掩膜板及其制作方法
【專利摘要】一種掩膜板及其制作方法，該掩膜板包括：框架，其包括鏤空部和圍繞所述鏤空部的邊框；開口板，其設(shè)置于所述框架上且包括開口和圍繞所述開口的本體，所述開口對應(yīng)所述鏤空部，所述本體連接所述邊框；以及圖形板，其設(shè)置于所述開口板上并且包括圖形部和位于所述圖形部周邊的非圖形部，所述圖形部對應(yīng)所述開口，所述非圖形部連接所述開口板的本體，并且所述非圖形部與所述框架在所述邊框處彼此間隔開。該掩膜板可以節(jié)省生產(chǎn)成本。
【專利說明】
掩膜板及其制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明的實施例涉及一種掩膜板及其制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]掩膜板用于制作需要的圖案，其在晶體管、液晶面板、OLED(有機發(fā)光二極管)面板等各類電子產(chǎn)品中的圖案制作過程中被廣泛應(yīng)用。光刻工藝和蒸鍍工藝是圖案制作過程中比較常用的技術(shù)。例如，在光刻工藝中，可以利用掩膜板對薄膜進行曝光操作，之后進行顯影和刻蝕等步驟得到需要的圖案;例如，在蒸鍍工藝中，可以將材料加熱至氣態(tài)并使其在透過掩膜板后鍍到基板或工件上，從而得到需要的圖案。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本發(fā)明實施例提供一種掩膜板及其制作方法，以節(jié)約生產(chǎn)成本。
[0004]本發(fā)明的至少一個實施例提供一種掩膜板，其包括:框架，其包括鏤空部和圍繞所述鏤空部的邊框;開口板，其設(shè)置于所述框架上且包括開口和圍繞所述開口的本體，所述開口對應(yīng)所述鏤空部，所述本體連接所述邊框；以及圖形板，其設(shè)置于所述開口板上并且包括圖形部和位于所述圖形部周邊的非圖形部，所述圖形部對應(yīng)所述開口，所述非圖形部連接所述開口板的本體，并且所述非圖形部與所述框架在所述邊框處彼此間隔開。
[0005]例如，所述框架的面向所述圖形板的表面在所述表面與所述圖形板重疊的位置處是平坦的。
[0006]例如，所述圖形板的與所述邊框重疊的部分位于所述開口板的本體所在區(qū)域之內(nèi)。
[0007]例如，所述開口板包括多個開口條，每個開口條中都設(shè)置有所述開口并且沿所述第一方向延伸，所述多個開口條沿第二方向依次排列，所述第二方向與所述第一方向相交。
[0008]例如，每個開口條包括分別位于所述開口條的相對的兩側(cè)的第一減薄部和第二減薄部，所述第一減薄部和所述第二減薄部沿所述第二方向排列并且都沿所述第一方向延伸，相鄰的開口條的相鄰的減薄部彼此重疊。
[0009]例如，所述彼此重疊的減薄部的厚度之和等于所述開口條的厚度。
[0010]例如，每個開口條的寬度為50?130毫米。
[0011]例如，所述圖形板包括多個圖形條，每個圖形條都包括所述圖形部并且沿所述第一方向延伸，所述多個圖形條沿所述第二方向依次排列。
[0012]例如，每個圖形條的寬度都小于或等于其對應(yīng)的開口條的寬度。
[0013]例如，所述圖形板包括多個圖形條，每個圖形條沿所述第一方向延伸，所述多個圖形條沿第二方向依次排列，所述第二方向與所述第一方向相交。
[0014]例如，所述開口板和所述圖形板中的至少一個的材料為因瓦合金。
[0015]例如，所述圖形板的圖形部在所述開口板上的正投影位于對應(yīng)的開口之內(nèi)。
[0016]本發(fā)明的至少一個實施例還提供一種掩膜板的制作方法，其包括:在框架上設(shè)置開口板，使所述框架包括鏤空部和圍繞所述鏤空部的邊框，所述開口板包括開口和圍繞所述開口的本體，所述開口對應(yīng)所述鏤空部，所述本體連接所述邊框；以及在所述開口板上設(shè)置圖形板，使所述圖形板包括圖形部和位于所述圖形部周邊的非圖形部，所述圖形部對應(yīng)所述開口，所述非圖形部連接所述開口板的本體，并且所述非圖形部與所述框架在所述邊框處彼此間隔開。
[0017]例如，所述開口板的開口和本體通過對金屬層進行構(gòu)圖工藝形成。
[0018]在本發(fā)明實施例提供的掩膜板及其制作方法中，通過將開口板與框架連接，之后將圖形板與開口板連接，并且使圖形板的非圖形部與框架之間在邊框處彼此間隔開，使得該非圖形部與框架不直接接觸，因此不需要在框架中刻蝕形成焊接槽。由于本發(fā)明實施例提供的掩膜板包括的框架中未設(shè)置焊接槽，因而節(jié)省了焊接槽的加工成本;另一方面，由于不需要在框架中設(shè)置焊接槽，當產(chǎn)品型號發(fā)生變化時不需要重新設(shè)計制作框架，因而所有型號的掩膜板都可使用該框架，這進一步節(jié)約了生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0019]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例的技術(shù)方案，下面將對實施例的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅涉及本發(fā)明的一些實施例，而非對本發(fā)明的限制。
[0020]圖1a為一種金屬掩膜板的俯視不意圖；
[0021]圖1b為圖1a中金屬掩膜板包括的框架的俯視示意圖；
[0022]圖2a為本發(fā)明實施例提供的掩膜板的俯視示意圖；
[0023]圖2b為沿圖2a中A-A線的局部剖視示意圖；
[0024]圖3為本發(fā)明實施例提供的掩膜板包括的框架的俯視示意圖；
[0025]圖4a為本發(fā)明實施例提供的掩膜板包括的開口板中的開口條的俯視示意圖；
[0026]圖4b為本發(fā)明實施例提供的掩膜板包括的開口板中的開口條的剖視示意圖；
[0027]圖5為本發(fā)明實施例提供的掩膜板包括的圖形板中的圖形條的俯視示意圖；
[0028]圖6為本發(fā)明實施例提供的用于制作開口板的金屬層的剖視示意圖。
【具體實施方式】
[0029]為使本發(fā)明實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實施例的附圖，對本發(fā)明實施例的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部的實施例?；谒枋龅谋景l(fā)明的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在無需創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0030]除非另外定義，本公開使用的技術(shù)術(shù)語或者科學(xué)術(shù)語應(yīng)當為本發(fā)明所屬領(lǐng)域內(nèi)具有一般技能的人士所理解的通常意義。本公開中使用的“第一”、“第二”以及類似的詞語并不表示任何順序、數(shù)量或者重要性，而只是用來區(qū)分不同的組成部分?！鞍ā被蛘摺鞍钡阮愃频脑~語意指出現(xiàn)該詞前面的元件或者物件涵蓋出現(xiàn)在該詞后面列舉的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件?！斑B接”或者“相連”等類似的詞語并非限定于物理的或者機械的連接，而是可以包括電性的連接，不管是直接的還是間接的。“上”、“下”、“左”、“右”等僅用于表示相對位置關(guān)系，當被描述對象的絕對位置改變后，則該相對位置關(guān)系也可能相應(yīng)地改變。[0031 ]以用于蒸鍍工藝中的金屬掩膜板為例，如圖1a所示，金屬掩膜板通常包括框架I以及設(shè)置在框架I上的遮擋條2、支撐條3和有效金屬掩膜條4。有效金屬掩膜條4設(shè)置有圖形部4a，圖形部4a對應(yīng)遮擋條2和支撐條3交叉限定的開口，材料在蒸鍍過程中透過有效金屬掩膜條4的圖形部4a之后可在基板上形成需要的圖形;遮擋條2位于相鄰的有效金屬掩膜條4之間，用于對材料進行遮擋以防止有效金屬掩膜條4之間發(fā)生材料滲透;支撐條3用于支撐有效金屬掩膜條4以減小其下垂量。
[0032]圖1a所示的金屬掩膜板的制作過程通常包括:將遮擋條2和支撐條3依次焊接在框架I上，之后將有效金屬掩膜條4焊接在框架I上。由于有效金屬掩膜條4設(shè)置在遮擋條2和支撐條3的遠離框架I的一側(cè)，為了避免在將有效金屬掩膜條4焊接在框架I上時因遮擋條2和支撐條3的厚度影響而造成的有效金屬掩膜條4彎曲，如圖1b所示，需要在框架I中刻蝕出用于容納遮擋條2的遮擋焊接槽2a和用于容納支撐條3的支撐焊接槽3a。但是，當產(chǎn)品型號發(fā)生變化時，有效金屬掩膜條4的寬度和節(jié)距(Pitch)以及相鄰支撐條3之間的節(jié)距等也通常相應(yīng)地變化，使得原本的框架被棄置，進而導(dǎo)致生產(chǎn)成本的提高。
[0033]如圖2a和圖2b所示，本發(fā)明的至少一個實施例提供一種掩膜板10，其包括框架11、設(shè)置于框架11上的開口板12以及設(shè)置于開口板12上的圖形板13?？蚣?1包括鏤空部111和圍繞鏤空部111的邊框112。開口板12包括開口 121和圍繞開口 121的本體122，開口 121對應(yīng)框架11的鏤空部111，本體122連接框架11的邊框112 (例如本體122與邊框112焊接連接)。圖形板13與開口板12層疊設(shè)置并且包括圖形部131和位于圖形部131周邊的非圖形部132;圖形部131對應(yīng)開口板12的開口 121并且在開口板12上的正投影位于該對應(yīng)的開口 121之內(nèi)，以避免圖形部131被開口板12的非開口部122遮擋;非圖形部132連接開口板12的本體122(例如非圖形部132與本體122焊接連接)，并且非圖形部132與框架11在邊框112處彼此間隔開。
[0034]例如，圖形板13的非圖形部132與開口板12的本體122的連接位置(例如焊接位置)可以位于邊框112處。例如，在此基礎(chǔ)上，由于圖形板13和開口板12都為面狀結(jié)構(gòu)，因此圖形板13的非圖形部132和開口板12的本體122的連接位置(例如焊接位置)還可以位于框架11的鏤空部111處，以提高開口板12與圖形板13之間的連接可靠性。
[0035]需要說明的是，開口板12中的開口121和圖形板13中的圖形部131的數(shù)量都可以為至少一個，圖2a僅用于示例性說明。例如，本發(fā)明實施例提供的掩膜板可以為用于蒸鍍工藝中的金屬掩膜板。以O(shè)LED(有機發(fā)光二極管)的有機蒸鍍鍍膜技術(shù)為例，掩膜板包括的圖形板13中的每個圖形部131可以用于制作一個OLED顯示面板的有機發(fā)光層的圖案。圖形板13的圖形部131包括多個遮擋區(qū)(如圖2a中的黑色方格所示)和多個非遮擋區(qū)(如圖2a中的白色方格所示)，遮擋區(qū)與非遮擋區(qū)交替設(shè)置;在材料的蒸鍍過程中，材料可以透過非遮擋區(qū)但不能透過遮擋區(qū)，從而材料在透過該圖形部131并且蒸鍍到基板上之后可以形成需要的圖案。當然，本發(fā)明實施例提供的掩膜板也可以用于制作其它類型的顯示面板或者其它制作過程涉及掩模板的裝置。
[0036]在本發(fā)明實施例中，開口板12可以起到支撐圖形板13和/或起到在材料蒸鍍過程中遮擋材料的作用。例如，為了對圖形板13起到支撐作用以減小其下垂量，開口板12在焊接時可通過拉伸力的調(diào)整，使其下垂量小于或等于圖形板13的下垂量。例如，為了實現(xiàn)在材料蒸鍍過程中對材料進行遮擋，如圖2a所示，在第二方向上，可以使圖形板13不超出開口板12所在區(qū)域。
[0037]例如，開口板12的厚度可以大于圖形板13的厚度，以使開口板12對圖形板13起到較好的支撐作用。例如，考慮到開口板或圖形板太薄可能增加焊接難度且太厚可能導(dǎo)致板體下垂量增大，因此，開口板12的厚度可以為30?100微米;和/或圖形板13的厚度可以為15
?40微米。
[0038]例如，開口板12和圖形板13中的至少一個的材料可以為因瓦(Invar)合金，這是因為瓦合金的性能穩(wěn)定，對蒸鍍形成的薄膜影響小。當然，開口板12和圖形板13的材料包括但不限于因瓦合金。
[0039]在本發(fā)明實施例提供的掩膜板中，通過將開口板與框架連接，之后將圖形板與開口板連接，并且使圖形板的非圖形部與框架之間在邊框處彼此間隔開，使得該非圖形部與框架不直接接觸，因此不需要在框架中刻蝕形成焊接槽。圖3為本發(fā)明實施例的掩膜板包括的一種框架的俯視示意圖，如圖3所示，該框架11的邊框112中未設(shè)置有如圖1b所示的遮擋焊接槽2a和支撐焊接槽3a，從而框架11的面向圖形板13的表面112a在該表面112a與圖形板13重疊的任意位置處都是平坦的，如圖2b所示。
[0040]由于本發(fā)明實施例提供的掩膜板包括的框架中未設(shè)置焊接槽，因而可節(jié)省焊接槽的加工成本;另一方面，由于不需要在框架中設(shè)置焊接槽，當產(chǎn)品型號發(fā)生變化時不需要重新設(shè)計制作框架，因而所有型號的掩膜板都可使用該框架，這進一步節(jié)約了生產(chǎn)成本。
[0041]在至少一個實施例中，開口板12在框架11的邊框處可以是平坦的，以便于將圖形板13與開口板12連接，在這種情況下，例如，如圖2a和圖2b所示，圖形板13的與邊框112重疊的部分可以位于開口板12的本體122所在區(qū)域之內(nèi)。
[0042]在至少一個實施例中，如圖2a和圖4a所示，開口板12可以包括多個開口條120，每個開口條120中都設(shè)置有開口 121 (該開口 121的數(shù)量可以為至少一個)并且沿第一方向延伸，該多個開口條120沿第二方向依次排列，第二方向與第一方向相交。通過設(shè)置多個開口條120，當某一開口條120損壞時，只需更換該開口條120，而不需更換整個開口板12，從而可以進一步節(jié)省生產(chǎn)成本。
[0043]類似地，如圖2a和圖5所示，圖形板13也可以包括多個圖形條130，每個圖形條130都設(shè)置有圖形部131(該圖形部131的數(shù)量可以為至少一個)并且沿第一方向延伸，該多個圖形條130沿第二方向依次排列。當某一圖形條130發(fā)生損壞時，只需要將其更換進行修復(fù)，而不需要更換整個圖形板13，從而可以進一步節(jié)省生產(chǎn)成本。另一方面，在圖形板13和開口板12都包括多個條狀結(jié)構(gòu)的情況下，由于二者的設(shè)計相似，因而可以在同一臺張網(wǎng)機(張網(wǎng)機可以使圖形條和開口條以一定的張力繃緊在框架上)上完成，從而節(jié)省設(shè)備的投資成本。
[0044]在至少一個實施例中，如圖2a所示，每個圖形條130的寬度W3都可以小于或等于其對應(yīng)的開口條120的寬度W2。這樣，開口條120可以在蒸鍍過程中起到防止圖形條130之間材料滲透的作用。
[0045]例如，考慮到條的寬度太小可能導(dǎo)致焊接難度增加以及目前常用設(shè)備的規(guī)格，每個開口條120和每個圖形條130的寬度都可以為50?130毫米。
[0046]例如，如圖2a、圖2b和圖4a所示，每個開口條120可以包括分別位于該開口條120的相對的兩側(cè)的第一減薄部122a和第二減薄部122b、以及位于第一、二減薄部之間的部分122c，第一減薄部122a和第二減薄部122b沿第二方向排列并且都沿第一方向延伸，并且相鄰的開口條120的相鄰的減薄部在垂直于開口板12的板面的方向上彼此重疊。通過設(shè)置第一、二減薄部并且使相鄰的開口條120的相鄰的減薄部彼此重疊，可以防止圖形板13的圖形條130之間發(fā)生材料滲透。此外，通過設(shè)置減薄部，使開口板既可以實現(xiàn)遮擋材料的作用，又可以對圖形板進行支撐，從而可以省去圖1a所示的金屬掩膜板中的遮擋條2和支撐條3的制作;再者，由于支撐和遮擋作用都通過開口板實現(xiàn)，并且開口板和圖形板采用相似的條狀設(shè)計，與圖1a所示的金屬掩膜板中支撐和遮擋作用分別調(diào)控的方式相比，本發(fā)明實施例提供的掩膜板使得支撐和遮擋作用可以同步地調(diào)控。
[0047]例如，第一、二減薄部都可以通過對用于形成開口條120的金屬條進行刻蝕形成。例如，如圖2b所示，第一減薄部122a可以通過對開口條120的面向框架11的表面120a進行刻蝕處理形成，第二減薄部122b可以通過對開口條120的背向框架11的表面120b進行刻蝕處理形成。當然，如圖4b所示，同一開口條120的第一、二減薄部122a、122b也可以通過對該開口條的表面122a和表面122b中的一個表面進行刻蝕處理形成(圖4b以兩個減薄部都通過對表面122a進行刻蝕處理形成為例)，只要使相鄰開口條的相鄰的減薄部可以按照如圖2b所示的方式彼此重疊即可。
[0048]在至少一個實施例中，相鄰開口條120的彼此重疊的減薄部的厚度之和可以等于開口條120的厚度，如圖2b所示。例如，第一、二減薄部的厚度都可以為開口條120厚度的一半。當然，本發(fā)明實施例包括但不限于此。通過將相鄰開口條的彼此重疊的減薄部的厚度之和設(shè)置為等于開口條的厚度，可以保證開口板的面向圖形板的表面是平坦的，以避免圖形板在與開口板連接后發(fā)生彎曲。
[0049]在至少一個實施例中，如圖2b所示，第一減薄部122a和第二減薄部122b的寬度w(第一、二減薄部的寬度可以相等也可以不等)都可以為0.3?0.8毫米。這樣既可以避免因減薄部太窄而造成的焊接難度，又可以使開口條120排列得較緊湊，以提高空間利用率。
[0050]本發(fā)明的至少一個實施例還提供一種掩膜板的制作方法，該方法可以用于制作例如圖2a和圖2b所示的掩膜板。如圖2a和圖2b所示，本發(fā)明實施例提供的掩膜板的制作方法包括:在框架11上設(shè)置開口板12，使框架11包括鏤空部111和圍繞鏤空部111的邊框112，并且使開口板12包括開口 121和圍繞開口 121的本體122，開口 121對應(yīng)框架11的鏤空部111，本體122連接框架11的邊框112;以及在開口板12上設(shè)置圖形板13，使圖形板13與開口板12層疊設(shè)置并且包括圖形部131和位于圖形部131周邊的非圖形部132，圖形部131對應(yīng)開口 121，非圖形部132連接開口板12的本體122，并且非圖形部132與框架11在邊框112處彼此間隔開。
[0051]在本發(fā)明實施例提供的掩膜板的制作方法中，由于將開口板與框架連接，之后將圖形板與開口板連接，并且使圖形板的非圖形部與框架之間在邊框處彼此間隔開，使得該非圖形部與框架不直接接觸，因此不需要在框架中刻蝕形成焊接槽，從而可以節(jié)省焊接槽的加工成本;另一方面，由于不需要在框架中設(shè)置焊接槽，當產(chǎn)品型號發(fā)生變化時不需要重新設(shè)計制作框架，因而所有型號的掩膜板都可使用該框架，這進一步節(jié)約了生產(chǎn)成本。
[0052]在至少一個實施例中，開口板12的開口 121和本體122可以通過對金屬層12a(如圖6所示)進行構(gòu)圖工藝形成，在這種情況下，開口板12的本體122為一體成型結(jié)構(gòu)，參見圖2b和圖4b。構(gòu)圖工藝是指形成需要的圖案的工藝，其例如包括光刻工藝或激光刻蝕工藝等。光刻工藝例如包括光刻膠涂敷、光刻膠曝光、光刻膠顯影、利用光刻膠圖案刻蝕薄膜等步驟。
[0053]在至少一個實施例中，開口板12與框架11和圖形板13都可以焊接連接，即本發(fā)明實施例提供的掩膜板的制作方法包括:將開口板12焊接在框架11上，之后將圖形板13焊接在開口板12上。當然，也可以采用本領(lǐng)域常用的其它的連接方法。
[0054]綜上所述，本發(fā)明實施例提供的掩膜板及其制作方法具有如下優(yōu)點。
[0055](I)由于掩膜板包括的框架中未設(shè)置焊接槽，因而可節(jié)省焊接槽的加工成本。
[0056](2)由于不需要在框架中設(shè)置焊接槽，當產(chǎn)品型號發(fā)生變化時，所有型號的掩膜板都可使用該框架，只需要重新設(shè)置開口板和圖形板即可，這進一步節(jié)約了生產(chǎn)成本。
[0057](3)采用一張開口板即可實現(xiàn)支撐和遮擋作用，從而可省去焊接遮擋條和支撐條的步驟。
[0058](4)開口板或圖形板都包括多個條狀結(jié)構(gòu)，當某個條狀結(jié)構(gòu)發(fā)生損傷時，只需更換該條狀結(jié)構(gòu)而不需更換整個板。
[0059](5)開口板和圖形板采用相似的條狀設(shè)計，因而可以在同一臺張網(wǎng)機上完成開口條和圖形條的焊接以節(jié)省設(shè)備投資成本；另一方面，也可以實現(xiàn)同步地調(diào)控開口板的支撐和遮擋作用。
[0060]上述掩膜板及其制作方法的實施例可以互相參照。此外，在不沖突的情況下，本發(fā)明的實施例及實施例中的特征可以相互組合。
[0061]以上所述僅是本發(fā)明的示范性實施方式，而非用于限制本發(fā)明的保護范圍，本發(fā)明的保護范圍由所附的權(quán)利要求確定。
【主權(quán)項】
1.一種掩膜板，包括: 框架，其包括鏤空部和圍繞所述鏤空部的邊框； 開口板，其設(shè)置于所述框架上且包括開口和圍繞所述開口的本體，其中，所述開口對應(yīng)所述鏤空部，所述本體連接所述邊框;以及 圖形板，其設(shè)置于所述開口板上并且包括圖形部和位于所述圖形部周邊的非圖形部，所述圖形部對應(yīng)所述開口，所述非圖形部連接所述開口板的本體，并且所述非圖形部與所述框架在所述邊框處彼此間隔開。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其中，所述框架的面向所述圖形板的表面在所述表面與所述圖形板重疊的位置處是平坦的。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其中，所述圖形板的與所述邊框重疊的部分位于所述開口板的本體所在區(qū)域之內(nèi)。4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的掩膜板，其中，所述開口板包括多個開口條，每個開口條中都設(shè)置有所述開口并且沿所述第一方向延伸，所述多個開口條沿第二方向依次排列，所述第二方向與所述第一方向相交。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掩膜板，其中，每個開口條包括分別位于所述開口條的相對的兩側(cè)的第一減薄部和第二減薄部，所述第一減薄部和所述第二減薄部沿所述第二方向排列并且都沿所述第一方向延伸，相鄰的開口條的相鄰的減薄部彼此重疊。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掩膜板，其中，所述彼此重疊的減薄部的厚度之和等于所述開口條的厚度。7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掩膜板，其中，每個開口條的寬度為50?130毫米。8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掩膜板，其中，所述圖形板包括多個圖形條，每個圖形條都包括所述圖形部并且沿所述第一方向延伸，所述多個圖形條沿所述第二方向依次排列。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的掩膜板，其中，每個圖形條的寬度都小于或等于其對應(yīng)的開口條的寬度。10.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的掩膜板，其中，所述圖形板包括多個圖形條，每個圖形條沿所述第一方向延伸，所述多個圖形條沿第二方向依次排列，所述第二方向與所述第一方向相交。11.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的掩膜板，其中，所述開口板和所述圖形板中的至少一個的材料為因瓦合金。12.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的掩膜板，其中，所述圖形板的圖形部在所述開口板上的正投影位于對應(yīng)的開口之內(nèi)。13.一種掩膜板的制作方法，包括: 在框架上設(shè)置開口板，其中，所述框架包括鏤空部和圍繞所述鏤空部的邊框;所述開口板包括開口和圍繞所述開口的本體，所述開口對應(yīng)所述鏤空部，所述本體連接所述邊框；以及 在所述開口板上設(shè)置圖形板，其中，所述圖形板包括圖形部和位于所述圖形部周邊的非圖形部，所述圖形部對應(yīng)所述開口，所述非圖形部連接所述開口板的本體，并且所述非圖形部與所述框架在所述邊框處彼此間隔開。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的制作方法，其中，所述開口板的開口和本體通過對金屬層進 行構(gòu)圖工藝形成。
【文檔編號】G03F1/64GK106019819SQ201610587156
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年7月22日
【發(fā)明人】呂守華, 李寶軍
【申請人】京東方科技集團股份有限公司, 鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司