基板處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對基板進(jìn)行熱處理的技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002]例如，作為液晶顯示裝置(IXD)的一個(gè)制造工序，存在在用于IXD的玻璃基板上形成規(guī)定的圖案的光刻工序(Photolithography)。在該光刻工序中，通常，進(jìn)行使清洗后的玻璃基板干燥的脫水烘烤(dehyd bake)處理、使涂敷在玻璃基板上的抗蝕劑凝固的預(yù)烘烤(pre-bake)處理或在顯影后進(jìn)行的后烘烤(post_bake)處理等熱處理。
[0003]作為進(jìn)行這樣的熱處理的處理單元公知有，在由加熱板或冷卻板等構(gòu)成的載物臺上載置玻璃基板，通過將載物臺加熱或冷卻，來對基板進(jìn)行熱處理的處理單元。另外，通常在載物臺的表面分散設(shè)置有多個(gè)防接觸銷(proximity pin)，使玻璃基板不與載物臺直接接觸。
[0004]另外，提出在載物臺的表面上配置多個(gè)線材，來代替在載物臺上設(shè)置防接觸銷，在該多個(gè)線材上載置基板(例如，專利文獻(xiàn)I)。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:JP特開2004-179384號公報(bào)
[0008]但是，在專利文獻(xiàn)I記載的基板處理裝置中，在加熱板的長度方向上隔開規(guī)定的間隔配置多根線材。另外，利用設(shè)置在加熱板的側(cè)部上的多個(gè)線材固定夾具，一根根地固定各線材。因此，在加熱板上安裝各線材的情況下，需要在線材固定夾具上一根根地安裝線材，從而作業(yè)變得復(fù)雜。另外，在從載物臺拆卸線材時(shí)，也不得不一根根地從線材固定夾具拆卸線材，從而作業(yè)變得復(fù)雜。因此，不易于對載物臺的表面進(jìn)行維護(hù)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種高效地將線材安裝在對基板進(jìn)行熱處理的載物臺上以及從該載物臺拆卸該線材的技術(shù)。
[0010]為了解決上述問題，第一方式的基板處理裝置，用于處理基板，具有:載物臺，對基板進(jìn)行熱處理；一根以上的線材，配置在所述載物臺的表面，通過折返而連續(xù)多次橫跨所述載物臺的表面；定位部，與所述線材的折返部分接觸，規(guī)定所述線材在所述載物臺的表面上的橫跨位置。
[0011]另外，第二方式的基板處理裝置，在第一方式的基板處理裝置中，所述定位部具有:長條部，配置在所述載物臺的側(cè)部；多個(gè)鉤掛部，安裝在所述長條部上，并且鉤掛所述線材。
[0012]另外，第三方式的基板處理裝置，在第二方式的基板處理裝置中，還具有施力機(jī)構(gòu)，所述施力機(jī)構(gòu)對所述長條部施力，來對鉤掛在所述鉤掛部上的所述線材進(jìn)行牽拉。
[0013]另外，第四方式的基板處理裝置，在第三方式的基板處理裝置中，所述施力機(jī)構(gòu)具有彈性構(gòu)件，所述彈性構(gòu)件將所述長條部以及所述載物臺中的固定部之間進(jìn)行連接，向所述固定部對所述長條部施力。
[0014]另外，第五方式的基板處理裝置，在第三或第四方式的基板處理裝置中，還具有檢測器，所述檢測器檢測所述長條部向被所述施力機(jī)構(gòu)施力的方向的移動。
[0015]另外，第六方式的基板處理裝置，在第二至第五方式中的任一項(xiàng)的基板處理裝置中，所述長條部具有安裝結(jié)構(gòu)，所述安裝結(jié)構(gòu)用于安裝所述鉤掛部，使所述鉤掛部的在所述長條部上的安裝位置能夠改變。
[0016]另外，第七方式的基板處理裝置，在第六方式的基板處理裝置中，所述安裝結(jié)構(gòu)是將所述鉤掛部能夠裝拆地安裝在所述長條部上的結(jié)構(gòu)。
[0017]另外，第八方式的基板處理裝置，在第二至第七方式中的任一項(xiàng)的基板處理裝置中，所述長條部具有沿著所述載物臺成列配置的多個(gè)長條構(gòu)件。
[0018]另外，第九方式的基板處理裝置，在第二至第八方式中任一項(xiàng)的基板處理裝置中，所述長條部具有卷繞并保持所述線材的端部的卷繞部。
[0019]另外，第十方式的基板處理裝置，在第一至第九方式中任一項(xiàng)的基板處理裝置中，所述一根以上的線材包括:第一線狀部，沿著第一個(gè)方向橫跨所述載物臺的表面，多個(gè)第二線狀部，沿著與所述第一個(gè)方向交叉的方向，橫跨所述載物臺的表面；所述第一線狀部在與所述多個(gè)第二線狀部交叉時(shí)，交替地通過各第二線狀部的上方位置以及下方位置。
[0020]根據(jù)第一方式的基板處理裝置，通過使線材折返，來使線材橫跨載物臺的表面，因此與將線材一根根地固定在橫跨載物臺的位置的情況相比，能夠簡化線材的安裝作業(yè)。另夕卜，在拆卸時(shí)，也與一根根固定的情況相比，作業(yè)變得更容易。因此，發(fā)揮能夠高效地安裝以及拆卸線材的效果。
[0021]另外，根據(jù)第二方式的基板處理裝置，通過將線材鉤掛在鉤掛部上，能夠使線材折返。
[0022]另外，根據(jù)第三方式的基板處理裝置，由于能夠通過施力機(jī)構(gòu)牽拉線材，所以能夠?qū)⒕€材良好地配置在載物臺表面上。
[0023]另外，根據(jù)第四方式的基板處理裝置，由于能夠通過彈性構(gòu)件牽拉線材，所以能夠?qū)⒕€材良好地配置在載物臺表面上。
[0024]另外，根據(jù)第五方式的基板處理裝置，由于能夠檢測出因線材的延伸或切斷而產(chǎn)生的長條構(gòu)件的移動，所以能夠掌握線材的維護(hù)時(shí)期，發(fā)揮將工藝不良防患于未然的效果。
[0025]另外，根據(jù)第六方式的基板處理裝置，由于鉤掛部的安裝位置可變，所以能夠自由變更鉤掛部的安裝位置。因此，發(fā)揮能夠變更載物臺2的線材的橫跨位置的效果。
[0026]另外，根據(jù)第七方式的基板處理裝置，由于能夠裝拆鉤掛部，所以能夠按照需要安裝或拆卸鉤掛部。因此，由于能夠?qū)^掛部的數(shù)量抑制為需要的數(shù)量，所以發(fā)揮能夠抑制部件成本的效果。
[0027]另外，根據(jù)第八方式的基板處理裝置，能夠針對作為長條部的一部分的長條構(gòu)件進(jìn)行更換。因此，與通過一個(gè)構(gòu)件構(gòu)成長條部的情況相比，更易于維護(hù)長條部。另外，只要進(jìn)行部分更換即可，所以還能夠抑制因更換而產(chǎn)生的部件成本。
[0028]另外，根據(jù)第九方式的基板處理裝置，通過卷繞部，能夠發(fā)揮卷繞保持剩余的線材的部分的效果。
[0029]另外，根據(jù)第十方式的基板處理裝置，能夠在第一線狀部以及第二線狀部交叉的部分以點(diǎn)狀支撐基板。由此，能夠減小基板與線材之間的接觸面積。因此，發(fā)揮能夠良好地對基板進(jìn)行熱處理的效果。
【附圖說明】
[0030]圖1是表示具有第一實(shí)施方式的基板處理裝置的基板處理系統(tǒng)的概略俯視圖。
[0031]圖2是表示第一實(shí)施方式的基板處理裝置的概略俯視圖。
[0032]圖3是表示從+X側(cè)觀察的第一實(shí)施方式的基板處理裝置的概略側(cè)視圖。
[0033]圖4是表示從圖2所示的IV-1V位置觀察的基板處理裝置的概略剖視圖。
[0034]圖5是從載物臺卸下一對板狀構(gòu)件的基板處理裝置的概略剖視圖。
[0035]圖6是表示第一實(shí)施方式的變形例的基板處理裝置的概略側(cè)視圖。
[0036]圖7是表示第二實(shí)施方式的基板處理裝置的概略俯視圖。
[0037]圖8是表示從圖7所示的VII1-VIII位置觀察的基板處理裝置的概略主視圖。
[0038]圖9是表示第二實(shí)施方式的長條構(gòu)件的概略立體圖。
[0039]圖10是表示第二實(shí)施方式的變形例的長條構(gòu)件的局部概略圖。
[0040]圖11是表示從圖10所示的X1-XI位置觀察的長條構(gòu)件的概略剖視圖。
[0041]圖12是表示線材的第一配置例至第四配置例的圖。
[0042]圖13是表示將線材交叉配置的配置例的局部概略剖視圖。
[0043]其中，附圖標(biāo)記說明如下:
[0044]100:基板處理系統(tǒng)
[0045]UlA:基板處理裝置
[0046]2、2A:載物臺
[0047]23:加熱器
[0048]3:線材
[0049]30:折返部分
[0050]31:第一線狀部
[0051]32:第二線狀部
[0052]4、4A:定位部
[0053]40、40A、40B、401:長條構(gòu)件(長條部)
[0054]402:槽
[0055]41:鉤(鉤掛部)
[0056]4IA:滑輪(鉤掛部)
[0057]411:連接部
[0058]42、42A:安裝孔(安裝結(jié)構(gòu))
[0059]43:端部保持夾具