本發(fā)明涉及光刻直寫曝光機及投影顯示技術領域，尤其是涉及一種復眼勻光系統(tǒng)、光學引擎及光源優(yōu)化裝置。

背景技術：

光刻技術是用于在基底表面上印刷具有特征構圖的技術。這樣的基底可用于制造半導體器件、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機械電子芯片、光電子線路芯片等。由于市面上大多數(shù)的印刷電路板(Printed Circuit Board，簡稱PCB板)都為精密線路，普遍的解析能力達到10-20μm量級，因此直接成像(Direct Image，簡稱DI)設備能量的均勻性是影響曝光質(zhì)量的主要因素，但是，現(xiàn)有技術中的復眼勻光系統(tǒng)存在DI曝光時能量分布不均勻，進而導致PCB板報廢率居高不下的問題。

技術實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種復眼勻光系統(tǒng)、光學引擎及光源優(yōu)化裝置，以解決現(xiàn)有技術中復眼勻光系統(tǒng)存在的DI曝光時能量分布不均勻，進而導致PCB板報廢率居高不下的問題。

第一方面，本發(fā)明實施例提供了一種復眼勻光系統(tǒng)，包括第一鏡片組和第二鏡片組，第一鏡片組包括第二鏡片和第三鏡片，第二鏡片組包括第一鏡片和第四鏡片；

平行入射光依次經(jīng)過第一鏡片、第二鏡片、第三鏡片和第四鏡片；

第二鏡片的出光面和第三鏡片的入光面均設有第一復眼透鏡陣列；第一鏡片的入光面和第四鏡片的出光面均設有第二復眼透鏡陣列；第一復眼透鏡陣列垂直于第二復眼透鏡陣列；

第一鏡片的第二復眼透鏡陣列中各小透鏡的焦點與第二鏡片的第一復眼透鏡陣列中對應的小透鏡的光心重合；第三鏡片的第一復眼透鏡陣列中各小透鏡的焦點與第四鏡片的所述第二復眼透鏡陣列中對應的小透鏡的光心重合。

結合第一方面，本發(fā)明實施例提供了第一方面的第一種可能的實施方式，其中，第一復眼透鏡陣列的曲率小于第二復眼透鏡陣列的曲率。

結合第一方面，本發(fā)明實施例提供了第一方面的第二種可能的實施方式，其中，第一復眼透鏡陣列的曲率為1～2mm，第二復眼透鏡陣列的曲率為4.5～5.5mm，優(yōu)選地，第一復眼透鏡陣列的曲率為1.5mm，第二復眼透鏡陣列的曲率為5mm。

結合第一方面，本發(fā)明實施例提供了第一方面的第三種可能的實施方式，其中，第二鏡片貼近第一鏡片；第三鏡片與第二鏡片間的距離為3.05～3.25mm，與第四鏡片間的距離為4.8～5.2mm；本實施方式中，第三鏡片與第二鏡片間的距離優(yōu)選為3.15mm，第三鏡片與第四鏡片間的距離優(yōu)選為5.55mm。

結合第一方面，本發(fā)明實施例提供了第一方面的第四種可能的實施方式，其中，第一復眼透鏡陣列和第二復眼透鏡陣列均為柱面鏡。

第二方面，本發(fā)明實施例還提供了一種光學引擎，包括光源、收光模塊以及第一方面及其可能的實施方式所述的復眼勻光系統(tǒng)，其中，

所述收光模塊包括光闌和透鏡；

所述收光模塊位于所述光源與所述復眼勻光系統(tǒng)之間。

結合第二方面，本發(fā)明實施例提供了第二方面的第一種可能的實施方式，其中，所述光源為激光光源、LED光源、光纖光源、汞燈的任意一種。

結合第二方面，本發(fā)明實施例提供了第二方面的第二種可能的實施方式，其中，光闌為孔徑可調(diào)節(jié)光闌。

第三方面，本發(fā)明實施例還提供了一種光源優(yōu)化裝置，包括光源、光源優(yōu)化模塊以及第一方面及其可能的實施方式所述的復眼勻光系統(tǒng)，其中，

所述光源優(yōu)化模塊包括望遠鏡系統(tǒng)和光闌；

所述望遠鏡系統(tǒng)為第一透鏡和第二透鏡構成的透鏡組；

所述光闌位于所述第一透鏡和所述第二透鏡之間。

結合第三方面，本發(fā)明實施例提供了第三方面的第一種可能的實施方式，其中，

所述光源為激光光源。

本發(fā)明實施例帶來了以下有益效果：

平行入射光依次經(jīng)過第一鏡片、第二鏡片、第三鏡片和第四鏡片，第一復眼透鏡陣列垂直于第二復眼透鏡陣列，且第一鏡片的第二復眼透鏡陣列中各小透鏡的焦點與第二鏡片的第一復眼透鏡陣列中對應的小透鏡的光心重合；第三鏡片的第一復眼透鏡陣列中各小透鏡的焦點與第四鏡片的第二復眼透鏡陣列中對應的小透鏡的光心重合，使通過第一鏡片后的每個細光束范圍內(nèi)的微小不均勻性得到多次補償，實現(xiàn)對光線的有效均勻化，從而在曝光時能夠獲得所需要的均勻能量。

本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本發(fā)明而了解。本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點在說明書、權利要求書以及附圖中所特別指出的結構來實現(xiàn)和獲得。

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附附圖，作詳細說明如下。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明具體實施方式或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對具體實施方式或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實施方式，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實施例1提供的復眼勻光系統(tǒng)示意圖；

圖2為本發(fā)明實施例1提供的復眼勻光系統(tǒng)中的第一(第二)復眼透鏡陣列的結構示意圖；

圖3為本發(fā)明實施例2提供的光學引擎的結構示意圖；

圖4為本發(fā)明實施例2提供的光學引擎的光闌結構示意圖；

圖5為本發(fā)明實施例3提供的光源優(yōu)化裝置的示意圖。

圖標：01-平行入射光；02-均勻出射光；03-光束；1-第一鏡片組；11-第二鏡片；12-第三鏡片；13-第一復眼透鏡陣列；2-第二鏡片組；21-第一鏡片；22-第四鏡片；23-第二復眼透鏡陣列；3-光闌；4-透鏡；5-光源；6-望遠鏡系統(tǒng)；61-第一透鏡；62-第二透鏡。

具體實施方式

為使本發(fā)明實施例的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合附圖對本發(fā)明的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

目前的復眼勻光系統(tǒng)存在DI曝光時能量分布不均勻的問題，基于此，本發(fā)明實施例提供的一種復眼勻光系統(tǒng)、光學引擎及光源優(yōu)化裝置，可以實現(xiàn)光線的有效均勻化，最后曝光時能夠獲得所需要的均勻能量。

為便于對本實施例進行理解，首先對本發(fā)明實施例所公開的一種復眼勻光系統(tǒng)進行詳細介紹。

實施例1

如圖1所示，本發(fā)明提供的復眼勻光系統(tǒng)，包括第一鏡片組1和第二鏡片組2，第一鏡片組1包括第二鏡片11和第三鏡片12，第二鏡片組2包括第一鏡片21和第四鏡片22。

平行入射光01依次經(jīng)過第一鏡片21、第二鏡片11、第三鏡片12和第四鏡片22。

第二鏡片11的出光面和第三鏡片12的入光面均設有第一復眼透鏡陣列13；第一鏡片21的入光面和第四鏡片22的出光面均設有第二復眼透鏡陣列23；第一復眼透鏡陣列13垂直于第二復眼透鏡陣列23。

第一鏡片21的第二復眼透鏡陣列23中各小透鏡的焦點與第二鏡片11的第一復眼透鏡陣列13中對應的小透鏡的光心重合；第三鏡片12的第一復眼透鏡陣列13中各小透鏡的焦點與第四鏡片22的所述第二復眼透鏡陣列23中對應的小透鏡的光心重合。

平行入射光01依次經(jīng)過第一鏡片21、第二鏡片11、第三鏡片12和第四鏡片22，第一復眼透鏡陣列13垂直于第二復眼透鏡陣列23，且第一鏡片21的第二復眼透鏡陣列23中各小透鏡的焦點與第二鏡片11的第一復眼透鏡陣列13中對應的小透鏡的光心重合；第三鏡片12的第一復眼透鏡陣列13中各小透鏡的焦點與第四鏡片22的第二復眼透鏡陣列23中對應的小透鏡的光心重合，使通過第一鏡片21后的每個細光束范圍內(nèi)的微小不均勻性得到多次補償，實現(xiàn)對光線的有效均勻化，從而在曝光時能夠獲得所需要的均勻能量。

其中，第一復眼透鏡陣列13的曲率小于第二復眼透鏡陣列23的曲率，第一復眼透鏡陣列13的曲率為1～2mm，第二復眼透鏡陣列23的曲率為4.5～5.5mm。對應第一鏡片組1鏡片和第二鏡片組2鏡片的曲率，第二鏡片11貼近第一鏡片21；第三鏡片12與第二鏡片11間的距離為3.05～3.25mm，第三鏡片12與第四鏡片22間的距離為4.8～5.2mm。

如圖2所示，第一復眼透鏡陣列13和第二復眼透鏡陣列23均采用柱面鏡，柱面鏡便于不同鏡片之間光軸的調(diào)節(jié)與對齊，從而降低了加工難度和成本，提高了出射光的均勻性。

作為本實施例的優(yōu)選實施方式，第一鏡片組1鏡片的曲率優(yōu)選為5mm，第二鏡片組2鏡片的曲率優(yōu)選為1.5mm，第二鏡片11貼近第一鏡片21，第二鏡片11和第三鏡片12之間的距離為3.15mm，第三鏡片12和第四鏡片22之間的距離為5mm，且復眼透鏡陣列中透鏡的大小為10mm×10mm×1.2mm，Pitch＝0.5mm。

實施例2

在一臺DI設備中往往包含了兩個以上類似的光學引擎，光學引擎為DI提供光能來源，光學引擎后還會經(jīng)過一系列的光學元器件，光學引擎自身差異及后續(xù)光學器件的差異會造成到達曝光面工作臺的能量差異。該光學引擎可以調(diào)整這種差異，并不影響設備其他性能。

DI設備大多采用DMD成像技術，限于DMD畫幅的大小，一臺DI設備中往往需要多個同樣的光學鏡頭模塊，這就對每個鏡頭模塊中包含的光學引擎提出了較高的要求，要求光學引擎性能穩(wěn)定，能量靈活可調(diào)。最終保證DI成像曝光區(qū)域的范圍內(nèi)能量均勻一致。本發(fā)明提供了一種光學引擎可調(diào)節(jié)能量大小。

本發(fā)明提供了一種光學引擎，為直寫成像設備提供均勻整形的，穩(wěn)定可靠的，能量大小可以無級調(diào)整的能量引擎，可以解決DI設備中各個曝光位置能量量不均勻而引起的產(chǎn)品良率問題。

如圖3所示，本實施例提供了一種光學引擎，用于直寫成像設備(Direct Imaging，簡稱DI)的光學引擎裝置。與現(xiàn)有技術相比該引擎，能夠在硬件上無級調(diào)節(jié)能量大小，并且不會引起照明均勻性、數(shù)值孔徑的變化。

該光學引擎包括光源5、收光模塊以及實施例1中的復眼勻光系統(tǒng)，其中，

收光模塊包括光闌3和透鏡4；

收光模塊位于光源5與復眼勻光系統(tǒng)之間。

進一步的是，光源5適用于激光光源、LED光源、光纖光源、汞燈等，適用的光源范圍很廣，優(yōu)選的是，光源5為激光光源。

優(yōu)選的是，光闌3為孔徑可調(diào)節(jié)光闌，結構見圖4，最大孔徑為Dmax，最小孔徑為Dmin，通過調(diào)節(jié)可以使孔徑在Dmax和Dmin之間無級變化，其中Dmin可以為零。

光闌3的孔徑可以通過手動或電動調(diào)節(jié)，光闌3置于復眼勻光系統(tǒng)之前，光闌3孔徑的改變只減少了進入勻光模塊的光線的多少，進入的光束仍然完成了勻光與整形，保證了光學性能穩(wěn)定，同時調(diào)整了能量大小。

光源5為激光光源，采用波長為405nm激光器，采用的光纖通道技術(Fiber Channel，簡稱FC)接口方式提供385～405nm的光源，光纖端面直徑為0.49mm，數(shù)值孔徑(Numerical Aperture，簡稱NA)為0.2的半導體激光器8，即激光二極管(Laser Diode，簡稱LD)。

通過光源5出射的光束03入射到孔徑可調(diào)節(jié)光闌3上，未被光闌3阻擋的光束03會繼續(xù)通過，入射到透鏡4上，透鏡4為準直透鏡，進一步的是，準直透鏡4前鏡曲率范圍是31.775～35.775mm，后鏡曲率范圍是-17.986～13.986mm，本實施例中透鏡4的前鏡曲率優(yōu)選為33.775mm，后鏡曲率優(yōu)選為-15.986mm，半高為9mm，厚度5mm，激光光源5的激光經(jīng)過準直透鏡4后形成的光斑大小與復眼尺寸大小相同，以免復眼系統(tǒng)出現(xiàn)“旁瓣”現(xiàn)象，導致能量不均勻。

光源5發(fā)射的光束03入射到孔徑可調(diào)節(jié)光闌3上，未被光闌3阻擋的光束03會繼續(xù)傳播，入射到透鏡4上，經(jīng)過透鏡4后光束傳播方向會發(fā)生改變，變成準直光束，即平行入射光01，平行入射光01通過實施例1中的復眼勻光系統(tǒng)，以均勻出射光02照射到被照明物體上。

通過調(diào)節(jié)光闌3，改變其孔徑大小，可以控制到達透鏡4的光束03的大小，通過透鏡4的平行入射光01仍然不受干擾的通過了復眼勻光系統(tǒng)，所以改變光闌3，只會影響到到達被照明物體的能量大小，不會影響其光學性能，如均勻性、面積大小、入射角度大小及數(shù)值孔徑。

實施例3

在一臺DI設備中往往包含了兩個以上類似的光源優(yōu)化裝置，該光源優(yōu)化裝置為DI提供光能來源，該光源優(yōu)化裝置后還會經(jīng)過一系列的光學元器件，該光源優(yōu)化裝置自身差異及后續(xù)光學器件的差異會造成到達曝光面工作臺的成像質(zhì)量差異。該光源優(yōu)化裝置可以優(yōu)化這種差異，并不影響設備其他性能。

DI設備涉及DMD投影技術以及光學成像系統(tǒng)，光成像中，不同波長的成像質(zhì)量有一定的差異，若光源波長帶寬足夠窄，則成像質(zhì)量更好，這就對到達成像系統(tǒng)前的光源有了較高要求。要求光源波長單一且性能穩(wěn)定，最終保證DI投影到曝光區(qū)域的像的質(zhì)量良好，為此本發(fā)明實施例提供了一種光源優(yōu)化裝置。

如圖5所示，本實施例提供了一種光源優(yōu)化裝置，包括光源5、光源優(yōu)化模塊以及實施例1中的復眼勻光系統(tǒng)，其中，

光源優(yōu)化模塊包括望遠鏡系統(tǒng)6和光闌3；

望遠鏡系統(tǒng)6為第一透鏡61和第二透鏡62構成的透鏡組；

光闌3位于第一透鏡61和第二透鏡62之間。

進一步的是，光源5適用于激光光源等帶寬較窄的光源，光源5為激光光源，適應脈沖或連續(xù)激光光源，包括固定激光器，半導體激光器等，優(yōu)選的是，光源5為半導體激光器。

需要說明的是，根據(jù)光源5的帶寬來選擇光闌3的孔徑的大小，即光闌3是與光源5特性(波長、光斑)相對應的。

光源5為激光光源，通過光源5出射的光束03入射到第一透鏡61上，經(jīng)聚焦后到達焦點處的光闌3上，經(jīng)過光闌3衍射后到達第二透鏡62，通過調(diào)整第二透鏡62的位置，只允許艾里斑被第二透鏡62收集，且該光束成為準直光束，即平行入射光01，平行入射光01通過復眼勻光系統(tǒng)后，以均勻出射光02照射到被照明物體上。

根據(jù)光源選擇合適的光闌3，可以將不需要的熒光過濾掉，從而使得到達勻光模塊的光束單一性更好。

光闌3孔徑的值應為與光源波長一個量級的大小，光闌3的作用是對傳輸?shù)墓馐M行了過濾，使得光源更單一，減少了熒光的干擾。為濾去周圍的雜散光和熒光，由第一透鏡61聚焦，在第一透鏡61的焦點處加光闌3，然后再通過第二透鏡62，使其焦點與第一個焦點重合。

半導體激光器發(fā)出的光束03依次經(jīng)過光源優(yōu)化模塊以及復眼勻光系統(tǒng)。

光源5發(fā)出的光束03經(jīng)過光源優(yōu)化模塊收集，光源優(yōu)化模塊中包含了望遠鏡系統(tǒng)6的第一透鏡61和第二透鏡62，以及光闌3。通過光源優(yōu)化模塊的光線進入勻光系統(tǒng)，勻光系統(tǒng)可以使用復眼勻光系統(tǒng)或方棒(即圓柱形)勻光系統(tǒng)，本實施例為復眼勻光系統(tǒng)，通過復眼勻光系統(tǒng)的光束符合既定的均勻性、面積大小、入射角度大小及數(shù)值孔徑以及單一性要求。

半導體激光器發(fā)出的光束03通過光源優(yōu)化模塊形成平行入射光01，平行入射光01的光斑大小與復眼尺寸大小相同，平行入射光01依次通過復眼勻光系統(tǒng)的第一鏡片21、第二鏡片11、第三鏡片12和第四鏡片22，實現(xiàn)了對光源的有效勻光，并輸出均勻出射光02，繼而對DI最后曝光的能量做到有效均勻化，降低了PCB板的報廢率。

優(yōu)選地，光源5采用波長為405nm激光器，采用的光纖通道技術(Fiber Channel，簡稱FC)接口方式提供385～405nm的光源，光纖端面直徑為0.49mm，數(shù)值孔徑(Numerical Aperture，簡稱NA)為0.2的半導體激光器，即激光二極管(Laser Diode，簡稱LD)；第二透鏡62前鏡曲率范圍是31.775～35.775mm，后鏡曲率范圍是-17.986～13.986mm，本實施例中準直透鏡7的前鏡曲率優(yōu)選為33.775mm，后鏡曲率優(yōu)選為-15.986mm，半高為9mm，厚度5mm，激光器的激光經(jīng)過第二透鏡62后形成的光斑大小與復眼尺寸大小相同，以免復眼系統(tǒng)出現(xiàn)“旁瓣”現(xiàn)象，導致能量不均勻。

本發(fā)明實施例提供的光源優(yōu)化裝置，與上述實施例提供的光學引擎及復眼勻光系統(tǒng)具有相同的技術特征，所以也能解決相同的技術問題，達到相同的技術效果。

此外，該光源優(yōu)化裝置還可以解決DI設備中由于光源中含熒光比重較大而引起的解析不良導致產(chǎn)品良率的問題。

所屬領域的技術人員可以清楚地了解到，為描述的方便和簡潔，上述描述的系統(tǒng)和裝置的具體工作過程，可以參考前述方法實施例中的對應過程，在此不再贅述。

另外，在本發(fā)明實施例的描述中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本發(fā)明中的具體含義。

在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，術語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。此外，術語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

最后應說明的是：以上所述實施例，僅為本發(fā)明的具體實施方式，用以說明本發(fā)明的技術方案，而非對其限制，本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，盡管參照前述實施例對本發(fā)明進行了詳細的說明，本領域的普通技術人員應當理解：任何熟悉本技術領域的技術人員在本發(fā)明揭露的技術范圍內(nèi)，其依然可以對前述實施例所記載的技術方案進行修改或可輕易想到變化，或者對其中部分技術特征進行等同替換；而這些修改、變化或者替換，并不使相應技術方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明實施例技術方案的精神和范圍，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應所述以權利要求的保護范圍為準。