液晶面板制造工藝中的鋁膜水系光阻剝離液及其制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種液晶面板制造工藝中的鋁膜水系光阻剝離液及其制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 目前，低溫水系正膠剝離液，透明易揮發(fā)性液體，易燃，密度（25°C)約為1.0g/ml。 鋁膜水系光阻剝離液主要用于FPD (Flat Panel Display，平板顯示器）面板生產(chǎn)的光阻剝 離，其使用工藝溫度為80°C左右；目前正膠剝離液主要由乙醇胺（MEA)、二甲基亞砜（DMS0) 和超純水組成，該產(chǎn)品主要存在以下幾點(diǎn)缺點(diǎn)：
[0003] 1)用該低溫水系正膠剝離液進(jìn)行光阻剝離時(shí)容易對(duì)光阻保護(hù)的金屬層產(chǎn)生攻擊， 導(dǎo)致產(chǎn)品良率降低；
[0004] 2)該低溫水系正膠剝離液的使用工藝溫度要求較高，需加熱到80°C左右，能耗
[0005] 較大；
[0006] 3)乙醇胺（MEA)和二甲基亞砜（DMS0)對(duì)環(huán)境污染大且對(duì)人體健康有較大傷害。
[0007] 因此有必要提供一種改良的鋁膜水系光阻剝離液及其制備方法，提高液晶面板制 造工藝中的光阻剝離性能，降低工藝條件溫度，并且避免了原來(lái)使用的正膠剝離液造成的 對(duì)人體和環(huán)境造成的損害。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 本發(fā)明目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷提供一種液晶面板制造工藝中的鋁膜水 系光阻剝離液及其制備方法。
[0009] 本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)上述目的，采用如下技術(shù)方案：一種液晶面板制造工藝中的鋁膜水 系光阻剝離液，包括以下重量百分比的組合物：
[0012] 其余為水。
[0013] 進(jìn)一步的，所述N-甲基吡咯烷酮的濃度為98% (重量百分比）；所述異丙酰胺的 濃度為75% (重量百分比）；所述二甲氧基苯乙胺的濃度為99. 5% (重量百分比）；所述乙 烯基正丁醚的濃度為85% (重量百分比）；所述異丙基正丙硫醚的濃度為99.5% (重量百 分比）；所述乙二醇單異丙基醚的濃度為89. 5% (重量百分比）。
[0014] 一種液晶面板制造工藝中鋁膜水系光阻剝離液的制備方法，包括如下步驟：
[0015] 先通過自動(dòng)上料系統(tǒng)將預(yù)定質(zhì)量的N-甲基吡咯烷酮和水加入到反應(yīng)釜中，并在 常溫、常壓下充分?jǐn)嚢?，攪拌時(shí)間為：15~25分鐘，攪拌的速度為65-85轉(zhuǎn)/分；
[0016] 然后繼續(xù)通過自動(dòng)上料系統(tǒng)以次加入異丙酰胺、二甲氧基苯乙胺、乙烯基正丁 醚、異丙基正丙硫醚、乙二醇單異丙基醚和水，使得N-甲基吡咯烷酮的重量百分含量為 11 %~16%，異丙酰胺的重量百分含量為20%~25%，二甲氧基苯乙胺的重量百分含量為 0. 2%~2. 5%，乙烯基正丁醚的重量百分含量為12%~17%，異丙基正丙硫醚的重量百 分含量5%~9%，乙二醇單異丙基醚的重量百分含量為7%~13%時(shí)停止上料，再次攪拌 15~25分鐘，攪拌的速度為70-90轉(zhuǎn)/分；
[0017] 最后開動(dòng)隔膜泵，將制得的混合物先經(jīng)過0. 3um過濾器循環(huán)過濾2~4小時(shí)，再經(jīng) 0. 15 ym的過濾器過濾，以去除混合物中粒徑大于0. 15 ym的有害粒子，即得鋁膜水系光阻 剝離液。
[0018] 本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明提供的鋁膜水系光阻剝離液及其制備方法，能夠提高 液晶面板產(chǎn)品的光阻剝離性能，降低工藝條件溫度，并且避免了原來(lái)使用的正膠剝離液造 成的對(duì)人體和環(huán)境造成的損害。
【具體實(shí)施方式】
[0019] 下面通過實(shí)施例進(jìn)一步描述本發(fā)明，但不限于所舉的實(shí)施例。
[0020] 本發(fā)明涉及一種液晶面板制造工藝中的鋁膜水系光阻剝離液，包括以下重量百分 比的組合物：
[0021] N-甲基吡略烷酮 11 %~丨6%, 異丙酰胺 20%~25%; 二甲氧基苯乙胺 0.2%~2.5%; 乙烯基正丁醚 12%~17%; 異丙基正丙硫醚 5%~9%; 乙二醇單異丙基醚 7%~13%;
[0022] 其余為水。
[0023] 其中，選用濃度為98% (重量百分比）的N-甲基吡咯烷酮，濃度為75% (重量百 分比）的異丙酰胺，濃度為99. 5% (重量百分比）的二甲氧基苯乙胺；濃度為85% (重量 百分比）的乙烯基正丁醚，濃度為99. 5% (重量百分比）的異丙基正丙硫醚，以及濃度為 89.5% (重量百分比）的乙二醇單異丙基醚。
[0024] 實(shí)施例1、稱取N-甲基吡咯烷酮11kg，在攪拌下通過自動(dòng)上料機(jī)加入到裝有5kg 水的反應(yīng)釜中，在常溫、常壓下充分?jǐn)嚢?，攪拌時(shí)間為：15分鐘，攪拌的速度為65轉(zhuǎn)/分；以 次加入異丙酰胺20kg，二甲氧基苯乙胺0. 2kg，乙烯基正丁醚12kg，異丙基正丙硫醚5kg，乙 二醇單異丙基醚7kg，然后加水至100kg，再次攪拌15分鐘后，攪拌的速度為70轉(zhuǎn)/分；開 動(dòng)隔膜泵，將制得的混合物先經(jīng)過〇. 3um過濾器循環(huán)過濾2小時(shí)，再經(jīng)0. 15 y m的過濾器過 濾，以去除混合物中粒徑大于0. 15 ym的有害粒子，即制得鋁膜水系光阻剝離液。
[0025] 實(shí)施例2、稱取N-甲基吡咯烷酮12kg，在攪拌下通過自動(dòng)上料機(jī)加入到裝有8kg 水的反應(yīng)釜中，在常溫、常壓下充分?jǐn)嚢?，攪拌時(shí)間為：18分鐘，攪拌的速度為65轉(zhuǎn)/分；以 次加入異丙酰胺21kg，二甲氧基苯乙胺0. 5kg，乙烯基正丁醚13kg，異丙基正丙硫醚6kg，乙 二醇單異丙基醚8kg，然后加水至100kg，再次攪拌18分鐘后，攪拌的速度為70轉(zhuǎn)/分；開 動(dòng)隔膜泵，將制得的混合物先經(jīng)過〇. 3um過濾器循環(huán)過濾2小時(shí)，再經(jīng)0. 15 y m的過濾器過 濾，以去除混合物中粒徑大于0. 15 ym的有害粒子，即制得鋁膜水系光阻剝離液。
[0026] 實(shí)施例3、稱取N-甲基吡咯烷酮13kg，在攪拌下通過自動(dòng)上料機(jī)加入到裝有10kg 水的反應(yīng)釜中，在常溫、常壓下充分?jǐn)嚢?，攪拌時(shí)間為：20分鐘，攪拌的速度為70轉(zhuǎn)/分；以 次加入異丙酰胺22kg，二甲氧基苯乙胺0. 8kg，乙烯基正丁醚14kg，異丙基正丙硫醚7kg，乙 二醇單異丙基醚l〇kg，然后加水至100kg，再次攪拌20分鐘后，攪拌的速度為75轉(zhuǎn)/分；開 動(dòng)隔膜泵，將制得的混合物先經(jīng)過〇. 3um過濾器循環(huán)過濾3小時(shí)，再經(jīng)0. 15 y m的過濾器過 濾，以去除混合物中粒徑大于0. 15 ym的有害粒子，即制得鋁膜水系光阻剝離液。
[0027] 實(shí)施例4、稱取N-甲基吡咯烷酮14kg，在攪拌下通過自動(dòng)上料機(jī)加入到裝有12kg 水的反應(yīng)釜中，在常溫、常壓下充分?jǐn)嚢?，攪拌時(shí)間為：20分鐘，攪拌的速度為75轉(zhuǎn)/分；以 次加入異丙酰胺22kg，二甲氧基苯乙胺1. 6kg，乙烯基正丁醚15kg，異丙基正丙硫醚7kg，乙 二醇單異丙基醚11kg，然后加水至100kg，再次攪拌20分鐘后，攪拌的速度為80轉(zhuǎn)/分；開 動(dòng)隔膜泵，將制得的混合物先經(jīng)過〇. 3um過濾器循環(huán)過濾3小時(shí)，再經(jīng)0. 15 y m的過濾器過 濾，以去除混合物中粒徑大于0. 15 ym的有害粒子，即得鋁膜水系光阻剝離液。
[0028] 實(shí)施例5、稱取N-甲基吡咯烷酮15kg，在攪拌下通過自動(dòng)上料機(jī)加入到裝有15kg 水的反應(yīng)釜中，在常溫、常壓下充分?jǐn)嚢?，攪拌時(shí)間為：25分鐘，攪拌的速度為70轉(zhuǎn)/分；以 次加入異丙酰胺23kg，二甲氧基苯乙胺2. 0kg，乙烯基正丁醚15kg，異丙基正丙硫醚8kg，乙 二醇單異丙基醚12kg，然后加水至100kg，再次攪拌25分鐘后，攪拌的速度為80轉(zhuǎn)/分；開 動(dòng)隔膜泵，將制得的混合物先經(jīng)過〇. 3um過濾器循環(huán)過濾4小時(shí)，再經(jīng)0. 15 y m的過濾器過 濾，以去除混合物中粒徑大于0. 15 ym的有害粒子，即得鋁膜水系光阻剝離液。
[0029] 實(shí)施例6、稱取N-甲基吡咯烷酮16kg，在攪拌下通過自動(dòng)上料機(jī)加入到裝有15kg 水的反應(yīng)釜中，在常溫、常壓下充分?jǐn)嚢?，攪拌時(shí)間為：25分鐘，攪拌的速度為85轉(zhuǎn)/分；以 次加入異丙酰胺25kg，二甲氧基苯乙胺2. 5kg，乙烯基正丁醚17kg，異丙基正丙硫醚9kg，乙 二醇單異丙基醚13kg，然后加水至100kg，再次攪拌25分鐘后，攪拌的速度為90轉(zhuǎn)/分；開 動(dòng)隔膜泵，將制得的混合物先經(jīng)過〇. 3um過濾器循環(huán)過濾4小時(shí)，再經(jīng)0. 15 y m的過濾器過 濾，以去除混合物中粒徑大于0. 15 ym的有害粒子，即得鋁膜水系光阻剝離液。
[0030] 綜上所述，本發(fā)明提供的鋁膜水系光阻剝離液及其制備方法，不改變客戶使用效 果的前提下，通過配方的改變，提高產(chǎn)品的光阻剝離性能，降低工藝條件溫度，并且避免了 原來(lái)使用的正膠剝離液造成的對(duì)人體和環(huán)境造成的損害，本方法能適用于大規(guī)模生產(chǎn)。具 體優(yōu)點(diǎn)如下：1)本發(fā)明的鋁膜水系光阻剝離液在進(jìn)行光阻剝離時(shí)不會(huì)攻擊金屬層；2)本發(fā) 明的低溫型水系正膠剝離液工藝溫度條件為60°C，低于原來(lái)的工藝溫度80°C，能耗降低； 3)本發(fā)明的鋁膜水系光阻剝離液中的組份對(duì)人體健康危害和環(huán)境污染?。?)采用微乳技 術(shù)：采用微乳化技術(shù)，加入特殊添加劑，產(chǎn)品在乳化后形成了各向同性和較好的分散性，使 產(chǎn)品在使用過程中能夠有效去除光阻。同時(shí)采用新的配方如用異丙酰胺替代乙醇胺，二甲 氧基苯乙胺代替二甲基亞砜，使該產(chǎn)品達(dá)到低毒，綠色環(huán)保，環(huán)境友好的目的。
[0031] 以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和 原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種液晶面板制造工藝中的侶膜水系光阻剝離液，其特征在于，包括w下重量百分 比的組合物：2. 如權(quán)利要求1所述的液晶面板制造工藝中的侶膜水系光阻剝離液，其特征在于，所 述N-甲基化咯燒酬的濃度為98% (重量百分比）；所述異丙酷胺的濃度為75% (重量百 分比）；所述二甲氧基苯己胺的濃度為99. 5% (重量百分比）；所述己烯基正了離的濃度為 85% (重量百分比）；所述異丙基正丙硫離的濃度為99. 5% (重量百分比）；所述己二醇單 異丙基離的濃度為89. 5% (重量百分比）。3. -種如權(quán)利要求1或2所述的液晶面板制造工藝中的侶膜水系光阻剝離液的制備方 法，其特征在于，包括如下步驟： 先通過自動(dòng)上料系統(tǒng)將預(yù)定質(zhì)量的N-甲基化咯燒酬和水加入到反應(yīng)蓋中，并在常溫、 常壓下充分?jǐn)埌瑁瑪埌钑r(shí)間為；15~25分鐘，攬拌的速度為65-85轉(zhuǎn)/分； 然后繼續(xù)通過自動(dòng)上料系統(tǒng)W次加入異丙酷胺、二甲氧基苯己胺、己烯基正了離、異 丙基正丙硫離、己二醇單異丙基離和水，使得N-甲基化咯燒酬的重量百分含量為11%~ 16%，異丙酷胺的重量百分含量為20 %~25%，二甲氧基苯己胺的重量百分含量為 0. 2%~2. 5%，己烯基正了離的重量百分含量為12%~17%，異丙基正丙硫離的重量百 分含量5%~9%，己二醇單異丙基離的重量百分含量為7%~13%時(shí)停止上料，再次攬拌 15~25分鐘，攬拌的速度為70-90轉(zhuǎn)/分； 最后開動(dòng)隔膜累，將制得的混合物先經(jīng)過0. 3um過濾器循環(huán)過濾2~4小時(shí)，再經(jīng) 0. 15ym的過濾器過濾，W去除混合物中粒徑大于0. 15ym的有害粒子，即得侶膜水系光阻 剝離液。
【專利摘要】本發(fā)明公布了一種液晶面板制造工藝中的鋁膜水系光阻剝離液及其制備方法，其中，所述鋁膜水系光阻剝離液括以下重量百分比的組合物：N-甲基吡咯烷酮11％～16％；異丙酰胺20％～25％；二甲氧基苯乙胺0.2％～2.5％；乙稀基正丁醚12％～17％；異丙基正丙硫醚5％～9％；乙二醇單異丙基醚7％～13％；其余為水。本發(fā)明提供的鋁膜水系光阻剝離液及其制備方法，能夠提高液晶面板產(chǎn)品的光阻剝離性能，降低工藝條件溫度，并且避免了原來(lái)使用的正膠剝離液造成的對(duì)人體和環(huán)境造成的損害。
【IPC分類】G03F7/42
【公開號(hào)】CN104932211
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510296596
【發(fā)明人】殷福華, 邵勇, 朱龍
【申請(qǐng)人】江陰江化微電子材料股份有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請(qǐng)日】2015年6月2日