專利名稱：：激光加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及激光加工裝置，特別涉及對(duì)于印刷電路基板，半導(dǎo)體基片(chip)等樹脂材料或瓷質(zhì)(ceramic)材料等，施行鉆孔，截?cái)啵訕?biāo)志(marking)等的激光加工裝置。
背景技術(shù)：
：作為施行鉆孔加工，截?cái)嗉庸?，加?biāo)志等激光加工裝置，已知以往的圖46所示的結(jié)構(gòu)。這種激光加工裝置，作為光學(xué)系統(tǒng)包括激光L的發(fā)生源的激光振蕩器1，以及調(diào)整激光的發(fā)散角的準(zhǔn)直儀透鏡(collimatelens)2，以及對(duì)應(yīng)于旋轉(zhuǎn)角度將激光L的方向向任意的方向偏轉(zhuǎn)的Y軸檢流鏡(galvanomirror)3，X軸檢流鏡4，以及依據(jù)加工程序調(diào)整Y軸檢流鏡3，X軸檢流鏡4的旋轉(zhuǎn)角度的Y軸檢流掃描器(galvanoscanner)5，X軸檢流掃描器6，以及射入由Y軸檢流鏡3，X軸檢流鏡4偏轉(zhuǎn)的激光L而施行激光的聚焦的聚焦透鏡7等。由激光振蕩器1產(chǎn)生的激光L的波長為由于加工的工件(work)W的材質(zhì)，所需要的激光的波長不相同，但多半使用二氧化碳激光作為激光振蕩器1。聚焦透鏡7為依據(jù)射入角度決定聚焦位置的光學(xué)透鏡，對(duì)應(yīng)于Y軸檢流鏡3，X軸檢流鏡4的偏轉(zhuǎn)控制所決定的射入角度而使聚焦位置變化。激光加工裝置，搭載成為加工對(duì)象的工件W施行位置決定移動(dòng)的XY工作臺(tái)(table)裝置8，經(jīng)由XY工作臺(tái)裝置8的軸移動(dòng)改變工件W與聚焦透鏡7的相對(duì)位置。由聚焦透鏡7聚焦的激光L向XY工作臺(tái)裝置8上的工件W照射。在XY工作臺(tái)裝置8的附近，作為觀察光學(xué)系統(tǒng)，設(shè)置檢測由激光L照射加工的工件W的加工位置的視覺感測器(visionsensor)9。激光加工裝置連接有用以將激光振蕩器1，Y軸檢流掃描器5，X軸檢流掃描器6，等驅(qū)動(dòng)控制的XY工作臺(tái)裝置8的數(shù)值控制裝置等的控制裝置10。控制裝置10為，多半為用戶界面(userinterface)具有個(gè)人電腦的PC-NC，將記載加工的位置或其條件等內(nèi)容的加工程序預(yù)先記憶于個(gè)人電腦。在激光加工裝置中，作為所要求的加工，有直徑為50μm～200μm程度的細(xì)小的孔加工，而這種微細(xì)加工中，必須將激光束(laserbeam)對(duì)于作為加工對(duì)象的工件W的表面上的50μm～200μm程度的非常小的點(diǎn)(sopt)聚焦。因此，使用激光向工件W上聚焦的聚焦透鏡7。激光振蕩器1所輸出的激光向工件W引導(dǎo)的光路為，具有某一程度的距離，因此在傳播途中激光發(fā)散，在Y軸檢流鏡3，X軸檢流鏡4上光束的直徑散開。設(shè)如欲使其成為必需的光束直徑，必須調(diào)整激光的發(fā)散角。因此，光路的途中放置準(zhǔn)直儀透鏡3由此設(shè)定光束的直徑。工件W上的必要的部分欲照射激光L時(shí)，驅(qū)動(dòng)Y軸檢流掃描器5，X軸檢流掃描器6，由此改變Y軸檢流鏡3，X軸檢流鏡4的旋轉(zhuǎn)角度而使激光向需要的方向位置偏轉(zhuǎn)。偏轉(zhuǎn)的激光向聚焦透鏡7射入的角度θ，使工件W上的座標(biāo)值明確地決定。控制裝置10為，經(jīng)由作業(yè)者的起動(dòng)指令或外部的主機(jī)(host)送來的起動(dòng)信號(hào)，依據(jù)所選擇的加工程序?qū)嵤┘庸?。這種加工程序?yàn)?，預(yù)先將必要的加工位置的資料(data)變換為XY工作臺(tái)裝置8的座標(biāo)與檢流掃描器3，4的座標(biāo)(旋轉(zhuǎn)角度)?？刂蒲b置10在施行加工程序時(shí)，大的移動(dòng)由可以取得多的移動(dòng)沖程的XY工作臺(tái)裝置8的移動(dòng)實(shí)施，小的移動(dòng)由移動(dòng)速度快速的Y軸檢流鏡3，X軸檢流鏡4的掃描移動(dòng)實(shí)施的方式依據(jù)加工程序輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)。通常，Y軸檢流掃描器5，X軸檢流掃描器6使用DC伺服馬達(dá)，多半使用具備位置檢測器的伺服控制的方法。此外，XY工作臺(tái)裝置8也多半使用球螺栓(ballscrew)伺服馬達(dá)施行驅(qū)動(dòng)控制。Y軸檢流掃描器5，X軸檢流掃描器6，可以有500孔/秒程度的高速位置決定，XY工作臺(tái)裝置8能由30m/秒的移動(dòng)速度驅(qū)動(dòng)。此外，Y軸檢流掃描器5，X軸檢流掃描器6與XY工作臺(tái)裝置8的位置決定精確度，綜合可以送出±20μm程度的性能為目前的狀況。通常，這種聚焦透鏡7，分頻為變換透鏡，多半使用稱為fθ透鏡的組合透鏡。圖47是表示fθ透鏡使用為聚焦透鏡7的情況的聚焦位置。fθ透鏡，關(guān)于通過焦點(diǎn)位置射入的激光，具有可以獲得比例于該fθ透鏡的射入角度θ的像高(操作距離)ω的性質(zhì)。此時(shí)，可知有下式的關(guān)系ω=f·θ式中，f為fθ透鏡的焦點(diǎn)距離，θ為射入角度。聚焦透鏡7與一般的光學(xué)玻璃透鏡相同，具有收差，因此難于保持ω=f·θ的完全關(guān)系。因此，測試?yán)硐肱c實(shí)際的偏差多半使用偏差預(yù)先計(jì)算而校正Y軸檢流鏡5，X軸檢流鏡6的偏轉(zhuǎn)角度的指令值。該校正為，對(duì)于每一加工位置(x，y)施行對(duì)于聚焦透鏡的校正，由此決定對(duì)于偏轉(zhuǎn)裝置(Y軸檢流掃描器5，X軸檢流掃描器6)的指令值(X’，Y’)。關(guān)于校正，多半由使用矩陣的變換式實(shí)施，在該變換式的決定中將校正的變換式更新為不同于一般的加工步驟的步驟，由此消除該時(shí)間點(diǎn)的透鏡的收差。圖48是表示聚焦透鏡的收差校正變換式的更新步驟。施行聚焦透鏡7的收差校正的情況為由圖49所示的結(jié)構(gòu)，經(jīng)由圖50所示格子狀的圖案(pattern)的加工位置的指令施行校正用鉆孔加工(步驟S611)。但是，由于聚焦透鏡7有收差，實(shí)際加工的位置如第51圖所示，大半為由加工指令的格子點(diǎn)偏離的位置。校正用鉆孔加工完了時(shí)，所加工的孔的位置由視覺感測器9觀測，由此檢測加工的孔的座標(biāo)值(步驟S612)。因此，求出聚焦透鏡7理想與實(shí)際的偏差值，因此依據(jù)此，施行欲加工的位置校正的座標(biāo)變換。座標(biāo)變換為，多半由使用矩陣的變換式施行，依據(jù)聚焦透鏡的理想與實(shí)際的偏差，施行最小自乘法等的符合動(dòng)作(fitting)，由校正矩陣計(jì)算求出矩陣的要素(步驟S613)。聚焦透鏡7，對(duì)于激光的波長要求高值透光率(反射率低)，尤其在常使用的二氧化碳激光的情況，透鏡材質(zhì)受到限定，一般使用鍺(Germanium-Ge)等半導(dǎo)體結(jié)晶材料。此等材質(zhì)為，關(guān)于決定光學(xué)特性的折射率n的溫度系數(shù)dn/dT非常大，明了鍺(Ge)具有dn/dT=277(℃)的溫度依存性。因?yàn)橐酝募す饧庸ぱb置系由以上所述的結(jié)構(gòu)，經(jīng)由周圍溫度或激光加工裝置本身的發(fā)熱，聚焦透鏡7的溫度變動(dòng)的情況，引起大約比例于溫度變動(dòng)產(chǎn)生加工位置的偏移的問題，溫度每1℃產(chǎn)生10～15μm的加工位置的偏移的現(xiàn)象，由此成為加工不良的問題。起因于聚焦透鏡7的收差的加工位置的偏移，可以由前所述的座標(biāo)變換的聚焦透鏡收差校正而補(bǔ)償，但是實(shí)施收差校正時(shí)的聚焦透鏡7的溫度變動(dòng)時(shí)，聚焦透鏡7的光學(xué)時(shí)性變化，溫度升高時(shí)，如圖52所示，引起施行實(shí)際加工的格子點(diǎn)全面收縮的加工的缺點(diǎn)。此外，聚焦透鏡6的溫度變動(dòng)，不僅成為加工位置的變偏移，也引起焦點(diǎn)距離的變動(dòng)，聚焦點(diǎn)由工作W表面離開，由此引起發(fā)生加工位置不良的問題。如圖53所示，聚焦透鏡7的溫度為T時(shí)射入于聚焦透鏡7的激光，由激光束La的方式聚焦，聚焦點(diǎn)Pa為在工件W的表面上，可以良好加工，但是聚焦透鏡7的溫度僅變動(dòng)δT的情況下，對(duì)于相同射入角的激光，由于由激光束Lb的方式聚焦，因此加工位置發(fā)生δX的位置偏離，而且，也產(chǎn)生聚焦點(diǎn)Pb的高度上升δf的現(xiàn)象。這種加工位置的偏離，如非在加工後實(shí)施檢查以確認(rèn)其精確度否則無法辨識(shí)，在大量引起位置偏移的狀態(tài)下繼續(xù)加工，由此引起大量生產(chǎn)加工不良的基板的問題。此外，頻繁實(shí)施聚焦透鏡收差校正時(shí)，可以消除加工位置的偏移，但實(shí)際上在自動(dòng)加工時(shí)，實(shí)施聚焦透鏡的校正時(shí)，必須停止運(yùn)轉(zhuǎn)，由此成為降低生產(chǎn)性的原因。由于不存在自動(dòng)施行焦點(diǎn)距離的偏離檢測的方法，必須由作業(yè)人員實(shí)際加工而預(yù)先求出焦點(diǎn)距離，常時(shí)變化的情況為不存在對(duì)于該變動(dòng)的有效措施。此外，印刷電路基板為，隨著電子電路的小型輕量化，高集體化，鉆孔加工也升高小型化及高精確度化的加工要求，由此激光加工裝置的性能提升的要求益見升高。本發(fā)明為解決前述問題，其目的在于提供聚焦透鏡的聚焦特性不依存于聚焦透鏡的溫度變化，在長時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)中也可以由良好精確度加工的同時(shí)可以施行穩(wěn)定的激光加工的激光加工裝置。發(fā)明概述本發(fā)明，在包括使激光振蕩器所輸出的激光的方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，以及使前述偏轉(zhuǎn)裝置所射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡等的激光加工裝置中，前述聚焦透鏡，具有由多片的透鏡組成，由消除透鏡間的折射率的溫度變化的方式使多片的透鏡間的相對(duì)位置由聚焦透鏡溫度而變化的透鏡位置調(diào)整裝置，由此可以提供前述聚焦透鏡的聚焦特性不依存于該聚焦透鏡的溫度變化的激光加工裝置。因此，溫度變化引起的透鏡的折射率的變化所致聚焦特性的變動(dòng)成分消除，聚焦透鏡的聚焦特性不依存于聚焦透鏡的溫度變化，不致于由于外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱而發(fā)生加工位置的偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的激光加工。本發(fā)明，提供前述透鏡位置調(diào)整裝置，由檢測前述聚焦透鏡的溫度的溫度測量器，以及使透鏡向光軸方向驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(actuator)，以及對(duì)應(yīng)于前述溫度測量器所檢測之前述聚焦透鏡的溫度校正前述聚焦透鏡的溫度變化引起的焦點(diǎn)偏離的方式控制前述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的控制電路等所結(jié)構(gòu)的激光加工裝置。因此，對(duì)應(yīng)于溫度測量器所檢測的聚焦透鏡的溫度校正聚焦透鏡的溫度變化引起的焦點(diǎn)偏離的方式由于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)作使透鏡向光軸方向變位，由此可以避免聚焦透鏡的聚焦特性依存于聚焦透鏡的溫度變化，因此不再發(fā)生由于外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起的加工位置的偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的激光加工。本發(fā)明，可以提供前述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，由透鏡向光軸方向移動(dòng)的供送螺栓機(jī)構(gòu)，以及前述供送螺栓機(jī)構(gòu)施行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的馬達(dá)所構(gòu)成的激光加工裝置。因此，可以由供送螺栓機(jī)構(gòu)使透鏡確實(shí)向光軸方向移動(dòng)。本發(fā)明可以提供述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由壓電元件結(jié)構(gòu)的激光加工裝置。因此，可以由壓電元件確實(shí)使透鏡向光軸方向移動(dòng)。本發(fā)明，可以提供前述透鏡位置調(diào)整裝置，由具有溫度依存性的材料結(jié)構(gòu)而由保持透鏡的保持配件結(jié)構(gòu)，經(jīng)由前述保持配件本身的溫度伸縮使前述透鏡向光軸方向變位的激光加工裝置。因此，保持配件本身的溫度伸縮使透鏡向光軸方向變位，由于該變位使聚焦透鏡的溫度變化所引起的焦點(diǎn)偏離受到校正，由此可以避免聚焦透鏡的聚焦特性依存于聚焦透鏡的溫度變化，由此不再由于外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱而使加工位置偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，在包括使激光振蕩器所輸出的激光的方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，以及使前述偏轉(zhuǎn)裝置所射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡的激光加工裝置中，可以提供，在前述聚焦透鏡，除了聚焦用的凸透鏡組組入溫度補(bǔ)償用的凹透鏡，經(jīng)由前述凹透鏡的折射率的溫度變化消除前述凸透鏡組的折射率的溫度變化，由此使前述聚焦透鏡的聚焦特性不依存于該聚焦透鏡的溫度變化的激光加工裝置。因此，經(jīng)由凹透鏡的折射率的溫度變化消除凸透鏡組的折射率的溫度變化，可以避免聚焦透鏡的聚焦特性依存于聚焦透鏡的溫度變化，因此，不需要特別的控制系統(tǒng)，不致于由于外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起加工位置的偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供，前述聚焦透鏡的凸透鏡組由硒化鋅所構(gòu)成，前述凹透鏡為由鍺所構(gòu)成的激光加工裝置。因此，由凹透鏡的折射率的溫度變化將凸透鏡組的折射率的溫度變化確實(shí)消除，避免聚焦透鏡的聚焦特性依存于聚焦透鏡的溫度變化，由此不致于由外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起的加工位置的偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，在包括使激光振蕩器所輸出的激光的方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，以及使前述偏轉(zhuǎn)裝置所射入的激光折射而在加工對(duì)象上成像的聚焦透鏡等的激光加工裝置中，可以提供具備檢測前述聚焦透鏡的溫度的溫度測量器，以及顯示由前述溫度測量器所檢測之前述聚焦透鏡的溫度的溫度顯示器的激光加工裝置。因此，由溫度測量器檢測的聚焦透鏡的溫度顯示于溫度顯示器，結(jié)果可以向作業(yè)人員明確顯示聚焦透鏡的溫度。本發(fā)明，可以提供前述溫度顯示器具有復(fù)歸按鈕(resetbutton)，顯示復(fù)歸按鈕操作時(shí)的聚焦透鏡溫度引起的溫度變化的激光加工裝置。因此，在溫度顯示器顯示復(fù)歸按鈕操作時(shí)的聚焦透鏡溫度引起的溫度變化，結(jié)果可以對(duì)于作業(yè)人員明確告知聚焦透鏡的復(fù)歸按鈕操作時(shí)引起的溫度變化。本發(fā)明，在包括使激光振蕩器所輸出的激光的方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，以及使前述偏轉(zhuǎn)裝置所射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡等的激光加工裝置中，可以提供，具備檢測前述聚焦透鏡的溫度的溫度測量器，以及前述聚焦透鏡的溫度變化量超越預(yù)先所決定的容許值時(shí)發(fā)出報(bào)警的報(bào)警裝置等的激光加工裝置。因此，聚焦透鏡的溫度變化量超出預(yù)先決定的容許值時(shí)，報(bào)警裝置發(fā)出報(bào)警而將聚焦透鏡的溫度變化量超出預(yù)先決定的容許值的狀況向作業(yè)人員報(bào)警。本發(fā)明，在包括使激光振蕩器所輸出的激光的方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，以及使前述偏轉(zhuǎn)裝置所輸入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡的激光加工裝置中，可以提供具備檢測前述聚焦透鏡的溫度的溫度測量器，以及由前述溫度測量器所檢測的聚焦透鏡溫度保持于預(yù)定的一定值的方式加熱前述聚焦透鏡的加熱裝置等的激光加工裝置。因此，經(jīng)由加熱裝置加熱聚焦透鏡而使聚焦透鏡溫度保持于預(yù)定的一定值，可以避免發(fā)生聚焦透鏡的聚焦特性的溫度變動(dòng)，不致于由于外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起的加工位置的偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，在包括使激光振蕩器所輸出的激光的方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，以及使前述偏轉(zhuǎn)裝置所射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡的激光加工裝置中，可以提供具備檢測前述聚焦透鏡的溫度的溫度測量器，以及由前述溫度測量器所檢測的聚焦透鏡溫度保持于預(yù)定的一定值的方式冷前述聚焦透鏡的溫度控制裝置的激光加工裝置。因此，經(jīng)由溫度控制裝置冷聚焦透鏡而使聚焦透鏡保持于預(yù)定的一定值，由此避免聚焦透鏡發(fā)生聚焦特性的溫度變動(dòng)，不致于由于外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起的加工位置的偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供前述溫度控制裝置為珀?duì)柼?Peltier)元件的激光加工裝置。因此，由于珀?duì)柼?Peltier)元件冷卻聚焦透鏡而使聚焦透鏡溫度保持于預(yù)定的一定值，由此可以避免聚焦透鏡發(fā)生聚焦特性的溫度變動(dòng)，不致于由于外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起加工位置的偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，在包括使激光振蕩器所輸出的激光的方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，以及使前述偏轉(zhuǎn)裝置所射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡的激光加工裝置中，可以提供具備前述聚焦透鏡由外氣隔熱的隔熱裝置的激光加工裝置。因此，由隔熱裝置施行防止聚焦透鏡受到外部的傳熱的隔熱作用，由此抑制聚焦透鏡發(fā)生溫度變動(dòng)，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供前述隔熱裝置由圍繞聚焦透鏡的外側(cè)的外筒體，以及填充于在前述聚焦透鏡與前述外筒體的間所畫定的隔熱空間的隔熱材料，以及密閉前述隔熱空間的上端與下端的方式配置的激光透光性的窗口密封板(windowscreeningplate)等所結(jié)構(gòu)的激光加工裝置。因此，由隔熱材料施行防止聚焦透鏡由外氣的傳熱的隔熱作用，由此抑制聚焦透鏡發(fā)生聚焦特性的溫度變動(dòng)，防止加工位置受到外氣溫度變動(dòng)而偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供前述隔熱裝置為，結(jié)構(gòu)聚焦透鏡的透鏡經(jīng)由隔熱材料形成的隔熱配件支持的激光加工裝置。因此，經(jīng)由隔熱配件施行聚焦透鏡由防止外氣的傳熱的隔熱作用，由此抑制聚焦透鏡發(fā)生聚焦特性的溫度變動(dòng)，防止加工位置受到外部的溫度的變動(dòng)而偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供包括前述隔熱裝置為具有多數(shù)的突起，經(jīng)由前述突起之前端部對(duì)于前述聚焦透鏡的透鏡施行點(diǎn)接觸而保持該透鏡的透鏡組裝(lensmount)配件的激光加工裝置。因此，透鏡成為點(diǎn)接觸，使透鏡保持器(lensholder)與透鏡的間的傳熱幾乎消失，由此抑制聚焦透鏡發(fā)生聚焦特性的溫度變動(dòng)，對(duì)于透鏡由外氣的傳熱受到抑制，可以防止加工位置受到外氣的溫度變動(dòng)的偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供前述隔熱配件為，具有突出條，經(jīng)由前述突出條之前端部對(duì)于前述聚焦透鏡的透鏡施行線接觸而保持該透鏡的透鏡組裝配件的激光加工裝置。因此，透鏡成為線接觸支持，透鏡保持器與透鏡的間的傳熱幾乎消失，對(duì)于透鏡的外氣的傳熱受到抑制，抑制聚焦透鏡發(fā)生集特性的溫度變動(dòng)，防止加工位置由于外氣的溫度變動(dòng)而偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供前述聚焦透鏡由多片的凸透鏡結(jié)構(gòu)，其中最上部與最下部的凸透鏡為由光學(xué)特性不容易依存于溫度的透鏡材料制造，配置于中間部分的凸透鏡為，由光學(xué)特性容易依存于溫度的材料制造的激光加工裝置。因此，最上部與最下部的凸透鏡成為熱障壁(heatbarrier)，關(guān)于配置在光學(xué)特性容易依存于溫度的透鏡材料之中間部分的凸透鏡，施行由外氣傳熱防止的隔熱，抑制聚焦透鏡發(fā)生聚焦特性的溫度變動(dòng)，防止加工位置受到外氣的溫度的變動(dòng)而偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供配置于前述中間的凸透鏡，由具有突出條而使前述突出條之前端部對(duì)于聚焦透鏡施行線接觸的透鏡組裝配件所保持的激光加工裝置。因此，對(duì)于由中間配置的凸透鏡送來的傳熱受到抑制，由此抑制聚焦透鏡的聚焦特性發(fā)生溫度變動(dòng)，可以防止加工位置受到外氣的溫度變動(dòng)而偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，在包括使激光振蕩器所輸出的激光的方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，以及使前述偏轉(zhuǎn)裝置所射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡的激光加工裝置中，可以提供具備檢測前述聚焦透鏡的溫度的溫度測量器，以及由保持前述溫度測量器所檢測的聚焦透鏡溫度于一定值的方式調(diào)整前述聚焦透鏡的配置部的環(huán)境溫度的溫度調(diào)整裝置等的激光加工裝置。因此，聚焦透鏡的溫度保持于預(yù)定的一定值，聚焦透鏡的聚焦特性發(fā)生溫度變動(dòng)的情況可以避免，不發(fā)生外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱所引起的加工位置的偏移，結(jié)果施行穩(wěn)定而高精確度的激光加工。本發(fā)明，在包括使激光振蕩器所輸出的激光的方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，以及使前述偏轉(zhuǎn)裝置所射入的激光折射而在加工對(duì)象上成像的聚焦透鏡等的激光加工裝置中，可以提供具備調(diào)整射入于前述激光透鏡的激光的角度，由此消除聚焦透鏡溫度的變動(dòng)引起之前述聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量的消除機(jī)構(gòu)為特徵的激光加工裝置。因此，經(jīng)由消除機(jī)構(gòu)調(diào)整射入于聚焦透鏡的激光的角度，經(jīng)由這種角度調(diào)整使聚焦透鏡溫度的變動(dòng)引起的聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量消除，不再發(fā)生外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起的加工位置的偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供前述消除機(jī)構(gòu)為校正對(duì)于前述偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)量的指令值的偏轉(zhuǎn)量指令校正裝置的激光加工裝置。因此，由偏轉(zhuǎn)量指令校正裝置校正對(duì)于偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)量的指令值，由于該校正射入于聚焦透鏡的激光的角度受到調(diào)整，由于該角度調(diào)整聚焦透鏡溫度的變動(dòng)所引起的聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量消除，不再發(fā)生外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起的加工位置的偏移，由此可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供具有檢測前述聚焦透鏡的溫度的溫度測量器，前述偏轉(zhuǎn)量指令校正裝置為對(duì)應(yīng)于前述溫度測量器所檢測的聚焦透鏡的溫度而設(shè)定的校正參數(shù)校正前述偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)量的指令值的激光加工裝置。因此，偏轉(zhuǎn)量指令校正裝置為，經(jīng)由前述偏轉(zhuǎn)量指令校正裝置對(duì)應(yīng)于前述溫度測量器所檢測的聚焦透鏡溫度而設(shè)定的校正參數(shù)校正對(duì)于偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)量的指令值，由于該校正，射入于聚焦透鏡的激光的角度受到調(diào)整，經(jīng)由該角度調(diào)整使聚焦透鏡溫度的變動(dòng)所引起聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量消除，由此不再發(fā)生外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起的加工位置的偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供前述偏轉(zhuǎn)量指令校正裝置為偏轉(zhuǎn)量指令的校正由定點(diǎn)加工的加工位置誤差所獲得的座標(biāo)變換函數(shù)的座標(biāo)變換施行的激光加工裝置。因此，偏轉(zhuǎn)量指令值校正裝置經(jīng)由定點(diǎn)加工的加工位置誤差所獲得的座標(biāo)變換函數(shù)的座標(biāo)變換校正對(duì)于偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)量的指令值，經(jīng)由該校正調(diào)整射入于聚焦透鏡的激光的角度，由于該角度調(diào)整使聚焦透鏡溫度的變動(dòng)引起的聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量消除，由此不再發(fā)生外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱所引起的加工裝置的變動(dòng)等，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供前述偏轉(zhuǎn)量指令校正裝置將偏轉(zhuǎn)量指令的校正由定點(diǎn)加工的加工位置誤差獲得的校正矩陣施行的激光加工裝置。因此，由偏轉(zhuǎn)量指令校正裝置經(jīng)由定點(diǎn)加工的加工位置誤差所獲得的校正矩陣的座標(biāo)變換校正對(duì)于偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)量的指令值，經(jīng)由該校正調(diào)整射入于聚焦透鏡的激光的角度，聚焦透鏡溫度的變動(dòng)引起的聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量消除，由此不再發(fā)生外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起的加工位置的偏移等，對(duì)于非線性的位置偏離也可以完全校正，結(jié)果可以實(shí)施高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供，前述座標(biāo)變換函數(shù)或前述校正矩陣，每在激光加工，在激光加工前先行更新的激光加工裝置。因此，每在激光加工時(shí)，先于激光加工將座標(biāo)變換函數(shù)或校正矩陣更新，經(jīng)由對(duì)于更新的座標(biāo)變換函數(shù)或校正矩陣的偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)量指令施行校正，由此消除聚焦透鏡溫度的變動(dòng)引起的聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量，不再發(fā)生外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起的加工位置的偏移等，結(jié)果施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供具有檢測前述聚焦透鏡的溫度的溫度測量器，前述座標(biāo)變換函數(shù)或前述校正矩陣，在前述溫度測量器所檢測的聚焦透鏡溫度由預(yù)定值以上變化時(shí)先于激光加工更新的激光加工裝置。因此，由溫度測量器所檢測的聚焦透鏡溫度有預(yù)定值以上變化時(shí)，座標(biāo)變換函數(shù)或校正矩陣更新，經(jīng)由對(duì)于更新的座標(biāo)變換函數(shù)或校正矩陣的偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)量指令校正，聚焦透鏡溫度的變動(dòng)引起的聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量消除，由此不再發(fā)生外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起的加工位置的偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供前述座標(biāo)變換函數(shù)或前述校正矩陣，由預(yù)先決定的時(shí)間更新的激光加工裝置。因此，由預(yù)定的時(shí)間使座標(biāo)變換函數(shù)或校正矩陣更新，經(jīng)由更新的座標(biāo)變換函數(shù)或校正矩陣對(duì)于偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)量指令施行校正，聚焦透鏡溫度的變動(dòng)引起的聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量消除，由此不再發(fā)生外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起的加工位置的偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供前述座標(biāo)變換函數(shù)或前述校正矩陣，每在經(jīng)過預(yù)定時(shí)間時(shí)更新的激光加工裝置。因此，在每經(jīng)過預(yù)定時(shí)間時(shí)，以周期性更新座標(biāo)變換函數(shù)或校正矩陣，經(jīng)由更新的座標(biāo)變換函數(shù)或校正矩陣對(duì)于偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)量指令施行校正，聚焦透鏡溫度變動(dòng)引起的聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量消除，由此不再發(fā)生外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱所引起的加工位置的偏移，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供預(yù)先取得各聚焦透鏡溫度下的校正矩陣，具有檢測前述聚焦透鏡的溫度的溫度測量器，使用對(duì)應(yīng)于前述溫度測量器所檢測的聚焦透鏡溫度的校正矩陣為特徵的激光加工裝置。因此，經(jīng)由對(duì)于預(yù)先取得的各聚焦透鏡溫度的校正矩陣的偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)量指令施行校正，因此每次加工時(shí)，不必要更新校正矩陣的處理可以將聚焦透鏡溫度的變動(dòng)引起的聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量消除，不再發(fā)生外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起的加工位置的偏移等，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供前述消除機(jī)構(gòu)包括對(duì)于前述偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)量的指令值的增益(gain)對(duì)應(yīng)于溫度測量器所檢測的聚焦透鏡溫度可變?cè)O(shè)定的可變?cè)鲆嬖O(shè)定裝置的激光加工裝置。因此，經(jīng)由可變?cè)鲆嬖O(shè)定裝置的偏轉(zhuǎn)量指令值的增益調(diào)整，施行偏轉(zhuǎn)量指令的校正，經(jīng)由該校正使聚焦透鏡溫度的變動(dòng)引起的聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量消除，由此不再發(fā)生外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起的加工位置的偏移等，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，可以提供前述消除機(jī)構(gòu)為，具有調(diào)整射入于前述偏轉(zhuǎn)裝置的激光的角度的肘彎鏡(kneebendmirror)的激光加工裝置。因此，經(jīng)由肘彎鏡調(diào)整射入于偏轉(zhuǎn)裝置的激光的角度，經(jīng)由此調(diào)整消除聚焦透鏡溫度的變動(dòng)引起的聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量，由此不再發(fā)生外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起的加工位置的偏移等，結(jié)果可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，在包括變化激光振蕩器所輸出的激光的方向的偏轉(zhuǎn)裝置，以及使前述偏轉(zhuǎn)裝置所輸入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡的激光加工裝置中，可以提供具備檢測前述聚焦透鏡的溫度的溫度測量器，以及對(duì)應(yīng)于前述溫度測量器所檢測之前述聚焦透鏡的溫度校正對(duì)于前述聚焦透鏡的加工對(duì)象工件的位置指令，由此消除聚焦透鏡溫度的變動(dòng)引起之前述聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量的加工工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)指令校正裝置等的激光加工裝置。因此，工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)指令校正裝置對(duì)應(yīng)于聚焦透鏡溫度校正加工對(duì)象工件的位置指令，經(jīng)由該位置校正將聚焦透鏡溫度的變動(dòng)引起的聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)所致的加工位置的溫動(dòng)變動(dòng)消除，由此可以避免外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱所引起的加工位置的偏移，結(jié)果可以施行高精確度的激光加工。本發(fā)明，在包括使激光振蕩器所輸出的激光的方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，以及使前述偏轉(zhuǎn)裝置所射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡的激光加工裝置中，可以提供具備檢測前述聚焦透鏡的溫度的溫度測量器，以及所輸出的激光的波長，由消除聚焦透鏡的溫度的變動(dòng)引起之前述聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量的方式對(duì)應(yīng)于前述溫度測量器所檢測的聚焦透鏡溫度施行可變?cè)O(shè)定的可變波長激光振蕩器等的激光加工裝置。因此，可以由消除起因于聚焦透鏡的溫度變動(dòng)的聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)所引起的位置偏移的方式設(shè)定激光的波長，結(jié)果可以不遭受聚焦透鏡的溫度變動(dòng)的影響由良好精確度穩(wěn)定施行高精確度的激光加工。本發(fā)明，在包括使激光振蕩器所輸出的激光的方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，以及使前述偏轉(zhuǎn)裝置所射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡等的激光加工裝置中，可以提供具備檢測前述聚焦透鏡的溫度的溫度測量器，以及對(duì)應(yīng)于前述溫度測量器所檢測的聚焦透鏡溫度調(diào)整前述聚焦透鏡與偏轉(zhuǎn)裝置間的距離，由此消除聚焦透鏡溫度的變動(dòng)所引起之前述聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量的消除機(jī)構(gòu)等的激光加工裝置。因此，經(jīng)由消除機(jī)構(gòu)，對(duì)應(yīng)于聚焦透鏡溫度調(diào)整聚焦透鏡與偏轉(zhuǎn)裝置間的距離，由此聚焦透鏡溫度的變動(dòng)引起的聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量消除，避免外氣的溫度或激光加工機(jī)本身的發(fā)熱引起的加工位置的偏移，結(jié)果可以施行高精確度的激光加工。本發(fā)明，在包括使激光振蕩器所輸出的激光的方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，以及使前述偏轉(zhuǎn)裝置所射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡的激光加工裝置中，可以提供具備檢測前述聚焦透鏡的溫度的溫度測量器，以及消除聚焦透鏡溫度的變動(dòng)引起之前述聚焦透鏡的焦點(diǎn)距離的變化量的方式對(duì)應(yīng)于前述溫度測器所檢測的聚焦透鏡溫度以調(diào)整激光的發(fā)散角的轉(zhuǎn)接光電器(adaptiveoptics)等的激光加工裝置。因此，經(jīng)由轉(zhuǎn)接光電器對(duì)應(yīng)于聚焦透鏡溫度以調(diào)整激光的發(fā)散角，經(jīng)由這種調(diào)整可以將聚焦點(diǎn)的位置維持于工件表面上，由此即使有聚焦透鏡的溫度變動(dòng)也可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，在包括使激光振蕩器所輸出的激光的方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，以及使前述偏轉(zhuǎn)裝置所射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡等的激光加工裝置中，可以提供具備檢測前述聚焦透鏡的溫度的溫度測量器，以及消除聚焦透鏡溫度的變動(dòng)所引起之前述聚焦透鏡的焦點(diǎn)距離的變化量的方式對(duì)應(yīng)于前述溫度測量器所檢測的聚焦透鏡溫度以調(diào)整準(zhǔn)直儀透鏡的位置的準(zhǔn)直儀透鏡位置調(diào)整機(jī)構(gòu)等的激光加工裝置。因此，經(jīng)由準(zhǔn)直儀透鏡位置調(diào)整機(jī)施行準(zhǔn)直儀透鏡的位置調(diào)整，由此調(diào)整對(duì)于聚焦透鏡的溫度變動(dòng)引起的焦點(diǎn)距離的變動(dòng)，調(diào)整激光的發(fā)散角度而可以使聚焦點(diǎn)的位置維持于工件表面上，由此即使有聚焦透鏡的溫度變動(dòng)，也可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。本發(fā)明，在包括使激光振蕩器所輸出的激光的方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，以及使前述偏轉(zhuǎn)裝置所射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡等的激光加工裝置中，可以提供，具備檢測前述聚焦透鏡的溫度的溫度測量器，以及消除聚焦透鏡溫度變動(dòng)所引起之前述聚焦透鏡的焦點(diǎn)距離的變化量的方式，調(diào)整由前述聚焦透鏡至加工對(duì)象工件的距離的加工工作臺(tái)高度調(diào)整機(jī)構(gòu)等的激光加工裝置。因此，由于加工工作臺(tái)高度調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整聚焦透鏡至加工對(duì)象工件的距離，經(jīng)由此調(diào)整可以將聚焦點(diǎn)的位置維持于工件表面上，由此即使有聚焦透鏡的溫度變動(dòng)也可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。附圖簡要說明圖1是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例1的整體結(jié)構(gòu)圖。圖2是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例1的聚焦透鏡部分的結(jié)構(gòu)圖。圖3是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例2的聚焦透鏡部分的結(jié)構(gòu)圖。圖4是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例3的聚焦透鏡部分的結(jié)構(gòu)圖。圖5是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例4的聚焦透鏡部分的結(jié)構(gòu)圖。圖6是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例5的主要部分的立體圖。圖7是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例5的變形例的主要部分的立體圖。圖8是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例6的主要部分的結(jié)構(gòu)圖。圖9是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例6的動(dòng)作流程的流程圖。圖10是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例7的聚焦透鏡部分的結(jié)構(gòu)圖。圖11為本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例7的主要部分的結(jié)構(gòu)圖。圖12為本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例8的主要部分的結(jié)構(gòu)圖。圖13是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例9的聚焦透鏡部分的立體圖。圖14是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例9的聚焦透鏡部分的剖視圖。圖15是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例10的聚焦透鏡部分的剖視圖。圖16是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例11的聚焦透鏡部分的剖視圖。圖17是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例11的聚焦透鏡部分的立體圖。圖18是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例11的變形例的聚焦透鏡部分的剖視圖。圖19是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例12的聚焦透鏡部分的剖視圖。圖20是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例13的聚焦透鏡部分的剖視圖。圖21為本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例14的結(jié)構(gòu)圖。圖22是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例14的變形例的剖視圖。圖23是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例15的整體結(jié)構(gòu)圖。圖24是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例15的主要部分的結(jié)構(gòu)圖。圖25是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例15的動(dòng)作流程的流程圖。圖26為本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例15的激光加工的流程圖。圖27是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例15的其他動(dòng)作流程的流程圖。圖28是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例15的聚焦透鏡校正更新的流程圖。圖29為本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例15的其他激光加工的流程圖。圖30是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例15中的校正矩陣的取得步驟的說明圖。圖31為本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例15中的其他激光加工的流程圖。圖32是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例15的溫度校正表格的說明圖。圖33為本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例15的校正矩陣的取得的流程圖。圖34是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例15的變形例的結(jié)構(gòu)圖。圖35是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例15的其他動(dòng)作流程的流程圖。圖36是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例15的其他動(dòng)作流程的流程圖。圖37是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例16的方框圖。圖38是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例17的結(jié)構(gòu)圖。圖39是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例18的結(jié)構(gòu)圖。圖40是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例19的結(jié)構(gòu)圖。圖41是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例20的結(jié)構(gòu)圖。圖42是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例21的結(jié)構(gòu)圖。圖43是表示激光的發(fā)散角與聚焦裝置的關(guān)系的說明圖。圖44是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例22的結(jié)構(gòu)圖。圖45是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例23的結(jié)構(gòu)圖。圖46是表示以往的激光加工裝置的結(jié)構(gòu)圖。圖47是表示fθ透鏡的聚焦位置特性的說明圖。圖48是表示聚焦透鏡校正更新的步驟的流程圖。圖49是表示定點(diǎn)位置加工的要訣的說明圖。圖50是表示定點(diǎn)位置加工的說明圖。圖51是表示定點(diǎn)位置加工中的加工誤差的說明圖。圖52是表示以往的激光加工裝置的位置偏離的說明圖。圖53是表示激光加工裝置中的聚焦位置變化的說明圖。實(shí)施發(fā)明的最佳形態(tài)下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的最佳的實(shí)施例進(jìn)行說明。并且，在以下所說明的本發(fā)明的實(shí)施例中，對(duì)與前述以往的同一結(jié)構(gòu)部分或同等的部分，附加前述以往相同的標(biāo)號(hào)，并省略其重復(fù)的說明。實(shí)施例1圖1是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例1的整體結(jié)構(gòu)圖。實(shí)施例1的激光加工裝置，由消除結(jié)構(gòu)聚焦透鏡的透鏡的折射率的溫度變化的方式，具有使聚焦透鏡的多片的透鏡間的相對(duì)位置由聚焦透鏡溫度變化的透鏡位置調(diào)整裝置。在圖1中，聚焦透鏡由標(biāo)號(hào)20表示。聚焦透鏡20為fθ透鏡，與以往裝置同樣射入經(jīng)由Y軸檢流鏡3，X軸檢流鏡4所偏轉(zhuǎn)的激光L而施行激光的聚焦。本實(shí)施例的激光加工裝置，聚焦透鏡20的溫度變化的聚焦透鏡20的焦點(diǎn)偏離經(jīng)由自動(dòng)聚焦(focusing)補(bǔ)償校正。因此，聚焦透鏡20，具有固定配置的筒狀的透鏡保持器(lensholder)(鏡筒)21，以及固定在透鏡保持器21的固定透鏡22，以及對(duì)于透鏡保持器21以光軸方向(圖中為上下方向)移動(dòng)可能設(shè)置的筒狀的透鏡保持器23，以及固定在可動(dòng)透鏡保持器23的可動(dòng)透鏡24，以及可動(dòng)透鏡保持器23向光軸方向驅(qū)動(dòng)的功率驅(qū)動(dòng)裝置(powerdriver)的透鏡驅(qū)動(dòng)裝置(actuator)25等。該聚焦透鏡20，由透鏡驅(qū)動(dòng)裝置25使可動(dòng)透鏡保持器23向光軸方向變位，由此可以使可動(dòng)透鏡24的光軸方向的光學(xué)位置變化。也即，由于可動(dòng)透鏡24的光軸方向的位置變化施行聚焦(focusing)。對(duì)于透鏡保持器21埋入溫度感測器26，溫度感測器26檢測聚焦透鏡20的溫度，尤其檢測透鏡本體的溫度，由此產(chǎn)生隨著透鏡溫度的信號(hào)。溫度感測器26所產(chǎn)生的透鏡溫度信號(hào)為向控制電路輸入?？刂齐娐?7，將預(yù)先設(shè)定的設(shè)定溫度(標(biāo)準(zhǔn)溫度)T0與溫度感測器26所檢測的聚焦透鏡20的溫度施行比較，由消除其溫度差所產(chǎn)生的聚焦透鏡20的焦點(diǎn)距離f的偏離量△f的方式使可動(dòng)透鏡24變位，由此對(duì)于透鏡驅(qū)動(dòng)裝置25的驅(qū)動(dòng)器(driver)28供給指令信號(hào)。因此，對(duì)應(yīng)于溫度變化可動(dòng)透鏡24向光軸方向移動(dòng)，即使固定透鏡22或可動(dòng)透鏡24由折射率具有溫度依存性的材料結(jié)構(gòu)時(shí)，聚焦透鏡20的焦點(diǎn)距離f不受溫度變化的影響而可以保持于一定值。此是表示聚焦透鏡20的聚焦(focusing)的溫度補(bǔ)償。因此，經(jīng)由周圍溫度或激光加工裝置本身的發(fā)熱，即使聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)，聚焦透鏡20的聚焦特性不依存于溫度變化，不再由于焦點(diǎn)距離偏離引起加工位置的變動(dòng)，在長時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)也可以施行高精確度的細(xì)微加工。圖2是表示透鏡驅(qū)動(dòng)裝置25的具體例?？蓜?dòng)透鏡保持器23，經(jīng)由供送螺旋(helicoid)32掛合于透鏡保持器21，由此經(jīng)由中心軸線周圍的旋轉(zhuǎn)向光軸方向往復(fù)動(dòng)作?？蓜?dòng)透鏡保持器23的外周部刻印齒輪29，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)30的驅(qū)動(dòng)齒輪31嚙合于該齒輪29。在這種結(jié)構(gòu)中，經(jīng)由驅(qū)動(dòng)器(driver)28驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)30，由此可動(dòng)透鏡23旋轉(zhuǎn)，該旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)經(jīng)由供送螺旋32以高精確度變換為直線運(yùn)動(dòng)，由此可動(dòng)透鏡保持器23向光軸方向移動(dòng)。因此，控制電路27為，經(jīng)由將溫度差所產(chǎn)生的聚焦透鏡20的焦點(diǎn)距離f的偏離量△f消除的指令信號(hào)向驅(qū)動(dòng)器28供給指令信號(hào)，由此聚焦透鏡20的焦點(diǎn)距離f無關(guān)于溫度變化保持于一定值。實(shí)施例2圖3是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例2。本實(shí)施例的激光加工裝置，聚焦透鏡20的溫度變化所引起的聚焦透鏡20的焦點(diǎn)偏離由自動(dòng)聚焦校正，可動(dòng)透鏡24為由壓電(piezo)元件33支持于透鏡保持器21，經(jīng)由壓電元件33的電畸變作用可動(dòng)透鏡24直接向光軸方向變位?？刂齐娐?7，施行預(yù)先設(shè)定的設(shè)定溫度T0與溫度感測器26所檢測的聚焦透鏡20的溫度施行比較，由消除該溫度差所產(chǎn)生的聚焦透鏡20的焦點(diǎn)距離f的偏離量△f的方式使可動(dòng)透鏡24變位的而向壓電元件33的驅(qū)動(dòng)器28供給指令信號(hào)。因此，對(duì)應(yīng)于溫度變化使可動(dòng)透鏡24向光軸方向移動(dòng)，聚焦透鏡20的焦點(diǎn)距離f不論為任何溫度變化均保持于一定值，即使由于周圍溫度或激光加工裝置本身的發(fā)熱，使聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)時(shí)，不再產(chǎn)生焦點(diǎn)距離偏離所引起的加工位置偏移，即使在長時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)中也可施行高精確度的細(xì)微加工。此外，壓電元件33使用為可動(dòng)透鏡24的驅(qū)動(dòng)動(dòng)力，因此構(gòu)造簡單，可以施行精密的透鏡位置調(diào)整。實(shí)施例3圖4是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例3。本實(shí)施例的激光加工裝置，聚焦透鏡20的溫度變化引起的聚焦透鏡20的焦點(diǎn)偏離由自動(dòng)聚焦校正，可動(dòng)透鏡24為由溫度伸縮性保持配件34由透鏡保持器21支持，由于溫度伸縮性保持配件34的溫度伸縮使可動(dòng)透鏡24直接變位為光軸方向。溫度伸縮性保持配件34，選擇其熱膨脹系數(shù)對(duì)于固定透鏡22，可動(dòng)透鏡24的溫度特性(焦點(diǎn)距離f的溫度變化率)成為負(fù)值的材質(zhì)，例如可以由方解石(CaCO3)等結(jié)構(gòu)，溫度變化的伸縮性使可動(dòng)透鏡24向光軸方向變位。因此，對(duì)應(yīng)于溫度變化可動(dòng)接觸子24可以向光軸方向移動(dòng)，聚焦透鏡20的焦點(diǎn)距離f不論為任何溫度變化均保持于一定值，經(jīng)由周圍溫度或激光加工裝置本身的發(fā)熱，聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)時(shí)，不再由于焦點(diǎn)距離偏離引起的加工位置的偏移，即使在長時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)也可以施行高精確度的細(xì)微加工。此外，僅由溫度伸縮性保持配件34的設(shè)置，不需要另外具備控制電路，可以使聚焦透鏡的溫度補(bǔ)償，由非常簡單的結(jié)構(gòu)施行。實(shí)施例4圖5是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例4。本實(shí)施例的激光加工裝置，聚焦透鏡20的溫度變化引起的聚焦透鏡20的焦點(diǎn)偏離由透鏡的組合補(bǔ)償。聚焦透鏡20除了硒化鋅所制成的光學(xué)結(jié)晶材料所結(jié)構(gòu)的聚焦用凸透鏡組(聚焦透鏡本來的透鏡組)35以外，另外組入溫度補(bǔ)償用的凹透鏡36。凹透鏡36由溫度引起的折射率的變化率數(shù)倍大于硒化鋅的光學(xué)結(jié)晶材料的鍺(Germanium)的光學(xué)結(jié)晶材料結(jié)構(gòu)，經(jīng)由本身的折射率的溫度變化，消除凸透鏡組35的溫度引起的折射率的變化的方式作用。因此，僅有透鏡結(jié)構(gòu)，不必要成為特別的控制電路，聚焦透鏡20的焦點(diǎn)距離f無關(guān)于溫度變化保持于一定值，經(jīng)由周圍溫度或激光加工裝置本身的發(fā)熱，聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)時(shí)，不產(chǎn)生焦點(diǎn)距離偏離所引起的加工位置偏移，即使在長時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)也可以施行高精確度的細(xì)微加工。實(shí)施例5圖6是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例5。本實(shí)施例的激光加工裝置是具有聚焦透鏡20的溫度管理裝置，設(shè)置在聚焦透鏡20的溫度感測器26接線于溫度顯示器37。溫度顯示器37為溫度感測器26所檢測的聚焦透鏡20的溫度由攝氏以數(shù)位式顯示。溫度顯示器37安裝在作業(yè)人員容易見到的位置，由此使外氣的變動(dòng)或激光加工裝置本身的發(fā)熱引起的聚焦透鏡20的溫度變化使作業(yè)人員容易辨識(shí)。因此，作業(yè)人員在發(fā)現(xiàn)聚焦透鏡20有溫度的變動(dòng)的情況下，為防止發(fā)生加工不良，事先停止激光加工裝置。如圖7表示，溫度顯示器37可以設(shè)置復(fù)歸按鈕(resetbutton)38，溫度顯示器37由按下復(fù)歸按鈕38的時(shí)間點(diǎn)的溫度表示其溫度變化。因此，作業(yè)人員不必要常時(shí)記憶聚焦透鏡20的適宜溫度，僅注意溫度顯示器37的溫度差以表示施行激光加工裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)即可，聚焦透鏡20在經(jīng)常變動(dòng)的情況所產(chǎn)生加工位置偏移等而發(fā)生加工不良之前，可以由聚焦透鏡20辨識(shí)已發(fā)生溫度變動(dòng)，經(jīng)由測試聚焦透鏡20的光學(xué)特性而校正，即可以消除溫度變動(dòng)，由此對(duì)于防止加工不良品的發(fā)生有所貢獻(xiàn)。實(shí)施例6圖8是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例6。本實(shí)施例的激光加工裝置也具有聚焦透鏡20的溫度管理裝置，設(shè)置在聚焦透鏡20的溫度感測器26接線于報(bào)警控制用的控制電路39。控制電路39接線蜂鳴器(buzzer)40?？刂齐娐?9，將設(shè)定溫度T0與容許溫度Td施行參數(shù)設(shè)定，施行溫度感測器26所檢測的聚焦透鏡20的檢測溫度T與設(shè)定溫度T0的比較，該差超出容許溫度差Td時(shí)，使蜂鳴器40發(fā)出聲音，加工停止指令向激光加工裝置的控制裝置10(參照?qǐng)D1)輸出的方式結(jié)構(gòu)。圖9是表示報(bào)警控制的處理流程。首先，施行(檢測溫度T)-(設(shè)定溫度T0)的絕對(duì)值是否超出容許溫度差Td的判斷。(步驟S10)(檢測溫度T)-設(shè)定溫度T0)的絕對(duì)值不是容許溫度差Td以上的情況為(步驟S10否定)，繼續(xù)施行加工(步驟S11)，由此前述溫度判別一直反覆施行至加工終了(步驟S12)。對(duì)此，(檢測溫度T)-(設(shè)定溫度TO)的絕對(duì)值為容許溫度Td以上時(shí)(步驟S10肯定)，使蜂鳴器40施行警報(bào)動(dòng)作(步驟S13)，加工停止指令向控制裝置10輸出而強(qiáng)迫停止加工(步驟S14)。因此，作業(yè)人員可以的確知悉聚焦透鏡20的溫度成為容許溫度以上值，此外此時(shí)由于加工強(qiáng)迫停止，可以防止加工不良的發(fā)生于未然。實(shí)施例7圖10、圖11是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例7。本實(shí)施例的激光加工裝置，保持聚焦透鏡20的溫度于一定值，避免溫度變化引起的焦點(diǎn)偏離，對(duì)于聚焦透鏡20組入電熱器(heater)41與溫度感測器26。電熱器41為，由電熱器電源42供給電力，由溫度感測器26所檢測的透鏡溫度保持于一定值的方式加熱聚焦透鏡20。因此，與周圍溫度的變動(dòng)或激光加工裝置本身的發(fā)熱無關(guān)，使聚焦透鏡20的溫度保持于一定值，由此避免焦點(diǎn)偏離引起的加工位置偏移，即使在長時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)中也可以由高精確度施行細(xì)微加工。實(shí)施例8圖12是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例8。本實(shí)施例的激光加工裝置也使聚焦透鏡20的溫度保持于一定值，避免溫度變化引起的焦點(diǎn)偏離，替代前述的電熱器4在聚焦透鏡20作為溫度控制配件設(shè)置珀?duì)柼?Peltier)元件43。珀?duì)柼?Peltier)元件43，經(jīng)由控制電源44控制其流通電流，由流通電流方向施行加熱作用，冷作用，由保持溫度感測器26所檢測的透鏡溫度于一定值的方式調(diào)整聚焦透鏡20的溫度。因此，無關(guān)于周圍溫度的變動(dòng)或激光加工裝置本身的發(fā)熱，聚焦透鏡20的溫度保持于一定值，由此避免由于焦點(diǎn)距離的偏離引起加工位置的偏移，即使在長時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)也可以由高精確度施行細(xì)微加工。實(shí)施例9圖13、圖14是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例9。本實(shí)施例的激光加工裝置，保持聚焦透鏡20的溫度于一定值，為避免溫度變化引起的焦點(diǎn)偏離，聚焦透鏡20施予隔熱包裝。隔熱包裝為，聚焦透鏡20的外側(cè)將金屬等結(jié)構(gòu)的外筒體44由同心配置，在聚焦透鏡20與所圍繞的外筒體44的間畫定的隔熱空間將玻璃纖維(glasswool)等隔熱材料45填充而構(gòu)成。外筒體44的上端部與下端部的間以密閉前述隔熱空間的上端與下端的方式安裝窗口密封板(windowscreeningplate)46。這種窗口密封板46為，由硒化鋅等材質(zhì)結(jié)構(gòu)，由此可以透過激光。因此，聚焦透鏡20由外部隔熱遮斷，無關(guān)于周圍溫度的變動(dòng)等，可以抑制聚焦透鏡20的溫度變化，由此避免焦點(diǎn)距離偏離引起的加工位置偏移，結(jié)果可以由高精確度施行細(xì)微加工。實(shí)施例10圖15是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例10。本實(shí)施例的激光加工裝置，保持聚焦透鏡20的溫度于一定值，為避免溫度變化引起的焦點(diǎn)偏離，在結(jié)構(gòu)聚焦透鏡的透鏡47與透鏡組裝環(huán)(lensmountring)48的間夾持聚苯乙烯(polystyreneform)或氯乙烯(vinyl)等熱傳導(dǎo)率膨脹率為0.036kcal/mhdeg程度的隔熱材料制成的環(huán)狀的隔熱配件49。因此，由透鏡組裝環(huán)48向透鏡47的傳熱可以防止，由此可以使聚焦透鏡由外部的熱影響保護(hù)。因此，無關(guān)于周圍溫度的變動(dòng)等，可以抑制聚焦透鏡的溫度變化，可以避免焦點(diǎn)距離偏離引起加工位置的變動(dòng)，由此施行高精確度的細(xì)微加工。實(shí)施例11圖16、圖17是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例11。本實(shí)施例的激光加工裝置，保持聚焦透鏡20的溫度于一定值，為避免溫度變化引起的焦點(diǎn)偏離，在透鏡組裝環(huán)48的環(huán)狀透鏡保持面47a以等間隔形成多數(shù)個(gè)針狀突起50，由于針狀突起50將結(jié)構(gòu)聚焦透鏡的透鏡47施行多點(diǎn)支持。因此，透鏡47與透鏡組裝環(huán)48間的接觸面積極力減少，由此由透鏡組裝環(huán)48向透鏡47傳導(dǎo)的熱量減少，結(jié)果可以保護(hù)聚焦透鏡由外部的熱影響。因此，與周圍溫度的變動(dòng)等無關(guān)，聚焦透鏡的溫度變化受到抑制，可以避免由焦點(diǎn)距離偏離引起的加工位置的偏移，可以施行高精確度的細(xì)微加工。圖18是表示實(shí)施例11的變形例。在圖18所示的實(shí)施例，透鏡組裝環(huán)48的環(huán)狀透鏡保持面48a替代針狀突起50以等間隔形成多數(shù)個(gè)半球狀突起51，經(jīng)由半球狀突起51對(duì)于結(jié)構(gòu)聚焦透鏡的透鏡47以多點(diǎn)支持。在此情況，透鏡47與透鏡組裝環(huán)48的接觸面積也極力減少，由透鏡組裝環(huán)48向透鏡47的傳熱量減少，由此可以保護(hù)聚焦透鏡由外部的熱影響。實(shí)施例12圖19是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例12。本實(shí)施例的激光加工裝置也使保持聚焦透鏡20的溫度于一定值，為避免溫度變化引起的焦點(diǎn)偏離，在透鏡組裝環(huán)48的環(huán)狀透鏡保持面48a形成圓周方向的連續(xù)的突出條52，經(jīng)由突出條52將結(jié)構(gòu)聚焦透鏡的透鏡47施行線接觸支持。因此，透鏡47與透鏡組裝環(huán)48的接觸面積減少，由透鏡組裝環(huán)48向透鏡47的傳熱量減少，由此可以保護(hù)聚焦透鏡由外部的熱影響。因此，無關(guān)于周圍溫度的變動(dòng)等，可以抑制聚焦透鏡的溫度變化，可以避免由焦點(diǎn)距離偏離引起的加工位置的偏移，結(jié)果可以施行高精確度的細(xì)微加工。實(shí)施例13圖20是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例13。本實(shí)施例的激光加工裝置，為避免聚焦透鏡20的溫度變化引起焦點(diǎn)偏離，聚焦透鏡20為由4片凸透鏡53，54，55，56結(jié)構(gòu)。其中，最上部與最下部的凸透鏡53，56由硒化鋅(ZnSe)等光學(xué)結(jié)晶材料的光學(xué)特性不容易依存于溫度(溫度依存性少)的透鏡材料結(jié)構(gòu)，配置于中間部分的凸透鏡54，55為，以往的同樣的鍺(Ge)等光學(xué)結(jié)晶材料等光學(xué)特性容易依存于溫度，但激光的聚焦性優(yōu)異的透鏡材料所構(gòu)成。配置于中間部分的凸透鏡54，55與實(shí)施例11同樣，由形成于透鏡組裝環(huán)48的環(huán)狀透鏡保持面48a的突出條52施行線接觸支持。本實(shí)施例，直接接觸于溫度變動(dòng)的外氣而容易遭受外界溫度的影響的最上部與最下部的凸透鏡53，56由光學(xué)特性不容易依存于溫度的透鏡材料結(jié)構(gòu)，對(duì)于傳導(dǎo)外氣的溫度變化的透鏡保持器21與容易依存于溫度的材質(zhì)結(jié)構(gòu)之中間配置的凸透鏡54，55的間，經(jīng)由突出條52施行線接觸支持，形成熱的絕緣，因此可以獲得不容易遭受外氣的溫度變動(dòng)的影響的聚焦透鏡20。因此，光學(xué)特性不容易依存于溫度的最上部與最下部的凸透鏡53，56以熱障壁(heatbarrier)作用，無關(guān)于周圍溫度的變動(dòng)，聚焦透鏡20的光學(xué)特性的溫度變化受到抑制，由此避免焦點(diǎn)距離偏離引起的加工位置的偏移，結(jié)果可以施行高精確度的細(xì)微加工。實(shí)施例14圖21是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例14。本實(shí)施例的激光加工裝置也使聚焦透鏡20的溫度保持于一定值，避免溫度變化引起的焦點(diǎn)偏離，并將激光加工裝置的聚焦透鏡20等收容于加工室60內(nèi)。加工室60為經(jīng)過循環(huán)氣槽(duct)61連接于例如為空調(diào)機(jī)等溫度調(diào)整器62。聚焦透鏡20安裝檢測聚焦透鏡20的溫度的溫度感測器26，溫度感測器26所輸出的溫度信號(hào)為輸入于溫度調(diào)整器62的溫度設(shè)定器63，溫度調(diào)整器62為由溫度感測器26檢測的聚焦透鏡20的溫度保持于溫度設(shè)定器63所設(shè)定的溫度的方式，調(diào)整向加工室供給的空氣溫度。因此，聚焦透鏡20的溫度保持于溫度設(shè)定器63所設(shè)定的溫度，無關(guān)于外氣溫度或激光加工裝置本身的發(fā)熱，不再發(fā)生由于焦點(diǎn)距離偏離引起的加工位置的偏移，即使在長時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)也可以施行高精確度的細(xì)微加工。圖22是表示實(shí)施例14的變形例。這種變形實(shí)施例為激光加工裝置100全體收容于具有恒溫室溫管理器64的恒溫室65內(nèi)。激光加工裝置100由于安裝于聚焦透鏡20的溫度感測器26輸出聚焦透鏡20的檢測溫度的信號(hào)，該信號(hào)輸入于恒溫室溫度管理器64，恒溫室溫度管理器64為由聚焦透鏡20的溫度成為預(yù)定的一定值的方式控制恒溫室65的溫度。因此，這種情況聚焦透鏡20的溫度也保持在一定值，與外氣溫度或激光加工裝置本身的發(fā)熱無關(guān)，不再發(fā)生焦點(diǎn)距離偏離引起的加工位置的偏移，即使在長時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)中可以施行高精確度的細(xì)微加工。實(shí)施例15圖23、圖24是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例15。本實(shí)施例的激光加工裝置，基本上即使有周圍溫度的變化或激光加工裝置本身的發(fā)熱，不遭受其影響的狀態(tài)下施行激光加工，由于無位置偏離，可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工的方式，具有即使聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)時(shí)，其光學(xué)特性的變動(dòng)量，經(jīng)由射入于聚焦透鏡的激光的角度調(diào)整，施行消除的機(jī)構(gòu)。本實(shí)施例中，消除機(jī)構(gòu)由偏轉(zhuǎn)量指令校正裝置70達(dá)成。偏轉(zhuǎn)量指令校正裝置70，由安裝于聚焦透鏡20的溫度感測器26輸入聚焦透鏡20的檢測溫度的信號(hào)，對(duì)于偏轉(zhuǎn)裝置，也即對(duì)于安裝Y軸掃描鏡3的Y軸檢流掃描器5，以及安裝Y軸掃描鏡4的X軸檢流掃描器6供給的偏轉(zhuǎn)量的指令，對(duì)應(yīng)于溫度感測器26所檢測的聚焦透鏡20的溫度校正，該偏轉(zhuǎn)量指令校正裝置70為可以設(shè)置于控制裝置10。偏轉(zhuǎn)量指令校正裝置70，具備對(duì)應(yīng)于溫度感測器26所檢測的聚焦透鏡20的溫度設(shè)定校正參數(shù)(parameter)的校正參數(shù)設(shè)定部71，以及關(guān)于加工程序所供給的位置指令由設(shè)定于校正參數(shù)設(shè)定部71的校正參數(shù)施行聚焦透鏡溫度校正的聚焦透鏡校正處理部72等。其次，參照?qǐng)D25與圖26說明本實(shí)施例的激光加工的步驟。圖25為一般流程圖，開始激光加工裝置的動(dòng)作時(shí)，先于激光加工由溫度感測器26施行聚焦透鏡的溫度測試(步驟S20)。其次，依據(jù)所測試的聚焦透鏡溫度施行聚焦透鏡校正的參數(shù)變更處理，由此求出現(xiàn)在的聚焦透鏡的溫度所需要的校正參數(shù)(步驟S30)。然後施行激光加工(步驟S40)，一直到激光加工終了(步驟S50)前，循環(huán)施行步驟S20～步驟S40。激光加工如圖26所示，由加工程序讀出加工位置(x，y)(步驟S41)，對(duì)于加工位置(x，y)使用聚焦透鏡校正參數(shù)變更處理(步驟S30)所求的聚焦透鏡校正參數(shù)施行聚焦透鏡校正，由此求出消除聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)引起加工位置的偏移的對(duì)于偏轉(zhuǎn)裝置的驅(qū)動(dòng)指令(x’，y’)步驟S42)。其次，驅(qū)動(dòng)指令(x’，y’)向偏轉(zhuǎn)裝置(Y軸檢流掃描器5，X軸檢流掃描器6)輸出(步驟S43)，依據(jù)偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)動(dòng)作決定對(duì)于聚焦透鏡20的激光的照射位置後，施行激光照射(步驟S44)。此後判斷加工程序是否該繼續(xù)(步驟S42)，繼續(xù)時(shí)(步驟S45否定)，由加工位置的讀入步驟(步驟S41)再度反覆施行。如前所述，檢測聚焦透鏡20的溫度，由消除聚焦透鏡的溫度變動(dòng)引起的加工位置的變動(dòng)的方式，校正對(duì)于偏轉(zhuǎn)裝置的指令，由此校正射入于聚焦透鏡20的激光的角度，因此即使產(chǎn)生聚焦透鏡的溫度變動(dòng)也不受其影響，由此可以施行穩(wěn)定的高精確度的激光加工。圖27～圖29為說明本實(shí)施例的激光加工的另一步驟。本實(shí)施例中，每在激光加工，檢測聚焦透鏡溫度，由更新聚焦透鏡校正資料的時(shí)間點(diǎn)設(shè)如聚焦透鏡溫度的變化超出容許值時(shí)，更新聚焦透鏡校正資料。圖27為一般流程，在激光加工裝置的動(dòng)作開始時(shí)，先于激光加工由溫度感測器施行聚焦透鏡20的溫度測試(步驟S60)。其次施行由溫度感測器26所檢測的聚焦透鏡溫度T與前次的聚焦透鏡校正資料更新時(shí)的聚焦透鏡溫度T0的差的絕對(duì)值是否超出預(yù)先設(shè)定的容許溫度偏差Td的判斷(步驟S70)。T-T0的絕對(duì)值超出容許溫度偏差Td時(shí)(步驟S70肯定)，施行聚焦透鏡校正更新處理(步驟S80)。這種校正更新為，更新座標(biāo)變換函數(shù)fx(x)，fy(y)的函數(shù)本身。這種更新處理如圖28所示，施行預(yù)先決定的定點(diǎn)P1，P2，…Pn的加工(步驟S81)，由視覺測器9的加工位置觀察檢測各定點(diǎn)的加工點(diǎn)座標(biāo)q1，q2，…qn(步驟S82)，由加工位置誤差的最小二乘法計(jì)算座標(biāo)變換函數(shù)fx(x)，fy(y)而完成(步驟S83)。聚焦透鏡校正更新處理完成時(shí)，更新該更新時(shí)的聚焦透鏡溫度T時(shí)記憶聚焦透鏡溫度T0(步驟S90)。T-T0的絕對(duì)值未超出容許溫度偏差Td時(shí)(步驟S70否定)，施行激光加工(步驟S100)，一直到激光加工終了前(步驟S110)，循環(huán)施行步驟S60～步驟S100。激光加工如圖29所示，由加工程序讀物加工位置(x，y)(步驟S101)，對(duì)于加工位置(x，y)依據(jù)聚焦透鏡校正變更處理(步驟S80)所獲得的座標(biāo)變換函數(shù)fx(x)，fy(y)施行座標(biāo)變換，由消除聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)引起的加工位置的偏移的方式求出對(duì)于偏轉(zhuǎn)裝置的驅(qū)動(dòng)指令(x’，y’)(步驟S102)。其次，驅(qū)動(dòng)指令(x’，y’)向偏轉(zhuǎn)裝置(Y軸檢流掃描器5，X軸檢流掃描器6)輸出而由驅(qū)動(dòng)指令(x’，y’)驅(qū)動(dòng)偏轉(zhuǎn)裝置(步驟S103)，依據(jù)偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)動(dòng)作對(duì)于聚焦透鏡20決定激光的照射位置後，施行激光照射(步驟S104)。此後，判斷是否繼續(xù)加工程序(步驟S105)，繼續(xù)時(shí)(步驟S105否定)，由讀入加工位置的步驟(步驟S101)再度反覆施行。如前所述，由于具有校正對(duì)于偏轉(zhuǎn)裝置的裝置而可以消除聚焦透鏡20所產(chǎn)生的加工位置的變動(dòng)，結(jié)果可以由良好精確度由目的的加工位置加工。如前所述替代使用座標(biāo)變換如圖30所示，使用對(duì)應(yīng)于加工位置(x，y)變換為偏轉(zhuǎn)裝置指令座標(biāo)(x’，y’)的聚焦透鏡溫度的校正矩陣M施行聚焦透鏡的校正。經(jīng)由使用校正矩陣M，對(duì)于非線性的位置偏離也可以完全校正結(jié)果可以施行高精確度的激光加工。校正矩陣M如圖28所示聚焦透鏡校正更新所示，施行定點(diǎn)P1，P2，…Pn的加工，由視覺感測器10的加工位置觀察檢測各定點(diǎn)的加工點(diǎn)座標(biāo)q1，q2，…qn，依據(jù)該情報(bào)對(duì)于目的的加工位置可以由良好精確度加工的方式使用最小二乘方法決定。在圖30所示的例，由座標(biāo)X，Y的二次式求出矩陣M，但要求更高的精確度的情況為也可以使用高次的公式。其次，使用校正矩陣M加工時(shí)的處理的流程參照?qǐng)D31說明。首先，由加工程序讀出一連串的加工座標(biāo)(x，y)列(步驟S121)，在施行激光照射前對(duì)于所有的加工點(diǎn)矩陣由校正矩陣M分別校正指令值(步驟S122)，校正的指令值(x’，y’)的校正點(diǎn)列記憶(步驟S123)。然後，指令值(x’，y’)向偏右裝置(Y軸檢流掃描器5，X軸檢流掃描器6)輸出而由驅(qū)動(dòng)指令(x’，y’)驅(qū)動(dòng)偏轉(zhuǎn)裝置(步驟S124)，由偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)動(dòng)作決定對(duì)于聚焦透鏡20的激光的照射位置後，施行激光照射(步驟S125)。此後，判斷加工程序是否繼續(xù)(步驟S126)，繼續(xù)時(shí)(步驟S126否定)，由偏轉(zhuǎn)裝置的驅(qū)動(dòng)步驟(步驟S124)再度反覆施行。校正矩陣M為對(duì)應(yīng)于聚焦透鏡溫度設(shè)定，對(duì)于預(yù)先推測的聚焦透鏡的溫度變動(dòng)范圍僅由必需的分解能力的刻劃將溫度分割，預(yù)先求出各溫度下的最適宜的校正矩陣M的值，在此也可以由圖32所示的溫度校正表格的方式存儲(chǔ)。求出溫度校正表格時(shí)，不必要每一次加工實(shí)施，如果在激光加工裝置的導(dǎo)入時(shí)或聚焦透鏡20的換裝時(shí)施行已足。這種情況為，對(duì)應(yīng)于溫度感測器26所檢測的聚焦透鏡溫度的校正矩陣由記憶器讀出而校正偏轉(zhuǎn)量指令。因此，即使在聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)的情況下不必要中斷激光加工而實(shí)施聚焦透鏡的校正更新，經(jīng)由設(shè)定對(duì)應(yīng)于現(xiàn)在的聚焦透鏡溫度的最適宜的校正矩陣M，由此可以抑制溫度變動(dòng)的加工位置的偏移。因此，實(shí)施自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)的連續(xù)加工時(shí)即使發(fā)生聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)時(shí)，不必要中斷加工，依據(jù)聚焦透鏡20的溫度的變動(dòng)可以由最宜值設(shè)定校正量，結(jié)果可以始終以高精確度施行穩(wěn)定的激光加工。圖33是表示前述溫度校正表格的設(shè)定步驟。關(guān)于溫度校正表格設(shè)定，首先調(diào)整聚焦透鏡20的溫度(步驟131)，經(jīng)由溫度感測器26測試聚焦透鏡溫度T(步驟S132)。然後，施行矩陣(matrix)狀的定模樣加工(步驟S133)，該加工結(jié)果的位置誤差測試由視覺感測器10施行(步驟S134)，依據(jù)所測試的誤差計(jì)算聚焦透鏡溫度T的校正矩陣M(步驟S135)。此等處理由聚焦透鏡的溫度以必須的分解能力改變而實(shí)施，對(duì)于必要的溫度范圍反覆施行(步驟S136)。圖34是表示如前所述各溫度下的最適宜的校正矩陣M的值預(yù)先求出的情況的偏轉(zhuǎn)指令校正裝置70。前述座標(biāo)變換函數(shù)或校正矩陣的更新如圖35所示，每在激光加工時(shí)，可以先于激光加工施行。圖35所示流程圖為，激光加工裝置的動(dòng)作開始時(shí)，先于激光加工施行聚焦透鏡校正的更新(步驟S140)，然後施行激光加工(步驟S150)。這種情況，可以省略溫度感測器26。多半的情況，聚焦透鏡溫度短時(shí)間內(nèi)不致于太大的變化的考慮下，聚焦透鏡校正更新，也可以由預(yù)先決定的時(shí)間(timing)，例如每在預(yù)定時(shí)間(1小時(shí)程度)經(jīng)過時(shí)定期施行。這種情況如圖36所示，激光加工裝置的動(dòng)作開始時(shí)，先于激光加工，首先判斷定時(shí)器(timer)1是否為時(shí)間增加(timerup)(步驟S160)。不是時(shí)間增加的情況為立即施行激光加工(步驟S190)，一直到激光加工終了(步驟S200)前，循環(huán)施行步驟S160～步驟S190。時(shí)間增加的情況為，施行聚焦透鏡校正更新處理(步驟S170)，由此使定時(shí)器1復(fù)歸(步驟S180)。實(shí)施例16圖37是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例16。本實(shí)施例的激光加工裝置，在聚焦透鏡校正處理部72’的後段，組入Y軸檢流掃描器5，X軸檢流掃描器6的可變?cè)鲆嬖O(shè)定器73，74?？勺?cè)鲆嬖O(shè)定器73，74，由聚焦透鏡校正處理部72’輸入校正變換後的座標(biāo)值(x″，y″)，由溫度感測器26供給聚焦透鏡溫度情報(bào)，對(duì)應(yīng)于聚焦透鏡溫度設(shè)定Y軸檢流掃描器5，X軸檢流掃描器6的增益a，b。對(duì)于聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)率求出適當(dāng)?shù)臏囟葏?shù)的增益a，b時(shí)，即使有聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)時(shí)也可以由不存在加工位置的偏移的狀態(tài)下加工。并且，為消除聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)，作為增益a，b，可以明了由聚焦透鏡溫度的一次式可以充分消除聚焦透鏡20的溫度特性的變動(dòng)。因此，可以防止聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)引起的加工位置的偏移。實(shí)施例17圖38是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例17。本實(shí)施例的激光加工裝置，作為聚焦透鏡20的聚焦特性的溫度變動(dòng)的消除機(jī)構(gòu)，設(shè)置加工表格驅(qū)動(dòng)指令校正部75，加工表格驅(qū)動(dòng)指令校正部75為，與偏轉(zhuǎn)量指令校正裝置70同樣對(duì)應(yīng)于溫度感測器26所檢測的聚焦透鏡20的溫度由加工程序供給的加工表格裝置8的位置指令，由聚焦透鏡20的聚焦特性的溫度變動(dòng)特性所決定的校正常數(shù)p，q校正。校正常數(shù)p，q，可以預(yù)先測試聚焦透鏡20的聚焦特性的溫度變動(dòng)特性而獲得，經(jīng)由對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)溫度T0與溫度感測器26所檢測的聚焦透鏡溫度T的差值乘算校正系數(shù)p，q而獲得溫度差相對(duì)應(yīng)的校正系數(shù)，對(duì)于加工程序所供給的位置指令X，Y乘算校正系數(shù)，由此獲得校正後的位置指令△x，△y。因此，可以由不發(fā)生聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)引起的加工位置的偏移的方式移動(dòng)加工工作臺(tái)裝置8，由于即使有聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)所引起的加工位置的溫度變動(dòng)部分由加工工作臺(tái)裝置8的移動(dòng)消除的方式作用，因此可以施行良好精確度的激光加工。實(shí)施例18圖39是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例18。本實(shí)施例的激光加工裝置，作為聚焦透鏡20的聚焦特性的溫度變動(dòng)的消除機(jī)構(gòu)，組入聚焦透鏡20全體對(duì)于偏轉(zhuǎn)裝置向光軸方向(Z軸方向)變位的透鏡側(cè)Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。偏轉(zhuǎn)裝置，由安裝Y軸掃描鏡3的Y軸檢流掃描器5，以及安裝X軸掃描鏡4的X軸檢流掃描器6等所構(gòu)成，并且安裝在未圖示的架臺(tái)上。透鏡側(cè)Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，例如為供送螺旋式，具備搭載固定于前述架臺(tái)的伺服馬達(dá)30，以及由伺服馬達(dá)30旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，經(jīng)由旋轉(zhuǎn)使聚焦透鏡20向Z軸方向移動(dòng)的球型螺栓31，以及對(duì)應(yīng)于溫度感測器26所檢測的聚焦透鏡20的溫度將Z軸指令向伺服馬達(dá)80的Z軸驅(qū)動(dòng)器82輸出的控制電路83等。透鏡側(cè)Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，由伺服馬達(dá)80的球型螺栓81的旋轉(zhuǎn)，使聚焦透鏡20與偏轉(zhuǎn)裝置的相對(duì)距離變化。通常，聚焦透鏡20，由于知道溫度上升時(shí)折射率也增加，但由于安裝于聚焦透鏡20的溫度感測器26所檢測的聚焦透鏡溫度，聚焦透鏡溫度增加時(shí)偏轉(zhuǎn)裝置與聚焦透鏡20間的距離縮短，由此由控制電路83輸出驅(qū)動(dòng)指令。因此，聚焦透鏡20即使有溫度變動(dòng)，經(jīng)由消除對(duì)應(yīng)于其溫度變化的位置偏移部分的方式變更聚焦透鏡20與偏轉(zhuǎn)裝置的相對(duì)距離，由此可以校正聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)所引起的加工位置偏移。因此，可以避免聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)引起的加工位置的偏移。實(shí)施例19圖40是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例19。本實(shí)施例的激光加工裝置，作為聚焦透鏡20的聚焦特性的溫度變動(dòng)的消除機(jī)構(gòu)，組入調(diào)整射入于偏轉(zhuǎn)裝置的激光L的射入角度的機(jī)構(gòu)。該射入角調(diào)整機(jī)構(gòu)具有肘彎鏡(kneebendmirror)90。肘彎鏡90由自在繼手等支點(diǎn)91向直交的二個(gè)方向(P方向與Q方向)分別以傾斜可能支持。作為肘彎鏡90向P方向，Q方向分別傾斜的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(actuator)，將壓電元件92，93驅(qū)動(dòng)連接于肘彎鏡90。壓電元件92，93依據(jù)校正用角度演算處理部96所輸出的指令信號(hào)以定量驅(qū)動(dòng)。校正用角度演算處理部96為對(duì)應(yīng)于由溫度感測器檢測的聚焦透鏡20的溫度分別將P軸指令與Q軸指令向壓電元件92，93的驅(qū)動(dòng)器94，95輸出。壓電元件92，93經(jīng)由電信號(hào)(電壓控制)以定量驅(qū)動(dòng)，依據(jù)溫度感測器26所檢測的聚焦透鏡20的溫度，可以調(diào)整肘彎鏡90的角度。設(shè)如預(yù)先對(duì)于聚焦透鏡20的溫度將必需的校正角度的關(guān)系式設(shè)定于校正用角度演算處理部96時(shí)，依據(jù)校正用角度演算處理部96所指令的校正值，調(diào)整激光L射入于偏轉(zhuǎn)裝置的角度，也即調(diào)整射入于聚焦透鏡20的角度，由此可以消除聚焦透鏡20的聚焦特性的溫度變動(dòng)。因此，可以避免起因于聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)的加工位置偏移。因此，加工時(shí)，經(jīng)由校正對(duì)應(yīng)于加工位置隨著偏轉(zhuǎn)裝置的驅(qū)動(dòng)使聚焦透鏡20的溫度變化所引起的加工位置的偏移部分的方式驅(qū)動(dòng)肘彎鏡90而改變其角度，結(jié)果可以不遭受聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)的影響施行高精確度的激光加工。實(shí)施例20圖41是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例20。本實(shí)施例的激光加工裝置，作為聚焦透鏡20的聚焦特性的溫度變動(dòng)的消除機(jī)構(gòu)，組入激光波長L的波長可變?cè)O(shè)定機(jī)構(gòu)。該機(jī)構(gòu)為由可變波長的波長可變激光振蕩器200而達(dá)成。波長可變振蕩器200為，輸入于波長指令輸入端子201的波長指令信號(hào)，輸出激光L的波長成為可變，校正電路202為安裝于聚焦透鏡20的溫度感測器26的檢測溫度T消除聚焦透鏡20的光學(xué)特性的變動(dòng)的方式調(diào)整激光L的波長。通常，聚焦透鏡20的折射率n為依存于波長入，因此只要調(diào)整激光L的波長入時(shí)，即可以消除聚焦透鏡的溫度變動(dòng)的方式調(diào)整。因此，可以由聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)引起的位置偏移的方式改變激光的波長，由此可以避免聚焦透鏡20的溫度變動(dòng)所引起的加工位置的偏移，結(jié)果可以不遭受聚焦透鏡的溫度變動(dòng)的影響施行良好精確度的穩(wěn)定的激光加工。實(shí)施例21圖42是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例21。本實(shí)施例的激光加工裝置，作為聚焦透鏡20的聚焦距離的溫度變動(dòng)的消除機(jī)構(gòu)，組入調(diào)整射入于聚焦透鏡20的激光L發(fā)散角的機(jī)構(gòu)。本機(jī)構(gòu)為具有轉(zhuǎn)接光電器(aclaptiveoptics)110。轉(zhuǎn)接光電器110為，激光L的反射面的折射率由電信號(hào)可變，由此調(diào)整激光L的發(fā)散角。如圖43所示，經(jīng)由射入于聚焦透鏡20的激光L的發(fā)散角，可以變化聚焦透鏡20通過後的激光L的聚焦點(diǎn)位置。在圖43中，La是表示激光L的發(fā)散角比較小的情況，Lb是表示激光L的發(fā)散角比較大的情況。激光的發(fā)散角比較小的情況為，由于聚焦點(diǎn)Q1的焦點(diǎn)距離成為h1激光L的發(fā)散角比較大的情況為，由于聚焦點(diǎn)Q2的焦點(diǎn)距離成為h2。轉(zhuǎn)接光電器110依據(jù)控制電路111所輸出的指令信號(hào)以定量驅(qū)動(dòng)?？刂齐娐?1對(duì)應(yīng)于溫度感測器26所檢測的聚焦透鏡20的溫度將指令向轉(zhuǎn)接光電器110的驅(qū)動(dòng)器112輸出。聚焦透鏡20，除了溫度引起的工件W上的位置偏移外，也有焦點(diǎn)距離的溫度變動(dòng)，因此經(jīng)由對(duì)應(yīng)于聚焦透鏡溫度由轉(zhuǎn)接電器110調(diào)整激光L的發(fā)散角，可以調(diào)整聚焦透鏡20所引起的激光L的聚焦點(diǎn)的位置，經(jīng)由此調(diào)整可以將聚焦點(diǎn)的位置維持于工件表面上，因此，聚焦透鏡的溫度變動(dòng)時(shí)也可以施行穩(wěn)定的激光加工，由此可以防止起因于聚焦透鏡溫度的變動(dòng)的焦點(diǎn)模糊引起的加工不良。實(shí)施例22圖44是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例22。本實(shí)施例的激光加工裝置，為消除聚焦透鏡20引起的聚焦距離的溫度變動(dòng)，作為調(diào)整射入于聚焦透鏡20的激光L的發(fā)散角的機(jī)構(gòu)，組入準(zhǔn)直儀透鏡位置調(diào)整機(jī)構(gòu)。準(zhǔn)直儀透鏡(collimatorlens)120具有光軸方向移動(dòng)可能的可動(dòng)透鏡121。可動(dòng)透鏡121對(duì)于由伺服馬達(dá)122驅(qū)動(dòng)的球型螺栓123驅(qū)動(dòng)連接，由于球型螺栓123的旋轉(zhuǎn)施行光軸方向的變位。伺服馬達(dá)122依據(jù)控制電路124所輸出的指令信號(hào)驅(qū)動(dòng)。控制電路124由溫度感測器26所檢測的聚焦透鏡20的溫度將指令向伺服馬達(dá)122的驅(qū)動(dòng)器125輸出。依據(jù)安裝于聚焦透鏡20的溫度感測器26的檢測溫度由控制電路124指令透鏡位置，經(jīng)由驅(qū)動(dòng)器125調(diào)整，由此可以消除聚焦透鏡20的焦點(diǎn)距離的溫度變動(dòng)。因此可以將聚焦點(diǎn)的位置維持于工件表面上，即使聚焦透鏡20有溫度變動(dòng)時(shí)仍可以施行穩(wěn)定的激光加工，可以防止起因于聚焦透鏡溫度的變動(dòng)的焦點(diǎn)模糊所引起的加工不良。實(shí)施例23圖45是表示本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施例23。本實(shí)施例的激光加工裝置，作為聚焦透鏡20的聚焦距離的溫度變動(dòng)的消除機(jī)構(gòu)，組入使工件工作臺(tái)(worktable)裝置8全體對(duì)于聚焦透鏡20向光軸方向(Z軸方向)變位的工作臺(tái)側(cè)Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(加工工作臺(tái)高度調(diào)整機(jī)構(gòu))。工作臺(tái)側(cè)Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，例如為供送螺旋式，具備固定在未圖示的激光加工裝置的基臺(tái)的伺服馬達(dá)130，以及由伺服馬達(dá)130旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，經(jīng)由旋轉(zhuǎn)使工件工作臺(tái)裝置8向Z軸方向移動(dòng)的球型螺栓131，以及對(duì)應(yīng)于溫度感測器20所檢測的聚焦透鏡20的溫度將Z軸指令向伺服馬達(dá)130的Z軸驅(qū)動(dòng)器132輸出的控制電路133。搭載加工對(duì)象的工件W的加工工作臺(tái)裝置8，經(jīng)由伺服馬達(dá)130使球型螺栓131旋轉(zhuǎn)由此調(diào)整Z軸高度。加工工作臺(tái)裝置8的Z軸高度調(diào)整，依據(jù)安裝于聚焦透鏡20的溫度感測器26所檢測的聚焦透鏡20的溫度，由消除預(yù)先推測的聚焦透鏡20的聚焦距離的溫度變動(dòng)成分的方式施行。因此，聚焦點(diǎn)的位置維持于工件表面上，即使聚焦透鏡20發(fā)生溫度變動(dòng)也可以施行穩(wěn)定的激光加工，由此可以防止起因于聚焦透鏡溫度的變動(dòng)的焦點(diǎn)模糊所引起的加工不良。工業(yè)上的利用可能性如前所述，本發(fā)明的激光加工裝置，適合于對(duì)于印刷電路基板，半導(dǎo)體基片等的樹脂材料或資質(zhì)材料等材料，施行鉆孔，截?cái)?，或加?biāo)志(marking)等細(xì)微高精確度的激光加工。權(quán)利要求1．一種激光加工裝置，包括使激光振蕩器輸出的激光方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，和使由所述偏轉(zhuǎn)裝置射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡，其特征在于，所述聚焦透鏡，由多片透鏡組成，具有根據(jù)聚焦透鏡溫度使多片透鏡間的相對(duì)位置變化、以便抵消透鏡折射率隨溫度變化的透鏡位置調(diào)整裝置，所述聚焦透鏡的聚焦特性與所述聚焦透鏡的溫度變化無關(guān)。2．如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述透鏡位置調(diào)整裝置，由檢測所述聚焦透鏡的溫度的溫度測量器、沿著光軸方向驅(qū)動(dòng)透鏡的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、以及控制電路構(gòu)成，所述控制電路對(duì)應(yīng)于由所述溫度測量器檢測的所述聚焦透鏡的溫度，控制所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，以便補(bǔ)償由于所述聚焦透鏡的溫度變化所引起的散焦。3．如權(quán)利要求2所述的激光加工裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由在光軸方向上移動(dòng)透鏡的進(jìn)給絲桿機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)所述進(jìn)給絲桿機(jī)構(gòu)的電動(dòng)機(jī)構(gòu)成。4．如權(quán)利要求2所述的激光加工裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由壓電元件構(gòu)成。5．如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述透鏡位置調(diào)整裝置由具有溫度依從性的材料構(gòu)成，并由保持透鏡的保持構(gòu)件構(gòu)成，利用所述保持構(gòu)件本身的溫度伸縮使所述透鏡在光軸方向上產(chǎn)生位移。6．一種激光加工裝置，包括使激光振蕩器輸出的激光方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，和使由所述偏轉(zhuǎn)裝置射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡，其特征在于，對(duì)于所述聚焦透鏡，除了聚焦用的凸透鏡組，還加入溫度補(bǔ)償用的凹透鏡，利用所述凹透鏡的折射率溫度變化來抵消所述凸透鏡組的折射率溫度變化，所述聚焦透鏡的聚焦特性與所述聚焦透鏡的溫度變化無關(guān)。7．如權(quán)利要求6所述的激光加工裝置，其特征在于，所述聚焦透鏡的凸透鏡組由硒化鋅構(gòu)成，所述凹透鏡由鍺構(gòu)成。8．一種激光加工裝置，包括使激光振蕩器輸出的激光方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，和使由所述偏轉(zhuǎn)裝置射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡，其特征在于，具有檢測所述聚焦透鏡溫度的溫度測量器，和顯示由所述溫度測量器檢測的所述聚焦透鏡溫度的溫度顯示器。9．如權(quán)利要求8所述的激光加工裝置，其特征在于，所述溫度顯示器具有復(fù)位按鈕，并顯示相對(duì)于復(fù)位按鈕操作時(shí)的聚焦透鏡溫度的溫度變化。10．一種激光加工裝置，包括使激光振蕩器輸出的激光方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，和使由所述偏轉(zhuǎn)裝置射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡，其特征在于，具有檢測所述聚焦透鏡溫度的溫度測量器，和當(dāng)所述聚焦透鏡的溫度變化量超過事先規(guī)定的允許值時(shí)發(fā)出報(bào)警的報(bào)警裝置。11．一種激光加工裝置，包括使激光振蕩器輸出的激光方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，和使由所述偏轉(zhuǎn)裝置射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡，其特征在于，具有檢測所述聚焦透鏡溫度的溫度測量器，和對(duì)所述聚焦透鏡進(jìn)行加熱、以便由所述溫度測量器檢測的聚焦透鏡溫度保持在規(guī)定的一定值的加熱手段。12．一種激光加工裝置，包括使激光振蕩器輸出的激光方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，和使由所述偏轉(zhuǎn)裝置射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡，其特征在于，具有檢測所述聚焦透鏡溫度的溫度測量器，和對(duì)所述聚焦透鏡進(jìn)行冷卻、以便由所述溫度測量器檢測的聚焦透鏡溫度保持在規(guī)定的一定值的溫度控制手段。13．如權(quán)利要求12所述的激光加工裝置，其特征在于，所述溫度控制手段是珀?duì)柼?Peltier)元件。14．一種激光加工裝置，包括使激光振蕩器輸出的激光方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，和使由所述偏轉(zhuǎn)裝置射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡，其特征在于，具有將所述聚焦透鏡與外氣隔熱的隔熱手段。15．如權(quán)利要求14所述的激光加工裝置，其特征在于，所述隔熱手段由圍繞聚焦透鏡外側(cè)的外筒體、填充在所述聚焦透鏡與所述外筒體之間劃定的隔熱空間中的隔熱材料和將所述隔熱空間的上端和下端密封而配置的激光穿透性的窗口密封板構(gòu)成。16．如權(quán)利要求14所述的激光加工裝置，其特征在于，所述隔熱手段通過由隔熱原料形成的隔熱材料，支承構(gòu)成聚焦透鏡的透鏡。17．如權(quán)利要求14所述的激光加工裝置，其特征在于，所述隔熱手段具有多個(gè)突起，并具有使所述突起的前端部與所述聚焦透鏡的透鏡進(jìn)行點(diǎn)接觸來保持所述透鏡的透鏡安裝構(gòu)件。18．如權(quán)利要求14所述的激光加工裝置，其特征在于，所述隔熱手段具有突條，并具有使所述突條的前端部與所述聚焦透鏡的透鏡進(jìn)行點(diǎn)接觸來保持所述透鏡的透鏡安裝構(gòu)件。19．如權(quán)利要求14所述的激光加工裝置，其特征在于，所述聚焦透鏡由多片凸透鏡構(gòu)成，其中，最上部和最下部的凸透鏡由光學(xué)特性不易受溫度影響的透鏡材料構(gòu)成，配置在中間部分的凸透鏡由光學(xué)特性容易受溫度影響的透鏡材料構(gòu)成。20．如權(quán)利要求19所述的激光加工裝置，其特征在于，所述中間配置的凸透鏡，利用具有突條并使所述突條的前端部與聚焦透鏡的透鏡進(jìn)行線接觸的透鏡安裝構(gòu)件支承。21．一種激光加工裝置，包括使激光振蕩器輸出的激光方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，和使由所述偏轉(zhuǎn)裝置射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡，其特征在于，具有檢測所述聚焦透鏡溫度的溫度測量器，和調(diào)整所述聚焦透鏡的配置部分的氣氛溫度、以便由所述溫度測量器檢測的聚焦透鏡溫度保持在規(guī)定的一定值的溫度調(diào)整手段。22．一種激光加工裝置，包括使激光振蕩器輸出的激光方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，和使由所述偏轉(zhuǎn)裝置射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡，其特征在于，具有調(diào)整射入到所述聚焦透鏡中的激光的角度、并補(bǔ)償由于聚焦透鏡溫度變動(dòng)所導(dǎo)致的所述聚焦透鏡光學(xué)特性變動(dòng)量的補(bǔ)償機(jī)構(gòu)。23．如權(quán)利要求22所述的激光加工裝置，其特征在于，所述補(bǔ)償機(jī)構(gòu)是校正對(duì)于所述偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)量指令值的偏轉(zhuǎn)量指令校正手段。24．如權(quán)利要求23所述的激光加工裝置，其特征在于，具有檢測所述聚焦透鏡溫度的溫度測量器，所述偏轉(zhuǎn)量指令校正手段根據(jù)所述溫度測量器檢測的聚焦透鏡溫度相應(yīng)設(shè)定的校正參數(shù)，校正對(duì)于所述偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)量指令值。25．如權(quán)利要求23所述的激光加工裝置，其特征在于，所述偏轉(zhuǎn)量指令校正手段利用基于定點(diǎn)加工的加工位置誤差得到的坐標(biāo)變換函數(shù)的坐標(biāo)變換，進(jìn)行偏轉(zhuǎn)量指令的校正。26．如權(quán)利要求23所述的激光加工裝置，其特征在于，所述偏轉(zhuǎn)量指令校正手段利用基于定點(diǎn)加工的加工位置誤差得到的校正矩陣，進(jìn)行偏轉(zhuǎn)量指令的校正。27．如權(quán)利要求25或26所述的激光加工裝置，其特征在于，對(duì)每次激光加工，在激光加工前更新所述坐標(biāo)變換函數(shù)或者所述校正矩陣。28．如權(quán)利要求25或26所述的激光加工裝置，其特征在于，具有檢測所述聚焦透鏡溫度的溫度測量器，當(dāng)由所述溫度測量器檢測的聚焦透鏡溫度變化了規(guī)定值以上時(shí)，在激光加工前，對(duì)應(yīng)于這時(shí)的聚焦透鏡溫度，更新所述坐標(biāo)變換函數(shù)或者所述校正矩陣。29．如權(quán)利要求25或26所述的激光加工裝置，其特征在于，于預(yù)定的時(shí)間更新所述坐標(biāo)變換函數(shù)或者所述校正矩陣。30．如權(quán)利要求25或26所述的激光加工裝置，其特征在于，每經(jīng)過規(guī)定的時(shí)間，更新所述坐標(biāo)變換函數(shù)或者所述校正矩陣。31．如權(quán)利要求26所述的激光加工裝置，其特征在于，預(yù)先取得各聚焦透鏡溫度的校正矩陣，具有檢測所述聚焦透鏡溫度的溫度測量器，并使用所述溫度測量器檢測的聚焦透鏡溫度相應(yīng)的校正矩陣。32．如權(quán)利要求21或22所述的激光加工裝置，其特征在于，所述補(bǔ)償機(jī)構(gòu)包含對(duì)應(yīng)于由溫度測量器檢測的聚焦透鏡溫度、可變?cè)O(shè)定對(duì)于所述偏轉(zhuǎn)裝置的偏轉(zhuǎn)量的指令值的增益的可變?cè)鲆嬖O(shè)定裝置。33．如權(quán)利要求22所述的激光加工裝置，其特征在于，所述補(bǔ)償機(jī)構(gòu)包含調(diào)整射入所述偏轉(zhuǎn)裝置的激光角度的曲面鏡。34．一種激光加工裝置，包括使激光振蕩器輸出的激光方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，和使由所述偏轉(zhuǎn)裝置射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡，其特征在于，具有檢測所述聚焦透鏡溫度的溫度測量器及加工平臺(tái)驅(qū)動(dòng)指令校正手段，所述加工平臺(tái)驅(qū)動(dòng)指令校正手段對(duì)應(yīng)于由所述溫度測量器檢測的所述聚焦透鏡溫度，對(duì)加工對(duì)象工件相對(duì)于所述聚焦透鏡的位置指令進(jìn)行校正，補(bǔ)償由于聚焦透鏡溫度變動(dòng)所導(dǎo)致的所述聚焦透鏡光學(xué)特性的變動(dòng)量。35．一種激光加工裝置，包括使激光振蕩器輸出的激光方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，和使由所述偏轉(zhuǎn)裝置射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡，其特征在于，具有檢測所述聚焦透鏡溫度的溫度測量器及可變波長激光振蕩器，所述可變波長激光振蕩器對(duì)應(yīng)于由所述溫度測量器檢測的聚焦透鏡溫度，可變?cè)O(shè)定輸出的激光波長，以便補(bǔ)償由于聚焦透鏡溫度變動(dòng)所導(dǎo)致的所述聚焦透鏡的光學(xué)特性的變動(dòng)量。36．一種激光加工裝置，包括使激光振蕩器輸出的激光方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，和使由所述偏轉(zhuǎn)裝置射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡，其特征在于，具有檢測所述聚焦透鏡溫度的溫度測量器及補(bǔ)償機(jī)構(gòu)，所述補(bǔ)償機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)于由所述溫度測量器檢測的聚焦透鏡溫度，調(diào)整所述聚焦透鏡與偏轉(zhuǎn)裝置之間的距離，補(bǔ)償由于聚焦透鏡溫度變動(dòng)所導(dǎo)致的所述聚焦透鏡光學(xué)特性的變動(dòng)量。37．一種激光加工裝置，包括使激光振蕩器輸出的激光方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，和使由所述偏轉(zhuǎn)裝置射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡，其特征在于，具有檢測所述聚焦透鏡溫度的溫度測量器及自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)，所述應(yīng)適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)對(duì)應(yīng)于由所述溫度測量器檢測的聚焦透鏡溫度，調(diào)整激光的發(fā)散角，以便補(bǔ)償由于聚焦透鏡溫度所導(dǎo)致的所述聚焦透鏡焦距的變化量。38．一種激光加工裝置，包括使激光振蕩器輸出的激光方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，和使由所述偏轉(zhuǎn)裝置射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡，其特征在于，具有檢測所述聚焦透鏡溫度的溫度測量器及準(zhǔn)直透鏡位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述準(zhǔn)直透鏡位置調(diào)整機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)于由所述溫度測量器檢測的聚焦透鏡溫度、調(diào)整準(zhǔn)直透鏡位置，以便補(bǔ)償由于聚焦透鏡溫度變動(dòng)所導(dǎo)致的所述聚焦透鏡焦距的變化量。39．一種激光加工裝置，包括使激光振蕩器輸出的激光方向改變的偏轉(zhuǎn)裝置，和使由所述偏轉(zhuǎn)裝置射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡，其特征在于，具有檢測所述聚焦透鏡溫度的溫度測量器，和調(diào)整從所述聚焦透鏡到加工對(duì)象工件為止的距離、以便補(bǔ)償由于聚焦透鏡溫度變動(dòng)所導(dǎo)致的所述聚焦透鏡焦距的變化量的加工平臺(tái)高度調(diào)整機(jī)構(gòu)。全文摘要本發(fā)明揭示一種激光加工裝置,包括變化由激光振蕩器輸出的激光的方向的偏轉(zhuǎn)裝置,以及使由前述偏轉(zhuǎn)裝置射入的激光折射而在加工對(duì)象工件上成像的聚焦透鏡。在這種激光加工裝置中,組入根據(jù)聚焦透鏡溫度、使由多片的透鏡組成的聚焦透鏡的透鏡間的相對(duì)位置變化的透鏡位置調(diào)整裝置,根據(jù)聚焦透鏡溫度、使多片的透鏡間的相對(duì)位置變化、以便根據(jù)透鏡位置調(diào)整裝置、消除透鏡的折射率的溫度變化。文檔編號(hào)G02B1/04GK1286654SQ97182515公開日2001年3月7日申請(qǐng)日期1997年12月26日優(yōu)先權(quán)日1997年12月26日發(fā)明者鉾館俊之,祝靖彥,黑澤滿樹,西前順一,田中健太郎申請(qǐng)人:三菱電機(jī)株式會(huì)社