1.一種基于硅波導(dǎo)—石墨烯的可調(diào)諧波導(dǎo)光柵，包括襯底(1)，其特征在于，所述襯底上設(shè)置有脊形硅波導(dǎo)，脊形硅波導(dǎo)包括脊區(qū)下半部分波導(dǎo)(2)和脊區(qū)上半部分矩形波導(dǎo)(14)，脊區(qū)下半部分波導(dǎo)(2)覆蓋有包層(3)，脊區(qū)下半部分波導(dǎo)(2)上從下至上依次設(shè)置有第一隔離介質(zhì)層(5)、第一石墨烯層(6)、第三隔離介質(zhì)層(8)、第二石墨烯層(9)、第五隔離介質(zhì)層(11)，第五隔離介質(zhì)層(11)上設(shè)置脊區(qū)上半部分矩形波導(dǎo)(14)；
第一石墨烯層(6)與第二石墨烯層(9)均為叉指電極結(jié)構(gòu)，并通過電極引出，叉指電極結(jié)構(gòu)的叉指等間距周期設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于硅波導(dǎo)—石墨烯的可調(diào)諧波導(dǎo)光柵，其特征在于，所述第一石墨烯層(6)和第二石墨烯層(9)的材料為單層石墨烯。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于硅波導(dǎo)—石墨烯的可調(diào)諧波導(dǎo)光柵，其特征在于，叉指電極結(jié)構(gòu)的叉指(15)沿波導(dǎo)光傳輸方向周期分布。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于硅波導(dǎo)—石墨烯的可調(diào)諧波導(dǎo)光柵，其特征在于，所述第一隔離介質(zhì)層(5)、第三隔離介質(zhì)層(8)、五隔離介質(zhì)層(11)均為絕緣層。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于硅波導(dǎo)—石墨烯的可調(diào)諧波導(dǎo)光柵，其特征在于，所述絕緣層為硅氧化物、硅氮氧化物或硼氮化物。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于硅波導(dǎo)—石墨烯的可調(diào)諧波導(dǎo)光柵，其特征在于，所述電極(12)的材料為金、銀、鉑或銅。