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      邊緣曝光機及邊緣曝光區(qū)域打碼方法

      文檔序號:9864412閱讀:2016來源:國知局
      邊緣曝光機及邊緣曝光區(qū)域打碼方法
      【技術領域】
      [0001]本發(fā)明涉及液晶顯示面板生產制造技術領域,尤其涉及一種邊緣曝光機及邊緣曝光區(qū)域打碼方法。
      【背景技術】
      [0002]隨著顯示技術的發(fā)展,液晶顯示器(Liquid Crystal Display,LCD)與有機發(fā)光二極管顯示器(Organic Light Emitting D1de,0LED)等平面顯示裝置因具有高畫質、省電、機身薄及應用范圍廣等優(yōu)點,而被廣泛的應用于手機、電視、個人數字助理、數字相機、筆記本電腦、臺式計算機等各種消費性電子產品,成為顯示裝置中的主流。
      [0003]現(xiàn)有市場上的液晶顯示器大部分為背光型液晶顯示器,其包括液晶顯示面板及背光模組(backlight module)。液晶顯示面板的工作原理是在薄膜晶體管陣列基板(ThinFilm Transistor Array Substrate,TFT Array Substrate)與彩色濾光片基板(ColorFilter,CF)之間灌入液晶分子,并在兩片基板上施加驅動電壓來控制液晶分子的旋轉方向,以將背光模組的光線折射出來產生畫面。
      [0004]液晶顯示面板的制程可劃分為三個階段:第一階段為陣列制程(Array),即把薄膜晶體管制作在陣列玻璃基板上;第二階段為組合制程(Cell),即把彩色濾光基板與薄膜晶體管陣列基板對組,并在中間灌入液晶分子;第三階段為模組制程(LCM),即在組合后的面板背后加上背光組件及外接集成電路板,完成液晶顯示面板的制作。在Array制程中,需要先在陣列玻璃基板的上涂布正性光阻層,然后通過曝光制程對玻璃基板進行打碼及邊緣曝光;其中,所謂打碼即在TFT制程中為每一片陣列玻璃基板刻上唯一的數字與字母組合的序列號碼以將其進行分辨,避免帳料異常,以及異常追溯,其原理是使用鐳射光照射涂布正性光阻的玻璃與正性光阻發(fā)生化學反應,從而形成圖案;所謂邊緣曝光,即為避免后制程機臺發(fā)生放電導致破片,需要去除陣列玻璃基板邊緣的正性光阻,其原理是通過紫外光線照射涂布正性光阻的玻璃與正性光阻發(fā)生化學反應,去除玻璃基板邊緣光阻。
      [0005]傳統(tǒng)打碼位置必須選擇邊緣曝光區(qū)域以外,否則打碼所形成的數字圖案會被邊緣曝光消除。如圖1所示,其為一種現(xiàn)有的陣列玻璃基板邊緣曝光區(qū)域及打碼區(qū)域的示意圖,一玻璃大板10’上具有四個面積相等的陣列玻璃基板11’,四個陣列玻璃基板11’四周邊緣位置為邊緣曝光區(qū)域12’,每個條形區(qū)域的寬度為O?50mm且所有的條形區(qū)域寬度保持一致。由于陣列玻璃基板11’的邊緣位置在曝光制程中需要邊緣曝光,因此不能將打碼區(qū)域13’選擇在邊緣曝光區(qū)域12’之內,否則打碼所形成的圖案會在邊緣曝光時消除,但如果將打碼區(qū)域13’設置在邊緣曝光區(qū)域12’之外,則會占用顯示區(qū)域的空間,降低陣列玻璃基板的利用率。

      【發(fā)明內容】

      [0006]本發(fā)明的目的在于提供一種邊緣曝光機,能夠在對基板的邊緣區(qū)域進行曝光時保留其中一部分不被曝光用于打碼的區(qū)域,避免打碼區(qū)域的二次曝光,提高基板的利用率。
      [0007]本發(fā)明的另一目的在于提供一種邊緣曝光范圍內打碼方法,對基板的邊緣區(qū)域進行曝光時保留其中一部分不被曝光用于打碼的區(qū)域,在完成邊緣曝光和打碼的前提下,避免打碼區(qū)域的二次曝光,提高玻璃基板的利用率。
      [0008]為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明首先提供一種邊緣曝光機,包括:用于承載基板的載臺、位于載臺上方的邊緣曝光遮光板與打碼區(qū)遮光板、位于所述邊緣曝光遮光板與打碼區(qū)遮光板上方的曝光燈源、邊緣寬度控制電動機、及驅動所述打碼區(qū)遮光板移動的方向驅動電動機;
      [0009]所述邊緣曝光遮光板具有寬度可調的透光區(qū)域,所述邊緣寬度控制電動機用于控制所述邊緣曝光遮光板上的透光區(qū)域的寬度,從而對基板的邊緣曝光區(qū)域的寬度進行控制;
      [0010]所述打碼區(qū)遮光板為不透光的擋板,用于在對基板的邊緣區(qū)域進行曝光時保留其中一部分不被曝光用于打碼的區(qū)域。
      [0011 ]所述方向驅動電動機包括橫向方向驅動電動機和豎向方向驅動電動機,分別用于驅動所述打碼區(qū)遮光板在橫向和豎向上的移動;在對基板進行曝光時,所述橫向方向驅動電動機和豎向方向驅動電動機根據基板上預設的打碼區(qū)域的位置驅動所述打碼區(qū)遮光板移動至對應所述邊緣曝光遮光板的透光區(qū)域內的位置,從而在對基板上的邊緣區(qū)域進行曝光時保留其中一部分不被曝光的區(qū)域用于打碼。
      [0012]所述打碼區(qū)遮光板的尺寸與基板上預設的打碼區(qū)的尺寸相對應,尺寸大于所述基板上預設的打碼區(qū)內號碼的尺寸。
      [0013]所述邊緣曝光遮光板與所述曝光燈源為同步移動,所述曝光燈源為紫外光燈源,在對基板進行曝光時,所述曝光燈源發(fā)出的光穿過所述邊緣曝光遮光板的透光區(qū)域照射在基板的邊緣區(qū)域而進行曝光。
      [0014]本發(fā)明還提供一種邊緣曝光區(qū)域的打碼方法,包括以下步驟:
      [0015]步驟1、提供一涂布有光阻材料的基板,在所述基板上預設位于其四周邊緣位置的邊緣曝光區(qū)域、及位于所述邊緣曝光區(qū)域內的打碼區(qū)域;
      [0016]步驟2、提供一邊緣曝光機,包括:用于承載基板的載臺、位于載臺上方的邊緣曝光遮光板與打碼區(qū)遮光板、位于所述邊緣曝光遮光板與打碼區(qū)遮光板上方的曝光燈源、邊緣寬度控制電動機、及驅動所述打碼區(qū)遮光板移動的方向驅動電動機;
      [0017]所述邊緣曝光遮光板具有寬度可調的透光區(qū)域,所述邊緣寬度控制電動機用于控制所述邊緣曝光遮光板上的透光區(qū)域的寬度,從而對基板的邊緣曝光區(qū)域的寬度進行控制;
      [0018]所述打碼區(qū)遮光板為不透光的擋板,用于在對基板的邊緣區(qū)域進行曝光時保留其中一部分不被曝光用于打碼的區(qū)域;
      [0019]將所述基板放置于所述邊緣曝光機的載臺上,將生產配方輸入所述邊緣曝光機中,所述生產配方包括預設的邊緣曝光區(qū)域的寬度和打碼區(qū)域的位置;
      [0020]步驟3、所述邊緣寬度控制電動機根據生產配方對所述邊緣曝光遮光板上的透光區(qū)域的寬度進行調節(jié),以使其對應預設的邊緣曝光區(qū)域的寬度;
      [0021]所述方向驅動電動機根據生產配方驅動所述打碼區(qū)遮光板移動至所述基板上預設的打碼區(qū)域的上方;
      [0022]步驟4、所述曝光燈源發(fā)出的光穿過所述邊緣曝光遮光板的透光區(qū)域照射在所述基板預設的邊緣曝光區(qū)域上而進行曝光,在對應所述打碼區(qū)域的位置,所述曝光燈源發(fā)出的光被所述打碼區(qū)遮光板遮擋而使得位于所述邊緣曝光區(qū)域內的打碼區(qū)域不被曝光;
      [0023]步驟5、在未被曝光的打碼區(qū)域內進行打碼。
      [0024]所述步驟I中所提供的基板上涂布的光阻材料為正性光阻材料。
      [0025]所述方向驅動電動機包括橫向方向驅動電動機和豎向方向驅動電動機,分別用于驅動所述打碼區(qū)遮光板在橫向和豎向上的移動;所述步驟3中,所述橫向方向驅動電動機和豎向方向驅動電動機根據生產配方將所述打碼區(qū)遮光板移動至所述基板上預設的打碼區(qū)域的上方。
      [0026]所述步驟4中,所述邊緣曝光遮光板與所述曝光燈源沿所述預設的邊緣曝光區(qū)域同步移動,從而對所述邊緣曝光區(qū)域逐步進行曝光直至完成。
      [0027]所述打碼區(qū)遮光板的尺寸與預設的打碼區(qū)的尺寸相對應,尺寸大于所述打碼區(qū)內號碼的尺寸。
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