專利名稱：隔板的制造方法以及隔板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及介于電子、電氣設(shè)備中的一對基板之間的、支撐該基板間的隔板(spacer)的制造方法以及隔板。
背景技術(shù)：
近年來，將表面?zhèn)鲗碗娮俞尫旁示仃嚑钆渲迷诨迳?，密封裝入電子釋放元件，將釋放出的電子照射在相向配置的基板上所設(shè)置的熒光體上而形成圖象的面板狀顯示器的開發(fā)正在進展中。
如此，作為支撐將電子源(日文電子源)密封封入一對基板間電子線裝置的基板間的隔板的制造方法，我們知道有加熱拉伸法(特開2000-164129等)，它是將剖面是長方形的玻璃母材，通過夾住該玻璃母材的送出轉(zhuǎn)輥的旋轉(zhuǎn)而送出。另一方面，將送出的玻璃母材夾持在鄰取轉(zhuǎn)輥之間，以比上述送出轉(zhuǎn)輥的送出速度還要快的領(lǐng)取速度進行領(lǐng)取，同時，在上述送出轉(zhuǎn)輥和領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥之間，將玻璃母材加熱軟化，利用送出轉(zhuǎn)輥的送出速度和領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥產(chǎn)生的領(lǐng)取速度的速度差來進行拉伸。作為剖面形狀與玻璃母材是相似形的拉伸玻璃母材，將其切斷，就可得到所希望的細板狀的隔板。
另一方面，就這種電子線裝置中使用的隔板而言，通過從電子源釋放出的電子的一部分碰撞到隔板上，并通過放電電子的作用而被離子化的離子附著在隔板上，從而指出有可能引起帶電。如果隔板帶電，則從不能正確控制從電子源釋放的電子的軌跡，會引起例如像顯示圖象扭曲的問題。
為解決上述問題，在特開2000-311608中公開了一種技術(shù)，在隔板的表面上設(shè)置凹凸結(jié)構(gòu)，來控制隔板的帶電。在該特開2000-311608中，例舉了應(yīng)用上述加熱拉伸法，通過一邊加熱拉伸一邊在表面上形成凹凸的方法、或是通過在玻璃母材上預(yù)先形成凹凸的方法，對該玻璃母材進行加熱拉伸的方法。
但是，一般來說，玻璃材料的拉伸加工實施加熱以便玻璃材料的粘性變?yōu)?05～1010dpa·s的范圍。
既便在上述現(xiàn)有的制造方法中，實施加熱延伸以便玻璃母材的粘性為105～1010dpa·s的范圍，但是如果設(shè)定為降低粘性進行拉伸，即提高加熱溫度而進行拉伸，則如圖8所示，所得到的細板狀隔板的剖面縱長方向的兩端容易帶圓形而鼓出。如果發(fā)生了這種鼓出，由于在將所得到的細板狀隔板橫立著設(shè)置在基板上時，與基板接觸的接觸面彎屈，因此在穩(wěn)定性變差、安裝性變差的同時，還容易在支撐強度上產(chǎn)生問題。
如果將粘性設(shè)置為高而拉伸，即將加熱溫度降低而進行拉伸，則如圖9所示，得到的細板狀隔板的剖面縱長方向的中間部分容易成為中間細的樣子。在產(chǎn)生這種中間細的情況下，不能得到所期望的強度，例如，在用作配置在面板狀顯示器的表里一對基板間的隔板的情況下，由于一對基板之間成為減壓狀態(tài)，因此還產(chǎn)生了不能得到所需耐壓性的情況。
如此，如果在制造隔板時剖面形狀的控制性很差，則就用于上述那種帶電抑制等的凹凸形狀而言，存在不能得到設(shè)計的形狀，也不能得到所期望的帶電抑制效果的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于在對玻璃母材進行加熱拉伸后的拉伸玻璃母材切割為所希望的長度，從而制造縱橫尺寸不同的剖面形狀的隔板時，能夠很容易制造出沒有上述鼓出或者中間細的隔板。
本發(fā)明的又一個目的還在于在表面形成了用于帶電抑制等的凹凸的隔板形狀精度更好，且更容易制造。
本發(fā)明提供了一種隔板制造方法，在對制作縱橫尺寸不同的剖面形狀的玻璃母材加熱到拉伸溫度進行拉伸，并切割為所需長度的隔板制造方法中，其特征在于，將高粘性玻璃母材裝配在玻璃母材的剖面縱長方向中低粘性玻璃材料的至少兩端部上，使該玻璃母材成為整體上縱橫尺寸不同的剖面形狀，將該玻璃母材加熱到低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料的粘性都在105～1010dPa·s的范圍內(nèi)、且在高粘性玻璃材料的粘性比低粘性玻璃材料的粘性高的拉伸溫度并進行拉伸。
本發(fā)明的目的在于提供一種隔板，在制造縱橫尺寸不同的剖面形狀的隔板中，其特征在于，在隔板的剖面形狀縱長方向中的低粘性玻璃材料的至少兩端使高粘性玻璃材料一體化，作為整體成為縱橫尺寸不同的剖面形狀，低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料，在加熱到為低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料都在105～1010dPa·s的范圍內(nèi)的溫度時，是高粘性玻璃材料的粘性比低粘性玻璃材料的粘性高的玻璃材料。
本發(fā)明提供一種隔板制造方法，通過將具有縱橫尺寸不同的剖面形狀、沿著剖面縱長方向的外面具有多條溝的玻璃母材加熱到拉伸溫度進行拉伸，并切割為所需長度來制造在表面上形成凹凸的隔板，其特征在于將玻璃母材作為由配置在玻璃母材內(nèi)層的低粘性玻璃材料、以及配置在玻璃母材的表層部分中至少含有所述沿著剖面縱長方向外面的區(qū)域上的高粘性材料構(gòu)成的復合結(jié)構(gòu)；高粘性玻璃材料在外面一側(cè)上至少包含具有多條溝的部件；加熱到低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料的粘性都在105～1010dPa·s的范圍內(nèi)、且高粘性玻璃材料的粘性比低粘性玻璃材料的粘性高的拉伸溫度并進行拉伸。
本發(fā)明提供一種隔板，在表面上形成凹凸，其特征在于具有使配置在隔板內(nèi)層的低粘性玻璃材料與配置在隔板表層部分中至少形成所述凹凸的區(qū)域上的高粘性玻璃材料一體化的復合結(jié)構(gòu)；低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料，在加熱到低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料都在105～1010dPa·s的范圍內(nèi)的溫度時，是高粘性玻璃材料的粘性比低粘性玻璃材料的粘性高的玻璃材料。


圖1是顯示本發(fā)明實施例1的隔板的制造方法的一例的說明圖。
圖2是圖1所示的第1以及第2實施例的玻璃母材的局部放大圖。
圖3是第1以及第2本發(fā)明的隔板的放大斜視圖。
圖4是顯示第1和第2實施例的玻璃母材的其他例子的局部放大圖。
圖5是顯示由圖4的玻璃母材所得到的本發(fā)明的隔板的斜視圖。
圖6是第1和第2實施例的玻璃母材的其他實施例的局部放大圖。
圖7顯示由圖6的玻璃母材所得到的本發(fā)明的隔板的斜視圖。
圖8是產(chǎn)生鼓出狀態(tài)的說明圖。
圖9是產(chǎn)生中間細狀態(tài)的說明圖。
圖10是圖1所示的第3和第4實施例的玻璃母材的局部放大圖。
圖11是第3和第4實施例的隔板的放大斜視圖。
圖12是顯示了第3和第4實施例的玻璃母材的其他例子的局部放大圖。
圖13是顯示了由圖12的玻璃母材所得到的本發(fā)明實施例的隔板的斜視圖。
圖14顯示了在高粘性玻璃材料上的溝的剖面為梯形狀狀態(tài)的剖面圖。
圖15是用于說明第3和第4實施例的、由多個細板部件構(gòu)成高粘性玻璃材料的示意圖。
圖16是用于說明對本發(fā)明實施例的隔板進行配置，使其支持基板間的狀態(tài)的剖面示意圖。
圖17是用于說明在本發(fā)明實施例的隔板與基板的接合面上成膜有低電阻膜的工序的示意圖。
具體實施例方式
首先，上述鼓出或中間細的產(chǎn)生原因，我們認為是在對縱橫尺寸不同的剖面形狀的玻璃母材進行加熱時，剖面縱長方向的兩端部與中間相比更容易被加熱。例如，在剖面長方形的玻璃母材，如果設(shè)沿著其縱長方向的面為縱向面，設(shè)沿著其橫向方向的面為橫向面，則相對于由來自于縱向面的熱加熱剖面縱長方向的中間部分，剖面縱長方向兩端部受到來自于縱向面以及橫向面兩個面的熱而被加熱，比上述中間部分更容易被加熱。由此，如果將玻璃母材的剖面縱長方向整體加熱到具有容易產(chǎn)生預(yù)定拉伸的粘性的狀態(tài)為止，則上述兩端部的加熱就過剩了，粘性低下，成為鼓出的原因。如果為了限制這種鼓出而降低加熱溫度，則上述中間部分的加熱就不足，中間部分的粘性變高，由于拉伸時的應(yīng)力集中，因而成為中間細的原因。
本發(fā)明是鑒于上述鼓出和中間細的發(fā)生原因而作出的。
本發(fā)明的第1方案是提供一種隔板制造方法，將制造縱橫尺寸不同的剖面形狀的玻璃母材在拉伸溫度下進行加熱、拉伸，并切割為預(yù)定長度的隔板，其特征在于，將高粘性玻璃材料組合在玻璃母材縱長方向中的低粘性玻璃材料的至少兩端，使該玻璃母材整體上成為縱橫尺寸不同的剖面形狀，使該玻璃母材加熱到低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料都在105～1010dpa·s的范圍內(nèi)、且高粘性玻璃材料的粘性比低粘性玻璃材料的粘性要高的拉伸溫度并進行拉伸。
上述本發(fā)明的第1實施例最好是包含利用高粘性玻璃材料覆蓋在玻璃母材的剖面縱長方向上低粘性玻璃材料的至少兩個端部表面，利用高粘性玻璃材料覆蓋在沿著玻璃母材的剖面縱長方向的低粘性玻璃材料的整個表面，分別將高粘性玻璃材料覆蓋在沿著玻璃母材的剖面縱長方向以及橫向方向的低粘性玻璃材料的整個表面，將多種玻璃材料用作高粘性玻璃材料。
本發(fā)明的第2實施例提供了隔板，制作為縱橫尺寸不同的剖面形狀，其特征在于，在隔板的剖面縱長方向中的低粘性玻璃材料的至少兩端使高粘性玻璃一體化，整體上成為縱橫尺寸不同的剖面形狀，低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料，在加熱到低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料都在105～1010dPa·s的范圍內(nèi)時，是高粘性玻璃材料的粘性比低粘性玻璃材料的粘性要高的玻璃材料。
上述本發(fā)明的第2實施例最好包含利用高粘性玻璃材料覆蓋在隔板的剖面縱長方向上低粘性玻璃材料的至少兩個端部表面，利用高粘性玻璃材料覆蓋在沿著隔板的剖面縱長方向的低粘性玻璃材料的整個表面，分別將高粘性玻璃材料覆蓋在沿著隔板的剖面縱長方向以及橫向方向的低粘性玻璃材料的整個表面，將多種玻璃材料用作高粘性玻璃材料。
本發(fā)明的第3實施例是提供一種隔板制造方法，通過具有縱橫尺寸不同的剖面形狀、將沿著剖面縱長方向的外面具有多條溝的玻璃母材加熱到拉伸溫度并進行拉伸，并切割為所需的長度，從而制造出表面形成凹凸的隔板，其特征在于，將玻璃母材作為由玻璃母材內(nèi)層上配置的低粘性玻璃材料，與玻璃母材表層部分中至少包含沿著所述剖面縱長方向的外面的區(qū)域中配置的高粘性玻璃材料構(gòu)成的復合結(jié)構(gòu)，高粘性玻璃材料至少含有在外面一側(cè)具有多條溝的部件，在加熱到低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料的粘性都在105～1010dPa·s的范圍內(nèi)、且高粘性玻璃材料的粘性比低粘性玻璃材料的粘性還要高的拉伸溫度并進行拉伸。
本發(fā)明在上述第3實施例中最好包含“低粘性材料剖面形狀為長方形，高粘性材料至少貼在低粘性材料的剖面長邊一側(cè)的2面上”，“貼在低粘性玻璃材料的剖面長邊一側(cè)的2面上的高粘性玻璃材料，含有多條細板部件，該細板部件具有與所述多條溝的間距相同的寬度，具有與該溝的頂部和底部相應(yīng)的2種不同厚度的部分”，“貼在低粘性玻璃材料的剖面長邊一側(cè)的2面上的高粘性玻璃材料的電阻率為108～1010Ω·cm”，“高粘性玻璃材料還貼在低粘性玻璃材料的剖面短邊一側(cè)的2面上”，“貼在低粘性玻璃材料的剖面短邊一側(cè)的2面上高粘性玻璃材料的電阻率為103～104Ω·cm”，“將多種玻璃材料用作高粘性玻璃材料”。
本發(fā)明的第4實施例是提供一種在表面上形成凹凸的隔板，其特征在于，具有隔板內(nèi)層上配置的低粘性玻璃材料，與隔板表層部分中的至少形成所述凹凸的區(qū)域中配置的高粘性玻璃材料整體構(gòu)成的復合結(jié)構(gòu)。低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料，在加熱到低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料的粘性都在105～1010dPa.s的范圍內(nèi)的溫度時，是高粘性玻璃材料的粘性比低粘性玻璃材料的粘性高的玻璃材料。
在本發(fā)明過第4實施例中，最好含有“低粘性玻璃材料其剖面形狀為長方形，高粘性玻璃材料一體化形成在至少是低粘性玻璃材料的剖面長邊一側(cè)的2面上”，“在低粘性玻璃材料的剖面長邊一側(cè)的2面上一體形成的高粘性玻璃材料的電阻率為108～1010Ω·cm”，“還將高粘性玻璃材料一體形成在低粘性玻璃材料的剖面短邊一側(cè)的2面上”，“在低粘性玻璃材料的剖面短邊一側(cè)的2面上一體形成的高粘性玻璃材料的電阻率為103～104Ω·cm”，“將多種玻璃材料用作高粘性玻璃材料”。
首先，就上述第1和第2實施來說，以下，將舉出其具體實施方式
進行說明。
圖1是顯示有關(guān)實施例的隔板制造方法的一個例子的說明圖。圖2是圖1所示的玻璃母材的局部放大圖，圖3是通過圖1的方法而得到的本發(fā)明的隔板的放大斜視圖。
在圖1中，1是玻璃母材，如圖2中放大所示，該玻璃母材1是將剖面(對玻璃母材1的拉伸方向成直角方向的剖面)長方形的低粘性玻璃材料2，與分別覆蓋其兩個縱向面(沿著剖面縱長方向的面)并夾持低粘性玻璃材料2的剖面長方向的板狀高粘性玻璃材料3組合，從而整體上成為剖面為長方形。
盡管本實施例的玻璃母材1的剖面形狀為長方形，但是本發(fā)明并不限于剖面形狀為長方形的玻璃母材1，對于縱橫尺寸不同的剖面形狀的玻璃母材1，例如是剖面形狀為橢圓形、梯形等的玻璃母材1也是有益的，特別是由于縱長方向中間部分和兩端部部分的加熱狀態(tài)下容易產(chǎn)生差別，因此，對于縱長方向尺寸是橫向方向尺寸的5倍以上的剖面形狀的玻璃母材1是非常有效的。本說明書中所謂的長方形除了有4個拐角直角相交的形狀之外，還包含在拐角上進行倒角加工或是實施切圓而成的形狀。
上述低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的組合，可以是壓緊結(jié)合的狀態(tài)、配合的狀態(tài)、粘接狀態(tài)中的任何一種狀態(tài)。在本實施例中，如圖1所示，通過用機械卡盤4將玻璃母材1的周圍夾緊，從而低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3以相互壓緊結(jié)合的狀態(tài)組合在一起。
作為構(gòu)成上述低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的玻璃，例如可以根據(jù)用途來選擇元素玻璃、氧化物玻璃、氟化物玻璃、氯化物玻璃、硫化物玻璃等。從加工性能的觀點來看，這些玻璃中，最好是氧化物玻璃(例如是硅酸鹽玻璃、磷酸鹽玻璃、硼酸鹽玻璃、硼硅酸鹽(日文ホゥケィ酸塩)等)。
在圖1所示的例子中，使用將所述低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3組合在一起的玻璃母材1，利用機械卡盤4將該玻璃母材1緊固在一起，利用加熱器6對下部進行加熱、拉伸，并將拉伸后的拉伸玻璃母材1′的下部夾在領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5之間。在這種狀態(tài)下，一邊緩緩降下機械卡盤4，一邊旋轉(zhuǎn)領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5，以比機械卡盤4的下降速度還要快的領(lǐng)取速度領(lǐng)取拉伸玻璃母材1′，同時，在上述機械卡盤4和領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5之間，利用加熱器6將玻璃母材1加熱到拉伸溫度，使其軟化。如此，通過機械卡盤4的下降速度和由領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5產(chǎn)生的領(lǐng)取速度的速度差，在拉伸被加熱到拉伸溫度并被軟化的玻璃母材1的同時，使低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3一體化，連續(xù)形成剖面形狀與玻璃母材1基本相似的拉伸玻璃母材1′。于是，在冷卻硬化狀態(tài)下，通過使用切割器7來切斷通過領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5的拉伸玻璃母材1′，從而能夠成為所期望的細板狀或是柱狀的隔板8(參見圖3)。
上述玻璃母材1的拉伸，是加熱到在低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的粘性都在105～1010dPa·s的范圍內(nèi)，且高粘性玻璃材料3的粘性比低粘性玻璃材料2的粘性還要高的拉伸溫度下執(zhí)行的。在拉伸溫度中的低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的粘性都在105～1010dPa·s的范圍外的情況下，玻璃母材1的拉伸加工變難了。具體的拉伸溫度盡管隨著低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的材質(zhì)等而不同，但是一般都在500～1000℃的程度。
低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的粘性都在105～1010dPa·s的范圍內(nèi)且加熱到高粘性玻璃材料3的粘性比低粘性玻璃材料2的粘性還要高的拉伸溫度下執(zhí)行的拉伸，能夠通過作為本發(fā)明中的低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料，在加熱到低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料的粘性都在105～1010dPa·s的范圍內(nèi)的溫度時，分別使用高粘性玻璃材料的粘性比低粘性玻璃材料的粘性高的玻璃材料來執(zhí)行。低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的粘性的調(diào)整能夠通過調(diào)整低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的成份或是其配比量來進行。例如，在氧化物玻璃中，通過含有的堿性氧化物、氧化硼、氧化鉛等含有量增多(減少)，能夠降低(提高)高溫區(qū)域中的粘性，通過增多(減少)含有的氧化硅、氧化鋁、氧化鈦、氧化鋯等的含有量，從而能夠提高(降低)高溫區(qū)域的粘性。上述成份或其配比量的調(diào)整，能夠與低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的加熱溫度的調(diào)整一起使用。加熱溫度的調(diào)整，例如是通過焦點與低粘性玻璃材料2的中心部吻合的透鏡或是凹面鏡照射紅外線來進行加熱，能夠通過將低粘性玻璃材料2加熱到比高粘性玻璃材料3高的高溫來執(zhí)行。
根據(jù)上述方法，如圖3中放大所示，能夠得到?jīng)]有鼓出以及中間細的隔板8。這是由于考慮了在上述拉伸溫度中，由于覆蓋低粘性玻璃材料2的兩縱向面的高粘性玻璃材料3的粘性比該低粘性玻璃材料2的粘性高，因此，即便是玻璃母材1的剖面縱長方向兩端部的低粘性玻璃材料2的粘性過低的情況下，也能夠通過覆蓋在其上的高粘性玻璃材料3來抑制鼓出。因此，在僅僅利用低粘性玻璃材料2構(gòu)成玻璃母材1的情況中，即便加熱到在剖面縱長方向兩端部上產(chǎn)生了鼓出的拉伸溫度，也不會產(chǎn)生這種鼓出，能夠得到?jīng)]有鼓出或是中間細的隔板8。
通常，隔板8的厚度為0.05～0.5mm的程度，作為這種程度厚度的隔板8時的高粘性玻璃材料3的厚度，最好為0.5～5μm。即，所述玻璃母材1的厚度，玻璃母材1中的低粘性玻璃材料2以及高粘性玻璃材料3的厚度，最好使拉伸后的厚度在上述范圍內(nèi)。如果玻璃母材1的高粘性玻璃材料3的厚度過大，則很難進行拉伸加工，如果高粘性玻璃材料3的厚度過小，則很難得到上述抑制鼓出的效果。拉伸溫度中的低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的粘性差，在容易得到抑制鼓出的效果方面，最好在0.1dPa·s以上。
圖4是顯示玻璃母材的另一個實施例的局部放大圖，圖5是顯示了從圖4的玻璃母材得到的本發(fā)明的隔板的斜視圖，與圖1～圖3相同的標記表示相同的部件。
圖1和圖2所示的玻璃母材1，盡管是將高粘性玻璃材料3貼在低粘性玻璃材料2的相向2個縱向面整個面上，并夾持住低粘性玻璃材料2，但是，僅僅是本例的玻璃母材1縱長方向的低粘性玻璃材料2的兩端部被高粘性玻璃材料3夾住，從而整體上組裝為剖面是長方形的。由此，能夠利用高粘性玻璃材料3來重點保護容易被加熱的剖面縱長方向的兩端部。由該玻璃母材1得到的隔板8成為在4個拐角部分上具有高粘性玻璃材料3的結(jié)構(gòu)。
在圖4所示的玻璃母材1中，低粘性玻璃材料2的兩個橫向面一側(cè)上還貼有高粘性玻璃材料(圖中未示)，也能夠成為整體上剖面為長方形的結(jié)構(gòu)。如此，所得到的隔板8連橫向面也能用高粘性玻璃材料3來覆蓋，更容易得到橫向面的平滑性。這種情況，利用含有成份的種類以及/或配比量不同的不同種玻璃材料構(gòu)成低粘性玻璃材料2的縱向面一側(cè)的高粘性玻璃材料3，和橫向面一側(cè)的高粘性玻璃材料(圖中未示)，從而能夠周密地執(zhí)行鼓出防止控制。
圖6是顯示玻璃母材的另一個例子的局部放大圖，圖7是顯示由圖6的玻璃母材得到的本發(fā)明的隔板的斜視圖，與圖1～圖3相同的標記表示相同的部件。
在本例中的玻璃母材1為低粘性玻璃材料2的縱向面以及橫向面全都由高粘性玻璃材料所覆蓋。如此，所得到的隔板8連橫向面也能用高粘性玻璃材料3來覆蓋，更容易得到橫向面的平滑性，同時，與由高粘性玻璃材料3來僅僅覆蓋低粘性玻璃材料2的兩端部的情況相比，低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的組裝操作變?nèi)菀琢?。在本例中，低粘性玻璃材?的縱向面一側(cè)的高粘性玻璃材料3和橫向面一側(cè)的高粘性玻璃材料3，由含有成份的種類以及/或配比量不同的不同種玻璃材料構(gòu)成，能夠周密地執(zhí)行鼓出防止控制。
接著，在下面例舉其具體實施方式
來說明上述第3以及第4實施例。
圖1是顯示本實施例隔板制造方法的一例的說明圖，圖10是圖1所示的玻璃母材的局部放大圖，圖11是利用圖1的方法所得到的本發(fā)明隔板的局部放大斜視圖。
在圖1中，1是玻璃母材，該玻璃母材1如圖10中放大顯示的那樣，將剖面(相對玻璃母材1的拉伸方向成直角方向的剖面)長方形的低粘性玻璃材料2，與貼在其剖面長邊一側(cè)的2面(沿著剖面縱長方向的面)上并夾住低粘性玻璃材料2的板狀高粘性玻璃材料3整體組裝為剖面略呈長方形。
圖1中盡管為了簡化圖面而省略了對多條溝的記載，但是，如圖10、圖11所示，在構(gòu)成玻璃母材1的高粘性玻璃材料3上，在外面一側(cè)，即與貼著低粘性玻璃材料2的面相反的面上，沿著拉伸方向設(shè)置了多條溝。
本例中的玻璃母材1的剖面形狀盡管略呈長方形，但是本發(fā)明并不僅限于這種剖面形狀的玻璃母材1，即便是對縱橫尺寸不同的剖面形狀的玻璃母材1，例如是剖面形狀略呈橢圓形、略呈梯形等的玻璃母材也是有益的，由于特別是在縱長方向中間部分和兩端部的加熱狀態(tài)中容易產(chǎn)生差，因此，對于縱長方向的尺寸是橫向方向5倍以上的剖面形狀的玻璃母材1是有效的。本說明書中的所謂略呈長方形，是除了4個拐角直角相交之外，還包含在拐角上進行倒角加工或是進行切圓(R加工)后的形狀，所省略的是考慮了溝的部分。但是，為了能夠得到穩(wěn)定支撐在基板間的隔板，由于在對含有溝形狀的剖面形狀進行所期望的設(shè)計時，還要有良好的控制性，因此，最好的形態(tài)是剖面略呈長方形的結(jié)構(gòu)。
上述低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的組合，在壓緊結(jié)合的狀態(tài)、配合的狀態(tài)、粘接狀態(tài)中的任何一種狀態(tài)下，都很好。在本實施例中，如圖1所示，通過用機械卡盤4將玻璃母材1的周圍夾緊，從而低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3以相互壓緊結(jié)合的狀態(tài)組合在一起。
作為構(gòu)成上述低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的玻璃，例如可以根據(jù)用途來選擇元素玻璃、氧化物玻璃、氟化物玻璃、氯化物玻璃、硫化物玻璃等。從加工性能的觀點來看，這些玻璃中，最好是氧化物玻璃(例如是硅酸鹽玻璃、磷酸鹽玻璃、硼酸鹽玻璃、硼硅酸鹽(日文ホゥケィ酸塩)等)。
在圖1所示的例子中，使用將所述低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3組合在一起的玻璃母材1，利用機械卡盤4將該玻璃母材1緊固在一起，利用加熱器6對下部進行加熱、拉伸，并將拉伸后的拉伸玻璃母材1′的下部夾在領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5之間。在這種狀態(tài)下，一邊緩緩降下機械卡盤4，一邊旋轉(zhuǎn)領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5，以比機械卡盤4的下降速度還要快的領(lǐng)取速度領(lǐng)取拉伸玻璃母材1′，同時，在上述機械卡盤4和領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5之間，利用加熱器6將玻璃母材1加熱到拉伸溫度，使其軟化。如此，通過機械卡盤4的下降速度和由領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5產(chǎn)生的領(lǐng)取速度的速度差，在拉伸被加熱到拉伸溫度并被軟化的玻璃母材1的同時，使低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3一體化，連續(xù)形成剖面形狀與玻璃母材1基本相似的拉伸玻璃母材1′。于是，在冷卻硬化狀態(tài)下，通過使用切割器7來切斷通過領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5的拉伸玻璃母材1′，從而能夠成為所期望的細板狀或是柱狀的隔板8(參見圖11)。
設(shè)置在構(gòu)成玻璃母材1的高粘性玻璃材料2上的溝的形狀，如特開2000-311608所示，剖面為矩形、梯形、半圓形等，與設(shè)計相一致地進行適當決定，從而能夠在拉伸完成后的隔板8設(shè)置在基板間的狀態(tài)下，使入射到該隔板8表面上的電子的入射角盡可能地小。圖10盡管顯示了溝的剖面為矩形的情況，但是也有圖14所示的溝的剖面為梯形的情況。如圖14所示，如果溝的剖面為梯形，則由于能夠進一步減小入射到隔板表面的電子入射角，效果更好。
該溝的寬度、深度、間距等尺寸隨著執(zhí)行哪種程度的拉伸而不同，這也是相應(yīng)于完成狀態(tài)的設(shè)計而適當決定的。本發(fā)明的溝，沒有必要在玻璃母材的拉伸方向上連續(xù)設(shè)置，雖然在中途斷開也可以，但是，如果考慮加工的容易性，則最好設(shè)置在拉伸方向上連續(xù)的溝。
上述玻璃母材1的拉伸，是加熱到低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的粘性都在105～1010dPa·s的范圍內(nèi)，且高粘性玻璃材料3的粘性比低粘性玻璃材料2的粘性還要高的拉伸溫度下執(zhí)行的。在拉伸溫度中的低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的粘性都在105～1010dPa·s的范圍外的情況下，玻璃母材1的拉伸加工變難了。具體的拉伸溫度盡管隨著低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的材質(zhì)等而不同，但是一般都在500～1000℃的程度。
加熱到低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的粘性都在105～1010dPa·s的范圍內(nèi)且高粘性玻璃材料3的粘性比低粘性玻璃材料2的粘性還要高的拉伸溫度下執(zhí)行的拉伸，能夠通過作為本發(fā)明中的低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料，在加熱到低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料的粘性都在105～1010dPa·s的范圍內(nèi)的溫度時，分別使用高粘性玻璃材料的粘性比低粘性玻璃材料的粘性高的玻璃材料來執(zhí)行。低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的粘性的調(diào)整能夠通過調(diào)整低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的成份或是其配比量來進行。例如，在氧化物玻璃中，通過含有的堿性氧化物、氧化硼、氧化鉛等含有量增多(減少)，能夠降低(提高)高溫區(qū)域中的粘性，通過增多(減少)含有的氧化硅、氧化鋁、氧化鈦、氧化鋯等的含有量，從而能夠提高(降低)高溫區(qū)域的粘性。上述成份或其配比量的調(diào)整。能夠與低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的加熱溫度的調(diào)整一起使用。加熱溫度的調(diào)整，例如是通過焦點與低粘性玻璃材料2的中心部吻合的透鏡或是凹面鏡照射紅外線來進行加熱，能夠通過將低粘性玻璃材料2加熱到比高粘性玻璃材料3高的高溫來執(zhí)行。
根據(jù)上述方法，如圖11所示，能夠得到?jīng)]有鼓出以及中間細的隔板8。這是由于考慮了在上述拉伸溫度中，由于覆蓋低粘性玻璃材料2的兩縱向面的高粘性玻璃材料3的粘性比該低粘性玻璃材料2的粘性高，因此，即便是玻璃母材1的剖面縱長方向兩端部的低粘性玻璃材料2的粘性過低的情況下，也能夠通過覆蓋在其上的高粘性玻璃材料3來抑制鼓出。因此，在僅僅利用低粘性玻璃材料2構(gòu)成玻璃母材1的情況中，即便加熱到在剖面縱長方向兩端部上產(chǎn)生了鼓出的拉伸溫度，也不會產(chǎn)生這種鼓出，能夠得到?jīng)]有鼓出或是中間細的隔板8。
由于在高粘性玻璃材料上僅僅在單面上形成溝就可以，因此，可以實現(xiàn)制造機械的單純結(jié)構(gòu)、工序的簡化、短時間化。另外，利用低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料，材料組合的選擇寬度更寬，可以在低粘性玻璃材料的材料選擇基準中，以強度、熱膨脹率(考慮與基板的熱應(yīng)力的關(guān)系)等為主，在高粘性玻璃材料的材料選擇基準中，重視帶電抑制效果。
通常，隔板8的厚度為0.05～0.5mm的程度，作為這種程度厚度的隔板8時的高粘性玻璃材料3的厚度，最好為0.5～5μm。即，所述玻璃母材1的厚度、玻璃母材1中的低粘性玻璃材料2以及高粘性玻璃材料3的厚度，最好使拉伸后的厚度在上述范圍內(nèi)。如果玻璃母材1的高粘性玻璃材料3的厚度過大，則很難進行拉伸加工，如果高粘性玻璃材料3的厚度過小，則很難得到上述抑制鼓出的效果。拉伸溫度中的低粘性玻璃材料2和高粘性玻璃材料3的粘性差，在容易得到抑制鼓出的效果方面，最好在0.1dPa·s以上。在本說明書中，所謂具有溝的高粘性玻璃材料的厚度，是指與溝頂部對應(yīng)的最大厚度。
但是，在外面一側(cè)，在按照拉伸方法將具有多條溝的部件用作高粘性玻璃材料的方法中，雖然如上所述，使高粘性玻璃材料為在單個板狀部件上形成溝的形式，但是，也可以舉出用含有多條細板部件的多個部件來構(gòu)成高粘性玻璃材料的方式。在用于這種目的的細板部件中，保持與所述多條溝的間距相同的寬度，使用具有與所述溝的頂部和底部相應(yīng)的2種不同厚度部分的部件。圖15是一張概念圖，用于說明利用含有這種多條細板部件的多個部件來構(gòu)成高粘性玻璃材料的方式。在圖15中，3″表示細板部件。如此，在本實施例中，準備同一形狀的多條細板部件3″，由此，如圖7所示，通過覆蓋低粘性玻璃材料2的周圍側(cè)面的剖面長邊一側(cè)的面，來構(gòu)成高粘性玻璃材料。
細板部件的形狀也可以相應(yīng)于在高粘性玻璃材料中形成的上述那種剖面為矩形或梯形等各種形狀的溝，利用1個間距的樣子來制作。
根據(jù)通過這種多個細板部來構(gòu)成高粘性玻璃材料的方式，單一形狀部件的制造，由于其制造比利用板材加工來設(shè)置溝可能還要簡化，因此可以進一步降低成本。
貼在剖面長方形的低粘性玻璃材料的剖面長邊一側(cè)的2面上的高粘性玻璃材料的電阻率，由于在基板間為過剩地使電流不流過程度的高電阻，且，適當放電帶電電荷而為充分低程度的低電阻，因此，最好為108～1010Ω·cm。
由于隔板的形狀穩(wěn)定性良好，還能起到其他效果。利用圖16、圖17來說明該效果。圖16是剖面概念圖，用于說明配置得使隔板支撐在基板間的狀態(tài)。圖17是概念圖，用于說明在與隔板基板的接合面上成膜低電阻膜的工序。在圖16中，9表示低電阻膜，1000表示基板、1001表示配置在基板上的布線。
為了抑制隔板帶電，在隔板8上設(shè)置凹凸不僅防止成為帶電原因的電荷從電荷露出面流入或流出，而且如圖16所示，由于電荷有效地向外部逃出，因此，最好還在隔板8和基板1000或是基板上配置的布線1001的接合面上設(shè)置低電阻膜9。
盡管可以考慮許多種形成這種低電阻膜9的方法，但是作為多數(shù)在隔板上形成良好低電阻膜9的方法，考慮的是圖17所示的方法。即，以露出與基板的接合面的狀態(tài)使隔板8多個捆在一起，在該露出部分上通過濺射方法等成膜金屬等低電阻物質(zhì)。
但是，例如如圖8、圖9所示，在捆扎形狀穩(wěn)定性差的不規(guī)則形狀的隔板的情況下，在隔板之間產(chǎn)生間隙，如果在其上實施成膜，則成膜物質(zhì)一直蔓延到接合面以外的部分，因此，不能形成預(yù)定的低電阻膜9。
利用本發(fā)明這種方法，如果形成形狀穩(wěn)定性良好的隔板8，則能夠回避這種低電阻膜9成膜時的問題，能夠得到良好的低電阻膜9。
圖12是顯示玻璃母材的其他例子的局部放大圖，圖13是顯示從圖12的玻璃母材得到本發(fā)明隔板的斜視圖，與圖1、圖10、圖11相同的標記表示相同的部件。3′表示貼在剖面長方形的低粘性玻璃材2的剖面橫邊一側(cè)的高粘性玻璃材料。
本例的玻璃母材1在剖面形狀長方形的低粘性玻璃材料2的兩個橫向面短邊一側(cè)上還貼有高粘性玻璃材料3′。如此，所得到的隔板8連橫向面也能用高粘性玻璃材料來覆蓋，更容易得到橫向面的平滑性。在本例中，低粘性玻璃材料2的剖面長邊一側(cè)的高粘性玻璃材料3，和剖面短邊一側(cè)的高粘性玻璃材料3′，是利用含有成份的種類以及/或配比量不同的不同種玻璃材料構(gòu)成的，從而能夠周密地執(zhí)行鼓出防止控制。
在該圖12所示的情況下，如果貼在低粘性玻璃材料的剖面短邊一側(cè)的2面上的高粘性玻璃材料3′的電阻率為103～104Ω·cm，則能夠用作使用上述圖16來說明的低電阻膜9。
實施例(實施例1)使用圖1所示的卡盤4和領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5，通過對加熱后的玻璃母材1進行拉伸而做成隔板8。
作為玻璃母材1，在圖2所示的狀態(tài)下，由于在剖面形狀做成4mm×48mm的長方形的低粘性玻璃材料2的剖面長邊一側(cè)的面上，分別貼有厚度為1mm、寬度為48mm的高粘性玻璃材料3，因此，使用整個剖面面積S1為288mm2(6mm×48mm)的材料。作為材料，在低粘性玻璃材料2上，使用拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為6.0dPa·s的玻璃，在高粘性玻璃材料3上，使用拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為7.6dPa·s的玻璃。
上述玻璃母材1隨著機械卡盤4的下降以V1＝5mm/min的速度送出，利用加熱器6加熱到大約800℃，通過利用配置在加熱器6附近的領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5，以V2＝4500mm/min的速度領(lǐng)取，從而進行加熱拉伸，最后，利用切割器7進行切割成長度為1000mm。由于所得到的隔板8的剖面面積S2為0.32mm2(0.2mm×1.6mm)，看不出所述部分的中間細以及鼓出。
(實施例2)在本例中，制作隔板，除了在低粘性玻璃材料2上，使用拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為6.5dPa·s的玻璃，在高粘性玻璃材料3上，使用拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為7.0dPa·s的玻璃之外，其他都與實施例1相同。
與實施例1相同，在所得到的隔板中看不出局部中間細或是鼓出。
(比較例1)在本例中，除了在低粘性玻璃材料2上，使用拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為7dPa·s的玻璃，在高粘性玻璃材料3上，使用拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為7.005dPa·s的玻璃之外，其他都與實施例1相同來做成隔板。
所得到的隔板全都鼓出，變?yōu)閹A的形狀。
(實施例3)通過使用圖1所示的機械卡盤4以及領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5，并對加熱后的玻璃母材1進行拉伸，從而來制作隔板8。
作為玻璃母材1，在圖6所示的情況下，由于在剖面形狀做成4mm×46mm的長方形的低粘性玻璃材料2的剖面長邊一側(cè)的面上，分別貼有厚度1mm的寬度為46mm的高粘性玻璃材料3，在低粘性玻璃材料2的剖面短邊一側(cè)的面上，分別貼有厚度1mm的寬度為6mm的高粘性玻璃材料3，因此，使用的整個剖面面積S1為288mm2(6mm×48mm)的材料。作為材料，在低粘性玻璃材料2上，使用拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為6.0dPa·s的玻璃，在高粘性玻璃材料3上，使用拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為7.6dPa·s的玻璃。
使上述玻璃母材1隨著機械卡盤的下降以V1＝5mm/min的速度送出，利用加熱器6加熱到大約800℃，通過利用配置在加熱器6附近的領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5，以V2＝4500mm/min的速度領(lǐng)取，從而進行加熱拉伸，最后，利用切割器7進行切割成長度為1000mm。由于所得到的隔板8的剖面面積S2為0.32mm2(0.2mm×1.6mm)，看不出所述部分的中間細以及鼓出，特別是，剖面短邊一側(cè)的平坦性比實施例1的隔板還要優(yōu)良。
(實施例4)在本例中，除了在低粘性玻璃材料2上，使用拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為6.5dPa·s的玻璃，在高粘性玻璃材料3上，使用拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為7.0dPa·s的玻璃之外，其他都與實施例3相同來制作隔板。
在所得到的隔板中，與實施例3相同，看不出局部中間細或是鼓出，剖面短邊一側(cè)的平坦性也比實施例1的隔板優(yōu)秀。
(比較例2)在本例中，除了在低粘性玻璃材料2上，使用拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為7dPa·s的玻璃，在高粘性玻璃材料3上，使用拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為7.005dPa·s的玻璃之外，其他都與實施例3相同來做成隔板，。
所得到的隔板全都鼓出，變?yōu)閹A的形狀。
(實施例5)通過使用圖1所示的機械卡盤4以及領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5，并對加熱后的玻璃母材1進行拉伸，從而來制作隔板8。
作為玻璃母材1，在圖10所示的情況下，由于在剖面形狀做成4mm×48mm的長方形的低粘性玻璃材料2的剖面長邊一側(cè)的面上，分別貼有最大厚度為1mm、寬度為48mm的高粘性玻璃材料3，因此，整個剖面上外接的長方形的剖面面積S1為288mm2(6mm×48mm)的材料。高粘性玻璃材料3的溝如圖10所示以剖面為矩形的形態(tài)形成，使溝的深度為0.3mm，寬度為0.3mm，間距為0.9mm。作為材料，在低粘性玻璃材料2上，使用拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為106.0dPa·s的玻璃，在高粘性玻璃材料3上，使用電阻率為109Ω·cm、拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為107.6dPa·s的玻璃。
使上述玻璃母材1隨著機械卡盤4的下降以V1＝5mm/min的速度送出，利用加熱器6加熱到大約800℃，通過利用配置在加熱器6附近的領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5，以V2＝4500mm/min的速度領(lǐng)取，從而進行加熱拉伸，最后，利用切割器7進行切割成長度為1000mm。所得到的隔板8的剖面面積S2為0.32mm2(0.2mm×1.6mm)，看不出所述部分的中間細以及鼓出。溝的剖面形狀為矩形，得到深度為10μm，寬度為10μm，間距為30μm的端正形狀。
高粘性玻璃材料3的局部表面電阻為1012Ω/□。
(實施例6)在本例中，除了在低粘性玻璃材料2上，使用拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為106.5dPa·s的玻璃，在高粘性玻璃材料3上，使用拉伸時的加熱溫度800℃時電阻率為109Ω·cm、粘性為107.0dPa·s的玻璃之外，其他都與實施例5相同來做成隔板。
在本例中，也能得到與實施例5相同良好的隔板。
(比較例3)在本例中，除了在整個玻璃母材上使用拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為107dPa·s的玻璃之外，其他都與實施例5相同來做成隔板。
所得到的隔板全都鼓出，變?yōu)閹A的形狀，對于溝也不能得到按照設(shè)計的形狀。
(實施例7)
本實施例的隔板，除了通過如圖15所示配置多個細板部件3″而形成實施例5中的高粘性玻璃材料3的周期的帶狀溝這一點外，其他都與實施例5相同。
1個細板部件3″的尺寸整體寬度為0.9mm，其中，使最大厚度部分的寬度為0.6mm，使最小厚度部分的寬度為0.3mm，使最大厚度為1mm，最小厚度為0.7mm。
在本例中也能得到與實施例5相同優(yōu)良的隔板。
(實施例8)通過使用圖1所示的機械卡盤4以及領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5，并對加熱后的玻璃母材1進行拉伸，從而來制作隔板8。
作為玻璃母材1，在圖12所示的情況下，由于在剖面形狀做成4mm×46mm的長方形的低粘性玻璃材料2的剖面長邊一側(cè)的面上，分別貼有最大厚度為1mm、寬度為46mm的高粘性玻璃材料3，在低粘性玻璃材料2的剖面短邊一側(cè)的面上，分別貼有厚度為1mm、寬度為6mm的高粘性玻璃材料3′，因此，使用整個剖面S1為288mm2(6mm×48mm)的材料。高粘性玻璃材料3的溝以剖面矩形的形態(tài)形成，溝的深度為0.3mm，寬度為0.3mm，間距為0.9mm。在低粘性玻璃材料2上，使用拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為106.0dPa·s的玻璃，在高粘性玻璃材料3、3′上分別使用電阻率為109Ω·cm、拉伸時的加熱溫度800℃時粘性為107.6dPa·s的玻璃。
使上述玻璃母材1隨著機械卡盤4的下降以V1＝5mm/min的速度送出，利用加熱器6加熱到大約800℃，通過利用配置在加熱器6附近的領(lǐng)取轉(zhuǎn)輥5，以V2＝4500mm/min的速度領(lǐng)取，從而進行加熱拉伸，最后，利用切割器7切割成長度為1000mm。所得到的隔板8的剖面面積S2為0.32mm2(0.2mm×1.6mm)，看不出所述部分的中間細以及鼓出，特別是，剖面短邊一側(cè)的平坦性比實施例5的隔板還要優(yōu)秀。溝的剖面形狀為矩形，得到深度為10μm，寬度為10μm，間距為30μm的端正形狀。
高粘性玻璃材料3的局部表面電阻為1012Ω/□。
(實施例9)本例通過使用上述圖17說明的方法，使10nm厚的Ti膜、200nm厚的Pt膜按照該順序在實施例5～8制作的隔板上都通過濺射而成膜，形成低電阻膜。
其結(jié)果，看不到成膜材料轉(zhuǎn)向隔板8剖面長邊一側(cè)，得到表面電阻103Ω/□的所期望的低電阻膜。
(實施例10)在本例中，除了將貼在低粘性玻璃材料2的剖面短邊一側(cè)面上的高粘性玻璃材料3′的材料，作為電阻率為104Ω·cm的、拉伸時的加熱溫度800℃時粘性107.6dPa·s的玻璃這一點之外，其他都與實施例8相同來做成隔板。
在本例所得到的隔板中，高粘性玻璃材料3′的部分變?yōu)楸砻骐娮?03Ω/□，作為低電阻膜能夠充分發(fā)揮功能。
有益效果本發(fā)明能夠容易地制造出沒有中間細、強度穩(wěn)定的隔板，同時，在制造剖面形狀為長方形隔板的隔板時，能夠防止剖面短邊一側(cè)的周側(cè)面的鼓出，從而能夠容易得到穩(wěn)定的設(shè)置狀態(tài)的隔板。
本發(fā)明使得在表面上形成的用于帶電抑制等的凹凸的隔板，形狀精度更好且更容易制造。
特別是，不用蔓延到不必要的部分，就能夠以所期望的形狀形成優(yōu)良的低電阻膜。
權(quán)利要求
1.一種隔板制造方法，將制造為縱橫尺寸不同的剖面形狀的玻璃母材加熱到拉伸溫度進行拉伸，并切割為所需長度，其特征在于將高粘性玻璃母材裝配在玻璃母材的剖面縱長方向中低粘性玻璃材料的至少兩端部上，使玻璃母材成為整體上縱橫尺寸不同的剖面形狀，將該玻璃母材加熱到低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料的粘性都在105～1010dPa·s的范圍內(nèi)、且高粘性玻璃材料的粘性比低粘性玻璃材料的粘性高的拉伸溫度下并進行拉伸。
2.如權(quán)利要求1所述的隔板制造方法，其特征在于以高粘性玻璃材料來覆蓋玻璃母材的剖面縱長方向中低粘性玻璃材料的至少兩端部表面。
3.如權(quán)利要求1所述的隔板制造方法，其特征在于利用高粘性玻璃材料來覆蓋沿著玻璃母材的剖面縱長方向的低粘性玻璃材料的整個表面。
4.如權(quán)利要求1所述的隔板制造方法，其特征在于分別利用高粘性玻璃材料來覆蓋沿著玻璃母材的剖面縱長方向以及橫向方向的低粘性玻璃材料的整個表面。
5.如權(quán)利要求1所述的隔板制造方法，其特征在于使用多種玻璃材料作為高粘性玻璃材料。
6.一種隔板，呈縱橫尺寸不同的剖面形狀，其特征在于在隔板的剖面縱長方向中低粘性玻璃材料的至少兩端部上使高粘性玻璃母材一體化，使其成為整體上縱橫尺寸不同的剖面形狀，低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料，在加熱到低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料的粘性都在105～1010dPa·s的范圍內(nèi)的溫度時，是高粘性玻璃材料的粘性比低粘性玻璃材料的粘性高的玻璃材料。
7.如權(quán)利要求6所述的隔板，其特征在于隔板的剖面縱長方向中的低粘性玻璃材料的至少兩端部表面都由高粘性玻璃材所覆蓋。
8.如權(quán)利要求6所述的隔板，其特征在于利用高粘性玻璃材料來覆蓋沿著隔板的剖面縱長方向的低粘性玻璃材料的整個表面。
9.如權(quán)利要求6所述的隔板，其特征在于分別利用高粘性玻璃材料來覆蓋沿著隔板的剖面縱長方向以及橫向方向的低粘性玻璃材料的整個表面。
10.如權(quán)利要求6所述的隔板，其特征在于使用多種玻璃材料作為高粘性玻璃材料。
11.一種隔板制造方法，通過將具有縱橫尺寸不同的剖面形狀、沿著剖面縱長方向的外面具有多條溝的玻璃母材加熱到拉伸溫度進行拉伸，并切割為所需長度來制造在表面上形成凹凸的隔板，其特征在于將玻璃母材作為由配置在玻璃母材內(nèi)層的低粘性玻璃材料、以及配置在玻璃母材的表層部分中至少含有所述沿著剖面縱長方向外面的區(qū)域上的高粘性材料構(gòu)成的復合結(jié)構(gòu)，高粘性玻璃材料在外面一側(cè)上至少包含具有多條溝的部件，加熱到低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料的粘性都在105～1010dPa·s的范圍內(nèi)、且高粘性玻璃材料的粘性比低粘性玻璃材料的粘性高的拉伸溫度并進行拉伸。
12.如權(quán)利要求11所述的隔板制造方法，其特征在于低粘性玻璃材料剖面形狀為長方形，高粘性玻璃材料至少貼在低粘性玻璃材料的剖面長邊一側(cè)的2面上。
13.如權(quán)利要求12所述的隔板制造方法，其特征在于貼在低粘性玻璃材料的剖面長邊一側(cè)2面上的高粘性玻璃材料，含有多個細板部件，該細板部件具有與所述多條溝的間距相同的寬度，并具有與該溝的頂部和底部相應(yīng)的2種不同厚度的部分。
14.如權(quán)利要求12所述的隔板制造方法，其特征在于貼在低粘性玻璃材料的剖面長邊一側(cè)2面上的高粘性玻璃材料的電阻率為108～1010Ω·cm。
15.如權(quán)利要求12所述的隔板制造方法，其特征在于高粘性玻璃材料還貼在低粘性玻璃材料的剖面短邊一側(cè)的2面上。
16.如權(quán)利要求15所述的隔板制造方法，其特征在于貼在低粘性玻璃材料的剖面短邊一側(cè)2面上的高粘性玻璃材料的電阻率為103～104Ω·cm。
17.如權(quán)利要求11所述的隔板制造方法，其特征在于將多種玻璃材料用作高粘性玻璃材料。
18.一種隔板，在表面上形成凹凸，其特征在于具有配置在隔板內(nèi)層的低粘性玻璃材料與配置在隔板表層部分中至少形成所述凹凸的區(qū)域上的高粘性玻璃材料一體化的復合結(jié)構(gòu)，低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料，在加熱到低粘性玻璃材料和高粘性玻璃材料都在105～1010dPa·s的范圍內(nèi)的溫度時，是高粘性玻璃材料的粘性比低粘性玻璃材料的粘性高的玻璃材料。
19.如權(quán)利要求18所述的隔板，其特征在于低粘性玻璃材料的剖面形狀是長方形，高粘性玻璃材料至少一體化在低粘性玻璃材料的剖面長邊一側(cè)的2面上。
20.如權(quán)利要求19所述的隔板，其特征在于一體化在低粘性玻璃材料的剖面長邊一側(cè)2面上的高粘性玻璃材料的電阻率為108～1010Ω·cm。
21.如權(quán)利要求19所述的隔板，其特征在于高粘性玻璃材料還一體化在低粘性玻璃材料的剖面短邊一側(cè)的2面上。
22.如權(quán)利要求21所述的隔板，其特征在于一體化在低粘性玻璃材料的剖面短邊一側(cè)2面上的高粘性玻璃材料的電阻率為103～104Ω·cm。
23.如權(quán)利要求18所述的隔板，其特征在于將多種玻璃材料用作高粘性玻璃材料。
全文摘要
在對剖面形狀的縱橫長度不同的玻璃母材進行加熱拉伸、切割為所需長度，來制造顯示裝置的隔板的方法中，對將高粘性玻璃材料組裝在低粘性玻璃材料兩端的玻璃母材分別在粘性不同的溫度范圍下進行加熱拉伸。由此，防止了隔板剖面縱長方向端部上的鼓出或圓弧、或縱長方向中間部分的中間細等變形。
文檔編號H01J1/00GK1495831SQ0316026
公開日2004年5月12日 申請日期2003年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月1日
發(fā)明者中田耕平 申請人:佳能株式會社