專利名稱：用于折射光束的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種根據(jù)權(quán)利要求1的引導(dǎo)從句的用于折射光束，特別是激光束的裝置。
這樣一裝置例如可被用于精確地將一激光束引導(dǎo)至一待被處理的工件上，以生成圖形來通過激光等雕刻物體。
文件DE4102936A1公開了一種被使用借助于一偏振調(diào)制的激光束處理材料的設(shè)備。該設(shè)備包括一激光器、一調(diào)相器、兩繞不同軸旋轉(zhuǎn)的反射器和一聚焦透鏡。通過適當(dāng)?shù)卣{(diào)整兩旋轉(zhuǎn)反射器，激光束通過聚焦透鏡可被聚焦在一給定大小的表面的任一點(diǎn)上。因此材料可通過激光束按所要求地被處理。
文件DE3939866A1公開了一種用于通過激光雕刻對(duì)圓柱形殼的表面進(jìn)行雕刻的裝置。該裝置允許不必相對(duì)于激光束移動(dòng)工件而使圓柱形殼表面被雕刻。為此，設(shè)置了一旋轉(zhuǎn)對(duì)稱環(huán)形反射器，且該環(huán)形反射器的對(duì)稱軸與位于圓柱形殼上的雕刻表面的對(duì)稱軸相一致。該旋轉(zhuǎn)對(duì)稱環(huán)形反射器有一彎曲的反射表面。在包括有在垂直軸上移動(dòng)的兩反射器的一折射單元的幫助下，從激光束源發(fā)射的激光束被從該反射表面引至該雕刻表面。
DE3915254A1公開了一種用于在公共區(qū)域中的地板上生成一光標(biāo)記的處理和裝置。環(huán)狀地通過一給定路徑的一濃縮光束(例如激光束)被投影到一地板覆蓋上。該沿給定路徑移動(dòng)該光束的光折射裝置在一高頻下被控制以使在該地板覆蓋上生成的標(biāo)記呈現(xiàn)穩(wěn)定。
上述折射系統(tǒng)和許多其他的類似裝置的共同因素是激光束的聚焦是沿一特定路徑被精確地和/或以高速地引導(dǎo)。這意味相關(guān)的折射元件(反射器等)需要被精確地且快速地調(diào)整。因此這些折射元件通常通過繞一給定軸的旋轉(zhuǎn)而被調(diào)整。
為了制造上述特性的折射裝置，需要允許折射元件的位置(特別是旋轉(zhuǎn)角)的非常快速和非常精確的調(diào)整的驅(qū)動(dòng)。這樣一驅(qū)動(dòng)導(dǎo)致可觀的成本因素。
本發(fā)明的目的在于提供一種用于折射上述特性的光束的裝置，其中折射元件可被高精度地、快速地調(diào)整且成本盡可能地低。
本發(fā)明的該目的是通過具有權(quán)利要求1的特征的裝置而實(shí)現(xiàn)的。
因此，一磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的讀/寫頭的驅(qū)動(dòng)電機(jī)被用于調(diào)整折射元件。
磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件被大量地制造。其特別適用于在目前情況下特別有影響的數(shù)據(jù)處理單元的軟盤驅(qū)動(dòng)器和硬盤驅(qū)動(dòng)器。這些驅(qū)動(dòng)器的各個(gè)具有一讀/寫頭，該讀/寫頭通過一適當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)在轉(zhuǎn)動(dòng)的軟盤/硬盤上被移動(dòng)。為了實(shí)現(xiàn)高存儲(chǔ)容量和短存取時(shí)間，高精度和高速度是這些驅(qū)動(dòng)器的特別重要的特性。
根據(jù)本發(fā)明，讀/寫頭的上述三個(gè)主要特性(即作為大批量生產(chǎn)的結(jié)果的低成本、高精度和高速度)被使用以產(chǎn)生一用于折射系統(tǒng)的精確、快速和低成本的驅(qū)動(dòng)器。
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，用于折射元件的驅(qū)動(dòng)單元包括帶有可換型數(shù)據(jù)存儲(chǔ)媒介(軟盤、可換型硬盤)的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的讀/寫頭的驅(qū)動(dòng)電機(jī)。本發(fā)明的該實(shí)施例的優(yōu)點(diǎn)是由于該數(shù)據(jù)存儲(chǔ)媒介是可換的，各驅(qū)動(dòng)器未被密封地封裝且因此通常是非常堅(jiān)固耐用的。
另一方面，它是帶有固定的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)媒介的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的讀/寫頭，其特點(diǎn)在于特別高的速度和精度。對(duì)于被提出特別高的要求的折射系統(tǒng)，使用這樣一驅(qū)動(dòng)器是有利的。
為了驅(qū)動(dòng)根據(jù)本發(fā)明的折射元件，可使用一分級(jí)電機(jī)或一連續(xù)驅(qū)動(dòng)器(直線電機(jī))。分級(jí)電機(jī)是非常堅(jiān)固的且它們允許位置和角度的絕對(duì)調(diào)整。連續(xù)電機(jī)便于元件調(diào)整期間的更高的精度和速度。然而一元件的位置的絕對(duì)調(diào)整用這些電機(jī)通常是不可能的。需要電抗耦合，其允許絕對(duì)位置被確定。為此，所謂的伺服磁道和伺服磁頭設(shè)置有硬盤驅(qū)動(dòng)器。這些伺服磁道和伺服磁頭未被用于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)而替代專門地用于確定這些讀/寫頭的絕對(duì)位置。當(dāng)一讀/寫頭的連續(xù)驅(qū)動(dòng)器被用于調(diào)整一折射元件時(shí)必須也設(shè)置用于確定該位置的可比較裝置。
如果不僅一磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的驅(qū)動(dòng)電機(jī)被用于折射元件的驅(qū)動(dòng)單元而且使用該裝置的至少部分用于將該電機(jī)的驅(qū)動(dòng)力轉(zhuǎn)換成該頭的移動(dòng)(例如致動(dòng)器主軸和/或繞該主軸旋轉(zhuǎn)的臂)是有利的。因此，例如該折射元件的驅(qū)動(dòng)單元可包括該電機(jī)、完整致動(dòng)器及如果適當(dāng)?shù)脑掃€有該磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的驅(qū)動(dòng)控制器。
如果該驅(qū)動(dòng)器包括一旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器，將一旋轉(zhuǎn)折射元件耦合至磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的讀/寫頭的驅(qū)動(dòng)器是特別簡單的。術(shù)語致動(dòng)器被用于描述將電機(jī)的驅(qū)動(dòng)力轉(zhuǎn)換成該頭的移動(dòng)的該磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的這些驅(qū)動(dòng)元件。一旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器具有在一端繞一主軸旋轉(zhuǎn)并在另一端攜載這些讀/寫頭的一臂。一旦將一折射元件與這樣一臂在致動(dòng)器主軸的區(qū)域內(nèi)相連接，該臂的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致該折射元件的純旋轉(zhuǎn)。
在連接中，應(yīng)指出術(shù)語直線電機(jī)在此被用于描述連續(xù)電機(jī)，其可與直線致動(dòng)器和旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器一起使用。在硬盤驅(qū)動(dòng)器中，直線電機(jī)主要被用于旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器，以產(chǎn)生這些讀/寫頭的弓形移動(dòng)。
為了將一折射元件連接至一致動(dòng)器的該臂，一棒形元件是特別合適的，其中該棒形元件垂直于該臂。如果該折射元件自身是一反射器是有利的。
當(dāng)使用一用于讀/寫頭的驅(qū)動(dòng)器來移動(dòng)一折射元件時(shí)，該臂自然也可由攜載該折射元件并被適當(dāng)?shù)囟ㄎ辉谠撝聞?dòng)器主軸上的另一元件替換。
特別當(dāng)使用一連續(xù)驅(qū)動(dòng)器來移動(dòng)該折射元件時(shí)，如果設(shè)置一傳感器元件組以確定該折射元件的角度和/或位置是有利的。而且，該傳感器元件組可被用于確定速度。該傳感器元件組的一元件因此可被連接至一同該折射元件一起移動(dòng)的元件，而該傳感器元件組的另一元件被連接至一固定元件。
原則上，適當(dāng)?shù)膫鞲衅魇窃试S一元件的位置和/或角度被很精確地確定的全部類型的傳感器，例如光、磁和電容傳感器。
該傳感器元件組被集成在一調(diào)節(jié)電路中，該調(diào)節(jié)電路經(jīng)常地將該折射元件的當(dāng)前位置與其導(dǎo)向位置相比較并在該折射元件的移動(dòng)中觸發(fā)所需的調(diào)整。
用于激光束的大部分折射系統(tǒng)具有幾個(gè)可調(diào)節(jié)的折射元件，它們繞不同的主軸轉(zhuǎn)動(dòng)。這些折射元件的各個(gè)可由其自己的單獨(dú)驅(qū)動(dòng)器進(jìn)行致動(dòng)。幾個(gè)折射元件由同一驅(qū)動(dòng)器致動(dòng)也是可能的。
控制并調(diào)節(jié)折射元件的移動(dòng)的電子控制和調(diào)節(jié)單元可包括一磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的驅(qū)動(dòng)控制器。因此在該情況下，不僅一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的機(jī)電元件(電機(jī)和致動(dòng)器)被用于調(diào)節(jié)一折射元件，而且還使用該數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的控制齒輪(驅(qū)動(dòng)控制器)。根據(jù)要求，該折射元件的控制單元可在某些情況下包括其他的處理器和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件，確保該折射元件根據(jù)要求而被控制。
如上所說明的，根據(jù)本發(fā)明的折射系統(tǒng)可在激光束被精確和/或快速地引至不同點(diǎn)的任一應(yīng)用中被使用。例子包括通過激光束進(jìn)行的材料處理，通過激光束生成圖形及用激光束進(jìn)行雕刻。
通過參照以下圖示出的本發(fā)明的實(shí)施例，本發(fā)明的其他的優(yōu)點(diǎn)將清楚可見。附圖包括

圖1為帶有可在不同軸上旋轉(zhuǎn)的兩反射器的用于激光束的一折射系統(tǒng)的概略性視圖。
圖2為一硬盤驅(qū)動(dòng)器的概略性視圖，其中讀/寫頭通過帶有一分級(jí)電機(jī)的一致動(dòng)器被移動(dòng)。
圖3為用于根據(jù)圖1的折射系統(tǒng)的，根據(jù)本發(fā)明的折射裝置的視圖，其中用于如圖2中所示的讀/寫頭的驅(qū)動(dòng)單元被使用。
圖4為一硬盤驅(qū)動(dòng)器的概略性視圖，其中讀/寫頭通過帶有一直線電機(jī)的一致動(dòng)器被移動(dòng)。
圖5為用于根據(jù)圖1的折射系統(tǒng)的，根據(jù)本發(fā)明的折射裝置的視圖，其中用于如圖4中所示的讀/寫頭的驅(qū)動(dòng)單元被使用。
圖1示出了用于激光器1的激光束2的一折射系統(tǒng)10，將在一表面9上生成標(biāo)記、圖形、雕刻等。因此它或者可是一用于材料處理的裝置，其中該表面9例如由一工件的表面形成，或者可是一用于生成一靜止圖象的裝置，其中該表面9由反射材料形成。
激光器1例如可是一NdYAG激光器，其中激光束2通過一初始反射器3被引至折射系統(tǒng)10。該折射系統(tǒng)10包括另外兩個(gè)反射器4、6，它們各自繞軸5、7旋轉(zhuǎn)。兩反射器4、6的旋轉(zhuǎn)軸5、7相互垂直。
通過兩反射器4、6，激光束2可被按照要求被定向以使它可被濃縮在一給定的兩維場9的任一點(diǎn)上。自然，也可能具有帶有兩個(gè)以上反射器的折射系統(tǒng)且因此具有定向激光束的更大的自由度。
在由兩反射器4、6引導(dǎo)后，激光束2通過一場聚焦透鏡系統(tǒng)8，該系統(tǒng)確保激光束的焦點(diǎn)按要求恒定地在平面9中。
如也可從圖1中看到的，驅(qū)動(dòng)單元24、26被分配至各反射器4、6且這些驅(qū)動(dòng)單元由一控制單元20控制。
控制單元20包括一微型計(jì)算機(jī)12，帶有用于輸入控制命令的對(duì)應(yīng)的輔助元件；一激光器控制器14，調(diào)節(jié)激光器1的工作；和反射器控制器16，通過驅(qū)動(dòng)單元24、26控制反射器4、6的調(diào)節(jié)。
控制單元20例如可由一PC或類似裝置形成，其中激光器控制器14和反射器控制器16通過適當(dāng)?shù)能浖?shí)現(xiàn)。如果需要另外的硬件元件來控制激光器1或反射器4、6，這些硬件元件被連接至PC。
從原理上已獲知上述的折射系統(tǒng)10的設(shè)計(jì)。根據(jù)本發(fā)明的折射系統(tǒng)與已知的折射系統(tǒng)之間的實(shí)質(zhì)差別是根據(jù)本發(fā)明，反射器4、6的驅(qū)動(dòng)單元24、26各由用于磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的讀/寫頭的驅(qū)動(dòng)器形成。
圖2示出了從上方看到的一硬盤驅(qū)動(dòng)器的概略性視圖。它示出了用于調(diào)節(jié)反射器的讀/寫頭的驅(qū)動(dòng)元件。
硬盤驅(qū)動(dòng)器30包括一帶有電機(jī)軸32的一分級(jí)電機(jī)31和一與該分級(jí)電機(jī)31連接而被致動(dòng)且攜載讀/寫頭37的致動(dòng)器33。硬盤驅(qū)動(dòng)器30也包括一在主軸電機(jī)(未示出)的主軸38上轉(zhuǎn)動(dòng)的硬盤39。
致動(dòng)器33包括一驅(qū)動(dòng)杠桿34，其與分級(jí)電機(jī)31的電機(jī)軸32接觸(例如摩擦或聯(lián)鎖)，和一臂36，其通過驅(qū)動(dòng)杠桿34的電機(jī)驅(qū)動(dòng)的移動(dòng)而繞一致動(dòng)器主軸35旋轉(zhuǎn)。臂36在其前端上攜載讀/寫頭37。分級(jí)電機(jī)31由一驅(qū)動(dòng)控制器(未示出)控制以使讀/寫頭37按要求被定位在硬盤39上方以讀取或存儲(chǔ)數(shù)據(jù)。驅(qū)動(dòng)控制器或者被集成入一微型計(jì)算機(jī)或硬盤驅(qū)動(dòng)器自身內(nèi)。在后種情況下，它被稱為智能驅(qū)動(dòng)器。
帶有硬盤驅(qū)動(dòng)器，特別重要的是讀/寫頭37可訪問硬盤39上的很精確的、特定的區(qū)域。而且，為使對(duì)數(shù)據(jù)的訪問時(shí)間最小，這必須在極短的事件周期內(nèi)進(jìn)行。硬盤驅(qū)動(dòng)器的這些特性可被非常有效地使用以控制折射系統(tǒng)的反射器。
在該連接中，應(yīng)指出圖2中所示的硬盤驅(qū)動(dòng)器僅是本發(fā)明的一實(shí)施例的例子。根據(jù)本發(fā)明，自然其他的硬盤驅(qū)動(dòng)器或軟盤驅(qū)動(dòng)器也可被使用。
參照圖3，可清楚地看到圖2中所示的驅(qū)動(dòng)器30如何被使用作為用于調(diào)節(jié)反射器4的位置的驅(qū)動(dòng)單元24。
圖3示出根據(jù)圖2的一驅(qū)動(dòng)器30的分級(jí)電機(jī)31的側(cè)視圖，其中電機(jī)軸32具有與一致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)杠桿34的致動(dòng)連接(在此僅概略性地示出)。一棒狀元件40在臂36的上方垂直地運(yùn)行，臂36繞致動(dòng)器主軸35旋轉(zhuǎn)。在棒狀元件40的上端41上有一反射器4。
該棒狀元件40相對(duì)于致動(dòng)器主軸35被同心地定向。因此，致動(dòng)器主軸35的中心線還形成棒狀元件40的中心線。
由于棒狀元件40的上述定位，通過分級(jí)電機(jī)31觸發(fā)的臂36的各旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)被轉(zhuǎn)換成反射器4的轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)圖3中所示的驅(qū)動(dòng)單元24是用于磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的讀/寫頭的驅(qū)動(dòng)單元時(shí)，該旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)可以高速及高精度(角度準(zhǔn)確度)實(shí)現(xiàn)。速度和精度是待被用于讀取和/或?qū)憯?shù)據(jù)的這樣的磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的需要的預(yù)先條件。
為了控制分級(jí)電機(jī)31，可使用具有用于輸入需要的控制命令的輔助元件的一可編程計(jì)算機(jī)。為了轉(zhuǎn)換來自該微型計(jì)算機(jī)的控制命令并將它們傳送給分級(jí)電機(jī)的電子單元，一驅(qū)動(dòng)控制器可被用作為反射器控制的部件；看圖1中的控制單元20，其包括一微型計(jì)算機(jī)12和一反射器控制器16。在用于移動(dòng)讀/寫頭的驅(qū)動(dòng)單元24的常規(guī)使用期間用作為該計(jì)算機(jī)和磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件之間的連接鏈路的驅(qū)動(dòng)控制器在當(dāng)驅(qū)動(dòng)單元24被用于調(diào)節(jié)一反射器時(shí)也可被用作為一對(duì)應(yīng)的連接鏈路。
圖4示出了從上方看到的硬盤驅(qū)動(dòng)器30的概略性視圖，其中為了驅(qū)動(dòng)讀/寫頭37，有一帶有直線電機(jī)51、52的旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器33。直線電機(jī)51、52的主要元件是一固定的永久磁鐵和在其頂部上的一線圈52，該線圈52可沿方向A被移動(dòng)，且線圈52被固定至讀/寫頭37的臂36。
除了臂36的驅(qū)動(dòng)器51、52的設(shè)計(jì)外，圖4中所示的硬盤驅(qū)動(dòng)器30對(duì)應(yīng)于圖2中所示的硬盤驅(qū)動(dòng)器。在這兩附圖中，相同的元件由相同的參考數(shù)字表示。
當(dāng)驅(qū)動(dòng)器51、52被致動(dòng)時(shí)，臂36繞固定主軸35旋轉(zhuǎn)以使讀/寫頭37可被連續(xù)移動(dòng)至硬盤39上方的一特定位置。當(dāng)杠桿的長度(致動(dòng)器主軸35一讀/寫頭37)顯著地大于杠桿的長度(致動(dòng)器主軸35-線圈52)時(shí)，線圈的一較小的移動(dòng)被轉(zhuǎn)換成該頭的一較大的移動(dòng)。這意味著用線圈52的最小電流消耗，獲得很短的定位時(shí)間。
帶有圖4中所示的特征的硬盤驅(qū)動(dòng)器，讀/寫頭之一通常被形成為一伺服頭。硬盤的所謂的伺服磁道或索引磁道被分配給該伺服頭。該伺服磁道形成一參考磁道，該伺服頭通過該伺服磁道識(shí)別該硬盤上方的讀/寫頭的定位。這便于讀/寫頭的移動(dòng)的特別精確的調(diào)節(jié)并使它們被精確地定位在硬盤上方。替換地，一分離的傳感器元件組可被設(shè)置，檢測該臂的位置。
圖5示出了用于一反射器4的折射系統(tǒng)的一例子的側(cè)視圖，其中圖4中所示的(連續(xù))直線驅(qū)動(dòng)器51、52可被使用以繞主軸35運(yùn)動(dòng)軸36，且其中圖5未包括對(duì)直線驅(qū)動(dòng)器51、52的詳細(xì)圖示。
這里臂36和反射器4之間的連接是以與根據(jù)圖3的本發(fā)明的實(shí)施例中的相同的方法實(shí)現(xiàn)的。反射器4的移動(dòng)也對(duì)應(yīng)于參照圖3說明的移動(dòng)。
然而，在本發(fā)明的本實(shí)施例中，臂36也攜載一傳感器56(例如一光傳感器)，一固定(例如固定至主軸35)的角度規(guī)57被分配給該傳感器。因此在任何時(shí)候確定臂36且因此反射器4的旋轉(zhuǎn)角和旋轉(zhuǎn)速度。它們也可通過由圖4中說明的驅(qū)動(dòng)器51、52輔助的一對(duì)應(yīng)的調(diào)節(jié)電路被非常精確地調(diào)節(jié)。
當(dāng)在根據(jù)圖1的折射系統(tǒng)10中使用這樣一傳感器調(diào)節(jié)的驅(qū)動(dòng)器24時(shí)，控制電路16、24必須由一適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)電路替換，以使傳感器信號(hào)可被用來調(diào)節(jié)反射器4的移動(dòng)。(圖1的電路圖在此保持未改變；框16的功能僅從一控制設(shè)備變?yōu)橐徽{(diào)節(jié)設(shè)備)。
適當(dāng)?shù)膫鞲衅鞑粌H是光傳感器而且例如也可是磁或電容元件組。傳感器元件組56、57的兩元件56和57因此可被固定至當(dāng)反射器4轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)被相互帶動(dòng)的任意元件。
傳感器元件組56、57可被構(gòu)入數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的讀/寫頭的驅(qū)動(dòng)器中或它可被加在一后級(jí)。
權(quán)利要求
1.一種用通過一驅(qū)動(dòng)單元可被調(diào)節(jié)的至少一折射元件折射光束，特別是激光束的裝置，其特征在于一磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的讀/寫頭的驅(qū)動(dòng)電機(jī)(31，51，52)被設(shè)置為該驅(qū)動(dòng)單元(24，26)的電機(jī)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其特征在于該驅(qū)動(dòng)單元(24，26)包括帶有一盤形式的轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)介質(zhì)的一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的讀/寫頭的驅(qū)動(dòng)電機(jī)(31，51，52)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的裝置，其特征在于該驅(qū)動(dòng)單元(24，26)包括帶有一可換型數(shù)據(jù)存儲(chǔ)介質(zhì)的一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的讀/寫頭的驅(qū)動(dòng)電機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2的裝置，其特征在于該驅(qū)動(dòng)單元(24，26)包括帶有一固定的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)介質(zhì)的一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的讀/寫頭的驅(qū)動(dòng)電機(jī)(31，51，52)。
5.根據(jù)在前至少一權(quán)利要求的裝置，其特征在于該驅(qū)動(dòng)單元(24，26)包括一分級(jí)電機(jī)(31)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-4中至少之一的裝置，其特征在于該驅(qū)動(dòng)單元(24，26)包括一連續(xù)電機(jī)(51，52)。
7.根據(jù)在前至少一權(quán)利要求的裝置，其特征在于除了驅(qū)動(dòng)電機(jī)(31，51，52)外，驅(qū)動(dòng)單元(24，26)還包括該磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的讀/寫頭的機(jī)械驅(qū)動(dòng)元件(32-36)。
8.根據(jù)在前至少一權(quán)利要求的裝置，其特征在于該驅(qū)動(dòng)單元(24，26)具有一繞一主軸(35)轉(zhuǎn)動(dòng)的臂(36)，其中該臂被連接至折射元件(4，6)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的裝置，其特征在于折射元件(4)以這樣一方法被連接至旋轉(zhuǎn)臂(36)以使當(dāng)臂(36)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)折射元件(4)旋轉(zhuǎn)。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9的裝置，其特征在于折射元件(4)通過一棒狀元件(40)被連接至旋轉(zhuǎn)臂(36)。
11.根據(jù)在前至少一權(quán)利要求的裝置，其特征在于折射元件(4)被連接至一可繞該磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的致動(dòng)器主軸(35)轉(zhuǎn)動(dòng)的元件(36)。
12.根據(jù)在前至少一權(quán)利要求的裝置，其特征在于折射元件(4)被連接至讀/寫頭(37)的臂(36)。
13.根據(jù)在前至少一權(quán)利要求的裝置，其特征在于為了確定折射元件(4，6)的角度和/或位置和/或速度而設(shè)置一傳感器元件組(56，57)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的裝置，其特征在于傳感器元件組(56，57)的一元件(56)被連接至連同折射元件(41)一起移動(dòng)的一元件(36)且該傳感器元件組(56，57)的另一元件(57)被連接至一固定元件(35)。
15.根據(jù)權(quán)利要求13或14的裝置，其特征在于傳感器元件組(56，57)被集成入一用于調(diào)節(jié)折射元件(4)的移動(dòng)的調(diào)節(jié)電路(20，24)內(nèi)。
16.根據(jù)在前至少一權(quán)利要求的裝置，其特征在于折射元件(4，6)被形成為一反射器。
17.根據(jù)在前至少一權(quán)利要求的裝置，其特征在于它包括至少兩可調(diào)節(jié)的折射元件(4，6)。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的裝置，其特征在于有至少兩折射元件(4，6)，它們各自與驅(qū)動(dòng)單元(24，26)有一致動(dòng)連接。
19.根據(jù)在前至少一權(quán)利要求的裝置，其特征在于驅(qū)動(dòng)單元(24，26)與一電子控制或調(diào)節(jié)單元(20)有一致動(dòng)連接。
20.根據(jù)權(quán)利要求19的裝置，其特征在于該電子控制或調(diào)節(jié)單元(20)包括一磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的驅(qū)動(dòng)控制器(16)。
21.根據(jù)在前至少一權(quán)利要求的裝置，其特征在于它是用于通過激光束進(jìn)行材料處理的一設(shè)備的構(gòu)成部分。
22.根據(jù)在前至少一權(quán)利要求的裝置，其特征在于它是用于通過激光束生成標(biāo)記、圖形和/或記號(hào)的一設(shè)備的構(gòu)成部分。
23.根據(jù)在前至少一權(quán)利要求的裝置，其特征在于它被形成為一激光器(1)的雕刻頭。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用通過一驅(qū)動(dòng)單元可被調(diào)節(jié)的至少一折疊元件折射光束,特別是激光束的裝置。根據(jù)本發(fā)明,由一磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件的讀/寫頭的驅(qū)動(dòng)器形成驅(qū)動(dòng)單元(24)。
文檔編號(hào)G02B26/10GK1242081SQ97181061
公開日2000年1月19日 申請日期1997年12月23日 優(yōu)先權(quán)日1997年12月23日
發(fā)明者安德烈亞斯·孔茨 申請人:柵控彩色顯象管激光系統(tǒng)有限公司