一種真空管道波紋補(bǔ)償結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明屬于加工領(lǐng)域，本發(fā)明一種真空管道波紋補(bǔ)償結(jié)構(gòu)，包括波紋管道，骨架結(jié)構(gòu)，動(dòng)子結(jié)構(gòu)，軋鐵，定子結(jié)構(gòu)，電腦程序，所述波紋管道設(shè)置在骨架結(jié)構(gòu)內(nèi)部，所述動(dòng)子結(jié)構(gòu)設(shè)置在骨架結(jié)構(gòu)外部，所述軋鐵設(shè)置在骨架結(jié)構(gòu)內(nèi)部，所述定子設(shè)置在骨架結(jié)構(gòu)外端。所述電腦程序控制骨架結(jié)構(gòu)內(nèi)部磁力變動(dòng)，為管道補(bǔ)償帶來積極的效果。
【專利說明】
一種真空管道波紋補(bǔ)償結(jié)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及加工領(lǐng)域，具體是一種真空管道波紋補(bǔ)償結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在很多工業(yè)設(shè)備中，需要驅(qū)動(dòng)工件或工件臺(tái)進(jìn)行多自由度運(yùn)動(dòng)，并對(duì)其進(jìn)行精確定位，例如光刻機(jī)中的硅片臺(tái)、掩模臺(tái)等設(shè)備。為實(shí)現(xiàn)多自由度運(yùn)動(dòng)及其精確定位，如果直接使用驅(qū)動(dòng)電機(jī)來提供支承，就會(huì)使得驅(qū)動(dòng)電機(jī)負(fù)載增加，造成電機(jī)發(fā)熱增大。在很多超精密工作臺(tái)中，電機(jī)發(fā)熱過大，就會(huì)影響環(huán)境溫度，造成非接觸式測(cè)量誤差，最終影響定位精度。采用永磁非接觸式的重力補(bǔ)償結(jié)構(gòu)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、零組件表面無需精密加工、適用于真空環(huán)境中應(yīng)用等優(yōu)點(diǎn)。對(duì)于非接觸式永磁重力補(bǔ)償結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)，需要固定部分和支承部分之間沿軸線方向具有較小的剛度和較大的承載力。
[0003]隨著光刻機(jī)技術(shù)的發(fā)展，其負(fù)載要求開始降低，但是，隨著磁浮工件臺(tái)的發(fā)展，磁浮大行程運(yùn)動(dòng)臺(tái)含有大的halbach磁鋼陣列，產(chǎn)生強(qiáng)磁場(chǎng)，效果產(chǎn)生較大的影響。
[0004]其中，一種真空管道波紋補(bǔ)償結(jié)構(gòu)我們將利用于科學(xué)技術(shù)，將帶來極大的成功。
[0005]發(fā)明專利內(nèi)容
[0006]本發(fā)明專利提供一種真空管道波紋補(bǔ)償結(jié)構(gòu)，包括波紋管道，骨架結(jié)構(gòu)，動(dòng)子結(jié)構(gòu)，乳鐵，定子結(jié)構(gòu)，電腦程序，所述波紋管道設(shè)置在骨架結(jié)構(gòu)內(nèi)部，所述動(dòng)子結(jié)構(gòu)設(shè)置在骨架結(jié)構(gòu)外部，所述乳鐵設(shè)置在骨架結(jié)構(gòu)內(nèi)部，所述定子設(shè)置在骨架結(jié)構(gòu)外端。
[0007]進(jìn)一步地，所述電腦程序控制骨架結(jié)構(gòu)內(nèi)部磁力變動(dòng)。
【附圖說明】
[0008]圖1是本發(fā)明的一種真空管道波紋補(bǔ)償結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0009]實(shí)施例:
[0010]本實(shí)施例包括:如圖1所示本發(fā)明專利所解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):其中1-波紋管道，2-電腦程序，3-乳鐵，4-動(dòng)子結(jié)構(gòu)，5-定子結(jié)構(gòu)，6-骨架結(jié)構(gòu)。
[0011 ] 一種真空管道波紋補(bǔ)償結(jié)構(gòu)，包括波紋管道，骨架結(jié)構(gòu)，動(dòng)子結(jié)構(gòu)，乳鐵，定子結(jié)構(gòu)，電腦程序，所述波紋管道設(shè)置在骨架結(jié)構(gòu)內(nèi)部，所述動(dòng)子結(jié)構(gòu)設(shè)置在骨架結(jié)構(gòu)外部，所述乳鐵設(shè)置在骨架結(jié)構(gòu)內(nèi)部，所述定子設(shè)置在骨架結(jié)構(gòu)外端。
[0012]其中，所述電腦程序控制骨架結(jié)構(gòu)內(nèi)部磁力變動(dòng)。
[0013]顯然，本發(fā)明的上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說明本發(fā)明所作的舉例，而并非是對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的限定。對(duì)于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動(dòng)。這里無需也無法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.本發(fā)明屬于一種真空管道波紋補(bǔ)償結(jié)構(gòu)，其特征在于:包括波紋管道，骨架結(jié)構(gòu)，動(dòng)子結(jié)構(gòu)，乳鐵，定子結(jié)構(gòu)，電腦程序，所述波紋管道設(shè)置在骨架結(jié)構(gòu)內(nèi)部，所述動(dòng)子結(jié)構(gòu)設(shè)置在骨架結(jié)構(gòu)外部，所述乳鐵設(shè)置在骨架結(jié)構(gòu)內(nèi)部，所述定子設(shè)置在骨架結(jié)構(gòu)外端。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種真空管道波紋補(bǔ)償結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述電腦程序控制骨架結(jié)構(gòu)內(nèi)部磁力變動(dòng)。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK106019853SQ201610522500
【公開日】2016年10月12日
【申請(qǐng)日】2016年6月30日
【發(fā)明人】趙金旺
【申請(qǐng)人】天津市百瑞泰管業(yè)股份有限公司