一種掩模版的夾持裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及掩模版技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種掩模版的夾持裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]掩模版是一種在薄膜、塑料或玻璃基體材料上，制作各種功能圖形并精確定位，以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的結(jié)構(gòu)，其也稱光罩或光學(xué)掩模版，常見的掩模版有鉻版、干版和菲林等。
[0003]掩模版在生產(chǎn)、運(yùn)輸、安裝或使用之中，會(huì)在掩模版表面產(chǎn)生某些缺陷，如劃傷、頂傷、蹭傷、白缺陷、黑缺陷等，故在生產(chǎn)完成后或使用一段時(shí)間后，應(yīng)對掩模版表面進(jìn)行檢查。
[0004]現(xiàn)有的檢查方式包括自動(dòng)檢查和人工檢查，其中自動(dòng)檢查是通過自動(dòng)檢測設(shè)備進(jìn)行檢查，但是其投入成本高，檢查效率低、檢查準(zhǔn)確性低；而人工檢查一般是在強(qiáng)光下進(jìn)行查看是否存在缺陷，但是其不能正常檢查大尺寸掩膜版的外觀缺陷。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題在于，針對現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種掩模版的夾持裝置，提高掩模版的檢查效率。
[0006]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:提供一種掩模版的夾持裝置，包括總架，還包括:
[0007]固定組件，其包括可調(diào)支架和掩模版固定件，該掩模版固定件設(shè)置在可調(diào)支架上，用于固定掩模版；
[0008]底部支撐架，其與可調(diào)支架連接，并與總架轉(zhuǎn)動(dòng)連接，該可調(diào)支架通過底部支撐架在一定傾斜角度上進(jìn)行擺動(dòng)。
[0009]其中，較佳方案是:該底部支撐架包括一移動(dòng)組件，該可調(diào)支架與移動(dòng)組件連接，該可調(diào)支架通過移動(dòng)組件在底部支撐架上移動(dòng)。
[0010]其中，較佳方案是:該移動(dòng)組件包括第一鎖定件。
[0011]其中，較佳方案是:該移動(dòng)組件包括設(shè)置在底部支撐架上的移動(dòng)軌道，該可調(diào)支架的底部包括與移動(dòng)軌道配合的限位結(jié)構(gòu)，該可調(diào)支架通過限位結(jié)構(gòu)在移動(dòng)軌道上移動(dòng)。
[0012]其中，較佳方案是:該掩模版固定件包括設(shè)置在移動(dòng)架底部的底部掩模版固定件，和設(shè)置在移動(dòng)架頂部的頂部掩模版固定件。
[0013]其中，較佳方案是:該掩模版固定件包括一固定凹槽。
[0014]其中，較佳方案是:該底部掩模版固定件為“L”型結(jié)構(gòu)。
[0015]其中，較佳方案是:還包括一旋轉(zhuǎn)軸，該底部支撐架通過旋轉(zhuǎn)軸與總架旋轉(zhuǎn)連接。
[0016]其中，較佳方案是:該總架包括一限位凹槽，該底部支撐架設(shè)置在限位凹槽內(nèi)。
[0017]其中，較佳方案是:還包括與底部支撐架連接的第二鎖定組件。
[0018]本實(shí)用新型的有益效果在于，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型通過設(shè)計(jì)一種掩模版的夾持裝置，在檢查掩模版前夾緊掩模版，實(shí)現(xiàn)對大尺寸掩膜版進(jìn)行人工外觀檢查，降低成本；同時(shí)掩模版可通過夾持裝置進(jìn)行角度旋轉(zhuǎn)，提高檢查準(zhǔn)確性，提高檢查效率。
【附圖說明】
[0019]下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，附圖中:
[0020]圖1是本實(shí)用新型夾持裝置的剖面正視圖；
[0021]圖2是本實(shí)用新型夾持裝置的剖面左視圖；
[0022]圖3是本實(shí)用新型夾持裝置的剖面放大圖；
[0023]圖4是本實(shí)用新型掩模版固定件的剖面正視圖；
[0024]圖5是本實(shí)用新型掩模版固定件的剖面左視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]現(xiàn)結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例作詳細(xì)說明。
[0026]如圖1和圖2所示，本實(shí)用新型提供一種掩模版的夾持裝置的優(yōu)選實(shí)施例，其中，圖1是夾持裝置的剖面正視圖；圖2是夾持裝置的剖面左視圖
[0027]一種掩模版的夾持裝置，包括總架30，還包括固定組件10和底部支撐架20，掩模版通過固定組件10固定，并通過底部支撐架20帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)，便于掩模版的檢查。
[0028]其中，固定組件10，其包括可調(diào)支架11和掩模版固定件12，掩模版固定件12設(shè)置在可調(diào)支架11上，用于固定掩模版；底部支撐架20，其與可調(diào)支架11連接，并與總架30轉(zhuǎn)動(dòng)連接，可調(diào)支架11通過底部支撐架20在一定傾斜角度上進(jìn)行擺動(dòng)。
[0029]具體地，可調(diào)支架11是設(shè)置在底部支撐架20上的兩端的支撐架，包括第一可調(diào)支架11和第二可調(diào)支架11，掩模版固定在第一可調(diào)支架11和第二可調(diào)支架11之間。
[0030]掩模版固定件12包括設(shè)置在移動(dòng)架底部的底部掩模版固定件121，和設(shè)置在移動(dòng)架頂部的頂部掩模版固定件122，即包括兩個(gè)底部掩模版固定件121和兩個(gè)頂部掩模版固定件122，通過四個(gè)掩模版固定件12將掩模版固定在第一可調(diào)支架11和第二可調(diào)支架11之間。
[0031]底部支撐架20是可調(diào)支架11與總架30的連接橋梁，本實(shí)施例中，底部支撐架20與總架30轉(zhuǎn)動(dòng)連接，底部支撐架20與可調(diào)支架11固定連接，故可調(diào)支架11通過底部支撐架20與總架30轉(zhuǎn)動(dòng)連接，優(yōu)選的，夾持裝置包括一旋轉(zhuǎn)軸40，該底部支撐架20通過旋轉(zhuǎn)軸40與總架30旋轉(zhuǎn)連接；或者，底部支撐架20與總架30固定連接，底部支撐架20與可調(diào)支架11轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
[0032]如圖3所示，本實(shí)用新型提供一種掩模版的夾持裝置的較佳實(shí)施例，其中，圖3是夾持裝置的剖面放大圖。
[0033]底部支撐架20與總架30轉(zhuǎn)動(dòng)連接，底部支撐架20與可調(diào)支架11固定連接，該底部支撐架20通過旋轉(zhuǎn)軸40與總架30旋轉(zhuǎn)連接。其中，總架30還包括一限位凹槽31，該底部支撐架20設(shè)置在限位凹槽31內(nèi)，限位凹槽31為類“V”型結(jié)構(gòu)，限位凹槽31的底部與底部支撐架20貼合。
[0034]具體地，底部支撐架20在限位凹槽31內(nèi)繞著旋轉(zhuǎn)軸40擺動(dòng)，其中限位凹槽31包括兩側(cè)面，用于限定底部支撐架20的擺動(dòng)，其旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)角度優(yōu)選為-10度到10度之間。
[0035]本實(shí)施例中的夾持裝置，還包括與底部支撐架20連接的第二鎖定組件，用于在底部支撐架20擺動(dòng)到一定角度時(shí)，進(jìn)行鎖定。
[0036]如圖4和圖5所示，本實(shí)用新型提供一種掩模版固定件的較佳實(shí)施例，其中，圖4是掩模版固定件的剖面正視圖；圖5是掩模版固定件的剖面左視圖。
[0037]掩模版固定件12包括設(shè)置在移動(dòng)架底部的底部掩模版固定件121，和設(shè)置在移動(dòng)架頂部的頂部掩模版固定件122，其中，底部掩模版固定件121為“L”型結(jié)構(gòu)，頂部掩模版固定件122為“I”型結(jié)構(gòu)。
[0038]其中，掩模版固定件12包括一固定凹槽1223，掩模版放置在固定凹槽1223中，并被夾持。并考慮到掩模版固定件12的牢固性及耐酸堿性，掩模版固定件12采用鐵氟龍材料制成。
[0039]其中，底部掩模版固定件121包括第一螺釘孔1221和第二螺釘孔1222，其并通過第一螺釘孔1221和第二螺釘孔1222固定在可調(diào)支架11上。
[0040]進(jìn)一步地，根據(jù)掩模版的大小尺寸，頂部掩模版固定件122可在可調(diào)支架11上移動(dòng)。
[0041]本實(shí)用新型中，底部支撐架20包括一移動(dòng)組件，可調(diào)支架11與移動(dòng)組件連接，根據(jù)掩模版的大小尺寸，可調(diào)支架11通過移動(dòng)組件在底部支撐架20上移動(dòng)。其中，移動(dòng)組件包括第一鎖定件，用于在可調(diào)支架11移動(dòng)到一定位置時(shí)，進(jìn)行鎖定。
[0042]優(yōu)選地，移動(dòng)組件包括設(shè)置在底部支撐架20上的移動(dòng)軌道，可調(diào)支架11的底部包括與移動(dòng)軌道配合的限位結(jié)構(gòu)，如滑輪，可調(diào)支架11通過限位結(jié)構(gòu)在移動(dòng)軌道上移動(dòng)。
[0043]本實(shí)用新型中，整體支架均采用304不銹鋼制作，同時(shí)考慮到在裝載掩膜版后的安全性和穩(wěn)定性，總架30設(shè)計(jì)成三角架形狀，并在總架30底部安裝4個(gè)帶自鎖的腳輪，便于移動(dòng)。
[0044]以上所述者，僅為本實(shí)用新型最佳實(shí)施例而已，并非用于限制本實(shí)用新型的范圍，凡依本實(shí)用新型申請專利范圍所作的等效變化或修飾，皆為本實(shí)用新型所涵蓋。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種掩模版的夾持裝置，包括總架，其特征在于，還包括: 固定組件，其包括可調(diào)支架和掩模版固定件，該掩模版固定件設(shè)置在可調(diào)支架上，用于固定掩模版； 底部支撐架，其與可調(diào)支架連接，并與總架轉(zhuǎn)動(dòng)連接，該可調(diào)支架通過底部支撐架在一定傾斜角度上進(jìn)行擺動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于:該底部支撐架包括一移動(dòng)組件，該可調(diào)支架與移動(dòng)組件連接，該可調(diào)支架通過移動(dòng)組件在底部支撐架上移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的夾持裝置，其特征在于:該移動(dòng)組件包括第一鎖定件。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的夾持裝置，其特征在于:該移動(dòng)組件包括設(shè)置在底部支撐架上的移動(dòng)軌道，該可調(diào)支架的底部包括與移動(dòng)軌道配合的限位結(jié)構(gòu)，該可調(diào)支架通過限位結(jié)構(gòu)在移動(dòng)軌道上移動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于:該掩模版固定件包括設(shè)置在移動(dòng)架底部的底部掩模版固定件，和設(shè)置在移動(dòng)架頂部的頂部掩模版固定件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的夾持裝置，其特征在于:該掩模版固定件包括一固定凹槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的夾持裝置，其特征在于:該底部掩模版固定件為“L”型結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于:還包括一旋轉(zhuǎn)軸，該底部支撐架通過旋轉(zhuǎn)軸與總架旋轉(zhuǎn)連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的夾持裝置，其特征在于:該總架包括一限位凹槽，該底部支撐架設(shè)置在限位凹槽內(nèi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的夾持裝置，其特征在于:還包括與底部支撐架連接的第二鎖定組件。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及掩模版技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種掩模版的夾持裝置，包括總架，還包括：固定組件，其包括可調(diào)支架和掩模版固定件，該掩模版固定件設(shè)置在可調(diào)支架上，用于固定掩模版；底部支撐架，其與可調(diào)支架連接，并與總架轉(zhuǎn)動(dòng)連接，該可調(diào)支架通過底部支撐架在一定傾斜角度上進(jìn)行擺動(dòng)。本實(shí)用新型通過設(shè)計(jì)一種掩模版的夾持裝置，在檢查掩模版前夾緊掩模版，實(shí)現(xiàn)對大尺寸掩膜版進(jìn)行人工外觀檢查，降低成本；同時(shí)掩模版可通過夾持裝置進(jìn)行角度旋轉(zhuǎn)，提高檢查準(zhǔn)確性，提高檢查效率。
【IPC分類】G03F1-64
【公開號(hào)】CN204515341
【申請?zhí)枴緾N201520154596
【發(fā)明人】游定平
【申請人】深圳市龍圖光電有限公司
【公開日】2015年7月29日
【申請日】2015年3月18日