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      一種低直流漂移的鈮酸鋰薄膜強(qiáng)度調(diào)制器的制作方法

      文檔序號(hào):11661738閱讀:來源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種低直流漂移的鈮酸鋰薄膜強(qiáng)度調(diào)制器,包括:基底晶片(5)、鈮酸鋰薄膜(6)、光學(xué)波導(dǎo)(2)、調(diào)制電極(4)、直流偏壓電極(7),所述基底晶片(5)為石英晶片;所述鈮酸鋰薄膜(6)具有單晶結(jié)構(gòu),晶體切向?yàn)閄切Y傳;所述光學(xué)波導(dǎo)(2)為鈦擴(kuò)散波導(dǎo)或退火質(zhì)子交換波導(dǎo);所述調(diào)制電極(4)為推挽型行波式電極結(jié)構(gòu);所述直流偏壓電極(7)為推挽型集總式電極結(jié)構(gòu)。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低直流漂移的鈮酸鋰薄膜強(qiáng)度調(diào)制器,其特征在于,所述基底晶片(5)的厚度為0.1mm至2mm,采用具有低介電常數(shù)的材料。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種低直流漂移的鈮酸鋰薄膜強(qiáng)度調(diào)制器,其特征在于,所述具有低介電常數(shù)的材料為石英晶片或硅基二氧化硅晶片。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低直流漂移的鈮酸鋰薄膜強(qiáng)度調(diào)制器,其特征在于,所述鈮酸鋰薄膜(6)的厚度為1μm至20μm。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低直流漂移的鈮酸鋰薄膜強(qiáng)度調(diào)制器,其特征在于,所述光學(xué)波導(dǎo)(2)的波導(dǎo)擴(kuò)散寬度為1μm至10μm,擴(kuò)散深度為1μm至10μm。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低直流漂移的鈮酸鋰薄膜強(qiáng)度調(diào)制器,其特征在于,所述調(diào)制電極(4)由一根信號(hào)電極(4-1)與兩根地電極(4-2)組成,其中信號(hào)電極(4-1)置于光學(xué)波導(dǎo)(2)的中間,兩根地電極(4-2)分置于光學(xué)波導(dǎo)(2)的左側(cè)和右側(cè)。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低直流漂移的鈮酸鋰薄膜強(qiáng)度調(diào)制器,其特征在于,所述調(diào)制電極(4)的厚度為1μm至30μm,信號(hào)電極(4-1)的寬度為10μm至100μm,地電極(4-2)與信號(hào)電極(4-1)的邊緣之間的間距為10μm至30μm。

      8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低直流漂移的鈮酸鋰薄膜強(qiáng)度調(diào)制器,其特征在于,所述直流偏壓電極(7)的厚度為0.1μm至30μm。

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