一種mems集成光纖連接器新型結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種MEMS集成光纖連接器新型結(jié)構(gòu)，所述光纖連接器包括：光纖基板、電熱驅(qū)動(dòng)器、驅(qū)動(dòng)單元，所述光纖基板為單晶硅基板層，在該單晶硅基板層設(shè)置有若干硅V型槽，硅V型槽內(nèi)固定有光纖；所述電熱驅(qū)動(dòng)器設(shè)置有兩層，置于硅V型槽）的上端，將光纖壓緊；所述驅(qū)動(dòng)單元通過橋接板與電熱驅(qū)動(dòng)器連接，所述橋接板上設(shè)置有電路，驅(qū)動(dòng)單元電連接電熱驅(qū)動(dòng)器。本實(shí)用新型通過開設(shè)多個(gè)硅V型槽，在硅V型槽上蓋有電熱驅(qū)動(dòng)器，電熱驅(qū)動(dòng)器相當(dāng)于光纖蓋板，將光纖準(zhǔn)直固定，減少光纖受損的可能。
【專利說明】
一種MEMS集成光纖連接器新型結(jié)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及光纖技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是涉及一種MEMS集成光纖連接器新型結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著當(dāng)前光纖通信系統(tǒng)應(yīng)用的不斷增長(zhǎng)，光纖連接器已經(jīng)成為光通信系統(tǒng)中的重要光無源器件之一，用于實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)中設(shè)備間、設(shè)備與儀表間、設(shè)備與光纖間以及光纖與光纖間的非永久性固定連接。隨著光系統(tǒng)的小型化和光纖配線架上連接器密集化程度的不斷增加，傳統(tǒng)連接器逐漸顯示出體積過大、價(jià)格太貴的缺點(diǎn)，MEMS光纖連接器憑借其加工精度高、零件尺寸小、無需裝配和可批量制造的優(yōu)點(diǎn)展現(xiàn)出了巨大的市場(chǎng)潛力和廣闊的應(yīng)用前景。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，硅蝕刻完全受晶面控制，無法實(shí)現(xiàn)平滑過渡，導(dǎo)入端寬度呈階梯變化現(xiàn)象，不便于平滑導(dǎo)入，這樣可能會(huì)破壞基體，同時(shí)不利于光纖的準(zhǔn)直安裝。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題在于提供了一種MEMS集成光纖連接器新型結(jié)構(gòu)。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型通過以下方案來實(shí)現(xiàn):一種MEMS集成光纖連接器新型結(jié)構(gòu)，所述光纖連接器包括:
[0006]置于最底層的光纖基板，所述光纖基板為單晶硅基板層，在該單晶硅基板層設(shè)置有若干硅V型槽，硅V型槽內(nèi)固定有光纖；
[0007]電熱驅(qū)動(dòng)器，所述電熱驅(qū)動(dòng)器設(shè)置有兩層，置于硅V型槽)的上端，將光纖壓緊；
[0008]驅(qū)動(dòng)單元，所述驅(qū)動(dòng)單元通過橋接板與電熱驅(qū)動(dòng)器連接，所述橋接板上設(shè)置有電路，驅(qū)動(dòng)單元電連接電熱驅(qū)動(dòng)器。
[0009]進(jìn)一步的，所述電熱驅(qū)動(dòng)器邊緣呈方形或邊緣翹曲。
[0010]進(jìn)一步的，所述電熱驅(qū)動(dòng)器蓋于光纖上，使光纖準(zhǔn)直于硅V型槽內(nèi)。
[0011 ]進(jìn)一步的，所述單晶硅基板層是經(jīng)氧化后的單晶硅基板。
[0012]進(jìn)一步的，所述硅V型槽的開口寬度小于183μπι。
[0013]進(jìn)一步的，所述光纖直徑為105μηι。
[0014]相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型通過開設(shè)多個(gè)硅V型槽，在硅V型槽上蓋有電熱驅(qū)動(dòng)器，電熱驅(qū)動(dòng)器相當(dāng)于光纖蓋板，將光纖準(zhǔn)直固定，減少光纖受損的可能。
【附圖說明】
[0015]圖1為本實(shí)用新型光纖連接器結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]附圖中標(biāo)記:光纖基板1、光纖2、硅V型槽3、電熱驅(qū)動(dòng)器4、橋接板5、驅(qū)動(dòng)單元6。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。
[0018]請(qǐng)參照附圖1，本實(shí)用新型的一種MEMS集成光纖連接器新型結(jié)構(gòu)，所述光纖連接器包括:光纖基板1、電熱驅(qū)動(dòng)器4、驅(qū)動(dòng)單元6，所述光纖基板I為單晶硅基板層，在該單晶硅基板層設(shè)置有若干硅V型槽3，硅V型槽3內(nèi)固定有光纖2;所述電熱驅(qū)動(dòng)器4設(shè)置有兩層，置于硅V型槽3的上端，將光纖2壓緊;所述驅(qū)動(dòng)單元6通過橋接板5與電熱驅(qū)動(dòng)器4連接，所述橋接板5上設(shè)置有電路，驅(qū)動(dòng)單元6電連接電熱驅(qū)動(dòng)器4。
[0019]所述電熱驅(qū)動(dòng)器4邊緣呈方形或邊緣翹曲，邊緣翹曲有利于幫助松開電熱驅(qū)動(dòng)器4，不會(huì)使電熱驅(qū)動(dòng)器4與光纖基板I之間形成密封。
[0020]所述電熱驅(qū)動(dòng)器4蓋于光纖2上，使光纖2準(zhǔn)直于硅V型槽3內(nèi)，光纖2至少設(shè)置有2條。
[0021]所述單晶硅基板層是經(jīng)氧化后的單晶硅基板，其氧化層厚度大于Ιμπι，所述硅V型槽3的開口寬度小于183μπι，所述光纖2直徑為105μπι。
[0022]在驅(qū)動(dòng)單元6內(nèi)設(shè)置有MEMS傳感器。
[0023]本實(shí)用新型通過開設(shè)多個(gè)硅V型槽，在硅V型槽上蓋有電熱驅(qū)動(dòng)器，電熱驅(qū)動(dòng)器相當(dāng)于光纖蓋板，將光纖準(zhǔn)直固定，減少光纖受損的可能。
[0024]以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其它相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種MEMS集成光纖連接器新型結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述光纖連接器包括: 置于最底層的光纖基板(I)，所述光纖基板(I)為單晶硅基板層，在該單晶硅基板層設(shè)置有若干硅V型槽(3)，硅V型槽(3)內(nèi)固定有光纖(2); 電熱驅(qū)動(dòng)器(4)，所述電熱驅(qū)動(dòng)器(4)設(shè)置有兩層，置于硅V型槽(3)的上端，將光纖(2)壓緊； 驅(qū)動(dòng)單元(6)，所述驅(qū)動(dòng)單元(6)通過橋接板(5)與電熱驅(qū)動(dòng)器(4)連接，所述橋接板(5)上設(shè)置有電路，驅(qū)動(dòng)單元(6 )電連接電熱驅(qū)動(dòng)器(4 )。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MEMS集成光纖連接器新型結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述電熱驅(qū)動(dòng)器(4)邊緣呈方形或邊緣翹曲。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種MEMS集成光纖連接器新型結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述電熱驅(qū)動(dòng)器(4)蓋于光纖(2)上，使光纖(2)準(zhǔn)直于硅V型槽(3)內(nèi)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MEMS集成光纖連接器新型結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述單晶硅基板層是經(jīng)氧化后的單晶硅基板。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MEMS集成光纖連接器新型結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述硅V型槽(3)的開口寬度小于183μπι。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MEMS集成光纖連接器新型結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述光纖(2)直徑為 105μπι。
【文檔編號(hào)】G02B6/36GK205656348SQ201620303963
【公開日】2016年10月19日
【申請(qǐng)日】2016年4月13日 公開號(hào)201620303963.3, CN 201620303963, CN 205656348 U, CN 205656348U, CN-U-205656348, CN201620303963, CN201620303963.3, CN205656348 U, CN205656348U
【發(fā)明人】楊學(xué)臣
【申請(qǐng)人】深圳市晨洋通信產(chǎn)品有限公司