。

在圖1所示的第一個例子中，組件1包括封閉件2和傳送單元3。封閉件2優(yōu)選地包括：基板21，所述目標處理機械布置在該基板上；側壁面板22，其固定到所述基板21；以及頂壁面板23，其固定到所述側壁面板22。此外，封閉件2包括處于封閉件2的面向傳送單元3的側壁中的進入開口24。在這個例子中，進入開口24基本上與圖5的例子所示的進入開口相同，該進入開口24的尺寸基本上為封閉件2的整個側壁的尺寸。

如圖1所示，傳送單元3包括一個或多個傳送元件，具體為四個輪31，以用于使傳送單元3相對于封閉件2運動，具體地相對于封閉件的基板21運動。傳送單元3還包括門面板32，該門面板被布置成用以關閉進入開口24，其中門面板32具體借助于柔性聯接件33可動地安裝到傳送單元3。

為了利用封閉件2容納帶電粒子平版印刷設備，封閉件2內的空間必須被抽空以在封閉件2內提供真空環(huán)境。為了操作帶電粒子平版印刷設備，通常需要至少10^-6mbar的真空。為了獲得并維持所需的真空環(huán)境，例如通過在基板21和相鄰的側壁面板22之間以及在頂壁面板23和相鄰的側壁面板22之間布置密封構件，例如O形環(huán)或C形環(huán)或類似物，壁面板22固定到基板21以提供不透流體或不透真空的連接。

為了將門面板32抵靠封閉件2正確地定位，門面板可動地布置在傳送單元上。優(yōu)選地，門面板能夠相對于傳送單元至少沿著y方向進行平移運動，優(yōu)選地也圍繞x軸(其大致橫向于圖1的紙張平面指向)進行旋轉運動Rx，并且優(yōu)選地圍繞z軸進行旋轉運動Rz。這些自由度中的一個或多個由柔性聯接件33建立，該柔性聯接件例如包括彈性聯接件，例如圖1中示意性地示出的彈簧聯接件。彈簧聯接件在第一側上連接到門面板33，并且在背離第一側的第二側上連接到傳送單元3。

進一步如圖1所示，門面板32可以承載實用裝置5，例如至少當門面板32布置成用于大致關閉進入開口24時用于將封閉件2的內側排空的真空泵。

此外，傳送單元3可以設置有傳送裝置6，該傳送裝置用于將基質傳送進入和離開封閉件2，例如如WO2012/080278中所公開的。門面板32設置有經過開口35，并且其中傳送裝置6布置在所述傳送單元3上的固定和/或剛性位置處，大致與經過開口35相鄰。傳送裝置6包括裝載鎖定系統，該裝載鎖定系統經由柔性聯接件33連接到門面板32，該柔性聯接件優(yōu)選地包括真空波紋管，該真空波紋管圍繞經過開口35，如圖1示意性地示出。

在第二個例子中，如圖2A和2B所示，組件101包括封閉件2和傳送單元103。如圖2A所示，傳送單元103包括用于使傳送單元103相對于封閉件2運動的一個或多個輪131。傳送單元103還包括門面板132，該門面板被布置成用以關閉進入開口24，其中門面板132借助于柔性聯接件133安裝到傳送單元103。另外，門面板132可以設置有實用裝置105。

在圖2A和2B所示的例子中，門面板132例如利用輥支撐件134而被布置成大致沿Z方向固定。盡管沿z方向是大致固定的，但是柔性聯接件133至少允許沿著y方向進行平移運動，優(yōu)選地也圍繞x軸(其大致橫向于圖1的紙張平面指向)進行旋轉運動Rx，并且優(yōu)選地圍繞z軸進行旋轉運動Rz。

根據該第二個例子的傳送單元103還包括端部止擋件135，該端部止擋件限制門面板132沿y方向的運動。在傳送單元103相對于封閉件2相距一定距離的狀態(tài)下，彈簧162將門面板132朝向端部止擋件135推壓。彈簧162提供預載力，至少當門面板132沒有定位成抵靠封閉件2(如圖2A所示)時，該預載力將門面板132推壓抵靠端部止擋件135，這大致防止門面板132的任何沿y方向的運動或任何旋轉運動Rx、Rz。彈簧162的第一端部連接到傳送單元103的連接器136，而背離第一端部的第二端部布置成抵靠門面板132。

當傳送單元103朝向封閉件2運動(如圖2B所示)且門面板132抵靠封閉件2時，門面板132被推離端部止擋件135，并且大致能夠沿y方向移動和/或圍繞x軸和z軸旋轉。在這種狀態(tài)下，門面板132能夠調整其相對于封閉件2的定位并且能夠順從于閉件2，以便有助于獲得封閉件2的期望的關閉和/或密封。

在圖2A和2B所示的第二個例子中，至少當門面板132布置成與封閉件2(具體是其進入開口24)相鄰和/或處于其前部中時，用于提供預載的彈簧162布置在門面板132的背離封閉件2的一側處，而端部止擋件135布置在門面板132的面向封閉件的一側處。此外，用于提供預載的彈簧162經由連接器136固定地連接到傳送單元103，并且端部止擋件135固定地連接到傳送單元103。然而，通過圖2C中的第二個例子的可供選擇的實施例所示的顛倒的機械布置也可以獲得相同的功能，其中彈簧162'連接到門面板132'，和/或端部止擋件135'連接到門面板132'。

在第三個例子中，如圖3A、3B和3C所示，組件201包括封閉件2和傳送單元203。如圖3A所示，傳送單元203包括用于使傳送單元203相對于封閉件2運動的一個或多個輪231。傳送單元203還包括門面板232，該門面板被布置成用以關閉進入開口24，其中門面板232借助于柔性聯接件233安裝到傳送單元203。另外，門面板132可以設置有實用裝置205。

在圖3A、3B和3B所示的例子中，門面板232例如利用輥支撐件234而被布置成大致沿Z方向固定。盡管沿z方向是大致固定的，但是柔性聯接件233至少允許沿著y方向進行平移運動，優(yōu)選地也圍繞x軸(其大致橫向于圖1的紙張平面指向)進行旋轉運動Rx，并且優(yōu)選地圍繞z軸進行旋轉運動Rz。

根據該第三個例子的傳送單元203還包括端部止擋件235，該端部止擋件限制門面板232沿y方向的運動。在傳送單元203相對于封閉件2相距一定距離的狀態(tài)下，彈簧262將門面板232朝向端部止擋件235推壓。彈簧262提供預載力，至少當門面板232沒有定位成抵靠封閉件2(如圖3A所示)時，該預載力將門面板232推壓抵靠端部止擋件235，這大致防止門面板232的任何沿y方向的運動或任何旋轉運動Rx、Rz。彈簧262的第一端部連接到傳送單元203，而背離第一端部的第二端部布置成抵靠門面板232。

當傳送單元203朝向封閉件2運動(如圖2B所示)且門面板232抵靠封閉件2(具體是抵靠圍繞進入開口設置的預真空密封件251)時，門面板232推靠預真空密封件251并且壓縮所述預真空密封件251。在這種狀態(tài)下，門面板232布置在預真空密封件251和端部止擋件235之間。這允許封閉件2的內側被排空，以在封閉件2內側獲得減小的空氣壓力。隨后，周圍環(huán)境空氣壓力將門面板232進一步推靠封閉件2，并且將門面板232從端部止擋件235拉動，如圖3C所示。門面板232現在大致能夠沿y方向移動和/或圍繞x軸和z軸旋轉。在這種狀態(tài)下，門面板232能夠調整其相對于封閉件2的定位并且能夠順從于閉件2，以便有助于獲得封閉件2的期望的關閉和/或密封。這允許封閉件2的內側進一步被排空，以在封閉件2內側獲得并保持期望的真空。

在圖3A、3B和3C所示的第三個例子中，至少當門面板232布置成與封閉件2(具體是其進入開口24)相鄰和/或處于其前部中時，用于提供預載的彈簧262布置在門面板232的面向封閉件2的一側處，而端部止擋件235布置在門面板232的背離封閉件2的一側處。此外，用于提供預載的彈簧262固定地連接到傳送單元203，并且端部止擋件235固定地連接到傳送單元103。然而，通過圖3D中的第二個例子的可供選擇的實施例所示的顛倒的機械布置也可以獲得相同的功能，其中彈簧262'連接到門面板232'，和/或端部止擋件235'連接到門面板232'。

圖4-13中更詳細地示出了第四個例子。如圖4所示且在圖5的分解圖中，組件301包括封閉件302和傳送單元303。封閉件302包括：基板321，所述目標處理機械布置在該基板上；側壁面板322，其固定到所述基板321；以及頂壁面板323，其固定到所述側壁面板322。此外，封閉件302包括處于封閉件302的側壁中的進入開口324。

如圖8所示，傳送單元303包括一個或多個傳送元件，具體為四個輪331，以用于使傳送單元303相對于封閉件302運動，具體地相對于封閉件的基板321運動。傳送單元303還包括門面板332，該門面板被布置成用以關閉進入開口324，其中門面板332借助于柔性聯接件333、333'和334(在圖7中)可動地安裝到傳送單元303，如以下更詳細地描述的。

如圖7所示，門面板332的一個下邊緣抵靠在支撐塊3341的頂部上，該支撐塊經由兩個大致豎直地延伸的片簧3342從固定地連接到傳送單元303的安裝塊3343懸置。這種安裝允許支撐塊3341沿著y方向相對于傳送單元303運動。在該具體實施例中，利用布置在支撐塊3341和安裝塊3343之間的限制器3344來限制沿y方向的運動范圍。要指出的是，相同的構造也可以布置在門面板332的另一個下邊緣處，以支撐門面板332。

此外，門面板332經由兩個大致水平地延伸的片簧333、333'連接到傳送單元303。這些片簧333、333'在一側上連接到門面板332，并且在背離所述一側的另一側上連接到傳送單元303的安裝構件304、304'。

為了利用封閉件302容納帶電粒子平版印刷設備，封閉件302內的空間必須被抽空以在封閉件302內提供真空環(huán)境。為了操作帶電粒子平版印刷設備，通常需要至少10^-6mbar的真空。為了獲得并維持所需的真空環(huán)境，例如通過在基板321和相鄰的側壁面板322之間以及在頂壁面板323和相鄰的側壁面板322之間布置密封構件，例如O形環(huán)或C形環(huán)或類似物，壁面板322固定到基板321以提供不透流體或不透真空的連接。

該例子的封閉件302包括門框架325，該門框架圍繞進入開口324，該進入開口的尺寸基本上為封閉件302的整個側壁的尺寸。封閉件302(具體是門框架325)設置有均圍繞進入開口324布置的預真空密封件351和真空密封件351。具體地，真空密封件352圍繞進入開口324布置，預真空密封件351圍繞真空密封件352布置，如圖9的細節(jié)視圖所示。預真空密封件351包括C形環(huán)，該C形環(huán)具有橡膠翼片，該橡膠翼片相對于封閉件302沿著向外取向的方向延伸到門框架325的平面之外，C形環(huán)布置在門框架325中的第一凹部內。真空密封件351包括O形環(huán)，該O形環(huán)布置在門框架325的第二凹部中。第二凹部圍繞進入開口324延伸，第一凹部圍繞第二凹部延伸。

頂壁面板323設置有接口盒326，該接口盒包括多個通道，這些通道被布置成用于將數據通信纜線、供電纜線、冷卻水管道和類似物進給到封閉件302中，以用于連接到封閉件302內部的機械。不使用的通道用覆蓋板327密封。在使用時，通道提供用于所述數據通信纜線、供電纜線、冷卻水管道和類似物的不透真空的進給通過。

圖4的例子的基板321布置在基座404的頂部上?；?21布置在所述基座404上的固定和/或剛性位置處。基板321優(yōu)選地由厚的且剛性的金屬(例如鋁)塊制成。基板321包括支撐腿部，該支撐腿部用于將基板321和目標處理機械支撐在基座404上。此外，基座404設置有支撐表面441，該支撐表面與基板321的支撐腿部一起提供基板321在基座404上的運動學安裝，該運動學安裝提供基板321在基座404上的固定的(X，Y，Z)和剛性(Rx，Ry，Rz)的位置。優(yōu)選地，支撐腿部和基板321形成為整體。

為了至少輔助基板321在基座404上的定位，基板321包括引導銷501，基座404包括接納開口502，在封閉件202下降到基座404上期間，該接納開口接納引導銷501。

基座404設置有傳送單元位置442，以用于將傳送單元303布置在該傳送單元位置上，如圖5和12所示。基座404(具體是其傳送單元位置442)包括支撐構件接觸表面443、444。每個所述支撐構件接觸表面443、444被布置成用以接納布置在傳送單元303的底側處的一個支撐構件334，如圖8和10所示。支撐構件334和支撐構件接觸表面443、444被布置成用以在傳送單元303的底側和基座404之間提供固定距離，從而提供傳送單元303在基座404上的固定Z位置。通過使用多個支撐構件334，支撐構件334和支撐構件接觸表面443、444被布置成用以提供圍繞與基板321大致平行地延伸的軸線的固定旋轉取向Rx、Ry，從而提供傳送單元303在基座404上的剛性Rx和剛性Ry位置。

在這里要指出的是，該特定例子的支撐構件334每個都包括球狀物335，該球狀物可旋轉地布置在保持器中。因此，支撐構件334可以用作球軸承，并且允許傳送單元303在基座404的支撐構件接觸表面443、444上進行滾動運動。

為了進一步輔助傳送單元303相對于基板321的精確對準，基板包括處于封閉件302中的進入開口324下方的凹陷部411，如圖9所示。此外，傳送單元303包括插塞336，如圖6、7、8和10所示。插塞336能夠插入到凹陷部411中，以提供傳送單元303相對于基板321的固定位置(X，Y)。要指出的是，插塞也可以布置在基板321上，并且凹陷部可以布置在傳送單元303中，以獲得相同的結果。

此外，基板321包括兩個鄰接構件412，這兩個鄰接構件布置在凹陷部411的兩側處并且與凹陷部411相距一定距離，如圖9所示。傳送單元303包括兩個接觸表面337，這兩個接觸表面布置在插塞336的兩側處并且與插塞336相距一定距離。當傳送單元303布置在基板321的前部中且插塞336插入到凹陷部411中時，鄰接構件412被布置成抵靠接觸表面337，以提供基板321和傳送單元303之間的固定旋轉取向Rz。

為了提供鄰接構件412相對于接觸表面337的期望鄰接，基板321包括具有孔口414的預載構件413，傳送單元303包括具有鉤部339的互補的預載構件338，如圖11所示。當傳送單元303布置在基板321的前部中且插塞336插入到凹陷部411中時，鉤部339被布置成運動到孔口414中，以用于將預載構件414和互補的預載構件338彼此聯接。此外，鉤部339聯接到致動器381，該致動器用于提供預載力，以用于輔助將傳送單元303相對于基板321定位，具體地以便于將鄰接構件412抵靠接觸表面337定位。

因此，在該例子中，通過基板321和傳送單元303之間的對準構件，具體地通過插塞336和凹陷部411以及鄰接構件412和接觸表面337，來提供傳送單元303相對于基板321以及固定地且剛性地定位在所述基板321上的任何機械的X、Y和Rz的對準和定位。經由基板321和傳送單元303在基座404上的安裝和定位，來提供傳送單元303相對于基板321的Z、Rx和Ry的對準和定位。

此外，預載力將門面板332推向封閉件302，具體地抵靠預真空密封件351。這允許封閉件302的內側被排空，以在封閉件302內側獲得減小的空氣壓力。隨后，周圍環(huán)境空氣壓力將門面板332推靠門框架325，具體地推靠真空密封件352。這允許封閉件302的內側進一步被排空，以在封閉件302內側獲得并保持期望的真空。因為門面板332和傳送單元303之間的柔性聯接件333、333'和334被布置成用以允許門面板332相對于傳送單元303優(yōu)選地至少沿著朝向和/或遠離封閉件302的方向Y進行運動，所以由于封閉件302排空而引起的門面板332的運動對傳送單元303相對于基板321對準沒有影響。

在這個例子中，門面板303與側壁面板具有大致相同的尺寸。這允許封閉件302中的大開口324提供容易進入封閉件302內部的通路。

具有門面板332的傳送單元303能夠從封閉件302拆卸，具體地，傳送單元303能夠整體從封閉件302移除，并且能夠利用氣墊331朝向或遠離封閉件302運動。

在一個實施例中，傳送單元303設置有活動部件，例如傳送裝置306，如圖13中的傳送單元303的橫截面所示，活動部件306有助于組件301和/或目標處理機械在封閉件302內的運行。對于該實施例，有利的是使基座404設置有接口單元445，該接口單元布置在傳送單元位置442處。當傳送單元303大致布置在基座404上的傳送單元位置442處時，接口單元445能夠連接到傳送單元303。

接口單元445和/或基座404例如設置有接口單元致動器，以便使接口單元445向上運動到傳送單元303，以提供從接口單元445的導管446(如圖12所示)到傳送單元303中的對應導管310(如圖8所示)的連接。

在圖5、6、7和10所示的例子中，門面板332設置有一個或多個真空泵305，具體是渦輪分子泵，布置在門面板332的背離封閉件302內部的一側處。在真空泵305的位置處，門面板332設置有大開口351，以提供封閉件302的內部與真空泵305之間的流體連接。真空泵305優(yōu)選地經由柔性導管或波紋管連接到一個或多個所述導管310，以便維持門面板332和傳送單元303之間的活動連接。

門面板332相對于傳送單元303的柔性聯接的額外優(yōu)點在于，柔性聯接件能夠吸收來自真空泵305的振動。

因為傳送單元303和基板321的精確對準，所以傳送單元303能夠設置有傳送裝置306，該傳送裝置用于將基質傳送進入和離開封閉件302，例如如WO2012/080278中所述。門面板332設置有經過開口311，傳送裝置306布置在所述傳送單元303上的固定和/或剛性位置處，大致與經過開口311相鄰，如圖6和10所示。傳送裝置306包括裝載鎖定系統，該裝載鎖定系統經由柔性聯接件307，優(yōu)選地經由圖13示意性地示出的真空波紋管連接到門面板332，該真空波紋管圍繞經過開口311連接到門面板332。

應當理解，以上的說明用來圖示優(yōu)選實施例的操作，而并非限制本發(fā)明的范圍。從以上的討論中，許多變型形式對于本領域技術人員而言將是明顯的，且由本發(fā)明的精神和范圍所涵蓋。

概括地說，本發(fā)明涉及用于封閉目標處理機械的組件。所述組件包括封閉件和傳送單元。所述封閉件包括：基板，所述目標處理機械布置在該基板上；側壁面板，其固定到所述基板；以及頂壁面板，其固定到所述側壁面板。此外，封閉件包括處于封閉件的側壁中的進入開口。傳送單元包括用于使傳送單元相對于基板運動的一個或多個傳送元件。傳送單元還包括布置成用于關閉進入開口的門面板，其中門面板借助于柔性聯接件可動地安裝到所述傳送單元，該柔性聯接件允許門面板相對于傳送單元至少沿著朝向和/或遠離封閉件的方向運動。