本發(fā)明涉及顯影液管理技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種顯影液循環(huán)管理方法。
背景技術(shù)：
隨著智能手機(jī)、平板電腦等產(chǎn)品的不斷發(fā)展，薄膜晶體管(Thin Film Transistor，TFT)的液晶顯示器得到越來(lái)越廣泛的應(yīng)用，并促使各大廠商積極地進(jìn)行產(chǎn)品的研發(fā)與制造。液晶顯示器主要包括玻璃基板、液晶、驅(qū)動(dòng)電路單元、背光燈模組和其他附件等幾部分。
其中，當(dāng)將其他部件安裝至玻璃基板之前，需要對(duì)玻璃基板進(jìn)行刻蝕處理，以得到刻蝕區(qū)域，便于安裝其他部件。在對(duì)玻璃基本刻蝕操作前，需要對(duì)玻璃基板上設(shè)置保護(hù)層，之后對(duì)保護(hù)層進(jìn)行顯影操作，顯影操作中需要使用顯影液，即將玻璃基板放入至容置有顯影液的顯影設(shè)備中，待玻璃基板從顯影設(shè)備的進(jìn)板端運(yùn)動(dòng)至顯影設(shè)備的出版端時(shí)，則玻璃基板完成顯影操作。
眾所周知，顯影設(shè)備不可能達(dá)到100％的稼動(dòng)率，其中，稼動(dòng)率是指一臺(tái)機(jī)器設(shè)備實(shí)際的生產(chǎn)數(shù)量與可能的生產(chǎn)數(shù)量的比值，因此，基于種種因素，顯影設(shè)備總存在非生產(chǎn)狀態(tài)，亦即在非生產(chǎn)狀態(tài)下，未對(duì)玻璃基板進(jìn)行顯影操作。
然而，在非生產(chǎn)狀態(tài)下，即顯影設(shè)備處于停機(jī)狀態(tài)時(shí)，則位于顯影設(shè)備的顯影液噴頭附近的顯影液會(huì)發(fā)生蒸發(fā)，殘留的物質(zhì)會(huì)形成結(jié)晶物質(zhì)，這些結(jié)晶物質(zhì)會(huì)導(dǎo)致顯影液噴頭發(fā)生堵塞問(wèn)題，并且，顯影操作所使用的堿性顯影液長(zhǎng)時(shí)間靜置則會(huì)在與顯影液噴頭連通的顯影液輸送管道內(nèi)產(chǎn)生水垢，不利于清潔，堵塞問(wèn)題嚴(yán)重時(shí)，甚至影響正常的顯影液輸送功能。
進(jìn)一步地，顯影設(shè)備處于生產(chǎn)狀態(tài)時(shí)，為保證顯影后的玻璃基板的品質(zhì)穩(wěn)定性，會(huì)采用比較高的顯影液更換頻率，若在非生產(chǎn)狀態(tài)時(shí)采用與生產(chǎn)狀態(tài)同樣的更換頻率，則又會(huì)導(dǎo)致顯影液浪費(fèi)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
基于此，有必要提供一種能夠減輕顯影液噴頭和顯影液管道堵塞問(wèn)題，以及能夠節(jié)省顯影液用量的顯影液循環(huán)管理方法。
一種顯影液循環(huán)管理方法，應(yīng)用于顯影設(shè)備中，所述顯影設(shè)備包括顯影腔室、顯影液噴頭、兩個(gè)顯影液儲(chǔ)存槽，所述顯影液噴頭安裝于所述顯影腔室內(nèi)，包括如下步驟：
工作步驟：根據(jù)預(yù)設(shè)更換頻率交替更換兩個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽，使兩個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽中的其中一個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽與所述顯影液噴頭連通，未與所述顯影液噴頭連通的另一個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液廢液排空操作，并進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作，將最后一個(gè)進(jìn)行新液補(bǔ)充操作后的所述顯影液儲(chǔ)存槽定義為待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽，則另一個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽定義為空閑顯影液儲(chǔ)存槽；
待機(jī)步驟：使所述顯影液噴頭與所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽連通；
過(guò)渡步驟：向所述空閑顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作，對(duì)所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液廢液排空操作，并進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，順序循環(huán)執(zhí)行所述工作步驟、所述待機(jī)步驟和所述過(guò)渡步驟。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述預(yù)設(shè)更換頻率根據(jù)在預(yù)設(shè)時(shí)間內(nèi)，所述顯影液儲(chǔ)存槽中的顯影液的液位變化值和pH變化值得到。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述顯影液的液位變化值采用如下步驟得到：
采用液位傳感器測(cè)量得到所述顯影液儲(chǔ)存槽的顯影液的初始液位值，待所述預(yù)設(shè)時(shí)間后，再采用所述液位傳感器測(cè)量得到所述顯影液儲(chǔ)存槽的顯影液的當(dāng)前液位值，所述顯影液儲(chǔ)存槽中的顯影液的液位變化值等于所述顯影液儲(chǔ)存槽的顯影液的初始液位值與所述顯影液儲(chǔ)存槽的顯影液的當(dāng)前液位值之差。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述顯影液的pH變化值采用如下步驟得到：
采用pH測(cè)量?jī)x測(cè)量得到所述顯影液儲(chǔ)存槽的顯影液的初始pH值，待所述預(yù)設(shè)時(shí)間后，再采用所述pH測(cè)量?jī)x測(cè)量得到所述顯影液儲(chǔ)存槽的顯影液的當(dāng)前pH值，所述顯影液儲(chǔ)存槽中的顯影液的pH變化值等于所述顯影液儲(chǔ)存槽的顯影液的初始pH值與所述顯影液儲(chǔ)存槽的顯影液的當(dāng)前pH值之差。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，對(duì)所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液廢液排空操作，并進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作具體包括如下步驟：
所述顯影腔室接收并響應(yīng)暫停信號(hào)，用于控制玻璃基板停止進(jìn)入至所述顯影腔室內(nèi)；
使所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽與所述顯影液噴頭斷開(kāi)；
對(duì)所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行廢液排空操作；
向所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作；
將所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽重新與所述顯影液噴頭連通；
所述顯影腔室接收并響應(yīng)工作信號(hào)，用于控制玻璃基板重新進(jìn)入至所述待機(jī)顯影腔室內(nèi)。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，在排空時(shí)間內(nèi)對(duì)所述顯影液儲(chǔ)存槽執(zhí)行廢液排空操作，所述排空時(shí)間根據(jù)所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽的總?cè)萘亢退龃龣C(jī)顯影液儲(chǔ)存槽的廢液排出流量得到。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述待機(jī)步驟的持續(xù)時(shí)間根據(jù)如下函數(shù)得到，
t＝a*T，
其中，t為待機(jī)步驟的持續(xù)時(shí)間，a為所述顯影設(shè)備的稼動(dòng)率，T為所述顯影設(shè)備的負(fù)荷時(shí)間。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述顯影設(shè)備還包括顯影液新液供給系統(tǒng)，采用所述顯影液新液供給系統(tǒng)用于給顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作。
在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述顯影液儲(chǔ)存槽與所述顯影液噴頭之間的連通管道通過(guò)閥門以實(shí)現(xiàn)連通或斷開(kāi)操作。
上述顯影液循環(huán)管理方法根據(jù)顯影設(shè)備自身存在稼動(dòng)率的特性，在工作步驟、待機(jī)步驟和過(guò)渡步驟中，巧妙地調(diào)節(jié)兩個(gè)顯影液儲(chǔ)存槽與顯影液噴頭的關(guān)系，能夠減輕顯影液噴頭和顯影液管道堵塞問(wèn)題，以及能夠節(jié)省顯影液用量。
附圖說(shuō)明
圖1為本發(fā)明一實(shí)施方式的顯影液循環(huán)管理方法的步驟流程圖。
具體實(shí)施方式
為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式做詳細(xì)的說(shuō)明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明。但是本發(fā)明能夠以很多不同于在此描述的其它方式來(lái)實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類似改進(jìn)，因此本發(fā)明不受下面公開(kāi)的具體實(shí)施的限制。
需要說(shuō)明的是，所述顯影液循環(huán)管理方法應(yīng)用于顯影設(shè)備中，用于對(duì)顯影設(shè)備中的顯影液工作進(jìn)行管理，其中，所述顯影設(shè)備包括顯影腔室、顯影液噴頭、兩個(gè)顯影液儲(chǔ)存槽，所述顯影液噴頭安裝于所述顯影腔室內(nèi)，所述顯影液噴頭會(huì)與兩個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽中一個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽連通，并且所述顯影液噴頭會(huì)與兩個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽中另一個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽斷開(kāi)，即所述顯影液噴頭在噴液操作時(shí)，只會(huì)與一個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽連通。例如，所述顯影液噴頭用于向所述顯影腔室內(nèi)的玻璃基板進(jìn)行噴液操作，以使位于顯影腔室內(nèi)的玻璃基板與顯影液接觸，實(shí)現(xiàn)顯影操作。
如圖1所示，其為本發(fā)明一實(shí)施方式的顯影液循環(huán)管理方法步驟流程圖，包括如下步驟：
步驟S110：工作步驟：根據(jù)預(yù)設(shè)更換頻率交替更換兩個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽，使兩個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽中的其中一個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽與所述顯影液噴頭連通，未與所述顯影液噴頭連通的另一個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液廢液排空操作，并進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作，將最后一個(gè)進(jìn)行新液補(bǔ)充操作后的所述顯影液儲(chǔ)存槽定義為待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽，則另一個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽定義為空閑顯影液儲(chǔ)存槽。
根據(jù)預(yù)設(shè)更換頻率交替使兩個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽中的其中一個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽與所述顯影液噴頭連通，未與所述顯影液噴頭連通的另一個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液廢液排空操作，并進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作，這樣，當(dāng)兩個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽中的其中一個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽中的顯影液在所述顯影液儲(chǔ)存槽-所述顯影液噴頭-所述顯影腔室的路徑中進(jìn)行多次循環(huán)流通后，會(huì)發(fā)生一定的揮發(fā)，致使顯影液的濃度下降，并且顯影液也會(huì)混入較多從玻璃基板上剝離的雜質(zhì)，即該顯影液儲(chǔ)存槽內(nèi)的顯影液為顯影液廢液，繼續(xù)使用會(huì)影響玻璃基板的蝕刻工藝品質(zhì)，因此需要對(duì)該顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液新液更換操作，此時(shí)，斷開(kāi)該顯影液儲(chǔ)存槽與所述顯影液噴頭的連通關(guān)系，同時(shí)，并使所述顯影液噴頭與兩個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽中的另一個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽連通，重新與所述顯影液噴頭連通的所述顯影液儲(chǔ)存槽中的顯影液為顯影液新液，以在確保玻璃基板蝕刻工藝品質(zhì)的同時(shí)，還能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)性地蝕刻操作。接著，對(duì)容置有顯影液廢液的所述顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液廢液排空操作，并進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作，便于待正在與所述顯影液噴頭連通的所述顯影液儲(chǔ)存槽內(nèi)的顯影液成為廢液后進(jìn)行更換，亦即，根據(jù)預(yù)設(shè)更換頻率交替使兩個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽與所述顯影液噴頭連通，以實(shí)現(xiàn)連續(xù)式循環(huán)蝕刻操作，并且還能夠確保玻璃板的蝕刻品質(zhì)。
一實(shí)施方式中，所述預(yù)設(shè)更換頻率根據(jù)在預(yù)設(shè)時(shí)間內(nèi)，所述顯影液儲(chǔ)存槽中的顯影液的液位變化值和pH變化值得到，可以理解，根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)情況，顯影液自身品質(zhì)的下降與所述顯影液儲(chǔ)存槽中的顯影液的液位值和pH值緊密相關(guān)，針對(duì)所述顯影設(shè)備的差異性以及玻璃基板的蝕刻強(qiáng)度差異，所述顯影液儲(chǔ)存槽的容積、所述玻璃基板的面積等等因素，所述預(yù)設(shè)更換頻率需要根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)情況進(jìn)行調(diào)節(jié)，以貼合實(shí)際生產(chǎn)情況，既能夠提高對(duì)玻璃基板的蝕刻品質(zhì)，同時(shí)又能夠使顯影液有效利用率最大化；又如，所述顯影液的液位變化值采用如下步驟得到：采用液位傳感器測(cè)量得到所述顯影液儲(chǔ)存槽的顯影液的初始液位值，待所述預(yù)設(shè)時(shí)間后，再采用所述液位傳感器測(cè)量得到所述顯影液儲(chǔ)存槽的顯影液的當(dāng)前液位值，所述顯影液儲(chǔ)存槽中的顯影液的液位變化值等于所述顯影液儲(chǔ)存槽的顯影液的初始液位值與所述顯影液儲(chǔ)存槽的顯影液的當(dāng)前液位值之差；又如，所述顯影液的pH變化值采用如下步驟得到：采用pH測(cè)量?jī)x測(cè)量得到所述顯影液儲(chǔ)存槽的顯影液的初始pH值，待所述預(yù)設(shè)時(shí)間后，再采用所述pH測(cè)量?jī)x測(cè)量得到所述顯影液儲(chǔ)存槽的顯影液的當(dāng)前pH值，所述顯影液儲(chǔ)存槽中的顯影液的pH變化值等于所述顯影液儲(chǔ)存槽的顯影液的初始pH值與所述顯影液儲(chǔ)存槽的顯影液的當(dāng)前pH值之差。
一實(shí)施方式中，所述顯影設(shè)備還包括顯影液新液供給系統(tǒng)，采用所述顯影液新液供給系統(tǒng)用于給顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作，這樣，能夠確保對(duì)兩個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽實(shí)現(xiàn)交替式顯影液新液補(bǔ)充操作；又如，所述顯影液儲(chǔ)存槽與所述顯影液噴頭之間的連通管道通過(guò)閥門以實(shí)現(xiàn)連通或斷開(kāi)操作，這樣，能夠?qū)崿F(xiàn)所述顯影液噴頭與兩個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽的交替連通操作，例如，當(dāng)使兩個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽中的其中一個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽與所述顯影液噴頭連通時(shí)，則使兩個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽中的另一個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽與所述顯影液噴頭斷開(kāi)。
步驟S120：待機(jī)步驟：使所述顯影液噴頭與所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽連通。
通過(guò)上述步驟S110中，將最后一個(gè)進(jìn)行新液補(bǔ)充操作后的所述顯影液儲(chǔ)存槽定義為待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽，則另一個(gè)所述顯影液儲(chǔ)存槽定義為空閑顯影液儲(chǔ)存槽，能夠確保所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽內(nèi)的顯影液為顯影液新液，并利用該待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽內(nèi)的顯影液進(jìn)行所述顯影設(shè)備的待機(jī)操作時(shí)的顯影液噴液操作，而所述空閑顯影液儲(chǔ)存槽則進(jìn)行空置，即在待機(jī)操作中，單純地利用所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液提供操作，如此，所述顯影設(shè)備在非生產(chǎn)狀態(tài)下，利用所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽對(duì)所述顯影液噴頭進(jìn)行顯影液提供操作，即單純地使用所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液提供操作，也能夠確保所述顯影液噴頭連續(xù)地噴出顯影液，而不會(huì)導(dǎo)致所述顯影液噴頭的堵塞問(wèn)題，同時(shí)，又可以降低顯影液的使用量，即所述顯影設(shè)備在待機(jī)狀態(tài)下，所述顯影設(shè)備對(duì)顯影液的消耗較小，例如，所述顯影設(shè)備在待機(jī)狀態(tài)下，所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽內(nèi)的顯影液在循環(huán)操作中，其有效成份損耗較低，能夠節(jié)省顯影液的用量。
為了優(yōu)化所述待機(jī)步驟所持續(xù)的時(shí)間，使所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽內(nèi)的顯影液能夠滿足所述待機(jī)步驟使用，以更好地在節(jié)省顯影液用量的基礎(chǔ)上，還能夠解決所述顯影液噴頭堵塞的問(wèn)題，例如，所述待機(jī)步驟的持續(xù)時(shí)間根據(jù)如下函數(shù)得到，t＝a*T，其中，t為待機(jī)步驟的持續(xù)時(shí)間，a為所述顯影設(shè)備的稼動(dòng)率，T為所述顯影設(shè)備的負(fù)荷時(shí)間，這樣，能夠優(yōu)化所述待機(jī)步驟所持續(xù)的時(shí)間，使所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽內(nèi)的顯影液能夠滿足所述待機(jī)步驟使用，以更好地在節(jié)省顯影液用量的基礎(chǔ)上，還能夠解決所述顯影液噴頭堵塞的問(wèn)題。
步驟S130：過(guò)渡步驟：向所述空閑顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作，對(duì)所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液廢液排空操作，并進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作。
當(dāng)經(jīng)過(guò)所述待機(jī)步驟后，需要使所述顯影設(shè)備再次進(jìn)入所述工作步驟，例如，順序循環(huán)執(zhí)行所述工作步驟、所述待機(jī)步驟和所述過(guò)渡步驟。為了使所述顯影設(shè)備能夠從所述待機(jī)步驟轉(zhuǎn)變至所述工作步驟，需要使所述顯影設(shè)備在所述待機(jī)步驟后，預(yù)先經(jīng)過(guò)所述過(guò)渡步驟，通過(guò)所述過(guò)渡步驟的調(diào)整，使得所述顯影設(shè)備調(diào)整至適合所述工作步驟的條件，如此，向所述空閑顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作，并使所述空閑顯影液儲(chǔ)存槽與所述顯影液噴頭連通，能夠使所述顯影液噴頭噴出顯影液新液，以達(dá)到正常的顯影效果。并且，對(duì)所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液廢液排空操作，并進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作，能夠?qū)υ谒龃龣C(jī)步驟中進(jìn)行顯影液提供操作的所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液廢液更換操作，使其再次與所述空閑顯影液儲(chǔ)存槽按照所述預(yù)設(shè)更換頻率與所述顯影液噴頭進(jìn)行交替連通，以重新進(jìn)入所述工作步驟。
一實(shí)施方式中，對(duì)所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液廢液排空操作，并進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作具體包括如下步驟：所述顯影腔室接收并響應(yīng)暫停信號(hào)，用于控制玻璃基板停止進(jìn)入至所述顯影腔室內(nèi)；使所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽與所述顯影液噴頭斷開(kāi)；對(duì)所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行廢液排空操作；向所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作；將所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽重新與所述顯影液噴頭連通；所述顯影腔室接收并響應(yīng)工作信號(hào)，用于控制玻璃基板重新進(jìn)入至所述待機(jī)顯影腔室內(nèi)，這樣，能夠?qū)崿F(xiàn)所述過(guò)渡步驟與所述工作步驟之間的順序轉(zhuǎn)換；又如，對(duì)所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)行顯影液廢液排空操作，并進(jìn)行顯影液新液補(bǔ)充操作具體包括如下步驟：關(guān)閉玻璃基板進(jìn)入信號(hào)，暫停玻璃基板流入，關(guān)閉舊液供液，同時(shí)顯影液儲(chǔ)存槽進(jìn)入清潔程序，并持續(xù)預(yù)設(shè)管道排空時(shí)間；打開(kāi)新顯影液的供液，沖洗供液管道；關(guān)閉所述顯影腔室向換液的顯影液儲(chǔ)存槽的排液閥門，打開(kāi)腔室向新顯影液儲(chǔ)存槽的排液閥門；重新打開(kāi)玻璃基板接收信號(hào)，流入玻璃基板。
一實(shí)施方式中，在排空時(shí)間內(nèi)對(duì)所述顯影液儲(chǔ)存槽執(zhí)行廢液排空操作，所述排空時(shí)間根據(jù)所述待機(jī)顯影液儲(chǔ)存槽的總?cè)萘亢退龃龣C(jī)顯影液儲(chǔ)存槽的廢液排出流量得到。
上述顯影液循環(huán)管理方法根據(jù)顯影設(shè)備自身存在稼動(dòng)率的特性，在工作步驟、待機(jī)步驟和過(guò)渡步驟中，巧妙地調(diào)節(jié)兩個(gè)顯影液儲(chǔ)存槽與顯影液噴頭的關(guān)系，能夠減輕顯影液噴頭和顯影液管道堵塞問(wèn)題，以及能夠節(jié)省顯影液用量。
下面以一臺(tái)顯影設(shè)備一天的顯影液更換狀況為例，進(jìn)一步作出具體實(shí)施說(shuō)明。
顯影設(shè)備是以兩個(gè)200L的顯影儲(chǔ)存槽相互切換來(lái)更新顯影液，工作狀態(tài)時(shí)顯影儲(chǔ)存槽更換周期為30分鐘/次；產(chǎn)線稼動(dòng)率為70％，產(chǎn)線平均每天從生產(chǎn)狀態(tài)轉(zhuǎn)換為非生產(chǎn)狀態(tài)3次；顯影液循環(huán)損耗為10L/小時(shí)，運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)顯影腔室及管道內(nèi)充液50L，顯影儲(chǔ)存槽內(nèi)顯影液低液位報(bào)警停機(jī)液位為50L。
1、顯影設(shè)備采用在非生產(chǎn)狀態(tài)與生產(chǎn)狀態(tài)同樣的更換頻率，一天需要消耗顯影液：
200L/次×24小時(shí)×2次/小時(shí)＝9600L
2、顯影設(shè)備采用使用本申請(qǐng)顯影液循環(huán)管理方法，依照稼動(dòng)率，工作時(shí)間為70％，空閑時(shí)間為30％。則在工作時(shí)間，消耗顯影液：
200L/次×24小時(shí)×70％×2次/小時(shí)＝6720L
設(shè)備空閑時(shí)，即顯影設(shè)備在待機(jī)步驟和過(guò)渡步驟消耗的顯影液：
先計(jì)算單一顯影儲(chǔ)存槽可用最大時(shí)長(zhǎng)：
(200L-50L-50L)÷10L/小時(shí)＝10小時(shí)
每日待機(jī)時(shí)間：
24小時(shí)×30％＝7.2小時(shí)＜10小時(shí)
即每次從轉(zhuǎn)入過(guò)渡步驟至轉(zhuǎn)出回到工作步驟之間不會(huì)發(fā)生切換顯影儲(chǔ)存槽更新顯影液的動(dòng)作，不會(huì)進(jìn)行一次排空操作，所以過(guò)渡時(shí)間消耗顯影液：
200L/次*3次＝600L
顯影設(shè)備采用使用本申請(qǐng)顯影液循環(huán)管理方法工作一天需消耗顯影液：
6720L+600L＝7320L
3、每日節(jié)省顯影液用量：
9600L-7320L＝2280L
4、在實(shí)際生產(chǎn)中，觀察顯影液噴頭和各管道未有堵塞問(wèn)題，玻璃基板顯影后的圖像能夠達(dá)到預(yù)期要求。
從上述實(shí)施例可以看出，采用本申請(qǐng)顯影液循環(huán)管理方法能夠減輕顯影液噴頭和顯影液管道堵塞問(wèn)題，以及能夠節(jié)省顯影液用量。
以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。