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      一種吸收式光學(xué)低通濾波器的制作方法

      文檔序號:11052635閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種吸收式光學(xué)低通濾波器,包括水晶基片,其特征在于:所述水晶基片的一側(cè)表面上設(shè)有具有可見光吸收特性的涂覆膠層,涂覆膠層上設(shè)有減反射膜層,所述水晶基片的另一側(cè)表面上設(shè)有紅外截止膜層;所述水晶基片的厚度為0.20-3.0mm,涂覆膠層的厚度為1-100μm,減反射膜層的厚度0.2-0.6μm,紅外截止膜層的厚度在3-8μm;所述減反射膜層的層數(shù)在5-12層,減反射膜層為高折射率薄膜和低折射率薄膜交替堆疊而成;所述紅外截止膜層的層數(shù)在41-51層,紅外截止膜層為高折射率薄膜和低折射率薄膜交替堆疊而成。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種吸收式光學(xué)低通濾波器,其特征在于:所述涂覆膠層的可見光吸收波段在380-760nm,最高透光率T>90%。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種吸收式光學(xué)低通濾波器,其特征在于:高折射率薄膜為TiO2薄膜、Ti3O5薄膜、ZrO2薄膜、Ta3O5薄膜、H4薄膜中的一種。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種吸收式光學(xué)低通濾波器,其特征在于:所述低折射率薄膜為SiO2薄膜、MgF2薄膜中的一種。

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