一種用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及PCB印刷電路板行業(yè)中無掩膜光刻直寫設備領域，具體提供了一種針對不同PCB板厚的焦面調(diào)節(jié)的裝置。
【背景技術】
[0002]在無掩膜光刻直寫系統(tǒng)中，光刻物鏡的焦面調(diào)節(jié)直接影響著光刻產(chǎn)品的質(zhì)量。通常光刻物鏡的焦深范圍較小，而印刷電路板的板厚差別通常遠遠超出焦深范圍。目前光刻設備中的調(diào)焦模塊多只在小范圍內(nèi)實現(xiàn)調(diào)焦功能，在板厚差距較大時需要選用不同墊板調(diào)整焦面。這樣，在生產(chǎn)中對于不同規(guī)格板厚的印刷電路板需要進行多次更換墊板后調(diào)焦，降低了產(chǎn)能，直接影響生產(chǎn)效益。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為解決上述技術問題，本發(fā)明提供了一種用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置，其包括固定調(diào)焦組件與連續(xù)調(diào)焦組件，曝光光路依次穿過所述固定調(diào)焦組件與連續(xù)調(diào)焦組件完成調(diào)焦，所述固定調(diào)焦組件具有若干厚度不同的固定厚度區(qū)域，所述連續(xù)調(diào)焦組件的厚度可線性變化，所述固定調(diào)焦組件可改變所述曝光光路穿過的固定厚度區(qū)域，所述連續(xù)調(diào)焦組件可改變所述曝光光路穿過位置的厚度。
[0004]較佳地，所述固定調(diào)焦組件包括具有多個不同固定厚度的梯形平板玻璃，所述梯形平板玻璃通過左右位移完成曝光光路穿過位置的厚度選擇。
[0005]較佳地，所述連續(xù)調(diào)焦組件包括兩塊楔角相同的楔形棱鏡，所述兩楔形棱鏡的斜邊相互平行，所述兩楔形棱鏡沿斜邊平行方向位移完成曝光光路穿過位置的厚度改變。
[0006]較佳地，所述兩楔形棱鏡中的一個位置固定，位移另一個完成曝光光路穿過位置的厚度改變。
[0007]較佳地，所述梯形平板玻璃與楔形棱鏡通過驅(qū)動裝置完成位移。
[0008]本發(fā)明具有以下有益效果:
[0009]本發(fā)明利用了固定調(diào)焦組和連續(xù)調(diào)焦組各自的特點，固定調(diào)焦組在選用不同厚度的玻璃區(qū)域時可以在大范圍內(nèi)固定地改變調(diào)焦量，而連續(xù)調(diào)焦組可以在對應固定調(diào)焦組某一玻璃厚度的情況下實現(xiàn)連續(xù)調(diào)焦，兩者混合使用后可以實現(xiàn)大范圍連續(xù)調(diào)焦，設計合理，調(diào)焦方便快捷。
[0010]當然，實施本發(fā)明的任一產(chǎn)品并不一定需要同時達到以上所述的所有優(yōu)點。
【附圖說明】
[0011]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例的技術方案，下面將對實施例描述所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0012]圖1為本發(fā)明實施例提供的用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置結構示意圖。
【具體實施方式】
[0013]下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0014]如圖1所示，本發(fā)明實施例提供了一種用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置，其包括固定調(diào)焦組件與連續(xù)調(diào)焦組件，曝光光路依次穿過所述固定調(diào)焦組件與連續(xù)調(diào)焦組件完成調(diào)焦，所述固定調(diào)焦組件具有若干厚度不同的固定厚度區(qū)域，所述連續(xù)調(diào)焦組件的厚度可線性變化，所述固定調(diào)焦組件可改變所述曝光光路穿過的固定厚度區(qū)域，所述連續(xù)調(diào)焦組件可改變所述曝光光路穿過位置的厚度。
[0015]所述固定調(diào)焦組件包括具有多個不同固定厚度的梯形平板玻璃1，梯形平板玻璃I通過左右位移完成曝光光路穿過位置的厚度選擇。
[0016]所述連續(xù)調(diào)焦組件包括兩塊楔角相同的楔形棱鏡，分別為上楔形棱鏡2與下楔形棱鏡3，，兩楔形棱鏡的斜邊相互平行，兩楔形棱鏡沿斜邊平行方向位移完成曝光光路穿過位置的厚度改變。
[0017]本實施例中所述兩楔形棱鏡中的一個位置固定，位移另一個完成曝光光路穿過位置的厚度改變。本實施例在調(diào)焦過程中固定上楔形棱鏡2不動，讓下楔形棱鏡3沿左側箭頭所示方向沿斜面平行運動，則連續(xù)調(diào)焦組沿光軸方向的玻璃總厚度會隨之變化，焦面也會相應沿光軸方向連續(xù)移動，實現(xiàn)連續(xù)調(diào)焦。
[0018]本實施例在實際調(diào)焦時，根據(jù)光刻產(chǎn)品的厚度移動梯形平板玻璃1，選擇固定調(diào)焦組中合適的玻璃厚度區(qū)域，然后移動下楔形棱鏡3，實現(xiàn)大范圍調(diào)焦。梯形平板玻璃I與楔形棱鏡3通過驅(qū)動裝置完成位移。
[0019]本發(fā)明利用了固定調(diào)焦組和連續(xù)調(diào)焦組各自的特點，固定調(diào)焦組在選用不同厚度的玻璃區(qū)域時可以在大范圍內(nèi)固定地改變調(diào)焦量，而連續(xù)調(diào)焦組可以在對應固定調(diào)焦組某一玻璃厚度的情況下實現(xiàn)連續(xù)調(diào)焦，兩者混合使用后可以實現(xiàn)大范圍連續(xù)調(diào)焦，設計合理，調(diào)焦方便快捷。
[0020]以上公開的本發(fā)明優(yōu)選實施例只是用于幫助闡述本發(fā)明。優(yōu)選實施例并沒有詳盡敘述所有的細節(jié)，也不限制該發(fā)明僅為所述的【具體實施方式】。顯然，根據(jù)本說明書的內(nèi)容，可作很多的修改和變化。本說明書選取并具體描述這些實施例，是為了更好地解釋本發(fā)明的原理和實際應用，從而使所屬技術領域技術人員能很好地理解和利用本發(fā)明。本發(fā)明僅受權利要求書及其全部范圍和等效物的限制。
【主權項】
1.一種用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置，其特征在于，包括固定調(diào)焦組件與連續(xù)調(diào)焦組件，曝光光路依次穿過所述固定調(diào)焦組件與連續(xù)調(diào)焦組件完成調(diào)焦，所述固定調(diào)焦組件具有若干厚度不同的固定厚度區(qū)域，所述連續(xù)調(diào)焦組件的厚度可線性變化，所述固定調(diào)焦組件可改變所述曝光光路穿過的固定厚度區(qū)域，所述連續(xù)調(diào)焦組件可改變所述曝光光路穿過位置的厚度。2.如權利要求1所述的用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置，其特征在于，所述固定調(diào)焦組件包括具有多個不同固定厚度的梯形平板玻璃，所述梯形平板玻璃通過左右位移完成曝光光路穿過位置的厚度選擇。3.如權利要求1所述的用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置，其特征在于，所述連續(xù)調(diào)焦組件包括兩塊楔角相同的楔形棱鏡，所述兩楔形棱鏡的斜邊相互平行，所述兩楔形棱鏡沿斜邊平行方向位移完成曝光光路穿過位置的厚度改變。4.如權利要求3所述的用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置，其特征在于，所述兩楔形棱鏡中的一個位置固定，位移另一個完成曝光光路穿過位置的厚度改變。5.如權利要求2-4任一項所述的用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置，其特征在于，所述梯形平板玻璃與楔形棱鏡通過驅(qū)動裝置完成位移。
【專利摘要】一種用于光刻直寫系統(tǒng)的混合調(diào)焦裝置，其包括固定調(diào)焦組件與連續(xù)調(diào)焦組件，曝光光路依次穿過所述固定調(diào)焦組件與連續(xù)調(diào)焦組件完成調(diào)焦，所述固定調(diào)焦組件具有若干厚度不同的固定厚度區(qū)域，所述連續(xù)調(diào)焦組件的厚度可線性變化，所述固定調(diào)焦組件可改變所述曝光光路穿過的固定厚度區(qū)域，所述連續(xù)調(diào)焦組件可改變所述曝光光路穿過位置的厚度。本發(fā)明利用了固定調(diào)焦組和連續(xù)調(diào)焦組各自的特點，固定調(diào)焦組在選用不同厚度的玻璃區(qū)域時可以在大范圍內(nèi)固定地改變調(diào)焦量，而連續(xù)調(diào)焦組可以在對應固定調(diào)焦組某一玻璃厚度的情況下實現(xiàn)連續(xù)調(diào)焦，兩者混合使用后可以實現(xiàn)大范圍連續(xù)調(diào)焦，設計合理，調(diào)焦方便快捷。
【IPC分類】G03F7/207
【公開號】CN104965395
【申請?zhí)枴緾N201510434693
【發(fā)明人】張磊, 王曉光
【申請人】合肥芯碩半導體有限公司
【公開日】2015年10月7日
【申請日】2015年7月21日