本發(fā)明涉及一種多層噴淋板安裝工裝結(jié)構(gòu)，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備中多層噴淋板的安裝，是保證各個(gè)部件之間同心度及安裝時(shí)無磕碰、摩擦及接觸的工裝結(jié)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

隨著半導(dǎo)體薄膜制備技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)今的半導(dǎo)體鍍膜工藝已經(jīng)出現(xiàn)了多種化學(xué)源同時(shí)使用的情況，這種情況對設(shè)備中噴淋板的設(shè)計(jì)要求就變得及其復(fù)雜。為應(yīng)對多種化學(xué)源同時(shí)使用又要求氣流分布可以控制的要求，現(xiàn)在的噴淋板已經(jīng)發(fā)展出多層多通道結(jié)構(gòu)，而對于多層噴淋板而言各個(gè)分層之間的拆卸清洗、安裝定位及日常維護(hù)，就必須有一種可以方便、準(zhǔn)確的進(jìn)行拆卸、安裝及維護(hù)的專用工裝，以便提高生產(chǎn)效率、保護(hù)部件不受損壞、提高部件使用壽命。因此，急需解決在設(shè)備部件維護(hù)時(shí)的拆卸、安裝等保護(hù)的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明以解決上述問題為目的，主要解決現(xiàn)有技術(shù)中多層噴淋板無專用拆卸、安裝工裝的技術(shù)問題，而提供一種結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，能適用各種結(jié)構(gòu)多層噴淋板的拆卸、安裝及定位保護(hù)功能的工裝結(jié)構(gòu)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案：多層噴淋板安裝工裝結(jié)構(gòu)，包括上平板(1)、臺階式導(dǎo)向套(2)及下平板(4)。所述下平板(4)上設(shè)有四根導(dǎo)向柱(3)，導(dǎo)向柱(3)與臺階式導(dǎo)向套(2)過渡配合。所述臺階式導(dǎo)向套(2)安裝到上平板(1)的四個(gè)安裝孔中。所述臺階式導(dǎo)向套 (2)的安裝部位直徑與上平板(1)的安裝孔采用過渡配合的方式安裝，同理，將導(dǎo)向柱(3)與下平板(4)采用相同的方法安裝在一起，且上平板(1)與下平板(4)的安裝孔中心距一致。

多層噴淋板安裝方法：將多層噴淋板外層部分(5)固定在下平板(4)上，利用下平板(4)的定位銷進(jìn)行精確定位和固定，將多層噴淋板第二層(6)固定在上平板(1)上。所述多層噴淋板第二層(6)利用上平板(1)的定位銷進(jìn)行精確定位和固定。上平板(1)的定位銷與下平板(4)的定位銷定位關(guān)系重合，以保證安裝時(shí)部件的同心，利用多層噴淋板外層部分(5)固定在下平板(4)上和多層噴淋板第二層(6)固定在上平板(1)上以保證安裝時(shí)的平穩(wěn)。將安裝有多層噴淋板第二層(6)的上平板(1)臺階式導(dǎo)向套(2)對準(zhǔn)下平板(4)上的導(dǎo)向柱(3)并將上平板(1)與臺階式導(dǎo)向套(2)的組合體裝入導(dǎo)向柱(3)，利用臺階式導(dǎo)向套(2)與四根導(dǎo)向柱(3)的滑動導(dǎo)向保證兩個(gè)部件之間安裝時(shí)的同心、平行、平穩(wěn)、無接觸、無摩擦等要求。將多層噴淋板第二層(6)安裝好后，利用同樣的方式將多層噴淋板最上層(7)安裝至多層噴淋板第二層(6)上。并且可以以此類推將不同層數(shù)的噴淋板用同樣的方法安裝到一起。

本發(fā)明的有益效果及特點(diǎn)在于：

使用此工裝，單人即可完成多層噴淋板的安裝。通過工裝可以方便、快捷、準(zhǔn)確的進(jìn)行拆卸、安裝及維護(hù)，以便提高生產(chǎn)效率、保護(hù)部件不受損壞、提高使用壽命。本發(fā)明適用于雙層或雙層以上結(jié)構(gòu)的噴淋板，操作簡單，拆卸方便，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜技術(shù)領(lǐng)域。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明的具體實(shí)施例的示意圖。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例

參照圖1和圖2，多層噴淋板安裝工裝結(jié)構(gòu)，包括上平板1、臺階式導(dǎo)向套2及下平板4。上述臺階式導(dǎo)向套2采用過渡配合的方式安裝在上平板1上，導(dǎo)向柱3同樣利用過渡配合的方式安裝在下平板4上，將臺階式導(dǎo)向套2與上平板1組成的組合體與導(dǎo)向柱對齊并安裝套入后即可實(shí)現(xiàn)工裝上平板1與下平板4的平行、垂直、同心等要求。

多層噴淋板的具體安裝方法：在使用工裝時(shí)，首先將上平板1與臺階式導(dǎo)向套2的組合體移出翻轉(zhuǎn)放置，將多層噴淋板外層部分5定位安裝在下平板4上，將多層噴淋板第二層6定位安裝在上平板1上，將上平板1組合體連帶定位緊固好的多層噴淋板第二層6一起重新套入導(dǎo)向柱3，這樣就可以將多層噴淋板第二層6準(zhǔn)確、平穩(wěn)的安裝到多層噴淋板外層部分5上，并且實(shí)現(xiàn)安裝無磨損、接觸。再將多層噴淋板第二層6與上平板1松開后將上平板1組件移出。同樣過程再將多層噴淋板最上層7定位安裝到上平板1組件上，將上平板1組合體連帶定位緊固好的多層噴淋板最上層7一起重新套入導(dǎo)向柱3，這樣就可以將多層噴淋板最上層7準(zhǔn)確、平穩(wěn)的安裝到多層噴淋板第二層6上并且實(shí)現(xiàn)安裝無磨損、接觸。以此類推，將多層噴淋板的各個(gè)疊層以此安裝緊固后，移出上平板1組件，將多層噴淋板外層部分5與下平板4之間的固定松開取出噴淋板，即可完成多層噴淋板的安裝。

使用此工裝拆卸多層噴淋板時(shí)，返用上述過程，先將多層噴淋板定位安 裝在下平板1上將上平板1組件裝入導(dǎo)向柱3并移動到多層噴淋板上表面，使多層噴淋板最上層7與上平板1貼合并緊固，移動上平板1組件將多層噴淋板最上層7拆卸下來，以此類推直至拆卸完成。