掩模板及其制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種掩模板及其制作方法。所述掩模板包括：邊框，所述邊框包括至少四框體分段，至少四所述框體分段首尾連接；掩模膜，所述掩模膜設(shè)置在所述邊框的第一上表面上，所述掩模膜上設(shè)置有至少兩透光孔，所述透光孔用于在顯示面板的預(yù)定部件的制作過(guò)程中透過(guò)照射到所述掩模膜上的光線的至少一部分，以使從所述掩模膜透過(guò)的光線照射到待形成的所述預(yù)定部件所對(duì)應(yīng)的材料層上。本發(fā)明能避免所述掩模膜上的所述透光孔的實(shí)際形狀或尺寸與目標(biāo)形狀或尺寸具有較大的差異。
【專利說(shuō)明】
掩模板及其制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本發(fā)明涉及掩模技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種掩模板及其制作方法。
【【背景技術(shù)】】
[0002]傳統(tǒng)的顯示面板中的像素電極等一般都需要借助掩模板來(lái)形成。
[0003]傳統(tǒng)的掩模板一般為FMM(Fine Metal Mask，高精度金屬掩模板)。
[0004]上述傳統(tǒng)的掩模板的制作過(guò)程中一般是將在金屬薄片上設(shè)置用于形成像素電極的孔洞，然后將具有所述孔洞的所述金屬薄片焊接在金屬框上。
[0005]在實(shí)踐中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)至少存在以下問(wèn)題:
[0006]在將金屬薄片焊接在金屬框的過(guò)程中，需要對(duì)所述金屬片進(jìn)行拉伸，以保持所述金屬薄片平整。
[0007]然而，上述對(duì)所述金屬薄片進(jìn)行拉伸的操作很容易導(dǎo)致所述孔洞變形，從而使得通過(guò)所述掩模板制作出來(lái)的顯示面板上的像素的實(shí)際形狀或尺寸與目標(biāo)形狀或尺寸差距較大，這會(huì)嚴(yán)重影響顯示面板的顯示質(zhì)量。
[0008]故，有必要提出一種新的技術(shù)方案，以解決上述技術(shù)問(wèn)題。
【
【發(fā)明內(nèi)容】
】
[0009]本發(fā)明的目的在于提供一種掩模板及其制作方法，其能避免掩模膜上的透光孔的實(shí)際形狀或尺寸跟目標(biāo)形狀或尺寸具有較大的差異。
[0010]為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0011]—種掩模板，所述掩模板包括:邊框，所述邊框包括至少四框體分段，至少四所述框體分段首尾連接;掩模膜，所述掩模膜設(shè)置在所述邊框的第一上表面上，所述掩模膜上設(shè)置有至少兩透光孔，所述透光孔用于在顯示面板的預(yù)定部件的制作過(guò)程中透過(guò)照射到所述掩模膜上的光線的至少一部分，以使從所述掩模膜透過(guò)的光線照射到待形成的所述預(yù)定部件所對(duì)應(yīng)的材料層上。
[0012]在上述掩模板中，所述掩模膜包括第一邊緣部和第二邊緣部，所述第一邊緣部固定在所述邊框的兩相對(duì)的所述框體分段上與所述第一上表面對(duì)應(yīng)的表面上，并且，所述掩模膜覆蓋至少四所述框體分段所圍成的中間區(qū)域的至少一部分。
[0013]在上述掩模板中，所述掩模膜是通過(guò)在所述中間區(qū)域放置一支承板，再在所述支承板的第二上表面上以及所述第一上表面上涂布光刻膠材料，以形成光刻膠層，并對(duì)所述光刻膠層進(jìn)行烘干，將烘干后的所述光刻膠層的兩邊緣部固定在所述邊框的兩相對(duì)的所述框體分段上，然后對(duì)烘干后的所述光刻膠層實(shí)施黃光制程和顯影制程，以在烘干后的所述光刻膠層上形成所述透光孔，以及將所述支承板與所述邊框相分離來(lái)形成的；其中，所述第二上表面與所述第一上表面共面，并且所述支承板在所述中間區(qū)域中與所述兩相對(duì)的框體分段親接。
[0014]在上述掩模板中，所述光刻膠層的厚度處于20微米至50微米的范圍內(nèi)。
[0015]在上述掩模板中，所述透光孔的形狀與待形成的所述預(yù)定部件的形狀對(duì)應(yīng)，所述預(yù)定部件為所述顯示面板的導(dǎo)線、電極、色阻塊、遮光塊、間隔件中的至少一者。
[0016]一種掩模板的制作方法，所述方法包括以下步驟:A、形成邊框，其中，所述邊框包括至少四框體分段，至少四所述框體分段首尾連接;B、在至少四所述框體分段所圍成的中間區(qū)域的至少一部分上以及所述邊框的第一上表面上形成掩模膜，其中，所述掩模膜上設(shè)置有至少兩透光孔，所述透光孔用于在顯示面板的預(yù)定部件的制作過(guò)程中透過(guò)照射到所述掩模膜上的光線的至少一部分，以使從所述掩模膜透過(guò)的光線照射到待形成的所述預(yù)定部件所對(duì)應(yīng)的材料層上。
[0017]在上述掩模板的制作方法中，所述掩模膜包括第一邊緣部和第二邊緣部，所述第一邊緣部固定在所述邊框的兩相對(duì)的所述框體分段上與所述第一上表面對(duì)應(yīng)的表面上，并且，所述掩模膜覆蓋所述中間區(qū)域的至少一部分。
[0018]在上述掩模板的制作方法中，所述步驟B包括:b1、在所述中間區(qū)域放置一支承板，其中，所述第二上表面與所述第一上表面共面，并且所述支承板在所述中間區(qū)域中與所述兩相對(duì)的框體分段耦接;b2、在所述支承板的第二上表面上以及所述第一上表面上涂布光刻膠材料，以形成光刻膠層;b3、對(duì)所述光刻膠層進(jìn)行烘干;b4、將烘干后的所述光刻膠層的兩邊緣部固定在所述邊框的兩相對(duì)的所述框體分段上;b5、對(duì)烘干后的所述光刻膠層實(shí)施黃光制程和顯影制程，以在烘干后的所述光刻膠層上形成所述透光孔;b6、將所述支承板與所述邊框相分離。
[0019]在上述掩模板的制作方法中，所述光刻膠層的厚度處于20微米至50微米的范圍內(nèi)。
[0020]在上述掩模板的制作方法中，所述透光孔的形狀與待形成的所述預(yù)定部件的形狀對(duì)應(yīng)，所述預(yù)定部件為所述顯示面板的導(dǎo)線、電極、色阻塊、遮光塊、間隔件中的至少一者。
[0021]相對(duì)現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明能避免掩模膜上的透光孔的實(shí)際形狀或尺寸與目標(biāo)形狀或尺寸具有較大的差異。
[0022]為讓本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說(shuō)明如下。
【【附圖說(shuō)明】】
[0023]圖1至圖5是本發(fā)明的掩模板的制作方法的示意圖；
[0024]圖6是本發(fā)明的掩模板的制作方法的流程圖；
[0025]圖7是圖6中形成掩模膜的步驟的流程圖。
【【具體實(shí)施方式】】
[0026]本說(shuō)明書所使用的詞語(yǔ)“實(shí)施例”意指實(shí)例、示例或例證。此外，本說(shuō)明書和所附權(quán)利要求中所使用的冠詞“一”一般地可以被解釋為“一個(gè)或多個(gè)”，除非另外指定或從上下文可以清楚確定單數(shù)形式。
[0027]如圖1至圖5所示，本發(fā)明的掩模板包括邊框101和掩模膜。
[0028]所述邊框101包括至少四框體分段1011，至少四所述框體分段1011首尾連接。
[0029]所述掩模膜設(shè)置在所述邊框101的第一上表面上，所述掩模膜上設(shè)置有至少兩透光孔，所述透光孔用于在顯示面板的預(yù)定部件的制作過(guò)程中透過(guò)照射到所述掩模膜上的光線的至少一部分，以使從所述掩模膜透過(guò)的光線照射到待形成的所述預(yù)定部件所對(duì)應(yīng)的材料層上。
[0030]所述顯不面板可以是TFT-LCD (Th in Film Transistor Liquid CrystalDisplay，薄膜晶體管液晶顯示面板)、0LED(0rganic Light Emitting D1de，有機(jī)發(fā)光二極管顯示面板)等。
[0031]所述透光孔以一維陣列或二維陣列排列。
[0032]所述掩模膜包括半透光區(qū)3011，所述半透光區(qū)3011由所述透光孔和所述掩模膜中位于相鄰兩所述透光孔之間的不透光的部分組成。
[0033]在本發(fā)明的掩模板中，所述掩模膜包括第一邊緣部和第二邊緣部，所述第一邊緣部固定在所述邊框101的兩相對(duì)的所述框體分段1011上與所述第一上表面對(duì)應(yīng)的表面上，并且，所述掩模膜覆蓋至少四所述框體分段1011所圍成的中間區(qū)域1012的至少一部分。
[0034]在本發(fā)明的掩模板中，所述掩模膜是通過(guò)在所述中間區(qū)域1012放置一支承板201，再在所述支承板201的第二上表面上以及所述第一上表面上涂布光刻膠材料，以形成光刻膠層301，并對(duì)所述光刻膠層301進(jìn)行烘干，將烘干后的所述光刻膠層301的兩邊緣部固定在所述邊框101的兩相對(duì)的所述框體分段1011上，然后對(duì)烘干后的所述光刻膠層301實(shí)施黃光制程和顯影制程，以在烘干后的所述光刻膠層301上形成所述透光孔，以及將所述支承板201與所述邊框1I相分離來(lái)形成的。
[0035]其中，所述第二上表面與所述第一上表面共面，并且所述支承板201在所述中間區(qū)域1012中與所述兩相對(duì)的框體分段1011耦接。
[0036]所述支承板201為塑料板，所述塑料板與所述邊框101相卡設(shè)。具體地，所述塑料板的兩相對(duì)的側(cè)邊與所述邊框101的兩相對(duì)的所述框體分段1011的內(nèi)側(cè)面相抵接。
[0037]所述光刻膠材料可例如為正型光刻膠。
[0038]在本發(fā)明的掩模板中，所述光刻膠層301的厚度處于20微米至50微米的范圍內(nèi)。
[0039]例如，所述厚度為20微米、22微米、24微米、26微米、28微米、30微米、32微米、34微米、36微米、38微米、40微米、42微米、44微米、46微米、48微米、50微米。
[0040]在本發(fā)明的掩模板中，所述透光孔的形狀與待形成的所述預(yù)定部件的形狀對(duì)應(yīng)，所述預(yù)定部件為所述顯示面板的導(dǎo)線、電極、色阻塊、遮光塊、間隔件中的至少一者。
[0041]例如，所述透光孔的形狀為線條狀、矩形狀、圓形狀等形狀。
[0042]如圖1至圖7所示，本發(fā)明的掩模板的制作方法包括以下步驟:
[0043 ] A (步驟601 )、形成邊框1I，其中，所述邊框1I包括至少四框體分段1011，至少四所述框體分段1011首尾連接。
[0044]B(步驟602)、在至少四所述框體分段1011所圍成的中間區(qū)域1012的至少一部分上以及所述邊框101的第一上表面上形成掩模膜，其中，所述掩模膜上設(shè)置有至少兩透光孔，所述透光孔用于在顯示面板的預(yù)定部件的制作過(guò)程中透過(guò)照射到所述掩模膜上的光線的至少一部分，以使從所述掩模膜透過(guò)的光線照射到待形成的所述預(yù)定部件所對(duì)應(yīng)的材料層上。
[0045]所述透光孔以一維陣列或二維陣列排列。
[0046]所述掩模膜包括半透光區(qū)3011，所述半透光區(qū)3011由所述透光孔和所述掩模膜中位于相鄰兩所述透光孔之間的不透光的部分組成。
[0047]在本發(fā)明的掩模板的制作方法中，所述掩模膜包括第一邊緣部和第二邊緣部，所述第一邊緣部固定在所述邊框101的兩相對(duì)的所述框體分段1011上與所述第一上表面對(duì)應(yīng)的表面上，并且，所述掩模膜覆蓋所述中間區(qū)域1012的至少一部分。
[0048]在本發(fā)明的掩模板的制作方法中，所述步驟B(步驟602)包括:
[0049]bl(步驟6021)、在所述中間區(qū)域1012放置一支承板201，其中，所述第二上表面與所述第一上表面共面，并且所述支承板201在所述中間區(qū)域1012中與所述兩相對(duì)的框體分段1011耦接。
[0050]b2(步驟6022)、在所述支承板201的第二上表面上以及所述第一上表面上涂布光刻膠材料，以形成光刻膠層301。
[0051 ] b3(步驟6023)、對(duì)所述光刻膠層301進(jìn)行烘干。
[0052]b4(步驟6024)、將烘干后的所述光刻膠層301的兩邊緣部固定在所述邊框101的兩相對(duì)的所述框體分段1011上。
[0053]b5(步驟6025)、對(duì)烘干后的所述光刻膠層301實(shí)施黃光制程和顯影制程，以在烘干后的所述光刻膠層301上形成所述透光孔。
[0054]b6(步驟6026)、將所述支承板201與所述邊框101相分離。
[0055]所述支承板201為塑料板，所述塑料板與所述邊框101相卡設(shè)。具體地，所述塑料板的兩相對(duì)的側(cè)邊與所述邊框101的兩相對(duì)的所述框體分段1011的內(nèi)側(cè)面相抵接。
[0056]所述光刻膠材料可例如為正型光刻膠。
[0057]在本發(fā)明的掩模板的制作方法中，所述光刻膠層301的厚度處于20微米至50微米的范圍內(nèi)。
[0058]例如，所述厚度為20微米、22微米、24微米、26微米、28微米、30微米、32微米、34微米、36微米、38微米、40微米、42微米、44微米、46微米、48微米、50微米。
[0059]在本發(fā)明的掩模板的制作方法中，所述透光孔的形狀與待形成的所述預(yù)定部件的形狀對(duì)應(yīng)，所述預(yù)定部件為所述顯示面板的導(dǎo)線、電極、色阻塊、遮光塊、間隔件中的至少一者。
[0060]例如，所述透光孔的形狀為線條狀、矩形狀、圓形狀等形狀。
[0061]通過(guò)上述技術(shù)方案，由于本發(fā)明使用通過(guò)光刻膠材料制作的掩模膜來(lái)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的金屬薄片，所述掩模膜與所述邊框101相固定的操作以及所述掩模膜上的透光孔的形成是在同一道工序中執(zhí)行的，即，在將具有透光孔的掩模膜固定在所述邊框101上的過(guò)程中無(wú)需對(duì)具有透光孔的掩模膜進(jìn)行拉伸，因此不會(huì)造成所述透光孔變形，即，有利于避免所述透光孔的實(shí)際形狀或尺寸與目標(biāo)形狀或尺寸具有較大的差異，從而有利于確保顯示面板的顯示質(zhì)量。
[0062]綜上所述，雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例揭露如上，但上述優(yōu)選實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求界定的范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種掩模板，其特征在于，所述掩模板包括: 邊框，所述邊框包括至少四框體分段，至少四所述框體分段首尾連接； 掩模膜，所述掩模膜設(shè)置在所述邊框的第一上表面上，所述掩模膜上設(shè)置有至少兩透光孔，所述透光孔用于在顯示面板的預(yù)定部件的制作過(guò)程中透過(guò)照射到所述掩模膜上的光線的至少一部分，以使從所述掩模膜透過(guò)的光線照射到待形成的所述預(yù)定部件所對(duì)應(yīng)的材料層上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述掩模膜包括第一邊緣部和第二邊緣部，所述第一邊緣部固定在所述邊框的兩相對(duì)的所述框體分段上與所述第一上表面對(duì)應(yīng)的表面上，并且，所述掩模膜覆蓋至少四所述框體分段所圍成的中間區(qū)域的至少一部分。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的掩模板，其特征在于，所述掩模膜是通過(guò)在所述中間區(qū)域放置一支承板，再在所述支承板的第二上表面上以及所述第一上表面上涂布光刻膠材料，以形成光刻膠層，并對(duì)所述光刻膠層進(jìn)行烘干，將烘干后的所述光刻膠層的兩邊緣部固定在所述邊框的兩相對(duì)的所述框體分段上，然后對(duì)烘干后的所述光刻膠層實(shí)施黃光制程和顯影制程，以在烘干后的所述光刻膠層上形成所述透光孔，以及將所述支承板與所述邊框相分離來(lái)形成的； 其中，所述第二上表面與所述第一上表面共面，并且所述支承板在所述中間區(qū)域中與所述兩相對(duì)的框體分段耦接。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的掩模板，其特征在于，所述光刻膠層的厚度處于20微米至50微米的范圍內(nèi)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述透光孔的形狀與待形成的所述預(yù)定部件的形狀對(duì)應(yīng)，所述預(yù)定部件為所述顯示面板的導(dǎo)線、電極、色阻塊、遮光塊、間隔件中的至少一者。6.一種掩模板的制作方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟: A、形成邊框，其中，所述邊框包括至少四框體分段，至少四所述框體分段首尾連接； B、在至少四所述框體分段所圍成的中間區(qū)域的至少一部分上以及所述邊框的第一上表面上形成掩模膜，其中，所述掩模膜上設(shè)置有至少兩透光孔，所述透光孔用于在顯示面板的預(yù)定部件的制作過(guò)程中透過(guò)照射到所述掩模膜上的光線的至少一部分，以使從所述掩模膜透過(guò)的光線照射到待形成的所述預(yù)定部件所對(duì)應(yīng)的材料層上。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩模板的制作方法，其特征在于，所述掩模膜包括第一邊緣部和第二邊緣部，所述第一邊緣部固定在所述邊框的兩相對(duì)的所述框體分段上與所述第一上表面對(duì)應(yīng)的表面上，并且，所述掩模膜覆蓋所述中間區(qū)域的至少一部分。8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的掩模板的制作方法，其特征在于，所述步驟B包括: bl、在所述中間區(qū)域放置一支承板，其中，所述第二上表面與所述第一上表面共面，并且所述支承板在所述中間區(qū)域中與所述兩相對(duì)的框體分段耦接； b2、在所述支承板的第二上表面上以及所述第一上表面上涂布光刻膠材料，以形成光刻膠層； b3、對(duì)所述光刻膠層進(jìn)行烘干； b4、將烘干后的所述光刻膠層的兩邊緣部固定在所述邊框的兩相對(duì)的所述框體分段上； b5、對(duì)烘干后的所述光刻膠層實(shí)施黃光制程和顯影制程，以在烘干后的所述光刻膠層上形成所述透光孔； b6、將所述支承板與所述邊框相分離。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的掩模板的制作方法，其特征在于，所述光刻膠層的厚度處于20微米至50微米的范圍內(nèi)。10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩模板的制作方法，其特征在于，所述透光孔的形狀與待形成的所述預(yù)定部件的形狀對(duì)應(yīng)，所述預(yù)定部件為所述顯示面板的導(dǎo)線、電極、色阻塊、遮光塊、間隔件中的至少一者。
【文檔編號(hào)】G03F1/32GK106094420SQ201610592396
【公開日】2016年11月9日
【申請(qǐng)日】2016年7月25日 公開號(hào)201610592396.2, CN 106094420 A, CN 106094420A, CN 201610592396, CN-A-106094420, CN106094420 A, CN106094420A, CN201610592396, CN201610592396.2
【發(fā)明人】徐湘?zhèn)? 趙夢(mèng)
【申請(qǐng)人】武漢華星光電技術(shù)有限公司