液體供給單元及具有其的基板處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種將液體供給到基板上的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 近來(lái)，液晶顯示裝置在電話、便攜式電腦等電子設(shè)備的顯示屏上被廣泛使用。這種 液晶顯示裝置是將液晶注入到由黑矩陣、彩色濾光片、公共電極以及配向膜形成的彩色濾 光片基板和由薄膜晶體管（TFT)、像素電極以及配向膜形成的陣列基板之間的空間，從而利 用根據(jù)液晶的各向異性的光的折射率的差異來(lái)得到影像效果。
[0003] 作為在如上所述的彩色濾光片基板和陣列基板上涂布如配向液或液滴的處理液 的裝置，主要使用噴墨方式的涂布裝置。這種涂布裝置包括排出頭和液體供給部件。液體供 給部件將處理液供給到排出頭，而排出頭將微米尺寸或納米尺寸的液滴供給到基板上。圖1 為示出了一般的液體供給部件的圖。參照?qǐng)D1，液體供給部件包括瓶子2、液體填充線4及 液體供給線6。瓶子2中儲(chǔ)存第1處理液，上述儲(chǔ)存的第1處理液通過(guò)液體供給線6供給到 排出頭。當(dāng)瓶子2內(nèi)的處理液被耗盡時(shí)，液體填充線4將第1處理液填充到瓶子2內(nèi)。液 體供給線6和液體填充線4分別設(shè)有閥門8a、8b，因此通過(guò)開閉這些線路來(lái)供給及填充第1 處理液。
[0004] 圖2為示出了一般的閥門的截面圖。參照?qǐng)D2,閥門8包括主體7和密封部件 9。主體7的內(nèi)部形成流入通道和流出通道，密封部件9通過(guò)開閉流入通道和流出通道的 交匯點(diǎn)，從而供給和切斷處理液。然而，在供給第1處理液的過(guò)程中，第1處理液會(huì)殘留在 主體的內(nèi)部或密封部件中。尤其是，當(dāng)主體內(nèi)的流入通道和流出通道的交匯點(diǎn)形成為孔口 (Orifices)結(jié)構(gòu)時(shí)，會(huì)形成剩余空間7a，第1處理液可能會(huì)殘留在該剩余空間7a中。
[0005] 之后，供給與第1處理液不同的第2處理液時(shí)，用存有第2處理液的瓶子替換存有 第1處理液的瓶子，從而供給和填充第2處理液。在這種情況下，閥門8內(nèi)殘留的第1處理 液和第2處理液會(huì)發(fā)生混合，從而造成不良工藝。
[0006] 為了解決上述問題，分別向液體填充線4和液體供給線6供給清洗液清洗閥門8 內(nèi)殘留的處理液，但不能完全清洗處理掉殘留的處理液。不僅如此，閥門8的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，因 此不易拆卸，并且即使通過(guò)拆卸閥門來(lái)清洗處理其內(nèi)部，之后也很難重裝使用。
[0007] 另外，如圖3所示，在填充瓶子2內(nèi)的處理液的過(guò)程中，填充的處理液與儲(chǔ)存著的 處理液以超過(guò)一定沖擊量以上的沖擊量互相碰撞時(shí)，會(huì)產(chǎn)生氣泡，這會(huì)對(duì)處理液的噴射壓 力造成負(fù)面影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 本發(fā)明要解決的摶術(shù)問題
[0009] 本發(fā)明的目的在于，提供一種新型結(jié)構(gòu)的液體供給單元。
[0010] 此外，本發(fā)明的目的在于，提供一種易于拆卸和組裝的閥門組件。
[0011] 此外，本發(fā)明的目的在于，提供一種使在處理液內(nèi)產(chǎn)生的氣泡降至最小化的裝置。
[0012] 摶術(shù)方案
[0013] 本發(fā)明的實(shí)施例提供供給液體的液體供給單元和基板處理裝置。液體供給單元是 用于將處理液供給到噴嘴的單元，包括：瓶子，其內(nèi)部具有儲(chǔ)存處理液的儲(chǔ)存空間，且其上 表面開放；閥門組件，其開閉所述上表面，上述閥門組件包括：本體，其內(nèi)部形成主通道及 連接到上述主通道的供給通道；驅(qū)動(dòng)軸，其設(shè)置在上述主通道；驅(qū)動(dòng)器，其用于使上述驅(qū)動(dòng) 軸向第1位置和第2位置移動(dòng)，上述第1位置為上述驅(qū)動(dòng)軸切斷上述供給通道的位置，上述 第2位置為開放上述供給通道的位置。
[0014] 上述本體還形成與上述主通道相通的第1填充通道，所述液體供給單元還包括用 于將處理液填充到上述第1填充通道的連接到上述本體的液體填充線。其中，上述驅(qū)動(dòng)器 向第3位置移動(dòng)上述驅(qū)動(dòng)軸，上述第3位置可以為上述驅(qū)動(dòng)軸開放上述第1填充通道的位 置。上述閥門組件還包括安裝到上述上表面、且形成與上述供給通路相通的供給孔的蓋子； 上述蓋子包括板件和液體補(bǔ)充管，其中，上述板件分別結(jié)合于上述本體和上述瓶子，并且形 成與上述供給通道相通的供給孔，而上述液體補(bǔ)充管從上述板件延長(zhǎng)從而使其位于上述儲(chǔ) 存空間，并且形成噴射處理液的填充孔及連接上述主通道和上述填充孔的第2填充通道， 其中上述填充孔可設(shè)為朝向上述瓶子的內(nèi)側(cè)面。上述第1填充通道可設(shè)為越靠近主通道， 越朝向向下傾斜的方向。第1填充通道與上述主通道相通的地點(diǎn)可設(shè)置為比上述供給通道 和上述主通道相通的地點(diǎn)低。上述主通道以貫通所述本體的兩面的中空的方式提供，上述 驅(qū)動(dòng)軸可以包括具有與上述主通道相應(yīng)的直徑、且其外側(cè)面形成環(huán)形的圓形狀連接槽的軸 部。上述第2位置可以為上述連接槽和上述供給通道相通的位置。上述第2位置可以為上 述軸部切斷第1填充通道的位置。形成上述主通道的上述本體的內(nèi)側(cè)面形成環(huán)形的圓形狀 剩余槽，上述剩余槽可以形成為比上述供給通道和上述第1填充通道高。上述軸部具有與 上述主通道對(duì)應(yīng)的或更長(zhǎng)的長(zhǎng)度，上述驅(qū)動(dòng)軸還包括從上述軸部的上端延長(zhǎng)的導(dǎo)向部，上 述導(dǎo)向部可以具有比上述軸部更大的直徑。第1位置可以為上述導(dǎo)向部置于上述本體、且 上述軸部切斷上述第1填充通道和上述供給通道的位置。
[0015] 基板處理裝置包括支撐基板的基板支撐單元、向支撐在上述基板支撐單元的基板 供給處理液的排出頭，以及將處理液供給到上述排出頭的液體供給單元。上述液體供給單 元包括在其內(nèi)部?jī)?chǔ)存處理液的儲(chǔ)存空間、開放上表面的瓶子、開閉上述上表面的閥門組件， 以及連接上述閥門組件和上述排出頭的液體供給線。上述閥門組件包括本體、驅(qū)動(dòng)軸以及 驅(qū)動(dòng)器，其中，上述本體的內(nèi)部形成主通道和連接到上述主通道的供給通道，上述驅(qū)動(dòng)軸設(shè) 置在上述主通道，上述驅(qū)動(dòng)器用于向第1位置和第2位置移動(dòng)上述驅(qū)動(dòng)軸。其中，上述第1 位置為上述驅(qū)動(dòng)軸切斷上述供給通道的位置，上述第2位置為開放上述供給通道的位置。
[0016] 上述本體還形成與上述主通道相通的第1填充通道，所述液體供給單元還包括連 接到上述本體的液體填充線，使處理液填充到上述第1填充通道；上述驅(qū)動(dòng)器向第3位置移 動(dòng)上述驅(qū)動(dòng)軸，上述第3位置可以為上述驅(qū)動(dòng)軸開放上述第1填充通道的位置。上述閥門 組件安裝到上述上表面、并且還包括形成與上述供給通道相通的供給孔的蓋子。上述蓋子 包括板件和液體補(bǔ)充管，其中，上述板件分別結(jié)合于上述本體和上述瓶子，并且形成與上述 供給通道相通的供給孔，上述液體補(bǔ)充管從上述板件延長(zhǎng)從而使其位于上述儲(chǔ)存空間，并 且形成噴射處理液的填充孔及連接上述主通道和上述填充孔的第2填充通道，上述填充孔 可以設(shè)為朝向上述瓶子的內(nèi)側(cè)面。上述主通道以貫通所述本體的兩面的中空的方式提供， 上述驅(qū)動(dòng)軸包括軸部，該軸部具有與上述主通道對(duì)應(yīng)的直徑，其外側(cè)面包括環(huán)形的圓形狀 連接槽。上述第2位置可以為上述連接槽與上述供給通道相通的位置。形成上述主通道的 上述本體的內(nèi)側(cè)面形成環(huán)形的圓形狀剩余槽，上述剩余槽可以形成為比上述供給通道和上 述第1填充通道高。
[0017] 有益效果
[0018] 根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，開閉瓶子的閥門組件具有閥門功能，并可以調(diào)節(jié)瓶子內(nèi)的 處理液的流入和流出。
[0019] 其次，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，利用單一驅(qū)動(dòng)部件，可以對(duì)用于處理液流入瓶子內(nèi)的 填充通道和用于處理液流出的供給通道進(jìn)行選擇性地開閉。
[0020] 再次，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，閥門組件包括本體和驅(qū)動(dòng)軸，且驅(qū)動(dòng)軸設(shè)置為插入到 本體，因此可輕易地實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)軸和本體間的組裝與拆卸。
[0021 ]另外，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，在將處理液填充到瓶子內(nèi)的情況下，將處理液噴射到 瓶子的內(nèi)側(cè)壁，使其沿著瓶子的內(nèi)側(cè)壁流動(dòng)，因此可以最小化處理液內(nèi)氣泡的產(chǎn)生。
【附圖說(shuō)明】
[0022] 圖1為示出一般的液體供給部件的圖。
[0023] 圖2為示出一般的閥門的截面圖。
[0024] 圖3為示出將處理液填充到瓶子內(nèi)的過(guò)程的截面圖。
[0025] 圖4為顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的噴墨方式的基板處理裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
[0026] 圖5為示出圖4中液晶排出部的立體圖。
[0027] 圖6為示出圖5中構(gòu)臺(tái)移動(dòng)單元的正面圖。
[0028] 圖7為示出圖5中頭部組件及頭部移動(dòng)單元的立體圖。
[0029] 圖8為示出圖7中支撐主體的截面圖。
[0030] 圖9為示出圖7中頭部組件及液體供給單元的截面圖。
[0031] 圖10為示出圖9中閥門組件的截面圖。
[0032] 圖11為示出圖10中本體的立體圖。
[0033] 圖12為示出圖11中本體的供給通道的本體的截面圖。
[0034] 圖13為示出圖11中本體的第1填充通道的本體的截面立體圖。
[0035] 圖14為示出圖10中蓋子的立體圖。
[0036] 圖15為示出位于第1位置的圖9的驅(qū)動(dòng)軸的截面圖。
[0037] 圖16為示出位于第2位置的圖9的驅(qū)動(dòng)軸的截面圖。
[0038] 圖17為示出位于第3位置的圖9的驅(qū)動(dòng)軸的截面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0039] 在下文中，將參考所附的附圖，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。如上所述 的本發(fā)明所要解決的課題、技術(shù)方案及技術(shù)效果可通過(guò)所附的附圖和相關(guān)的實(shí)施例而輕易 理解。為了清楚地進(jìn)行說(shuō)明，各附圖中的一部分被簡(jiǎn)略或夸張地表示。應(yīng)注意在各附圖的 結(jié)構(gòu)