本發(fā)明涉及一種周邊曝光機(jī)，具體涉及一種周邊曝光機(jī)的傳送機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

周邊曝光機(jī)在完成周邊曝光動(dòng)作后，傳送機(jī)構(gòu)上升將基板傳至顯影單元，基板傳片完成后，傳送機(jī)構(gòu)下降回歸至下限位置。若傳送機(jī)構(gòu)高度異常易導(dǎo)致基板破片，嚴(yán)重的會(huì)造成升降氣缸損壞異常。目前監(jiān)控傳送機(jī)構(gòu)的主要方式是三種：通過(guò)維護(hù)保養(yǎng)時(shí)點(diǎn)檢，測(cè)量傳送機(jī)構(gòu)水平距離平臺(tái)支撐高度；日常點(diǎn)檢，主要用過(guò)目測(cè)觀察是否有異常；正常生產(chǎn)過(guò)程中，通過(guò)升降氣缸高度是否有異常判斷。

上述三種監(jiān)控方式對(duì)應(yīng)存在以下問(wèn)題：

1、通過(guò)維護(hù)保養(yǎng)時(shí)測(cè)量傳送機(jī)構(gòu)距離平臺(tái)支撐的高度來(lái)判斷，需要多人操作，測(cè)量較多點(diǎn)位，維護(hù)保養(yǎng)工時(shí)長(zhǎng)，維護(hù)保養(yǎng)時(shí)間增加；

2、日常點(diǎn)檢時(shí)肉眼觀察誤差較大，反饋籠統(tǒng)，異常不能及時(shí)發(fā)現(xiàn)；

3、如果通過(guò)升降氣缸狀態(tài)監(jiān)控，當(dāng)氣缸狀態(tài)異常報(bào)警時(shí)，此時(shí)氣缸已經(jīng)磨損嚴(yán)重，需及時(shí)更換，無(wú)法及時(shí)發(fā)現(xiàn)傳送機(jī)構(gòu)的異常。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明目的：本發(fā)明的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種周邊曝光傳送機(jī)構(gòu)下垂監(jiān)控裝置及其監(jiān)控方法，能夠及時(shí)、準(zhǔn)確且便捷的發(fā)現(xiàn)傳送機(jī)構(gòu)是否發(fā)生下垂情況并做出報(bào)警。

技術(shù)方案：一種周邊曝光傳送機(jī)構(gòu)下垂監(jiān)控裝置，在傳送機(jī)構(gòu)的兩側(cè)安裝光纖傳感器，所述光纖傳感器設(shè)置在低于傳送機(jī)構(gòu)底面7～12mm且距離傳送機(jī)構(gòu)完全伸出后前端2～4.5cm的位置，所述光纖傳感器將檢測(cè)到的光感信號(hào)發(fā)送給PLC處理單元，PLC處理單元判斷傳送機(jī)構(gòu)發(fā)生下垂并控制觸摸屏進(jìn)行報(bào)警。

進(jìn)一步，所述光纖傳感器的感光度下限為50～100MJ，感度靈敏且可避免誤報(bào)警。

一種周邊曝光傳送機(jī)構(gòu)下垂監(jiān)控裝置的監(jiān)控方法，曝光完成的基板承載于傳送機(jī)構(gòu)上，傳送機(jī)構(gòu)完全伸出后，若傳送機(jī)構(gòu)發(fā)生下垂時(shí)兩側(cè)光纖傳感器的光被遮住，光纖傳感器將檢測(cè)到的光感信號(hào)發(fā)送給PLC處理單元，PLC處理單元將有無(wú)遮擋的光感信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)，當(dāng)出現(xiàn)下垂的數(shù)字信號(hào)時(shí)控制觸摸屏發(fā)出相應(yīng)警報(bào)，傳送機(jī)構(gòu)停止動(dòng)作。

進(jìn)一步，所述PLC處理單元還包括一個(gè)常閉開(kāi)關(guān)，當(dāng)不需要實(shí)時(shí)監(jiān)控下垂或光纖傳感器異常損壞時(shí)，打開(kāi)常閉開(kāi)關(guān)，忽略下垂報(bào)警信號(hào)。

進(jìn)一步，所述PLC處理單元和觸摸屏之間設(shè)有時(shí)間延時(shí)繼電器，時(shí)間設(shè)定為5～6s，當(dāng)發(fā)出下垂報(bào)警時(shí)，在5～6s內(nèi)傳送機(jī)構(gòu)正常工作保證下垂的基板正常傳送出去，5～6s后傳送機(jī)構(gòu)停止工作。

進(jìn)一步，沿傳送機(jī)構(gòu)的長(zhǎng)度方向上設(shè)有多組用于檢測(cè)傳送機(jī)構(gòu)上下偏移量的傳感器，通過(guò)統(tǒng)計(jì)各個(gè)偏移量并計(jì)算出每張基板的平坦度，可發(fā)現(xiàn)基板的異常性變現(xiàn)象。

有益效果：本發(fā)明通過(guò)在曝光機(jī)的傳送機(jī)構(gòu)兩側(cè)設(shè)置光纖傳感器，當(dāng)發(fā)生下垂情況時(shí)光纖傳感器可將光線被遮擋的光感信號(hào)傳遞給PLC處理單元，PLC控制觸摸屏發(fā)出報(bào)警，故可精確了解傳送機(jī)構(gòu)的運(yùn)行狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)發(fā)生下垂現(xiàn)象，防止了基板破片，避免了傳送機(jī)構(gòu)下垂與基板搬入機(jī)構(gòu)相撞的可能性，無(wú)需人力觀察，節(jié)省人力物力的消耗，節(jié)約經(jīng)濟(jì)成本。

附圖說(shuō)明

圖1為周邊曝光機(jī)傳送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明監(jiān)控方法流程圖。

具體實(shí)施方式

下面對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，但是本發(fā)明的保護(hù)范圍不局限于所述實(shí)施例。

實(shí)施例：本實(shí)施例周邊曝光機(jī)的傳送機(jī)構(gòu)1為九根沿水平方向伸出的棒狀支撐桿，如圖1所示，每根支撐桿上設(shè)有若干滾輪，支撐桿上升后將基板通過(guò)滾輪輸送至顯影單元。本發(fā)明防止周邊曝光機(jī)傳送機(jī)構(gòu)1下垂的裝置包括安裝在傳送機(jī)構(gòu)1兩側(cè)的光纖傳感器2，光纖傳感器2設(shè)置在低于傳送機(jī)構(gòu)1底面7mm且距離傳送機(jī)構(gòu)1完全伸出后前端2cm的位置，光纖傳感器2的感光度下限為60MJ。光纖傳感器2通過(guò)時(shí)間繼電器與PLC處理單元相連，PLC處理單元另外連接觸摸屏。

上述裝置的監(jiān)控方法如圖2所示，曝光完成的基板正常搬入承載于傳送機(jī)構(gòu)1上，傳送機(jī)構(gòu)1完全伸出后，光纖傳感器2將檢測(cè)到的光感信號(hào)發(fā)送給PLC處理單元，PLC處理單元將光感信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)。具體的，傳送機(jī)構(gòu)1正常伸出無(wú)發(fā)生下垂現(xiàn)象時(shí)，光纖傳感器2之間的光線不會(huì)被遮擋，此時(shí)，PLC輸出的信號(hào)為0；若傳送機(jī)構(gòu)1發(fā)生下垂，兩側(cè)光纖傳感器2之間的光被遮住，PLC處理單元輸出的數(shù)字信號(hào)為1。出現(xiàn)數(shù)字信號(hào)1時(shí)控制觸摸屏發(fā)出相應(yīng)警報(bào)。由于一片基板正常傳送時(shí)間為3～4s左右，時(shí)間延時(shí)繼電器的時(shí)間設(shè)定為6s，當(dāng)發(fā)出下垂報(bào)警時(shí)，在5～6s內(nèi)傳送機(jī)構(gòu)1正常工作確保下垂的基板正常傳送出去，5～6s后傳送機(jī)構(gòu)1停止工作，不會(huì)接收上游發(fā)過(guò)來(lái)的下一枚基板，保證傳送機(jī)構(gòu)1內(nèi)無(wú)基板，方便觀察人員查看檢查異常。此外，PLC處理單元中還設(shè)有一個(gè)串聯(lián)的常閉信號(hào)，當(dāng)不需要實(shí)時(shí)監(jiān)控下垂或光纖傳感器2異常損壞時(shí)，打開(kāi)常閉信號(hào)，PLC輸出的信號(hào)為始終為0，不會(huì)發(fā)出下垂報(bào)警。

沿傳送機(jī)構(gòu)1的長(zhǎng)度方向上均布有多組用于檢測(cè)傳送機(jī)構(gòu)1上下偏移量的傳感器，通過(guò)統(tǒng)計(jì)各個(gè)偏移量并計(jì)算出每張基板的平坦度，可發(fā)現(xiàn)基板的異常性變現(xiàn)象。