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      光束變換裝置及激光裝置的制作方法

      文檔序號:11690600閱讀:276來源:國知局
      光束變換裝置及激光裝置的制造方法

      本發(fā)明涉及光束變換技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種光束變換裝置及激光裝置。



      背景技術(shù):

      在微電子學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、信息產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,人們越來越多地使用各種光束,尤其是激光束作為刻刀,來解決微芯片制造、光盤存儲器、微型編碼器的制作、激光標(biāo)記標(biāo)刻等有關(guān)精細(xì)加工問題。

      目前在相關(guān)工廠的生產(chǎn)線上廣泛使用的是temoo單模激光束,但是,因為該激光束遵循的是高斯分布特性,激光束的中心強(qiáng)度高而邊緣強(qiáng)度弱,且能量發(fā)散,從而使得被刻劃的線條、文字、圖案的輪廓不清、邊緣模糊,滿足不了超精微加工的特殊要求。



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      本發(fā)明的目的在于提供一種光束變換裝置及激光裝置,以緩解了現(xiàn)有激光的能量分布不合理,激光束的中心強(qiáng)度高而邊緣強(qiáng)度弱,且能量發(fā)散的技術(shù)問題。

      本發(fā)明提供的光束變換裝置,包括準(zhǔn)直組件和光束變換單元,所述準(zhǔn)直組件用于形成平行光束,所述平行光束經(jīng)過所述光束變換單元后的輸出光束的橫截面為環(huán)形;

      所述光束變換單元包括依次設(shè)置的第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件,所述第一光學(xué)元件包括第一面和第二面,所述第二面為向所述第一光學(xué)元件內(nèi)凹的圓錐面;所述第一光學(xué)元件用于將平行入射光變?yōu)榘l(fā)散的出射光,所述發(fā)散的出射光照射在第二光學(xué)元件的入射面,且照射在所述第二光學(xué)元件入射面上的各位置的光束的入射角相同;

      所述第二光學(xué)元件包括第三面和第四面,所述第四面與所述第一面平行,所述第三面為背向所述第四面向外凸出的圓錐面,第二光學(xué)元件用于將進(jìn)入第二光學(xué)元件內(nèi)的光束變?yōu)槠叫械某錾涔狻?/p>

      進(jìn)一步的,所述第一光學(xué)元件的第二面與所述第二光學(xué)元件的第三面或者第四面相對;

      或者,所述第一光學(xué)元件的第一面與所述第二光學(xué)元件的第三面或者第四面相對。

      進(jìn)一步的,所述光束變換裝置包括殼體,所述第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件分別活動連接于所述殼體內(nèi),以使所述第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件之間的距離可調(diào),用來調(diào)整從所述第二光學(xué)元件射出的輸出光的焦深。

      進(jìn)一步的,所述殼體內(nèi)部間隔設(shè)置有多個插槽,且多個所述插槽沿所述光軸方向設(shè)置,所述第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件可選擇的插接在所述插槽內(nèi),以使所述第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件之間的距離可調(diào)。

      進(jìn)一步的,所述第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件均包括邊框,所述邊框上設(shè)置有向外凸出的提拉部,用于將所述第一光學(xué)元件與第二光學(xué)元件推入或者拉出所述插槽。

      進(jìn)一步的,所述殼體內(nèi)設(shè)置有滑槽,所述第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件分別與所述滑槽滑動連接,以使所述第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件之間的距離可調(diào)。

      進(jìn)一步的,所述第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件均包括邊框,所述邊框包括連接桿;所述滑槽的橫截面為“t”形,所述連接桿包括棱柱段,所述棱柱段的橫截面為棱形,所述棱柱段與所述滑槽滑動連接,用于阻止連接桿以自身中軸線為轉(zhuǎn)軸發(fā)生轉(zhuǎn)動。

      進(jìn)一步的,所述連接桿包括圓柱段,所述圓柱段的外端露出所述殼體,向所述殼體內(nèi)推動所述圓柱段,用于將所述棱柱段推離所述滑槽,以使所述連接桿以自身中軸線為轉(zhuǎn)軸發(fā)生轉(zhuǎn)動

      進(jìn)一步的,所述圓柱段上轉(zhuǎn)動連接有鎖緊螺母,所述鎖緊螺母擰緊后,用于防止所述連接桿與滑槽發(fā)生相對滑動。

      本發(fā)明提供的激光裝置,包括光纖連接器、透鏡組和上述的光束變換裝置,所述透鏡組用于調(diào)整及準(zhǔn)直從所述光纖連接器射出的光束。

      本發(fā)明提供的光束變換裝置,包括準(zhǔn)直組件和光束變換單元,光源經(jīng)過準(zhǔn)直組件可以形成平行光束,光束變換單元可以將平行光束轉(zhuǎn)變?yōu)闄M截面為環(huán)形的環(huán)形光束。所述光束變換單元包括依次設(shè)置的第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件,所述第一光學(xué)元件包括第一面和第二面,所述第二面為向所述第一光學(xué)元件內(nèi)凹的圓錐面;經(jīng)過第一光學(xué)元件后的出射光為發(fā)散的,所述發(fā)散的出射光可以照射在第二光學(xué)元件的入射面,且照射在所述第二光學(xué)元件入射面上的各位置的光束的入射角相同。第二光學(xué)元件包括第三面和第四面,所述第四面與所述第一面平行,所述第三面為背向所述第四面向外凸出的圓錐面,從第一光學(xué)元件射出的發(fā)散光進(jìn)入到第二光學(xué)元件后,射出的光束可以變?yōu)槠叫械某錾涔?。平行光束?jīng)過光束變換單元,將發(fā)生連續(xù)的折射,光束經(jīng)過第一光學(xué)元件的第二面將向外發(fā)生折射,且位于光束中心位置的光將向外側(cè)擴(kuò)散,隨后進(jìn)入到第二光學(xué)元件,再次經(jīng)過第三面的折射作用,最后從第二光學(xué)元件輸出的光的橫截面為環(huán)形。環(huán)形光束能量更加集中,對加工來說,刻的更細(xì),刻的更深。所以利用本發(fā)明提供的光束變換裝置輸出后的光束進(jìn)行雕刻,得到的線條、文字、圖案的輪廓、邊緣清楚。

      本發(fā)明提供的激光裝置,包括光纖連接器和上述的光束變換裝置,以及透鏡組。光纖連接器發(fā)射的激光經(jīng)過透鏡組后形成平行光束,平行光束經(jīng)過光束變換裝置,將發(fā)生連續(xù)的折射,光束經(jīng)過第一光學(xué)元件的第二面將向外發(fā)生折射,且光束中心位置的光將向外側(cè)擴(kuò)散,隨后進(jìn)入到第二光學(xué)元件,再次經(jīng)過第三面的折射作用,最后從第二光學(xué)元件輸出的光的橫截面為環(huán)形,環(huán)形光束能量更加集中,對加工來說,刻的更細(xì),刻的更深。激光裝置輸出后的光束進(jìn)行雕刻,得到的線條、文字、圖案的輪廓、邊緣清楚。

      附圖說明

      為了更清楚地說明本發(fā)明具體實施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對具體實施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實施方式,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

      圖1為本發(fā)明實施例1提供的光束變換裝置的一種光路原理圖;

      圖2為本發(fā)明實施例1提供的光束變換裝置的另一種光路原理圖;

      圖3為本發(fā)明實施例1提供的光束變換裝置的再一種光路原理圖;

      圖4為本發(fā)明實施例1提供的光束變換裝置的又一種光路原理圖;

      圖5為發(fā)明實施例1提供的光束變換裝置俯視方向的剖視圖;

      圖6為發(fā)明實施例2提供的光束變換裝置的示意圖;

      圖7為發(fā)明實施例2提供的光束變換裝置的邊框的示意圖;

      圖8為發(fā)明實施例2提供的光束變換裝置的截面圖。

      圖標(biāo):100-準(zhǔn)直組件;200-第一光學(xué)元件;210-第一面;220-第二面;300-第二光學(xué)元件;310-第三面;320-第四面;400-聚焦透鏡;500-插槽;600-提拉部;700-滑槽;810-棱柱段;820-圓柱段;900-鎖緊螺母。

      具體實施方式

      下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒景l(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

      在本發(fā)明的描述中,需要說明的是,如出現(xiàn)術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等,其指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對本發(fā)明的限制。此外,如出現(xiàn)術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的,而不能理解為指示或暗示相對重要性。

      本發(fā)明提供了一種光束變換裝置,下面給出多個實施例對本發(fā)明提供的光束變換裝置的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)描述。

      實施例1

      本發(fā)明提供的光束變換裝置,包括準(zhǔn)直組件100和光束變換單元,光源經(jīng)過準(zhǔn)直組件100可以形成平行光束,光束變換單元可以將平行光束轉(zhuǎn)變?yōu)闄M截面為環(huán)形的環(huán)形光束。所述光束變換單元包括依次設(shè)置的第一光學(xué)元件200和第二光學(xué)元件300,所述第一光學(xué)元件200包括第一面210和第二面220,所述第二面220為向所述第一光學(xué)元件200內(nèi)凹的圓錐面;經(jīng)過第一光學(xué)元件200后的出射光為發(fā)散的,所述發(fā)散的出射光可以照射在第二光學(xué)元件300的入射面,且照射在所述第二光學(xué)元件300入射面上的各位置的光束的入射角相同。第二光學(xué)元件300包括第三面310和第四面320,所述第四面320與所述第一面210平行,所述第三面310為背向所述第四面320向外凸出的圓錐面,從第一光學(xué)元件200射出的發(fā)散光進(jìn)入到第二光學(xué)元件300后,射出的光束可以變?yōu)槠叫械某錾涔?。平行光束?jīng)過光束變換單元,將發(fā)生連續(xù)的折射,光束經(jīng)過第一光學(xué)元件200的第二面220將向外發(fā)生折射,且位于光束中心位置的光將向外側(cè)擴(kuò)散,隨后進(jìn)入到第二光學(xué)元件300,再次經(jīng)過第三面310的折射作用,最后從第二光學(xué)元件300輸出的光的橫截面為環(huán)形。環(huán)形光束能量更加集中,對加工來說,刻的更細(xì),刻的更深。所以利用本發(fā)明提供的光束變換裝置輸出后的光束進(jìn)行雕刻,得到的線條、文字、圖案的輪廓、邊緣清楚。

      所述準(zhǔn)直組件100可以由多個透鏡組成,用于形成平行光束,例如,準(zhǔn)直組件100包括一個凹透鏡和一個凸透鏡,沿輸入光的傳播方向,依次為凹透鏡、凸透鏡,凹透鏡可以起到擴(kuò)束的作用,而凸透鏡可以形成平行光束。

      所述光束變換裝置可以包括聚焦透鏡400,聚焦透鏡400設(shè)置于光束變換單元后,可以將環(huán)形光束匯聚,使得輸出光能量更加集中。

      如圖1-4,第一光學(xué)元件200的第二面220與所述第二光學(xué)元件300的第三面310或者第四面320相對;或者,所述第一光學(xué)元件200的第一面210與所述第二光學(xué)元件300的第三面310或者第四面320相對。也就是說,從準(zhǔn)直組件100輸出的平行光束可以從第一面210射入,第二面220射入,也可以從第二面220射入,第一面210射出;同樣的,經(jīng)過第一光學(xué)元件200的光束可以從第三面310射入,地四面射出,也可以從第四面320射入,第三面310射入。一共可以分為四種情況,這四種情況均可以產(chǎn)生環(huán)形光束。

      第二面220的母線與第一面210所成的角度為α,第三面310的母線與第四面320的夾角為β,第一光學(xué)元件200的折射率為n,第二光學(xué)元件300的折射率為m。α、β、n、m滿足一定的條件,則出射光可以為平行于光軸的光。

      如圖1所示,當(dāng)平行光束依次通過第一面210、第二面220、第三面310和第四面320時,α、β、n、m需要滿足的條件是:

      [α-arcsin(nsinα)]+[arcsin(msinβ)-β]=0

      如圖2所示,當(dāng)平行光束依次通過第二面220、第一面210、第三面310和第四面320時,α、β、n、m需要滿足的條件是:

      如圖3所示,當(dāng)平行光束依次通過第一面210、第二面220、第四面320和第三面310時,α、β、n、m需要滿足的條件是:

      如圖4所示,當(dāng)平行光束依次通過第二面220、第一面210、第四面320和第三面310時,α、β、n、m需要滿足的條件是:

      這時出射的環(huán)形光與平行光束平行,出射光照射在聚焦透鏡400,可以形成匯聚光束。

      具體的,如圖5所述,所述光束變換裝置可以包括殼體,所述第一光學(xué)元件200和第二光學(xué)元件300分別活動連接于所述殼體內(nèi),可以使所述第一光學(xué)元件200和第二光學(xué)元件300之間的距離可調(diào),從而可以改變輸出光的焦深,這樣在加工的時候,比如切割厚的材料,需要焦深比較長,薄的材料,需要焦深比較短。通過改變第一光學(xué)元件200和第二光學(xué)元件300之間的距離,可以改變射出的光束的光斑和焦深的大小,當(dāng)?shù)谝还鈱W(xué)元件200和第二光學(xué)元件300之間的距離減小,出射光的光斑變小焦深變大;當(dāng)?shù)谝还鈱W(xué)元件200和第二光學(xué)元件300之間的距離增大,出射光的光斑變大焦深變小。從而可以通過調(diào)節(jié)第一光學(xué)元件200和第二光學(xué)元件300之間的距離對光束變換裝置進(jìn)行調(diào)試,從而找到最適合加工的配置。

      進(jìn)一步的,所述殼體內(nèi)部間隔設(shè)置有多個插槽500,且多個所述插槽500沿所述光軸方向設(shè)置,所述第一光學(xué)元件200和第二光學(xué)元件300可選擇的插接在所述插槽500內(nèi),以使所述第一光學(xué)元件200和第二光學(xué)元件300之間的距離可調(diào)。從而可以改變輸出光的焦深,這樣在加工的時候,比如切割厚的材料,需要焦深比較長,薄的材料,需要焦深比較短。

      所述第一光學(xué)元件200和第二光學(xué)元件300均可以包括邊框,所述邊框上可以設(shè)置有向外凸出的提拉部600,通過提拉部600可以非常方便地將第一光學(xué)元件200和第二光學(xué)元件300插入或者拔出插槽500,從而避免手碰觸到鏡面。

      實施例2

      如圖6所述,與實施例1不同之處在于,所述殼體的內(nèi)部設(shè)置有滑槽700,所述第一光學(xué)元件200和第二光學(xué)元件300分別與所述滑槽700滑動連接,第一面210和第三面310與滑動方向垂直,滑動第一光學(xué)元件200和第二光學(xué)元件300可以使所述第一光學(xué)元件200和第二光學(xué)元件300之間的距離可調(diào)。

      進(jìn)一步的,如圖7-8所示,所述第一光學(xué)元件200和第二光學(xué)元件300均包括邊框,所述邊框包括連接桿,連接桿用于與滑槽700連接。所述滑槽700的橫截面為“t”形,所述連接桿包括棱柱段810,所述棱柱段810的橫截面為棱形,例如為正方形或長方形,當(dāng)棱柱段810固定于滑槽700內(nèi)時,棱柱段810將與滑槽700側(cè)壁相抵,可以防止連接桿轉(zhuǎn)動,從而避免在滑動過程中光路發(fā)生偏離。

      所述連接桿包括圓柱段820,所述圓柱段820的外端露出所述殼體,以第一光學(xué)元件200為例,向所述殼體內(nèi)推動所述圓柱段820,可以將所述棱柱段810推離所述滑槽700,限制解除后,可以將第一光學(xué)元件200轉(zhuǎn)動180°,然后向下拉動圓柱段820,使棱柱段810再次固定于滑槽700內(nèi)。這樣可以改變第一光學(xué)元件200和/或第二光學(xué)元件300的朝向,從而方便了對光束變換裝置的調(diào)試。

      進(jìn)一步的,所述圓柱段820上轉(zhuǎn)動連接有鎖緊螺母900,所述鎖緊螺母900擰緊后抵住外殼下部,用于防止所述連接桿與滑槽700發(fā)生相對滑動。

      綜上所述,本發(fā)明提供的光束變換裝置,包括準(zhǔn)直組件100和光束變換單元,光源經(jīng)過準(zhǔn)直組件100可以形成平行光束,光束變換單元可以將平行光束轉(zhuǎn)變?yōu)闄M截面為環(huán)形的環(huán)形光束。所述光束變換單元包括依次設(shè)置的第一光學(xué)元件200和第二光學(xué)元件300,所述第一光學(xué)元件200包括第一面210和第二面220,所述第二面220為向所述第一光學(xué)元件200內(nèi)凹的圓錐面;經(jīng)過第一光學(xué)元件200后的出射光為發(fā)散的,所述發(fā)散的出射光可以照射在第二光學(xué)元件300的入射面,且照射在所述第二光學(xué)元件300入射面上的各位置的光束的入射角相同。第二光學(xué)元件300包括第三面310和第四面320,所述第四面320與所述第一面210平行,所述第三面310為背向所述第四面320向外凸出的圓錐面,從第一光學(xué)元件200射出的發(fā)散光進(jìn)入到第二光學(xué)元件300后,射出的光束可以變?yōu)槠叫械某錾涔?。平行光束?jīng)過光束變換單元,將發(fā)生連續(xù)的折射,光束經(jīng)過第一光學(xué)元件200的第二面220將向外發(fā)生折射,且位于光束中心位置的光將向外側(cè)擴(kuò)散,隨后進(jìn)入到第二光學(xué)元件300,再次經(jīng)過第三面310的折射作用,最后從第二光學(xué)元件300輸出的光的橫截面為環(huán)形。環(huán)形光束能量更加集中,對加工來說,刻的更細(xì),刻的更深。所以利用本發(fā)明提供的光束變換裝置輸出后的光束進(jìn)行雕刻,得到的線條、文字、圖案的輪廓、邊緣清楚。

      本發(fā)明提供的激光裝置,包括光纖連接器和上述的光束變換裝置,以及透鏡組。光纖連接器發(fā)射的激光經(jīng)過準(zhǔn)直組件100后形成平行光束,平行光束經(jīng)過光束變換單元,將發(fā)生連續(xù)的折射,光束經(jīng)過第一光學(xué)元件200的第二面220將向外發(fā)生折射,且光束中心位置的光將向外側(cè)擴(kuò)散,隨后進(jìn)入到第二光學(xué)元件300,再次經(jīng)過第三面310的折射作用,最后從第二光學(xué)元件300輸出的光的橫截面為環(huán)形,透鏡組用于調(diào)整及準(zhǔn)直從所述光束變換裝置射出的光束,環(huán)形光束能量更加集中,對加工來說,刻的更細(xì),刻的更深。激光裝置輸出后的光束進(jìn)行雕刻,得到的線條、文字、圖案的輪廓、邊緣清楚。

      最后應(yīng)說明的是:以上各實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案,而非對其限制;盡管參照前述各實施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,或者對其中部分或者全部技術(shù)特征進(jìn)行等同替換;而這些修改或者替換,并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實施例技術(shù)方案的范圍。

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