專利名稱：等離子體顯示板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及等離子體顯示板及其制造方法，特別是涉及旨在降低電能消耗的同時(shí)提高顯示板識(shí)別性的改進(jìn)技術(shù)。
背景技術(shù)：
作為一種氣體放電面板的等離子體顯示板(以下稱作“PDP”)，是靠通過(guò)氣體放電而產(chǎn)生的紫外線激勵(lì)熒光物質(zhì)發(fā)光而顯示圖像的自發(fā)光型顯示板。按其放電方法分類，可分為交流(AC)型和直流(DC)型。AC型的特點(diǎn)是，在亮度、發(fā)光效率、壽命方面優(yōu)于DC型。AC型中的反射式面放電型，尤以其顯著的亮度、發(fā)光效率方面的優(yōu)點(diǎn)，成為最常用的一種型式。AC型PDP作為計(jì)算機(jī)顯示器和大型電視監(jiān)視器等，其社會(huì)需求量在不斷增加。
但是，在希望電氣產(chǎn)品的電能消耗盡可能低的今天，對(duì)于PDP，人們也希望能夠降低其工作時(shí)的電能消耗。特別是近來(lái)的大畫(huà)面及高清晰化發(fā)展動(dòng)向，使得所開(kāi)發(fā)出來(lái)的PDP的電能消耗有增大趨勢(shì)，因此，人們對(duì)節(jié)電技術(shù)的要求在提高。此外，作為基本要求，人們還希望PDP具有穩(wěn)定的圖像顯示性能。
綜上所述，當(dāng)前人們希望能夠制造出電能消耗低且顯示性能良好的PDP。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是針對(duì)上述問(wèn)題而提出的，其目的是，提供一種電能消耗低而顯示性能良好的PDP及其制造方法。
為實(shí)現(xiàn)上述任務(wù)，本發(fā)明人經(jīng)過(guò)專心研究，研究出一種多個(gè)地址電極行向并列排列的第2板與多對(duì)顯示電極列向并列排列的第1板相向，對(duì)應(yīng)于一對(duì)顯示電極與一根地址電極的交叉部分，有多個(gè)單元呈矩陣狀排列的等離子體顯示板，其平均單元面積、平均單元開(kāi)口率、平均可見(jiàn)光透射率之中的至少某一項(xiàng)的值，在板的中央?yún)^(qū)域比在板的周邊區(qū)域大。
具體地說(shuō)，這一點(diǎn)可通過(guò)這樣的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)，即，相鄰的各顯示電極的間距，自板的列向的中央?yún)^(qū)域向板的列向的端部減小。關(guān)于板的區(qū)域的定義，將在后面的實(shí)施形式中說(shuō)明其具體的數(shù)值范圍。
一般來(lái)說(shuō)，當(dāng)顯示器顯示動(dòng)態(tài)畫(huà)面時(shí)，呈現(xiàn)這樣一種性質(zhì)，即，顯示信息易集中于板的中央?yún)^(qū)域，而且觀看該顯示器的人的視覺(jué)，無(wú)論相對(duì)于板的上下還是左右，也容易集中在板的中央?yún)^(qū)域。此外，還呈現(xiàn)這樣的性質(zhì)，即，如果視覺(jué)所集中的區(qū)域亮度相同，則當(dāng)將板的中央?yún)^(qū)域圍起來(lái)的板的周邊區(qū)域較暗時(shí)識(shí)別性可得到提高。
本發(fā)明是利用上述性質(zhì)開(kāi)發(fā)出來(lái)的，通過(guò)采用上述結(jié)構(gòu)，使得PDP的板的中央?yún)^(qū)域，其平均單元面積、平均單元開(kāi)口率、平均可見(jiàn)光透射率之中的至少某一項(xiàng)局部較大，這樣，可使該區(qū)域的單元群的發(fā)光亮度，與板周邊區(qū)域的單元群的發(fā)光亮度相比相對(duì)要高。因此，作為本發(fā)明的PDP，人的視覺(jué)所集中的板中央?yún)^(qū)域的單元群的發(fā)光亮度可有效地得到提高，達(dá)到優(yōu)良的識(shí)別性，獲得良好的顯示性能。
此外，本發(fā)明的PDP，雖然平均單元面積、平均單元開(kāi)口率、平均可見(jiàn)光透射率之中的至少某一項(xiàng)如上所述發(fā)生局部性改變，但由于顯示電極及地址電極可以使用與現(xiàn)有技術(shù)大體相同的電極，因此，具有不必為獲得本發(fā)明的效果而特別增加電能消耗的優(yōu)點(diǎn)。
作為如上所述的本發(fā)明，也可以做成這樣的結(jié)構(gòu)，即，相鄰的一對(duì)顯示電極的間隙，自板的列向的中央?yún)^(qū)域向板的列向的端部減小。
當(dāng)采用這種結(jié)構(gòu)時(shí)，雖然單元面積和可見(jiàn)光透射率在整個(gè)板面上是一定的，但通過(guò)使顯示電極的間隙、所謂主放電間隙在板的中央?yún)^(qū)域較大，可保證發(fā)光亮度相對(duì)高，因此，能夠得到與前述結(jié)構(gòu)大致同樣的效果。
另外，既可以使地址電極的間距同樣地改變，也可以將顯示電極間距發(fā)生改變的結(jié)構(gòu)與地址電極的間距發(fā)生改變的結(jié)構(gòu)組合起來(lái)。
此外，作為本發(fā)明，各顯示電極也可以做成這樣的結(jié)構(gòu)，即，總線的寬度自該電極的長(zhǎng)度方向的中央部位向兩端部減小。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，在有助于增大放電規(guī)模的板中央?yún)^(qū)域總線最細(xì)，隨著向板的端部排列總線面積增大。因此，能夠在板的中央?yún)^(qū)域使單元開(kāi)口率較大，故能夠得到與前述結(jié)構(gòu)大致同樣的效果。
此外，本發(fā)明還可以做成這樣的結(jié)構(gòu)，即，各顯示電極由電氣上相連接的多個(gè)金屬線條部分構(gòu)成，相鄰的各顯示電極的金屬線條部分的寬度，在各對(duì)顯示電極上，自板的列向的中央?yún)^(qū)域向板的列向的端部增大。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，通過(guò)調(diào)節(jié)線條部分的粗細(xì)可改變單元開(kāi)口率，能夠得到與前述結(jié)構(gòu)大致同樣的效果。
此外，本發(fā)明還可以做成這樣的結(jié)構(gòu)，即，在相鄰的顯示電極之間形成有黑色膜(黑底)，各黑色膜的寬度，自板的列向的中央?yún)^(qū)域向板的列向的端部增大。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，通過(guò)調(diào)整黑底的粗細(xì)也可以改變單元開(kāi)口率，能夠得到與前述結(jié)構(gòu)大致同樣的效果。
此外，本發(fā)明還可以做成這樣的結(jié)構(gòu)，即，在第1板與第2板之間，與各地址電極交替地并排設(shè)置有分隔壁，所說(shuō)分隔壁的寬度，自板的行向的中央?yún)^(qū)域向板的行向的端部增大。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，通過(guò)調(diào)整分隔壁的粗細(xì)可改變單元開(kāi)口率，能夠得到與前述結(jié)構(gòu)大致同樣的效果。
此外，本發(fā)明還可以做成這樣的結(jié)構(gòu)，即，在第1板與第2板之間與各對(duì)顯示電極交替地并排設(shè)置輔助分隔壁，所說(shuō)輔助分隔壁的寬度，自板的列向的中央?yún)^(qū)域向板的列向的端部增大。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，通過(guò)調(diào)整輔助分隔壁的粗細(xì)可改變單元開(kāi)口率，能夠得到與前述結(jié)構(gòu)大致同樣的效果。
此外，也可以使顯示電極、黑底(黑色矩陣)、分隔壁、輔助分隔壁等的面積自各自的長(zhǎng)度方向的中央向端部增大。
附圖的簡(jiǎn)要說(shuō)明

圖1是PDP的局部斷面立體圖。
圖2是對(duì)PDP的單元的排列方式加以展示的概略圖。
圖3是對(duì)實(shí)施形式1中的PDP的單元的排列方式加以展示的概略圖。
圖4是對(duì)實(shí)施形式1的變型例中的PDP的單元的排列方式加以展示的概略圖。
圖5是對(duì)實(shí)施形式1的變型例中的PDP的單元的排列方式加以展示的概略圖。
圖6是對(duì)PDP的顯示區(qū)域中的顯示電極的排列方式加以展示的概略圖。
圖7是對(duì)實(shí)施形式2中的顯示電極的形狀加以展示的概略圖。
圖8是對(duì)實(shí)施形式2的變型例中的顯示電極的形狀加以展示的概略圖。
圖9是對(duì)實(shí)施形式2的變型例中的顯示電極的形狀加以展示的概略圖。
圖10是對(duì)實(shí)施形式3中的顯示電極的形狀加以展示的概略圖。
圖11是對(duì)實(shí)施形式3的變型例中的顯示電極的形狀加以展示的概略圖。
圖12是對(duì)實(shí)施形式4中的顯示電極的形狀加以展示的概略圖。
圖13是對(duì)實(shí)施形式5中的顯示電極之間的黑色膜的形狀加以展示的概略圖。
圖14是對(duì)實(shí)施形式5的變型例中的顯示電極之間的黑色膜的形狀加以展示的概略圖。
圖15是對(duì)實(shí)施形式5的變形例中的顯示電極間的黑色膜的形狀加以展示的概略圖。
圖16是對(duì)實(shí)施形式6中的分隔壁的形狀加以展示的概略圖。
圖17是對(duì)實(shí)施形式6的變型例中的輔助分隔壁的形狀加以展示的概略圖。
圖18是對(duì)實(shí)施形式7中的電介質(zhì)層的形狀加以展示的概略圖。
圖19是對(duì)顯示電極的圖案形成用掩模的形狀加以展示的附圖。
圖20是對(duì)顯示電極的圖案形成用掩模的形狀加以展示的附圖。
圖21是對(duì)曝光步驟的工藝順序加以展示的附圖。
圖22是使用凹透鏡時(shí)的曝光步驟的示意圖。
圖23是對(duì)電介質(zhì)層的制作步驟加以展示的附圖。
發(fā)明的最佳實(shí)施形式圖1是對(duì)本發(fā)明的AC型PDP1的結(jié)構(gòu)加以展示的局部立體圖。PDP1，是由多個(gè)發(fā)出R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))顏色光的放電單元依次排列而構(gòu)成。
在由鈉鈣玻璃等構(gòu)成的前板玻璃11上，以x方向?yàn)殚L(zhǎng)度方向，條狀地形成有多根帶狀透明電極121、131(使用的是ITO或SnO2)。因透明電極121、131的薄膜電阻較大，故在透明電極121、131上以Ag厚膜或鋁薄膜或Cr/Cu/Cr的層疊薄膜形成總線電極120、130，以減小薄膜電阻。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，沿板的列向(y方向)排列有多對(duì)成對(duì)的顯示電極12、13{維持電極12(Y電極)12、掃描電極13(X電極)電極13}。
在形成有顯示電極12、13的前板玻璃11上，依次形成由透明的低融點(diǎn)玻璃制成的電介質(zhì)層14及由氧化鎂(MgO)構(gòu)成的保護(hù)層15。電介質(zhì)層14，具有AC型PDP所特有的電流限制功能，與DC型相比可具有更長(zhǎng)的壽命。保護(hù)層15，可在放電時(shí)保護(hù)電介質(zhì)層14避免受到濺蝕而損傷，具有優(yōu)良的耐濺蝕性，并具有很高的2次電子發(fā)射系數(shù)(γ)，起著降低放電起始電壓的作用。
在后背板玻璃17上，以y方向?yàn)殚L(zhǎng)度方向，沿x方向排列有多條與顯示電極12、13相垂直的寫(xiě)入圖像數(shù)據(jù)的地址電極(數(shù)據(jù)電極18；DAT)。在后背板玻璃17的表面形成有將該地址電極18覆蓋的基底電介質(zhì)膜19。在電介質(zhì)膜19的表面，與地址電極18的位置相對(duì)應(yīng)地形成有多條分隔壁20，在相鄰的兩條分隔壁20之間形成有熒光層21(R)、22(G)、23(B)之中的某一種熒光層。
相鄰的兩條分隔壁20所圍起來(lái)的空間是放電空間24，作為放電氣體在其中以66.5kPa(500Torr)的壓力填充有氖(Ne)與氙(Xe)的混合氣體。分隔壁20還起著，將相鄰的放電單元之間分隔開(kāi)，防止發(fā)生誤放電和光學(xué)串?dāng)_的作用。
有時(shí)，在相鄰的兩對(duì)顯示電極12、13之間，還形成有黑底(黑色膜)或輔助分隔壁等。
通過(guò)向一對(duì)顯示電極12、13之間施加數(shù)十kHz～數(shù)百kHz的AC電壓，在放電空間24內(nèi)發(fā)生放電，靠受激Xe原子所產(chǎn)生的紫外線激勵(lì)熒光層21(R)、22(G)、23(B)，從而產(chǎn)生可見(jiàn)光而顯示圖像。
在PDP1中，如圖2的前板局部主視圖所示，與成對(duì)的顯示電極12、13和地址電極18中間夾著放電空間垂直交叉的區(qū)域相對(duì)應(yīng)地，有多個(gè)單元呈矩陣狀排列。
各實(shí)施形式的PDP，其主要特征在于顯示電極周邊的結(jié)構(gòu)。在各實(shí)施形式中，將以各自的特征部分為核心進(jìn)行說(shuō)明。
<實(shí)施形式1>
1-1 PDP的構(gòu)成圖3是對(duì)本實(shí)施形式1的PDP1中的顯示電極及地址電極的排列方式加以展示的概略圖。圖3是與圖1的xy平面平行的平面圖。圖3中，Px是在板的橫(x)向上相鄰的地址電極18之間的間距，Py是在板的縱(y)向上相鄰的顯示電極12、13之中的某一種電極之間的間距(以下稱作“顯示電極的間距”)。顯示電極12、13如前所述，為透明電極與總線層疊而成的結(jié)構(gòu)，但在這里示意性地用直線表示之。
在所有的實(shí)施形式中，將x方向作為行向、y方向作為列向。
如圖3所示，本實(shí)施形式1的PDP1中，呈矩陣狀排列的多個(gè)放電單元，對(duì)應(yīng)于自板的中央?yún)^(qū)域向板的上下兩端(縱向上的兩端)排列的多對(duì)顯示電極，其單元面積順沿于各顯示電極逐漸減小。具體地說(shuō)，在y方向上相鄰的顯示電極的各間距Py，自板的中央?yún)^(qū)域向板的上下兩端的間距依次減小。之所以顯示電極的間距越小單元面積則越小，其理由是，隨著顯示電極的間距減小，相鄰的單元之間的距離(即相鄰維持電極的距離)也會(huì)變小。
這樣，在PDP1中，板的中央?yún)^(qū)域的平均單元面積要比將板的中央?yún)^(qū)域圍起來(lái)的板的周邊區(qū)域的平均單元面積大。
這里所說(shuō)的“板的中央?yún)^(qū)域”，是指以長(zhǎng)方形前板玻璃的對(duì)角線的交點(diǎn)為中心，短邊長(zhǎng)度及長(zhǎng)邊長(zhǎng)度的90～95％以內(nèi)的區(qū)域，而將該板的中央?yún)^(qū)域圍起來(lái)的板的區(qū)域作為“板的周邊區(qū)域”。此外，所說(shuō)的“平均單元面積”，是將對(duì)應(yīng)于上述各區(qū)域的多個(gè)單元的面積進(jìn)行平均而計(jì)算出來(lái)的數(shù)值。按照這種定義，板的中央?yún)^(qū)域的面積占全部單元面積的60～70％。
該P(yáng)DP1的尺寸的一個(gè)例子如下所述。
一對(duì)顯示電極的間隙90μmPx360μm板的中央?yún)^(qū)域的Py1080μm板的上下兩端處的Py810μm透明電極寬度100μm總線寬度40μm根據(jù)如上構(gòu)成的PDP1，在與以較大Py排列的顯示電極12、13相對(duì)應(yīng)的板中央?yún)^(qū)域，單元面積較大，相應(yīng)地可保證充分的發(fā)光亮度，反之，在與以較小Py排列的顯示電極12、13相對(duì)應(yīng)的板的上下兩端附近，與單元面積較小相應(yīng)地，發(fā)光亮度相對(duì)要弱。作為最小單元尺寸相對(duì)于最大單元尺寸之差，若單元間距之差如上所述為1080μm810μm則為1∶0.75的程度，只要像這樣相差數(shù)分之一即可，因此，顯示板上所顯示的圖像不會(huì)發(fā)生變形，而且顯示板尺寸也不會(huì)與圖像尺寸規(guī)格相差太多。
一般來(lái)說(shuō)，當(dāng)顯示器上顯示動(dòng)態(tài)圖像時(shí)，呈現(xiàn)這樣一種性質(zhì)，即，該圖像信息易集中于板的中央?yún)^(qū)域，觀看顯示器的人的視覺(jué)也易集中于板的中央?yún)^(qū)域。
本實(shí)施形式1的PDP1正是著眼于這一性質(zhì)而開(kāi)發(fā)出來(lái)的，在提高包括PDP 1的板中央?yún)^(qū)域在內(nèi)的單元(該場(chǎng)合下是順沿于板中央?yún)^(qū)域的顯示電極12、13而與之對(duì)應(yīng)的單元群)的發(fā)光亮度的同時(shí)，使板周邊區(qū)域的較小的單元(該場(chǎng)合下是順沿于板的y方向兩端的顯示電極12、13而與之對(duì)應(yīng)的單元群)發(fā)光亮度反之較低。據(jù)此，使得板中央?yún)^(qū)域的平均單元面積相對(duì)于板周邊區(qū)域的平均單元面積大，與現(xiàn)有技術(shù)同樣，能夠在降低PDP1整體的電能消耗的同時(shí)，保證人們視覺(jué)所集中的板的區(qū)域的發(fā)光亮度，從而在具有優(yōu)異的識(shí)別性的情況下實(shí)現(xiàn)良好的顯示性能。在這里，雖然也可以使板中央?yún)^(qū)域的平均單元面積絕對(duì)地大、使板的周邊區(qū)域的平均單元面積絕對(duì)地小，但特別是在將單元面積做得大于現(xiàn)有PDP的場(chǎng)合，需要注意不使顯示板整體的電能消耗增加。
而作為本實(shí)施形式1的PDP1，在與各單元相對(duì)應(yīng)的顯示電極12、13以及地址電極18使用與現(xiàn)有技術(shù)同樣的電極的場(chǎng)合，能夠在保證優(yōu)異的識(shí)別性的情況下，仍然以與現(xiàn)有技術(shù)相同的電能消耗進(jìn)行工作，能夠發(fā)揮良好的發(fā)光效率。
在本實(shí)施形式1中，列舉了Py自板的中央?yún)^(qū)域向板的上下端部逐漸減小的例子，但本實(shí)施形式1并不限于此，也可以做成使Py分為數(shù)個(gè)～數(shù)十個(gè)階段逐漸減小的結(jié)構(gòu)。但這種場(chǎng)合需要注意不要因單元尺寸的差異而導(dǎo)致顯示時(shí)圖像發(fā)生變形(即肉眼能夠感覺(jué)到變形的存在)。
1-2實(shí)施形式1的變型例在上述實(shí)施形式1中，列舉的是相鄰顯示電極的間距Py在板的中央?yún)^(qū)域較大，與從板的中央?yún)^(qū)域通過(guò)的顯示電極相對(duì)應(yīng)的單元的面積局部較大的例子，但本發(fā)明并不限于此，也可以如圖4的變型例1-1所示，相鄰的地址電極18的間距Px自板中央?yún)^(qū)域向板的寬度方向(x方向)兩端逐漸減小(其一個(gè)例子為360μm～270μm)。據(jù)此，順沿于板中央?yún)^(qū)域的地址電極18而與之對(duì)應(yīng)的單元群的單元面積取得較大，與其它地址電極18相對(duì)應(yīng)的單元群的單元面積取得較小。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，也能夠使板中央?yún)^(qū)域的平均單元面積大于板周邊區(qū)域的平均單元面積，得到與上述實(shí)施形式1大致同樣的效果。
除此之外，由于通常地址電極的根數(shù)多于顯示電極的對(duì)數(shù)，因而若將地址電極18的間距如上進(jìn)行調(diào)整，則對(duì)于諸如高清晰度PDP等橫向?qū)挾容^大的PDP來(lái)說(shuō)，可使單元面積自板的中央?yún)^(qū)域向板的左右兩端改變而使得單元寬度以看起來(lái)幾乎覺(jué)察不到的微小的層次改變，能夠有效地提高板中央?yún)^(qū)域的識(shí)別性。
此外，也可以將上述實(shí)施形式1與上述變型例1-1組合起來(lái)，如圖5的變型例1-2所示那樣，對(duì)相鄰顯示電極的間距Py與相鄰地址電極18的間距Px二者進(jìn)行調(diào)整，從而使得板中央?yún)^(qū)域的單元面積較大，板周邊區(qū)域的單元面積較小。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，也能夠使板中央?yún)^(qū)域的平均單元面積大于板周邊區(qū)域的平均單元面積，得到上述實(shí)施形式1及變型例1的綜合效果，獲得具有良好顯示性能的PDP1。
1-3 PDP的制造方法在這里，就實(shí)施形式1的PDP1的制造方法對(duì)其一個(gè)例子進(jìn)行說(shuō)明。這里所列舉的制造方法，與之后所說(shuō)明的各實(shí)施形式的PDP1的制造方法大體上是共通的。
1-3-1前板的制作在由厚度約2.6mm的鈉鈣玻璃構(gòu)成的前板玻璃11的面上制作顯示電極12、13。在這里，首先對(duì)以使用金屬材料(Ag)的金屬電極形成顯示電極12、13的例子(厚膜形成法)進(jìn)行說(shuō)明。
將感光材料(光解樹(shù)脂)與金屬(Ag)粉末和有機(jī)載色劑進(jìn)行混合制成感光涂膏。將其涂布在前板玻璃11的單側(cè)主面上，以具有所要形成的顯示電極12、13的圖案的曝光掩模覆蓋之。之后，從該曝光掩模上方進(jìn)行曝光，顯影·燒結(jié)(590℃～600℃程度的燒結(jié)溫度)。這樣，與以往以100μm線寬為極限的絲網(wǎng)印刷法相比，能夠使線寬細(xì)小到30μm的程度。作為該金屬材料，除了上述Ag之外，也可以使用Pt、Au、Al、Ni、Cr或氧化錫、氧化銦等材料。對(duì)所涂布的感光涂膏的量進(jìn)行調(diào)整，使得電極厚度為2～5μm。
另外，在顯示電極12、13由透明電極120、130與金屬電極的總線121、131構(gòu)成的場(chǎng)合，首先，在前板玻璃11的整個(gè)面上以0.5μm的厚度涂布感光材料(例如紫外線固化型樹(shù)脂)。之后，在它上面重疊具有所希望圖案的曝光掩模照射紫外線，并浸漬在顯影液中將未固化的樹(shù)脂清除。此時(shí)，曝光掩模若如圖19、20那樣，使用按既定圖案沖制而成的掩模，則能夠適當(dāng)改變電極的圖案。其次，采用CVD法，將作為透明電極120、130的材料的ITO涂布在前板玻璃11的抗蝕劑間隔中。對(duì)其進(jìn)行燒結(jié)，得到寬度為10～150μm、厚度為2～5μm的透明電極120、130。
在所形成的透明電極120、130上，使用曝光掩模如前所述地形成金屬電極的總線121、131。
此外，作為前述顯示電極12、13，除了上述方法之外，也可以在以蒸鍍法、濺射法等方法成膜為電極材料之后進(jìn)行蝕刻處理而形成之。
其次，采用印刷法等方法涂布玻璃涂膏，對(duì)其進(jìn)行燒結(jié)而形成電介質(zhì)層14。
其次，以蒸鍍法或CVD(化學(xué)蒸鍍法)等方法在電介質(zhì)層14的表面形成厚度約為0.3-0.6μm的保護(hù)層15。保護(hù)層15以采用氧化鎂(MgO)為宜。
由此，制作成前板10。
1-3-2后背板的制作在由厚度約為2.6mm的鈉鈣玻璃構(gòu)成的后背板玻璃17的表面上，呈條狀涂布以Ag為主成分的導(dǎo)體材料，以形成厚度約5μm的地址電極18。地址電極18的形成，可以采用絲網(wǎng)印刷法和光蝕刻法等方法。
接著，在形成有地址電極18的后背板玻璃17的整個(gè)面上以20～50μm的厚度涂布鉛玻璃涂膏并進(jìn)行燒結(jié)，從而形成電介質(zhì)膜19。
其次，使用與電介質(zhì)膜19相同的鉛玻璃材料，在電介質(zhì)膜19上，在每一相鄰的地址電極之間形成高度為80～150μm的分隔壁20。該分隔壁20，例如可以是將上述含有玻璃材料的涂膏以絲網(wǎng)印刷法反復(fù)進(jìn)行印刷后進(jìn)行燒結(jié)而形成。
另外，地址電極18及分隔壁20，也可以像上述顯示電極12、13的形成方法那樣，以光蝕刻法形成。
分隔壁20形成之后，在分隔壁20的壁面、以及、在相鄰的兩個(gè)分隔壁20之間所露出的電介質(zhì)膜19的表面，涂布含有紅色(R)熒光物質(zhì)、綠色(G)熒光物質(zhì)、藍(lán)色(B)熒光物質(zhì)之中的某一種熒光物質(zhì)的熒光墨，對(duì)其進(jìn)行干燥和燒結(jié)，使之各自成為膜厚為10～40μm的熒光層21、22、23。
下面列舉一般PDP中所使用的熒光材料的一個(gè)例子。
紅色熒光物質(zhì)(YxGd1-x)BO3:Eu3+綠色熒光物質(zhì)Zn2SiO4:Mn3+藍(lán)色熒光物質(zhì)BaMgAl10O17:Eu3+(或者BaMgAl14O23:Eu3+)各熒光材料，例如可使用平均顆粒直徑約為3μm左右的粉末。作為熒光墨的涂布方法，可以有幾種方法，這里采用的是公知的被稱作彎液面(meniscus)法的、邊從極細(xì)的噴嘴形成彎液面(靠表面張力交聯(lián))邊噴出熒光墨的方法。這種方法對(duì)于將熒光墨均勻地涂布在目標(biāo)區(qū)域上是一種很好的方法。當(dāng)然，本發(fā)明并不限于該方法，也可以采用絲網(wǎng)印刷法等其它方法。
通過(guò)以上過(guò)程，后背板16便制作完成。
前板玻璃11與后背板玻璃17是由鈉鈣玻璃形成的，但這只是所列舉材料的一個(gè)例子，也可以是除此之外的材料。
1-3-3 PDP的制作完成將所制作的前板10與后背板16用封粘用玻璃粘合。之后，將放電空間24內(nèi)部抽成高真空(1.1×10-4Pa)程度，向其中以既定的壓力(這里為66.5kPa)密封諸如Ne-Xe或He-Ne-Xe類、或He-Ne-Xe-Ar類等放電氣體。
通過(guò)以上過(guò)程，PDP1便制作完成。
<實(shí)施形式2>
2-1 PDP的構(gòu)成圖6是對(duì)PDP1的顯示區(qū)域內(nèi)顯示電極12、13(x、y)的排列方式加以展示的總體圖，圖7是對(duì)前述顯示區(qū)域內(nèi)的顯示電極12、13的排列方式加以具體展示的概略圖。
如該圖所示，本實(shí)施形式2具有這樣的特征，即，沿板的縱向(y方向)排列的顯示電極12、13的寬度(具體地說(shuō)是透明電極120、130的寬度)，自x方向上的板的中央?yún)^(qū)域向板的上下兩端逐漸增大。
該P(yáng)DP1的尺寸的一個(gè)例子如下。
一對(duì)顯示電極的間隙80μm～100μm透明電極的寬度215μm～320μm間距Px360μm間距Py1080μm根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，作為與通過(guò)板的中央?yún)^(qū)域的寬度較細(xì)的顯示電極12、13相對(duì)應(yīng)的單元群，由于顯示電極12、13寬度較小而顯示電極12、13之間的距離G相應(yīng)地要大，故單元開(kāi)口率大，可保證充分的發(fā)光亮度。反之，作為與通過(guò)板的上下兩端附近的寬度較粗的顯示電極12、13相對(duì)應(yīng)的單元群，與顯示電極12、13的較大的寬度相應(yīng)地，其單元開(kāi)口率較小，發(fā)光亮度較弱。這里所說(shuō)的“單元開(kāi)口率”，是指單元的發(fā)光區(qū)域中未被顯示電極或遮光材料等覆蓋的區(qū)域在板上所占的面積。在上述例子中，板中心區(qū)域的顯示電極的寬度與板周邊區(qū)域的顯示電極的寬度之比以1∶1.1～1∶1.5為宜。此外，板中心區(qū)域與板周邊區(qū)域的一對(duì)顯示電極的間隙G之比以1∶0.5～1∶0.8為宜。這些比值可適當(dāng)加以改變。
由此，作為實(shí)施形式2，板中央?yún)^(qū)域的平均單元開(kāi)口率大于板周邊區(qū)域的平均單元開(kāi)口率，與實(shí)施形式1大體同樣，可增加板的中央?yún)^(qū)域的相對(duì)發(fā)光亮度從而提高識(shí)別性。
這里列舉的是使透明電極的寬度改變的例子，但做成如下結(jié)構(gòu)也能夠得到大致同樣的效果，即，使透明電極的寬度一定，而使一對(duì)顯示電極的間隙自板的中央?yún)^(qū)域向板的上下方向的兩端逐漸減小。在這種場(chǎng)合，各顯示電極的圖案在板的整個(gè)面上是相同的，故還具有制作時(shí)易于形成的優(yōu)點(diǎn)。
2-2 實(shí)施形式2的變型例在上述圖7的實(shí)施形式2的例子中，展示了以具有帶狀透明電極120、130而構(gòu)成的顯示電極，但本實(shí)施形式2并不限于此，例如也可以如圖8所示的變型例2-1那樣，在從板的中央?yún)^(qū)域通過(guò)的顯示電極12、13上，該電極12、13的透明電極120、130，呈順沿于長(zhǎng)度方向其端部呈曲線狀彎曲的凹形圖案。該透明電極120、130的凹形圖案，隨著向板的上下兩端部一側(cè)進(jìn)行排列，相應(yīng)地逐漸變成帶狀。在這里，呈凹形圖案的透明電極120、130的最大寬度為320μm，最小寬度為215μm，但也可以是除此之外的尺寸。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，作為具有呈凹形圖案的透明電極120、130的一對(duì)顯示電極的間隙，在該間隙較寬的電極中央部位，透明電極120、130的寬度較窄故而單元開(kāi)口率高，可使發(fā)光亮度提高。反之，在前述間隙較窄的電極兩端處，透明電極120、130的寬度較寬故而單元開(kāi)口率較低，發(fā)光亮度減弱。由此，作為本變型例2-1，與實(shí)施形式2相比，能夠進(jìn)一步有效地提高板中央?yún)^(qū)域的平均單元開(kāi)口率，得到良好的顯示性能。
透明電極120、130，并不限于沿顯示電極的長(zhǎng)度方向成一體的圖案，也可以這樣構(gòu)成，即，將透明電極120、130分別分為多個(gè)部分，并使之與對(duì)應(yīng)的總線在電氣上相連接。在這里，圖9示出以圖8所示的變型例2-2為基礎(chǔ)，透明電極120、130以單元為單位呈島狀分開(kāi)的圖案。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，若例如使相鄰的島狀透明電極120、130之間的間隙位于與分隔壁20相交叉的位置上，便可有效地略去透明電極120、130的無(wú)助于發(fā)光的部分，能夠提高節(jié)電性能，故適宜采用。
在以本實(shí)施形式2為首的其它實(shí)施形式中，作為在板的中央?yún)^(qū)域形成面積或?qū)挾容^小的顯示電極12、13、黑底(BM)、分隔壁20頂部等的方法，可列舉出以實(shí)施形式1的PDP1的制造方法進(jìn)行了說(shuō)明的光蝕刻法，而作為此時(shí)的感光材料的曝光步驟可采用如下工序。
即，如圖21所示，首先準(zhǔn)備前板玻璃11上涂布有感光材料的板210，作為第1曝光步驟，以曝光量M對(duì)斜線所示的板的周邊區(qū)域211進(jìn)行曝光。其次，作為第2曝光步驟，以曝光量N對(duì)斜線所示的板的中央?yún)^(qū)域212進(jìn)行曝光，曝光工序即結(jié)束。此時(shí)，曝光量M與N的關(guān)系為M＞N。
根據(jù)這種方法，與板的中央?yún)^(qū)域相比，板的周邊區(qū)域211的曝光量大，由此可使得相對(duì)于板的中心附近，板的周邊區(qū)域的顯示電極12、13、黑底(BM)、分隔壁20的頂部等以較大的面積形成。其結(jié)果，能夠增加板的中央?yún)^(qū)域的發(fā)光亮度。
除此之外，若如圖22所示，對(duì)前板玻璃上涂布有感光材料的板210通過(guò)凹透鏡220進(jìn)行曝光，則能夠使板的中央?yún)^(qū)域與周邊區(qū)域的曝光量不同，可得到與前述做法大致同樣的效果。
<實(shí)施形式3>
3-1 PDP 1的構(gòu)成圖10是對(duì)本實(shí)施形式3中的顯示電極的排列方式加以具體展示的概略圖。
如該圖所示，本實(shí)施形式3具有如下特征，即，沿板的縱向(y方向)排列的顯示電極12、13的總線121、131的寬度，自x方向上的板的中央?yún)^(qū)域向板的上下兩端逐漸減小。
該P(yáng)DP 1的尺寸的一個(gè)例子如下。
一對(duì)顯示電極的間隙90μm透明電極的寬度100μm總線的寬度40μm～100μm間距Px360μm間距Py1080μm根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，在總線121、131的寬度較細(xì)的板的中央?yún)^(qū)域，與該較細(xì)的寬度相應(yīng)地，單元開(kāi)口率較大，可保證充分的發(fā)光亮度，反之，在板的上下兩端附近，與較寬的前述寬度相應(yīng)地，單元開(kāi)口率較小，故發(fā)光亮度較弱。在上述尺寸例中，相對(duì)于板中央?yún)^(qū)域的總線寬度，板的上下端部的總線的寬度與之之比以1∶1.6～1∶2.5為宜，但也可以適當(dāng)改變之。這樣，板中央?yún)^(qū)域的平均單元開(kāi)口率高于板周邊區(qū)域的平均單元開(kāi)口率，因此，與上述各實(shí)施形式大體同樣，能夠在降低電能消耗的同時(shí)相對(duì)提高板中央?yún)^(qū)域的發(fā)光亮度，從而提高識(shí)別性。
3-2 實(shí)施形式3的變型例在上述圖10的實(shí)施形式3中，展示了帶狀總線結(jié)構(gòu)，但本實(shí)施形式3并不限于該圖案形狀。例如也可以采用變型例2-1所示的凹形透明電極120、130的圖案，并如圖11的變型例3-1所示，與板中央?yún)^(qū)域所對(duì)應(yīng)的總線121、131呈寬度較細(xì)的線條狀，反之，隨著總線121、131向板的上下兩端方向排列，成為其寬度逐漸改變的凹形圖案。此外，也可以做成該凹形圖案的中央與總線121、131的長(zhǎng)度方向的中央相對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)。
這種結(jié)構(gòu)也與上述各實(shí)施形式同樣，板中央?yún)^(qū)域的平均單元開(kāi)口率比板周邊區(qū)域的平均單元開(kāi)口率相對(duì)提高，能夠在降低電能消耗的同時(shí)保證板中央?yún)^(qū)域的優(yōu)異的發(fā)光亮度，得到良好的識(shí)別性。
<實(shí)施形式4>
4-1 PDP的構(gòu)成圖12是對(duì)本實(shí)施形式4中的顯示電極12、13的排列方式加以具體展示的概略圖。
在該圖所示的實(shí)施形式4中，顯示電極12、13上未使用透明電極120、130，而由以x方向?yàn)殚L(zhǎng)度方向的多個(gè)線條部分(該例中各顯示電極有4根線條部分)以其x方向的端部在電氣上相連接的金屬構(gòu)成，是作為柵(FE)電極而形成的。并具有如下特征，即，沿板的縱向(y方向)排列的線條部分，自x方向上的板的中央?yún)^(qū)域向板的上下兩端逐漸呈凹形的圖案，其電極面積增大。
該P(yáng)DP1的尺寸的一個(gè)例子如下。
一對(duì)顯示電極的間隙90μm間距Px360μm間距Py1080μm線條部分的寬度20μm～50μm在這里，本實(shí)施形式4中所使用的地址電極18，其尺寸大體與現(xiàn)有技術(shù)相同。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，在寬度較細(xì)的線條部分所在的板的中央?yún)^(qū)域，與該較細(xì)的寬度相應(yīng)地，單元開(kāi)口率較大，可保證充分的發(fā)光亮度，反之，在板的上下兩端附近，線條部分呈凹形圖案，在該凹形圖案的長(zhǎng)度方向的兩端部分，線條部分的合計(jì)寬度增大從而單元開(kāi)口率較小，可使發(fā)光亮度較弱。這樣，與上述各實(shí)施形式大體同樣，能夠使板中央?yún)^(qū)域的平均單元開(kāi)口率比板周邊區(qū)域的平均單元開(kāi)口率提高，能夠在降低電能消耗的同時(shí)相對(duì)提高板的中央?yún)^(qū)域的發(fā)光亮度，使視覺(jué)辨認(rèn)性得到提高。作為本實(shí)施形式4，由于顯示電極由電阻較小的柵電極形成，因此，電力特性特別優(yōu)異，可發(fā)揮優(yōu)異的節(jié)電性能。
線條部分的根數(shù)并不限于圖12所示的4根，也可以是其它數(shù)目，但根數(shù)增加過(guò)多，圖案的形成將變得困難，而且也有可能導(dǎo)致單元開(kāi)口率降低，故要加以注意。此外，還可以適當(dāng)設(shè)置將各顯示電極12、13內(nèi)的多個(gè)線條部分在電氣上進(jìn)行連接的連接部。這可使得顯示電極12、13的電阻進(jìn)一步減小。此外，也可以做成這樣的結(jié)構(gòu)，即，替代各線條部分向板的上下方向逐漸呈凹形圖案的方案，而使帶狀線條部分逐漸變粗，以此來(lái)調(diào)整單元開(kāi)口率。
<實(shí)施形式5>
5-1 PDP的構(gòu)成圖13是對(duì)實(shí)施形式5中的顯示電極周邊的結(jié)構(gòu)加以具體展示的概略圖。
如該圖所示，本實(shí)施形式5具有這樣的結(jié)構(gòu)，即，在相鄰的兩對(duì)顯示電極12、13的間隙中設(shè)置有由黑色膜構(gòu)成的黑底(BM)。并具有這樣的特征，即，沿板的縱向(y方向)排列的各黑底的寬度，自x方向上的板的中央?yún)^(qū)域向板的上下兩端逐漸增大。
該P(yáng)DP1的尺寸的一個(gè)例子如下。
一對(duì)顯示電極的間隙90μm透明電極的寬度150μm總線的寬度40μm間距Px360μm間距Py1080μm黑底的寬度150μm～300μm根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在寬度較細(xì)的黑底所從中通過(guò)的板的中央?yún)^(qū)域，與黑底的較細(xì)的寬度相應(yīng)地，單元開(kāi)口率較大，可保證充分的發(fā)光亮度，反之，在板的上下兩端附近，有寬度較粗的黑底通過(guò)，而與其對(duì)各單元表面一側(cè)進(jìn)行遮光的較大面積相應(yīng)地，單元開(kāi)口率較小，可使發(fā)光亮度較弱。這樣，作為本實(shí)施形式5，板中央?yún)^(qū)域的平均單元開(kāi)口率比板周邊區(qū)域的平均單元開(kāi)口率提高，因此，與上述各實(shí)施形式大體同樣，能夠在降低電能消耗的同時(shí)相對(duì)提高板中央?yún)^(qū)域的發(fā)光亮度，使識(shí)別性得到提高。
5-2實(shí)施形式5的變型例在上述圖13的例子中，展示了帶狀黑底的整個(gè)寬度改變的結(jié)構(gòu)，但黑底的圖案并不限于此。例如也可以做成這樣的結(jié)構(gòu)，即，如圖14所示的變型例5-1那樣，從板的中央?yún)^(qū)域通過(guò)的黑底，為頸部較細(xì)的凹形圖案，反之，隨著黑底向板的上下兩端方向排列而呈頸部較粗的凹形圖案，其面積逐漸增大。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，與圖13的帶狀黑底相比，可進(jìn)一步提高板的中央?yún)^(qū)域的單元開(kāi)口率，因而能夠提高本發(fā)明的效果。
此外，圖15所示的變型例5-2展示了這樣一種結(jié)構(gòu)，即，與板的中央?yún)^(qū)域所對(duì)應(yīng)的黑底為寬度較細(xì)的凹形圖案并且在長(zhǎng)度方向的兩端其寬度較窄。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)一步減小板中央?yún)^(qū)域的黑底的面積，便于采取進(jìn)一步提高本發(fā)明效果的措施。
黑底的圖案并不限于圖13～15所示的圖案，但若面積過(guò)小，則會(huì)喪失原有的效果，故顯然應(yīng)在設(shè)計(jì)上加以注意。
<實(shí)施形式6>
6-1 PDP的構(gòu)成圖16是對(duì)PDP 1的顯示電極、地址電極、分隔壁的排列方式加以展示的概略圖。
如該圖所示，本實(shí)施形式6具有如下特征，即，沿板的橫向(x方向)排列的分隔壁20的寬度，自板的中央?yún)^(qū)域向板的左右兩端逐漸增大。
該P(yáng)DP1的尺寸的例子如下。
一對(duì)顯示電極的間隙90μm透明電極的寬度150μm間距Px360μm間距Py1080μm分隔壁的寬度30μm～80μm在這里，本實(shí)施形式6中所使用的顯示電極12、13以及地址電極18，其尺寸與現(xiàn)有技術(shù)大體相同。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在分隔壁20的寬度較窄的板的中央?yún)^(qū)域，與該較小的寬度相應(yīng)地，單元開(kāi)口率較大，可保證充分的發(fā)光亮度，反之，在板的左右兩端附近，與前述較大的寬度相應(yīng)地，單元開(kāi)口率較小，可使發(fā)光亮度較弱。作為本實(shí)施形式6的一個(gè)例子，將分隔壁的最大寬度與最小寬度之比設(shè)定為1∶1.3～1∶2。這樣，板中央?yún)^(qū)域的平均單元開(kāi)口率將高于板周邊區(qū)域的平均單元開(kāi)口率。
由于PDP 1的發(fā)光亮度還與面對(duì)放電空間24的熒光層21～23的面積成比例，因此，分隔壁20越細(xì)則涂布熒光物質(zhì)的槽的寬度越大，故若在此處形成熒光層21～23，則其面積將變大。因此，作為本實(shí)施形式6的PDP1，在板中央?yún)^(qū)域的單元群處存在有較大量的熒光物質(zhì)，因而可在此達(dá)到較高的發(fā)光亮度。另一方面，在板的左右兩端側(cè)分隔壁20較粗，故熒光物質(zhì)的量較少，發(fā)光亮度也就較低。這樣，本實(shí)施形式6與各實(shí)施形式同樣，能夠在降低電能消耗的同時(shí)相對(duì)提高板中央?yún)^(qū)域的發(fā)光亮度，使識(shí)別性得到提高。
6-2 實(shí)施形式6的變型例上述圖16列舉的是分隔壁20的寬度改變的例子，但本實(shí)施形式6并不限于此，當(dāng)例如如圖17所示的變型例6-1那樣，PDP1具有與各對(duì)顯示電極12、13交替地并排設(shè)置有輔助分隔壁的結(jié)構(gòu)時(shí)，也可以以輔助分隔壁與分隔壁20一起隨著遠(yuǎn)離板的中央?yún)^(qū)域其寬度變粗的方式而構(gòu)成。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，作為具有被分隔壁20和輔助分隔壁呈井字形圍起來(lái)的放電空間24的單元，其平均單元開(kāi)口率，自板的中央?yún)^(qū)域向板的周邊區(qū)域減小，因此，能夠保證板中央?yún)^(qū)域具有相對(duì)優(yōu)異的發(fā)光亮度。
在變型例6-1中，展示了對(duì)分隔壁20和輔助分隔壁二者的寬度進(jìn)行調(diào)整的例子，但本發(fā)明并不限于此，也可以設(shè)計(jì)成僅分隔壁20或輔助分隔壁之某一方的寬度改變的結(jié)構(gòu)。
<實(shí)施形式7>
7-1 PDP的構(gòu)成圖18(a)、(b)是對(duì)本實(shí)施形式7所涉及的PDP1的電介質(zhì)層14的沿y方向剖開(kāi)的斷面形狀加以展示的概略圖。
如這些附圖所示，本實(shí)施形式7中，面對(duì)放電空間24的電介質(zhì)層14的厚度，在板的中央?yún)^(qū)域比在板的周邊區(qū)域薄(“板的中央?yún)^(qū)域”與“板的周邊區(qū)域”的定義，以實(shí)施形式1所描述的為準(zhǔn))。作為該電介質(zhì)層14的一個(gè)例子，其膜厚值在板的中央?yún)^(qū)域?yàn)?0μm，在板的周邊區(qū)域?yàn)?0μm，其膜厚比為1∶2～1∶2.5。上述膜厚值和膜厚比可適當(dāng)改變。圖18(a)展示了板中央?yún)^(qū)域與板周邊區(qū)域之間厚度呈1階梯形變化的結(jié)構(gòu)，而圖18(b)展示了自板中央?yún)^(qū)域向板周邊區(qū)域電介質(zhì)層表面發(fā)生傾斜的同時(shí)厚度發(fā)生變化的結(jié)構(gòu)。
根據(jù)上述各結(jié)構(gòu)，在電介質(zhì)層14厚度較薄的板的中央部位，放電空間24內(nèi)所產(chǎn)生的可見(jiàn)光的透射率較高，因此所顯示的亮度提高。而在電介質(zhì)層14厚度較厚的板的周邊區(qū)域，可見(jiàn)光的透射率比板的中央?yún)^(qū)域相對(duì)要低。因此，根據(jù)本實(shí)施形式7的電介質(zhì)層14的形狀，板中央?yún)^(qū)域的平均可見(jiàn)光透射率要高于板周邊區(qū)域的平均可見(jiàn)光透射率，因而能夠在降低電能消耗的同時(shí)圖像信息易于集中的板中央?yún)^(qū)域的發(fā)光亮度提高，得到良好的識(shí)別性。
在電介質(zhì)層如圖18(a)所示的場(chǎng)合，其厚度發(fā)生變化的部分位于板中央?yún)^(qū)域與板周邊區(qū)域的邊界處，因此，屬于一種能夠得到更為突出的提高板中央?yún)^(qū)域識(shí)別性的效果的結(jié)構(gòu)。作為具有圖18(a)的結(jié)構(gòu)的變型例，可列舉出電介質(zhì)層的厚度呈階形變化的結(jié)構(gòu)。這種結(jié)構(gòu)具有，通過(guò)與后述的中間沖孔的電介質(zhì)層片材重疊便能夠較為簡(jiǎn)便地制造出來(lái)的優(yōu)點(diǎn)。而在電介質(zhì)層如圖18(b)所示的場(chǎng)合，自板的中央?yún)^(qū)域向板的周邊區(qū)域其厚度平滑地變厚，但該傾斜角(自板中央?yún)^(qū)域向板周邊區(qū)域傾斜的角度)，在板的尺寸為42英寸的場(chǎng)合，以0.007°～0.002°的范圍為宜。
除此之外，實(shí)施形式7的電介質(zhì)層的斷面形狀，還可列舉出以板的中央?yún)^(qū)域?yàn)轫旤c(diǎn)的半圓形拱狀的例子。若為這種斷面形狀，則可使電介質(zhì)層具有一定的透鏡效果，還能夠進(jìn)一步有效提高板中央?yún)^(qū)域的單元開(kāi)口率，故適宜采用。
對(duì)于具有這種形狀的電介質(zhì)層14，可列舉出這樣的制造方法，即，在制造工序中，預(yù)先準(zhǔn)備厚度經(jīng)過(guò)調(diào)整的電介質(zhì)層片材，將其粘貼在形成有顯示電極的前板玻璃表面并通過(guò)燒結(jié)而形成之。作為這種方法的一個(gè)例子，如圖23所示，在形成有顯示電極的前板230上，層疊并粘貼中間沖孔的電介質(zhì)層片材231和平板型電介質(zhì)層片材232。
電介質(zhì)片材的粘貼并不限于上述方法，例如既可以將中間沖孔的電介質(zhì)層片材231與平板型電介質(zhì)層片材232的粘貼順序顛倒，也可以預(yù)先將兩種以上不同形式的電介質(zhì)層片材層疊在一起后一并進(jìn)行粘貼。
<其它事項(xiàng)>
上述各實(shí)施形式所展示的，是顯示電極12、13、黑底、分隔壁20、以及輔助分隔壁等的尺寸和圖案自板的中央?yún)^(qū)域向板的端部(左右或上下)逐漸減小或逐漸增大而改變的結(jié)構(gòu)。但本發(fā)明并不限于這種結(jié)構(gòu)，也可以是，顯示電極以每數(shù)對(duì)乃至每數(shù)十對(duì)為單位，黑底、分隔壁20、輔助分隔壁以每數(shù)根乃至數(shù)十根為單位，使其尺寸或圖案階段性改變的結(jié)構(gòu)。在這種場(chǎng)合，顯然需要注意，顯示時(shí)不要因單元開(kāi)口率或單元面積或者單元可見(jiàn)光透射率的局部差異而影響識(shí)別性。
如上述實(shí)施形式所示，要使顯示電極12、13以所希望的圖案形成，可采用圖19或圖20所示的曝光掩模181。在這些曝光掩模181上，設(shè)有與所要形成的顯示電極12、13的圖案相符的曝光部180。為對(duì)其加以利用，首先在前板玻璃11的整個(gè)面上，以0.5μm厚度涂布感光材料(例如紫外線固化型樹(shù)脂)。之后，將具有按所希望圖案形成的曝光部180的曝光掩模181重疊在上面，照射紫外線。之后浸漬在顯影液中，將未固化的樹(shù)脂清除。由此，在前板玻璃11的表面便可形成感光材料的圖案間隔，在間隔之間填充Ag涂膏或ITO材料后進(jìn)行燒結(jié)，即可得到具有所希望圖案的顯示電極12、13。
產(chǎn)業(yè)上利用的可能性本發(fā)明可應(yīng)用于電視機(jī)和計(jì)算機(jī)監(jiān)視器中所使用的等離子體顯示板等氣體放電面板中。
權(quán)利要求
1.一種等離子體顯示板，多個(gè)地址電極行向并列排列的第2板與多對(duì)顯示電極列向并列排列的第1板相向，對(duì)應(yīng)于一對(duì)顯示電極和一根地址電極的交叉部分，有多個(gè)單元呈矩陣狀排列，
其平均單元面積、平均單元開(kāi)口率、平均可見(jiàn)光透射率之中的至少某一項(xiàng)的值，在板的中央?yún)^(qū)域比在板的周邊區(qū)域大。
2.如權(quán)利要求1所說(shuō)的等離子體顯示板，其特征是，相鄰的各顯示電極的間距，自板的列向的中央?yún)^(qū)域向板的列向的端部減小。
3.如權(quán)利要求1所說(shuō)的等離子體顯示板，其特征是，相鄰的地址電極的間距，自板的行向的中央?yún)^(qū)域向板的行向的端部減小。
4.如權(quán)利要求1所說(shuō)的等離子體顯示板，其特征是，相鄰的顯示電極的間距，自板的列向的中央?yún)^(qū)域向板的列向的端部減小，并且地址電極的間距，自板的行向的中央?yún)^(qū)域向板的行向的端部減小。
5.如權(quán)利要求1所說(shuō)的等離子體顯示板，其特征是，相鄰的一對(duì)顯示電極的間隙，自板的列向的中央?yún)^(qū)域向板的列向的端部減小。
6.如權(quán)利要求5所說(shuō)的等離子體顯示板，其特征是，作為一對(duì)顯示電極的間隙，該間隙的值，從該顯示電極的長(zhǎng)度方向的中央部位向兩端部減小。
7.如權(quán)利要求1所說(shuō)的等離子體顯示板，其特征是，所說(shuō)顯示電極具有透明電極和總線，總線層疊在透明電極上，相鄰的各總線的寬度，自板的列向的中央?yún)^(qū)域向板的列向的端部減小。
8.如權(quán)利要求7所說(shuō)的等離子體顯示板，其特征是，在各顯示電極上，總線的寬度自該電極的長(zhǎng)度方向的中央部位向兩端部減小。
9.如權(quán)利要求1所說(shuō)的等離子體顯示板，其特征是，相鄰的各顯示電極，由電氣上相連接的多個(gè)金屬線條部分構(gòu)成，一對(duì)顯示電極的金屬線條部分的寬度，自板的列向的中央?yún)^(qū)域向板的列向的端部增大。
10.如權(quán)利要求9所說(shuō)的等離子體顯示板，其特征是，在一對(duì)顯示電極上，各顯示電極的金屬線條部分的合計(jì)寬度，從顯示電極的長(zhǎng)度方向的中央部位向兩端部增大。
11.如權(quán)利要求1所說(shuō)的等離子體顯示板，其特征是，相鄰的顯示電極之間形成有黑色膜，相鄰的各黑色膜的寬度，自板的列向的中央?yún)^(qū)域向板的列向的端部增大。
12.如權(quán)利要求11所說(shuō)的等離子體顯示板，其特征是，各黑色膜的寬度，從該膜的長(zhǎng)度方向的中央部位向兩端部增大。
13.如權(quán)利要求1所說(shuō)的等離子體顯示板，其特征是，在第1板與第2板之間，與各地址電極交替地并排設(shè)置有分隔壁，所說(shuō)分隔壁的寬度，自板的行向的中央?yún)^(qū)域向板的行向的端部增大。
14.如權(quán)利要求1所說(shuō)的等離子體顯示板，其特征是，在第1板與第2板之間與各對(duì)顯示電極交替地并排設(shè)置有輔助分隔壁，所說(shuō)輔助分隔壁的寬度，自板的列向的中央?yún)^(qū)域向板的列向的端部增大。
15.如權(quán)利要求1所說(shuō)的等離子體顯示板，其特征是，在形成有顯示電極的第1板的表面，形成有將所說(shuō)顯示電極覆蓋的電介質(zhì)層，該電介質(zhì)層在板的中央?yún)^(qū)域的厚度比在板的周邊區(qū)域的厚度厚。
16.一種曝光掩模，在等離子體顯示板的制造工序中，用來(lái)以光蝕刻法在板的表面形成顯示電極、分隔壁、以及黑色膜之中的至少任一種，所說(shuō)曝光掩模在板的中央?yún)^(qū)域的平均開(kāi)口率，比在板的周邊區(qū)域的平均開(kāi)口率高。
17.一種電介質(zhì)層片材，在等離子體顯示板的制造工序中，用來(lái)覆蓋設(shè)置有顯示電極的板的表面而形成電介質(zhì)層，與板的中央?yún)^(qū)域所對(duì)應(yīng)的電介質(zhì)層片材的厚度，比在板的周邊區(qū)域的電介質(zhì)層片材的厚度厚。
18.一種等離子體顯示板的制造方法，經(jīng)由在第1板的表面形成多個(gè)顯示電極的顯示電極形成步驟、以及、在第2板的表面形成多個(gè)分隔壁的分隔壁形成步驟進(jìn)行制造，在所說(shuō)顯示電極形成步驟和分隔壁形成步驟之中的至少任一步驟中，進(jìn)行在對(duì)應(yīng)的第1或第2板的表面涂布感光材料，通過(guò)曝光掩模進(jìn)行曝光處理的圖案形成處理，在該圖案形成處理中，對(duì)所說(shuō)感光材料進(jìn)行曝光的程度存在局部差異，以此決定顯示電極或分隔壁的寬度。
19.如權(quán)利要求18所說(shuō)的等離子體顯示板的制造方法，其特征是，所說(shuō)感光材料是可用于蝕刻處理的抗蝕劑材料。
全文摘要
本發(fā)明屬于一種多個(gè)地址電極行向排列的第2板與多對(duì)顯示電極列向排列的第1板相向，對(duì)應(yīng)于一對(duì)顯示電極和一根地址電極的交叉部分，有多個(gè)單元呈矩陣狀排列的等離子體顯示板，其特征是，其平均單元面積、平均單元開(kāi)口率、平均可見(jiàn)光透射率之中的至少某一項(xiàng)的值，在板的中央?yún)^(qū)域比在板的周邊區(qū)域大。
文檔編號(hào)H01J17/49GK1533582SQ0281461
公開(kāi)日2004年9月29日 申請(qǐng)日期2002年5月27日 優(yōu)先權(quán)日2001年5月28日
發(fā)明者蘆田英樹(shù), 住田圭介, 米原浩幸, 藤谷守男, 介, 幸, 男 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社