本發(fā)明涉及一種感光性樹(shù)脂組合物、感光性元件、印刷線路板、及印刷線路板的制造方法。

背景技術(shù)：

1、在印刷線路板領(lǐng)域中，進(jìn)行在印刷線路板上形成永久抗蝕劑。永久抗蝕劑在印刷線路板中具有防止導(dǎo)體層的腐蝕或保持導(dǎo)體層間的電絕緣性的作用，用作表面保護(hù)層或?qū)娱g絕緣層等。

2、近年來(lái)，電子設(shè)備的小型化及高性能化正在發(fā)展，在用于電子設(shè)備的多層印刷線路板中，由電路層數(shù)的增加及配線的精細(xì)化而引起的高密度化也在發(fā)展。尤其，搭載半導(dǎo)體晶片的bga(球柵陣列)、csp(晶片尺寸封裝)等半導(dǎo)體封裝基板的高密度化顯著，除了配線的精細(xì)化以外，還要求層間絕緣層的薄膜化及層間連接用貫孔(通孔)的小徑化。并且，隨著印刷線路板中的層間絕緣層的薄膜化，還要求層間的優(yōu)異的電絕緣可靠性。作為電絕緣可靠性，特別需要高加速應(yīng)力試驗(yàn)(highly?accelerated?stress?test)后的優(yōu)異的電絕緣可靠性(hast耐性)。

3、作為印刷線路板的制造方法，可以舉出通過(guò)依次層疊層間絕緣層和導(dǎo)體電路層而形成的堆積方式的多層印刷線路板的制造方法(例如，參考專利文獻(xiàn)1)。在多層印刷線路板中，隨著電路的精細(xì)化，通過(guò)鍍敷形成電路的半加成法成為主流。在現(xiàn)有的半加成法中，例如，經(jīng)由以下工序進(jìn)行了電路的形成，即，(1)在導(dǎo)體電路上層壓熱固性樹(shù)脂膜，通過(guò)加熱使該熱固性樹(shù)脂膜固化而形成層間絕緣層的工序、(2)通過(guò)激光加工形成層間連接用貫孔，并通過(guò)堿高錳酸處理等進(jìn)行除污處理及粗糙化處理的工序、(3)對(duì)基板實(shí)施無(wú)電解銅鍍敷處理，使用抗蝕劑形成圖案后，進(jìn)行電解銅鍍敷，由此形成銅電路層的工序、(4)剝離抗蝕劑，進(jìn)行無(wú)電解層的快速蝕刻，由此形成銅電路的工序。

4、如上所述，作為在將熱固性樹(shù)脂膜固化而形成的層間絕緣層上形成貫孔的方法，激光加工成為主流，但是通過(guò)使用激光加工機(jī)的激光照射的貫孔的小徑化存在極限。并且，在利用激光加工機(jī)形成貫孔的情況下，需要逐個(gè)形成各個(gè)貫孔，當(dāng)由于高密度化而需要設(shè)置多個(gè)貫孔的情況下，存在貫孔的形成需要大量的時(shí)間且制造效率差的問(wèn)題。

5、在這樣的情況下，作為能夠一次形成多個(gè)貫孔的方法，提出了使用感光性樹(shù)脂組合物，通過(guò)光刻法一次形成多個(gè)小徑貫孔的方法(例如，參考專利文獻(xiàn)2)。

6、以往技術(shù)文獻(xiàn)

7、專利文獻(xiàn)

8、專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)平7-304931號(hào)公報(bào)

9、專利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2017-116652號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的技術(shù)課題

2、近年來(lái)，配線的精細(xì)化、層間絕緣層的薄膜化及層間連接用通孔的小徑化進(jìn)一步發(fā)展，對(duì)層間絕緣層要求更優(yōu)異的分辨率及電絕緣可靠性。在專利文獻(xiàn)2中所記載的感光性樹(shù)脂組合物中，不能說(shuō)充分滿足這些要求，存在進(jìn)一步改善的余地。

3、其中，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠獲得優(yōu)異的分辨率及優(yōu)異的電絕緣可靠性的感光性樹(shù)脂組合物、感光性元件、印刷線路板、及印刷線路板的制造方法。

4、用于解決技術(shù)課題的手段

5、本發(fā)明的一方面涉及一種感光性樹(shù)脂組合物，其含有(a)含有酸改性乙烯基的樹(shù)脂、(b)光聚合性化合物、(c)光聚合引發(fā)劑、(d)無(wú)機(jī)填料、及(e)熱固性樹(shù)脂，上述(c)成分包含具有噻噸酮系骨架的化合物，上述(e)成分包含具有萘環(huán)的樹(shù)脂。

6、在上述感光性樹(shù)脂組合物中，上述(a)成分含有使用雙酚酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂(a1)而成的至少一種含有酸改性乙烯基的環(huán)氧樹(shù)脂(a1)、及使用與該環(huán)氧樹(shù)脂(a1)不同的環(huán)氧樹(shù)脂(a2)而成的至少一種含有酸改性乙烯基的環(huán)氧樹(shù)脂(a2)。

7、在上述感光性樹(shù)脂組合物中，上述環(huán)氧樹(shù)脂(a2)可以為選自由酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚a型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚f型環(huán)氧樹(shù)脂、及三酚甲烷型環(huán)氧樹(shù)脂組成的組中的至少一種。

8、在上述感光性樹(shù)脂組合物中，上述含有酸改性乙烯基的環(huán)氧樹(shù)脂(a1)及(a2)可以為分別使上述環(huán)氧樹(shù)脂(a1)及(a2)與含有烯屬不飽和基團(tuán)的有機(jī)酸(b)反應(yīng)而成的樹(shù)脂(a1’)及(a2’)和含有飽和基或不飽和基的多元酸酐(c)反應(yīng)而成的樹(shù)脂。

9、在上述感光性樹(shù)脂組合物中，上述環(huán)氧樹(shù)脂(a1)可以為具有由下述通式(i)表示的結(jié)構(gòu)單元、或由下述通式(ii)表示的結(jié)構(gòu)單元。

10、

11、[式(i)中，r11表示氫原子或甲基，y1及y2分別獨(dú)立地表示氫原子或縮水甘油基。多個(gè)r11可以相同也可以不同，y1及y2中的至少一個(gè)表示縮水甘油基。]

12、

13、[式(ii)中，r12表示氫原子或甲基，y3及y4分別獨(dú)立地表示氫原子或縮水甘油基。多個(gè)r12可以相同也可以不同，y3及y4中的至少一個(gè)表示縮水甘油基。]

14、在上述感光性樹(shù)脂組合物中，上述(b)成分可以包含在分子內(nèi)具有3個(gè)以上烯屬不飽和鍵的化合物。

15、上述感光性樹(shù)脂組合物還可以含有(f)顏料。

16、在上述感光性樹(shù)脂組合物中，上述(e)成分可以包含具有萘環(huán)的環(huán)氧樹(shù)脂。

17、在上述感光性樹(shù)脂組合物中，上述(a)成分的酸值可以為30～1?50mgkoh/g。

18、本發(fā)明的另一方面涉及一種具備支撐膜、及使用上述感光性樹(shù)脂組合物而形成的感光層的感光性元件。

19、本發(fā)明的另一方面涉及一種印刷線路板，其具備包含上述感光性樹(shù)脂組合物的固化物的永久抗蝕劑。

20、本發(fā)明的另一方面涉及一種印刷線路板的制造方法，其包括在基板上使用上述感光性樹(shù)脂組合物或感光性元件形成感光層的工序、對(duì)上述感光層進(jìn)行曝光及顯影而形成抗蝕劑圖案的工序、及固化上述抗蝕劑圖案而形成永久抗蝕劑的工序。

21、發(fā)明效果

22、根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種能夠獲得優(yōu)異的分辨率及優(yōu)異的電絕緣可靠性的感光性樹(shù)脂組合物、感光性元件、印刷線路板、及印刷線路板的制造方法。

技術(shù)特征：

1.一種感光性樹(shù)脂組合物，其含有(a)含有酸改性乙烯基的樹(shù)脂、(b)光聚合性化合物、(c)光聚合引發(fā)劑、(d)無(wú)機(jī)填料、及(e)熱固性樹(shù)脂，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其還含有(f)顏料。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中，

10.一種感光性元件，其具備支撐膜、及使用權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物形成的感光層。

11.一種印刷線路板，其具備包含權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物的固化物的永久抗蝕劑。

12.一種印刷線路板的制造方法，其包括：在基板上使用權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物形成感光層的工序；

13.一種印刷線路板的制造方法，其包括：在基板上使用權(quán)利要求10所述的感光性元件形成感光層的工序；

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種感光性樹(shù)脂組合物，其含有(A)含有酸改性乙烯基的樹(shù)脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引發(fā)劑、(D)無(wú)機(jī)填料、及(E)熱固性樹(shù)脂，(C)成分包含具有噻噸酮系骨架的化合物，(E)成分包含具有萘環(huán)的樹(shù)脂。

技術(shù)研發(fā)人員：岡出翔太
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社力森諾科
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/9/9