專利名稱：用于平面顯示面板的柔性模具及其制造方法
背景技術(shù)：
發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種平面顯示面板，以及，特別是，涉及一種用于形成面板上的隔板的設(shè)備和方法，該面板形成平板顯示器。
現(xiàn)有技術(shù)的描述近來(lái)，平板顯示器薄型化并且大尺寸化。這種薄型化并且大尺寸化的平板顯示器包括液晶顯示器(LCD)、等離子體顯示面板(PDP)以及有機(jī)電發(fā)光顯示器(OLED)。
在本說(shuō)明書(shū)中，將等離子體顯示面板作為平板顯示器的一個(gè)實(shí)例進(jìn)行描述。這種等離子體顯示面板通過(guò)使惰性氣體，諸如氖(Ne)、氦(He)、氙(Xe)等，在兩相對(duì)的面板之間放電，并使放電產(chǎn)生的紫外線激勵(lì)磷光體來(lái)進(jìn)行圖像顯示。


圖1示出了這種等離子體顯示面板的構(gòu)造。如圖中所示，等離子體顯示面板包括頂面板10和底面板20。頂面板10和底面板20彼此粘合以分別形成等離子體顯示面板的頂表面和底表面。
頂面板10包括頂玻璃11，其中總線電極13形成在頂玻璃11的底表面上。具有總線電極13的頂玻璃11的底表面形成有β(beta)形式的介電層14。介電層14由保護(hù)薄膜15保護(hù)。也就是說(shuō)，保護(hù)薄膜15涂覆在介電層14的整個(gè)表面上。保護(hù)薄膜15由氧化鎂(MgO)形成。保護(hù)薄膜15也作為產(chǎn)生二次電子的源。
底面板20包括底玻璃21，其中尋址電極22形成在底玻璃21的頂表面上。具有尋址電極22的底玻璃21的頂表面也形成有介電層23。在介電層23上，多個(gè)線性隔板以預(yù)定間距規(guī)則地形成。將如圖1所示的隔板24的排列，也就是，多個(gè)隔板24沿縱向和橫向方向彼此呈直角交叉的排列稱作封閉型。這種排列也包括條紋型，在該條紋型中，該隔板形成為沿縱向方向線性地限定空間。另外，介電層23的頂表面在由該隔板限定的區(qū)域涂覆有磷光體25，其中該磷光體25交替地分為紅(R)、綠(G)和藍(lán)(B)色。
如果將如上所述構(gòu)造的頂面板10和底面板20以其間具有預(yù)定間隙地彼此結(jié)合，則完成等離子體顯示面板。當(dāng)然，將作為惰性氣體的放電氣體密封在頂面板10和底面板20之間。
采用如上所述構(gòu)造的等離子體顯示面板，當(dāng)各單元放電時(shí)，涂覆在由隔板24限定的放電空間內(nèi)的磷光體25被紫外線激勵(lì)，由此將可見(jiàn)光發(fā)射到頂面板外側(cè)。因此，將圖像信息顯示在等離子體顯示面板上。
此處，隔板24可以通過(guò)刻蝕過(guò)程或模制過(guò)程形成在底面板20上。該模制步驟可以利用金屬模具或者柔性模具進(jìn)行。
圖2a至2c示出了利用金屬模具模制隔板的過(guò)程。在底玻璃30的頂表面上涂覆均勻厚度的隔板原料31。另外，將形成有反轉(zhuǎn)隔板形狀的金屬模具33定位在底玻璃30上方并與其定位。然后，對(duì)金屬模具33向下施加預(yù)定水平的壓力，以便進(jìn)行加壓成形。在對(duì)隔板原料31加壓的條件下，執(zhí)行固化步驟。當(dāng)完成固化步驟時(shí)，使金屬模具33和底玻璃30彼此分離。然后，底玻璃30模制有如圖2c所示的隔板。
圖3示出了利用柔性模具模制隔板的過(guò)程。
如圖中所示，將可固化樹(shù)脂41涂覆在基模40的頂表面上，其中該頂表面形成有隔板形狀。然后，通過(guò)擠壓器45使涂覆在基模40的頂表面上的可固化樹(shù)脂41填充形成在該基模上的隔板形狀。將擠壓器45從基模40的一端移動(dòng)到另一端，以便基模40的隔板形狀充滿可固化樹(shù)脂41。通常，將光可固化樹(shù)脂用于這種可固化樹(shù)脂41，因?yàn)檫@種光可固化樹(shù)脂能夠在短的時(shí)間周期內(nèi)固化。
如果使形成在基模40上的所有隔板形狀都填充可固化樹(shù)脂41，那么使柔性薄膜47在基模40的頂部定位。如果使柔性薄膜47定位，則使壓輥49在柔性薄膜47的頂部定位，然后通過(guò)從基模40的一端向另一端移動(dòng)壓輥49來(lái)進(jìn)行加壓成形。
然后，如圖3c所示，通過(guò)使壓在可固化樹(shù)脂41上的柔性薄膜47曝光于UV等來(lái)進(jìn)行固化步驟。在經(jīng)過(guò)預(yù)定時(shí)長(zhǎng)之后，使完成了的柔性模具50從基模40分離。然后，獲得如圖3e所示的形成有反轉(zhuǎn)隔板形狀的柔性模具50。
與利用金屬模具模制隔板的傳統(tǒng)方法類似，將隔板原料涂覆在通過(guò)上述過(guò)程或步驟獲得的柔性模具50上，并在玻璃的頂表面上加壓成形，然后使柔性模具50向上卷起以從該玻璃釋放，由此制造底面板20。
然而，上述模制顯示面板上的隔板的傳統(tǒng)方法存在下面的問(wèn)題首先，對(duì)于利用金屬模具的模制隔板的方法，有利的是模制過(guò)程簡(jiǎn)單，并且原料利用率高。然而，通過(guò)這種方法模制的隔板高度均勻性不足，并且底玻璃30可能由于金屬模具33大面積施加的壓力而破裂。
另外，在加壓成形之后，難以使金屬模具33和隔板原料31彼此分離。因此，當(dāng)將金屬模具33從底玻璃30釋放時(shí)，如顯示了局部細(xì)節(jié)的圖2c所示，隔板原料31可能被局部撕下。
對(duì)于利用柔性模具模制隔板的方法，與利用金屬模具的傳統(tǒng)模制方法一樣優(yōu)點(diǎn)是該模制過(guò)程簡(jiǎn)單，并且由于使用柔性模具50，因此在加壓成形時(shí)玻璃基底不會(huì)破裂。然而，由于柔性模具50是由可固化樹(shù)脂形成，因此模具缺乏耐久性，并且當(dāng)重復(fù)使用時(shí)會(huì)發(fā)生尺寸改變。另外，柔性模具的熱膨脹率隨著周?chē)h(huán)境而改變，并且基模40和可固化樹(shù)脂41的熱膨脹率彼此不同。結(jié)果，柔性模具50的隔板并不如示出了局部細(xì)節(jié)的圖3e所示的那樣均勻地形成。這一現(xiàn)象使圖案的尺寸均勻性劣化，這使作為最終產(chǎn)品的PDP的放電空間的均勻性劣化，由此導(dǎo)致不良的發(fā)光。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明已經(jīng)解決了現(xiàn)有技術(shù)中產(chǎn)生的上述問(wèn)題，并且本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種用于制造具有均勻尺寸的隔板的柔性模具，其既使重復(fù)使用也不會(huì)發(fā)生尺寸改變，以及一種制造這種模具的方法。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，提供一種制造用于模制平面顯示面板的隔板的柔性模具的方法，其包括第一步，在光學(xué)透明柔性薄膜上形成與該隔板相對(duì)應(yīng)的圖案；第二步，在該柔性薄膜上形成鍍敷圖案層，其每一個(gè)與該圖案之間的反轉(zhuǎn)隔板形狀相對(duì)應(yīng)；以及第三步，將該圖案移除。
第一步中的圖案可以由光敏層形成。此處，用光敏層形成與該隔板相對(duì)應(yīng)的圖案的步驟優(yōu)選包括步驟在該柔性薄膜的頂表面上形成預(yù)定厚度的光敏層；利用曝光掩模對(duì)該光敏層選擇性地曝光；以及利用蝕刻劑使該光敏層的被選擇和曝光部分顯影以移除該曝光部分。
根據(jù)一實(shí)施例，該發(fā)明的方法還可以包括步驟在顯影步驟之后將殘留在該柔性薄膜頂表面上的蝕刻劑清除；以及在該清除步驟之后使該柔性薄膜干燥。
另外，在第一步中的圖案優(yōu)選以使其每個(gè)頂角和底角具有預(yù)定曲率半徑的方式模制。
優(yōu)選地，在第一步中的每個(gè)圖案的橫截面為梯形，與其底側(cè)相比，其頂側(cè)相對(duì)長(zhǎng)。
優(yōu)選地，在第二步中的該鍍敷圖案以使其每個(gè)頂角和底角具有預(yù)定曲率半徑的方式模制。另外，每個(gè)該鍍敷圖案的橫截面優(yōu)選具有梯形形狀，與其底側(cè)相比，其頂側(cè)相對(duì)長(zhǎng)。此處，該頂角的曲率半徑也優(yōu)選比該底角的曲率半徑大。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，還提供一種用于模制平面顯示面板上的隔板的柔性模具，其包括光學(xué)透明材料的柔性薄膜；以及通過(guò)鍍敷由金屬材料在該柔性薄膜的頂表面上形成的鍍敷圖案的層，其中每個(gè)鍍敷圖案具有反轉(zhuǎn)隔板形狀。
鍍敷圖案的每個(gè)頂角和底角優(yōu)選具有預(yù)定曲率半徑。每個(gè)鍍敷圖案的橫截面可以具有梯形，其頂側(cè)比其底側(cè)相對(duì)更長(zhǎng)。更優(yōu)選地，每個(gè)鍍敷圖案的頂角的半徑比底角的半徑相對(duì)更大。
根據(jù)具有上述技術(shù)特征的本發(fā)明的柔性模具及其制造方法，該柔性模具能夠以更精確的尺寸制造并且可以避免由于重復(fù)使用而造成的柔性模具的尺寸變化。
以下，將參照附圖更詳細(xì)地描述本發(fā)明的柔性模具及其制造方法的若干個(gè)優(yōu)選實(shí)施例。
附圖簡(jiǎn)要說(shuō)明在閱讀了下面結(jié)合附圖的詳細(xì)描述之后，本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將更清楚，其中圖1是示出傳統(tǒng)的平面顯示面板的構(gòu)造的分解透視圖；圖2a和2b是示出使用模制平面顯示面板的傳統(tǒng)金屬模具來(lái)模制隔板的傳統(tǒng)方法的橫截面視圖；圖2c是示出在由圖2a和2b所示的方法形成的隔板中的問(wèn)題的橫截面視圖；圖3a至3d是示出使用制造平面顯示面板的傳統(tǒng)柔性模具來(lái)模制隔板的傳統(tǒng)方法的橫截面視圖；圖3e是示出在由圖3a至3d所示的方法模制的隔板中的問(wèn)題的橫截面視圖；圖4a至4f是示出制造用于模制平面顯示面板的模具的本發(fā)明方法的優(yōu)選實(shí)施例的橫截面視圖；圖5a至5d是示出利用用于模制平面顯示面板的本發(fā)明的模具來(lái)模制隔板的步驟的橫截面視圖。
具體實(shí)施例方式
以下，將參考附圖更詳細(xì)地描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。在下面的描述和圖中，使用相同的參考數(shù)字表示相同或相似的元件。
參考圖4和5描述本發(fā)明的柔性模具及其制造方法。
如圖4a所示，將用作柔性模具支撐體的柔性薄膜61設(shè)置在表面板60上。因?yàn)樵谙旅鎸⒁枋龅膶?shí)際模制隔板的過(guò)程中使用光穿透，因此柔性薄膜61由光學(xué)透明材料形成。
當(dāng)完成柔性薄膜61的定位之后，執(zhí)行利用涂覆在柔性薄膜61的頂表面上的光敏層63形成與將要被模制的隔板相對(duì)應(yīng)的隔板形狀的步驟。為了形成隔板形狀，執(zhí)行形成光敏層63的步驟。光敏層63是其一個(gè)或更多個(gè)預(yù)定部分能夠通過(guò)曝光或加熱處理選擇性地移除的層。通過(guò)選擇性地移除預(yù)定部分，能夠形成實(shí)質(zhì)上與隔板相對(duì)應(yīng)的圖案。
可以利用光敏樹(shù)脂或光致抗蝕劑薄膜形成光敏層63。將光敏樹(shù)脂制備為液相并涂覆與將要形成在柔性薄膜的頂表面上的鍍敷圖案的層高度相對(duì)應(yīng)的厚度。由于用于形成隔板的鍍敷圖案(此處，可以將該鍍敷圖案稱作反轉(zhuǎn)隔板形狀)的高度為大約100至250μm，因此優(yōu)選將由光敏樹(shù)脂形成的光敏層63涂覆在100至250μm的范圍內(nèi)。
另外，如果光敏層63可以利用光致抗蝕劑薄膜形成。當(dāng)然，通過(guò)曝光或加熱處理將這種光致抗蝕劑薄膜的一個(gè)或更多個(gè)所需要的部分選擇性地移除也是可能的。光致抗蝕劑薄膜具有與將要形成在柔性薄膜61的頂表面上的反轉(zhuǎn)隔板圖案的層厚度相對(duì)應(yīng)的厚度。光致抗蝕劑薄膜從柔性薄膜61的一端覆蓋到另一端。以這種方式制造的光敏層63形成在柔性薄膜61的頂表面上，使得前者的面積與后者的面積相對(duì)應(yīng)。
在形成光敏層63之后，執(zhí)行固化步驟。固化步驟在預(yù)定溫度下進(jìn)行預(yù)定時(shí)長(zhǎng)。對(duì)于液體光敏樹(shù)脂，固化步驟優(yōu)選在大約120℃的溫度下在十分鐘內(nèi)進(jìn)行。對(duì)于光致抗蝕劑薄膜，固化步驟優(yōu)選在大約80℃的溫度下在十分鐘內(nèi)進(jìn)行。對(duì)于該固化步驟，可以使光敏層63和柔性薄膜61剛性地彼此結(jié)合。
當(dāng)形成光敏層63時(shí)，執(zhí)行利用光敏層形成隔板63a的過(guò)程，其包括曝光掩模定位步驟，曝光步驟，顯影步驟，清潔步驟和干燥步驟。首先，執(zhí)行曝光掩模定位步驟，其中如圖4b所示使形成有隔板形狀的曝光掩模65在形成有光敏層63的柔性薄膜61的頂表面上定位。
然后，利用紫外線等從該定位的曝光掩模65的上側(cè)執(zhí)行曝光步驟。在該曝光步驟中，使用具有預(yù)定能量水平的曝光光源，并且進(jìn)行預(yù)定時(shí)長(zhǎng)的曝光。在該曝光步驟中，使通過(guò)該曝光掩模選擇的一個(gè)或更多部分曝露于光源。
通過(guò)該曝光步驟，將涂覆在柔性薄膜61上的光敏層63分為曝光部分和未曝光部分。根據(jù)用作光敏層的光致抗蝕劑的類型，可能選擇性地移除該曝光部分或未曝光部分。
當(dāng)完成該曝光步驟時(shí)，執(zhí)行顯影步驟。在該顯影步驟中，使用稀釋到預(yù)定濃度的堿性溶液將該曝光部分或該未曝光部分選擇性地移除。如果完成了該顯影步驟，那么利用蒸餾水進(jìn)行清潔步驟，然后在預(yù)定溫度下進(jìn)行預(yù)定時(shí)間周期的使該柔性薄膜干燥的干燥步驟。
通過(guò)上述步驟，將隔板63a形成在來(lái)自光敏層的柔性薄膜61的頂表面上，如圖4c所示。由光敏層63形成的隔板63a將具有與平面顯示面板的隔板基本上類似的形狀。
此處，優(yōu)選使由柔性薄膜61的頂表面上的光敏層63形成的每個(gè)隔板63a的頂角A和底角B倒圓角，以便使其每一個(gè)具有預(yù)定曲率半徑。當(dāng)每個(gè)頂角和底角具有預(yù)定曲率半徑時(shí)，在最終完成的柔性模具(參見(jiàn)圖4f)上的反轉(zhuǎn)隔板形狀圖案的每個(gè)角都具有對(duì)應(yīng)的曲率半徑(Rt，Rb)。當(dāng)該柔性模具上的腔的頂角和底角以這種方式倒圓角時(shí)，自然可能使在模制通過(guò)該柔性模具模制的平面顯示面板的隔板時(shí)的產(chǎn)品不合格率最小化，并且可能提高在這種平面顯示面板上顯示的圖像的質(zhì)量。
為了使由示于圖4c中的光敏層63形成的隔板63a的每個(gè)頂角A和底角B具有預(yù)定的曲率半徑，可以考慮各種因素，諸如光致抗蝕劑的材料和敏感性、來(lái)自光源的光強(qiáng)和方向以及用顯影劑清潔光致抗蝕劑的重復(fù)次數(shù)，來(lái)確定該曲率半徑。優(yōu)選地，使該頂角A的曲率半徑小于該底角B的曲率半徑。如果底角B的半徑小于頂角A的，那么通過(guò)本發(fā)明的柔性模具模制的該平面顯示面板的隔板的底角的曲率半徑大于該隔板的頂角的曲率半徑。當(dāng)平面顯示面板的隔板的底角的半徑大于其頂角的半徑時(shí)，當(dāng)使每個(gè)單元放電時(shí)，涂覆在該隔板之間的磷光體被紫外線激勵(lì)，由此更有效地發(fā)射可見(jiàn)光。
優(yōu)選地，在刻蝕步驟期間完成的由光敏層63形成的每個(gè)隔板63a具有基本上梯形形狀而不是矩形形狀。也就是說(shuō)，優(yōu)選使每個(gè)隔板63a具有梯形形狀，其頂側(cè)比其底側(cè)(與該柔性薄膜接觸的側(cè))相對(duì)更大是優(yōu)選的。頂側(cè)和底側(cè)之間的長(zhǎng)度差優(yōu)選以使每個(gè)隔板的相對(duì)側(cè)壁具有相對(duì)于垂直平面大約6度或比6度稍大的角度的方式確定。如果每個(gè)隔板63a具有如上所述的梯形形狀，那么圖4f所示的每個(gè)鍍敷圖案70將具有梯形形狀，其頂側(cè)比其底側(cè)相對(duì)更長(zhǎng)。因此，由本發(fā)明的柔性模具71形成的平面顯示面板的每個(gè)隔板形成為梯形形狀，其頂側(cè)比其底側(cè)稍長(zhǎng)。然而，因?yàn)樵撎菪蔚捻攤?cè)和底側(cè)之間的長(zhǎng)度差微小，所以圖中將每個(gè)隔板以矩形形狀示出作為實(shí)例。
可以通過(guò)各種方法將每個(gè)隔板63a形成為梯形。例如，通過(guò)重復(fù)進(jìn)行形成光敏層、使該光敏層曝光和顯影的步驟來(lái)形成梯形形狀的每個(gè)隔板63a是可能的?？商鎿Q地，通過(guò)調(diào)節(jié)曝光的光的強(qiáng)度和方向以及光致抗蝕劑的材料(敏感性)來(lái)獲得梯形隔板63a也是可能的。
通過(guò)上述過(guò)程，由柔性薄膜61的頂表面上的光敏層63形成隔板63a，其中該隔板63a可以被認(rèn)為是基本上與平面顯示面板的隔板對(duì)應(yīng)的圖案。
然后，在隔板63a之間的柔性薄膜61的頂表面上，通過(guò)鍍敷執(zhí)行形成鍍敷圖案的層的過(guò)程。首先，如圖4d所示，將具有隔板63a的柔性薄膜61設(shè)置在支撐板67的頂表面上。支撐板67具有與柔性薄膜61的整體面積相對(duì)應(yīng)的尺寸。
然后，將被支撐板67支撐的柔性薄膜61移到鍍敷室(未示出)內(nèi)。在該鍍敷室(未示出)內(nèi)進(jìn)行電鍍以在柔性薄膜61的頂表面上形成干燥的鍍敷層。這時(shí)，通過(guò)電鍍使金屬鍍敷圖案70的層形成預(yù)定厚度，每個(gè)該金屬鍍敷圖案70與反轉(zhuǎn)隔板形狀相對(duì)應(yīng)，其中該電鍍通過(guò)使鍍敷板69以距柔性薄膜61預(yù)定距離與柔性薄膜61相對(duì)設(shè)置，并在鍍敷板69和支撐板67之間施加預(yù)定等級(jí)的電壓來(lái)進(jìn)行鍍敷。使鍍敷圖案70的層形成在顯影步驟中被移除了的該曝光部分或未曝光部分的位置處的柔性薄膜60的頂表面上。也就是說(shuō)，鍍敷圖案70分別形成在隔板63之間的柔性薄膜61的頂表面上，如圖4e所示。
該電鍍方法包括通過(guò)使將要被沉積的材料化學(xué)蒸發(fā)、反應(yīng)、分解等來(lái)進(jìn)行鍍敷的方法，以及使在真空環(huán)境內(nèi)的材料直接蒸發(fā)以使被蒸發(fā)的材料在基材上沉積和固化的方法?？梢允褂萌我膺@些方法。另外，該電鍍方法可以與使用還原反應(yīng)或置換反應(yīng)的非電解鍍敷方法結(jié)合使用。
鍍敷圖案70的層由合成混合ITO、Ni、Cr、Ag、Au、Pt、Cu等形成的材料制造。鍍敷圖案70的層的主要金屬成分為Ni，并且以預(yù)定比例加入其他金屬。
優(yōu)選地，使鍍敷圖案70的層形成為比將要被模制在玻璃上的該隔板的高度高大約10μm的高度。如果在利用形成有鍍敷圖案70的柔性模具71來(lái)模制隔板的過(guò)程中將樹(shù)脂用作隔板的原料，那么該樹(shù)脂可能收縮。對(duì)此，將鍍敷圖案層形成為比將要被模制在玻璃上的該隔板的高度高大約10μm。
當(dāng)完成形成該鍍敷圖案層的步驟時(shí)，將經(jīng)歷了圖案形成步驟的光敏層63形成的隔板63a和鍍敷圖案層70保留在柔性薄膜60的頂表面上。然后，執(zhí)行將保留在柔性薄膜61上的隔板63a移除的步驟。例如，在鍍敷圖案層形成步驟之后，將柔性薄膜61移到釋放槽(未示出)，在該釋放槽內(nèi)執(zhí)行使光敏層63形成的隔板63a釋放的步驟。在該光敏層移除步驟中，優(yōu)選利用蝕刻劑將形成在柔性薄膜頂表面上的隔板63a移除。隔板63a為在曝光步驟中結(jié)晶化了的曝光部分或未曝光部分，并且優(yōu)選可以將商業(yè)上可提供的溶液用作蝕刻劑。在使用了該蝕刻劑之后，執(zhí)行清潔步驟，該清潔步驟用于通過(guò)利用蒸餾水清洗柔性薄膜來(lái)將殘留在該表面上的蝕刻劑移除，然后執(zhí)行使柔性薄膜在預(yù)定溫度范圍內(nèi)干燥預(yù)定時(shí)長(zhǎng)的步驟。
當(dāng)完成光致抗蝕劑移除步驟時(shí)，將由光敏層形成的隔板63a移除。結(jié)果，如圖4f所示完成柔性模具71，該柔性模具71包括柔性薄膜61和形成在柔性薄膜61的頂表面上的鍍敷圖案70。此處，將每個(gè)鍍敷圖案70以實(shí)質(zhì)上反轉(zhuǎn)隔板形狀形成。
如在圖4f中的放大視圖所能夠看到的那樣，重復(fù)地形成鍍敷圖案70，其每一個(gè)具有梯形形狀的橫截面，其中與其底側(cè)相比，該梯形形狀的頂側(cè)相對(duì)短，其中該反轉(zhuǎn)隔板形狀與將要被模制到平面顯示面板上的每個(gè)隔板的反轉(zhuǎn)形狀相對(duì)應(yīng)。在每個(gè)鍍敷圖案70中，與底角的曲率半徑Rb相比，頂角具有相對(duì)長(zhǎng)的曲率半徑Rt。此處，底角的曲率半徑Rb由上述隔板63a的底角B的曲率半徑確定，而頂角的曲率半徑Rt在上述鍍敷過(guò)程中確定。因此，通過(guò)調(diào)整隔板63a的底角B的曲率半徑Rb，那么以使該梯形形狀的頂角的曲率半徑Rt大于其底角的曲率半徑Rb的方式將每個(gè)鍍敷圖案70形成為梯形形狀是可能的。
如上所述，通過(guò)使鍍敷形狀70的梯形形狀的頂角和底角倒圓角，每個(gè)該鍍敷形狀70形成為將要被模制在平面顯示面板上的該隔板的反轉(zhuǎn)形狀，可能避免當(dāng)利用本發(fā)明的柔性面板71制造平面顯示面板時(shí)該隔板被部分撕開(kāi)而造成的劣勢(shì)。另外，還可能制造提供優(yōu)良顯示圖像的隔板。
另外，通過(guò)形成鍍敷圖案70，使得與底角的曲率半徑Rb相比，每個(gè)鍍敷圖案70的頂角具有相對(duì)大的曲率半徑Rt，可能在平面顯示面板上模制該隔板，以使該模板的底角的曲率半徑限定為與其頂角相比相對(duì)大。當(dāng)將平面顯示面板的隔板的曲率半徑限定為相對(duì)較大時(shí)，如上所述，當(dāng)各單元放電時(shí)，涂覆在該隔板之間的磷光體被紫外線激勵(lì)，由此更有效地發(fā)射可見(jiàn)光。
應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明的柔性模具71將柔性薄膜用作基底，在其頂表面上形成鍍敷圖案70的層，每一個(gè)與反轉(zhuǎn)隔板形狀相對(duì)應(yīng)。因?yàn)殄兎髨D案70由金屬材料形成，所以其不會(huì)由于固化而收縮。另外，其具有優(yōu)越的對(duì)抗由于重復(fù)使用而造成的尺寸改變和磨損的特性。
現(xiàn)在，描述利用本發(fā)明的柔性模具模制隔板的過(guò)程。
如圖5a所示，把將要形成有隔板的玻璃設(shè)置在具有頂部平坦表面的表面板80上。表面板80已經(jīng)形成有電極(未示出)。然后，將柔性模具71的一端錨固到表面板80上，并且通過(guò)分離裝置移動(dòng)另一端，使得柔性模具71從一端到另一端覆蓋玻璃73的頂表面。這時(shí)，將隔板的原料75插入在玻璃73和柔性模具71之間。原料75可以由樹(shù)脂(例如，光可固化樹(shù)脂)形成。在使柔性模具71覆蓋玻璃73的同時(shí)，使壓輥77在柔性模具71的頂表面上沿預(yù)定方向移動(dòng)，由此將柔性模具71壓向玻璃73。
然后，如圖5b所示，使用位于柔性模具上方的具有一定能量水平的熱源或光源80執(zhí)行熱固化或光固化過(guò)程。通過(guò)該熱固化或光固化過(guò)程，使隔板的原料75固化。因?yàn)槿嵝员∧び晒鈱W(xué)透明材料形成，所以能夠使原料75固化。
如果原料75是樹(shù)脂，那么其在固化時(shí)收縮。然而，由于使柔性模具71上的鍍敷圖案70的層形成為比將要被模制的隔板的高度高大約10μm，因此即使原料收縮，也可能獲得隔板所需要的高度。
當(dāng)完成原料75的固化時(shí)，將柔性模具71的一端卷起，以便使柔性模具71從玻璃73分離。在使柔性模具71從玻璃73分離之后，可以在玻璃73的頂表面上執(zhí)行預(yù)定處理。
通過(guò)上述過(guò)程，將隔板形狀75a形成在平面顯示面板的底面板90上。形成在底面板90上的隔板形狀的高度為大約100至250μm。當(dāng)將壓力施加到底面板90的相對(duì)端時(shí)，在曲率半徑方面，底面板的彎曲曲率優(yōu)選不超過(guò)1000mm。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，提供一種形成有鍍敷圖案的層的柔性模具，該鍍敷圖案每一個(gè)具有反轉(zhuǎn)隔板形狀，通過(guò)鍍敷由沉積在柔軟材料的柔性薄膜上的金屬材料形成，以及制造這種柔性模具的方法。
根據(jù)通過(guò)鍍敷制造的本發(fā)明的柔性模具，由于柔性模具上的鍍敷圖案由鍍敷圖案層形成，因此不會(huì)由于熱膨脹系數(shù)的不同而產(chǎn)生尺寸不均勻性。結(jié)果，能夠提高尺寸的均勻性。另外，由于與普通可固化樹(shù)脂相比，這種鍍敷圖案層具有優(yōu)越的持久性，因此即使重復(fù)使用這種柔性模具也能夠避免尺寸的變化。
盡管出于說(shuō)明的目的已經(jīng)披露了本發(fā)明的若干個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，但是，應(yīng)當(dāng)理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠設(shè)計(jì)許多改進(jìn)和實(shí)施例，其將落入本公開(kāi)內(nèi)容的原理的精神和范圍。特別是，在所公開(kāi)的內(nèi)容、附圖以及附加的權(quán)利要求的范圍內(nèi)，對(duì)主題組合排列的零部件和/或排列的各種改變和改進(jìn)均是可能的。除了零部件和/或排列的改變和改進(jìn)之外，可替換的用途對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員而言也是明顯的。
權(quán)利要求
1.一種制造用于模制平面顯示面板的隔板的柔性模具的方法，其包括第一步，在光學(xué)透明的柔性薄膜上形成與該隔板相對(duì)應(yīng)的圖案；第二步，在該柔性薄膜上在與該隔板相對(duì)應(yīng)的圖案之間形成鍍敷圖案的層，每個(gè)鍍敷圖案與反轉(zhuǎn)隔板形狀相對(duì)應(yīng)；以及第三步，將與該隔板相對(duì)應(yīng)的該圖案移除。
2.權(quán)利要求1所述的方法，其中在第一步中的圖案由光敏層形成。
3.權(quán)利要求2所述的方法，其中所述第一步包含步驟在該柔性薄膜的頂表面上形成預(yù)定厚度的光敏層；利用曝光掩模使所述光敏層選擇性地曝光；以及利用蝕刻劑使所述光敏層的被選擇且被曝光的部分顯影以將該部分移除。
4.權(quán)利要求3所述的方法，還包括步驟在顯影步驟之后將殘留在柔性薄膜的頂表面上的蝕刻劑清除；以及在清除步驟之后使該柔性薄膜干燥。
5.權(quán)利要求1所述的方法，其中在第一步中的每個(gè)圖案具有頂角和底角，其分別具有預(yù)定的曲率半徑。
6.權(quán)利要求5所述的方法，其中在第一步中的每個(gè)該圖案的橫截面為梯形，與其底側(cè)相比，其頂側(cè)相對(duì)長(zhǎng)。
7.權(quán)利要求5或6所述的方法，其中在第二步中每個(gè)鍍敷圖案具有頂角和底角，每個(gè)鍍敷圖案與反轉(zhuǎn)隔板形狀相對(duì)應(yīng)，該頂角和底角分別具有預(yù)定的曲率半徑。
8.權(quán)利要求7所述的方法，其中每個(gè)鍍敷圖案的橫截面為梯形形狀，每個(gè)鍍敷圖案與反轉(zhuǎn)隔板形狀相對(duì)應(yīng)，與其底側(cè)相比，該梯形形狀的頂側(cè)相對(duì)長(zhǎng)。
9.權(quán)利要求7所述的方法，其中將每個(gè)鍍敷圖案形成為使得頂角的曲率半徑比底角的曲率半徑相對(duì)更大。
10.權(quán)利要求9所述的方法，其中鍍敷圖案的層的高度比該隔板稍大。
11.權(quán)利要求2所述的方法，其中在第一步中由光敏層形成的每個(gè)圖案的頂角和底角分別具有預(yù)定的曲率半徑。
12.權(quán)利要求11所述的方法，其中在第一步中的每個(gè)圖案的橫截面為梯形形狀，與其底側(cè)相比，其頂側(cè)相對(duì)大。
13.權(quán)利要求11或12所述的方法，其中在第二步中的每個(gè)鍍敷圖案的頂角和底角分別具有預(yù)定的曲率半徑。
14.權(quán)利要求13所述的方法，其中每個(gè)鍍敷圖案的頂角比其底角相對(duì)更大。
15.權(quán)利要求13或14所述的方法，其中鍍敷圖案的層的高度比隔板的高度稍高。
16.一種用于模制在平面顯示面板上的隔板的柔性模具，其包含光學(xué)透明材料的柔性薄膜；以及通過(guò)鍍敷由金屬材料在該柔性薄膜的頂表面上形成的鍍敷圖案的層，其中每個(gè)所述鍍敷圖案具有反轉(zhuǎn)隔板形狀。
17.權(quán)利要求16所述的柔性模具，其中每個(gè)鍍敷圖案的頂角和底角分別具有預(yù)定的曲率半徑。
18.權(quán)利要求17所述的柔性模具，其中每個(gè)鍍敷圖案的橫截面為梯形形狀，其頂側(cè)比其底側(cè)相對(duì)更大。
19.權(quán)利要求16或17所述的柔性模具，其中每個(gè)鍍敷圖案的頂角的曲率半徑比該底角的曲率半徑相對(duì)更大。
20.權(quán)利要求16或17所述的柔性模具，其中鍍敷圖案的層的高度比該隔板的高度稍大。
全文摘要
披露的是一種用于模制平面顯示面板的柔性模具及其制造方法。本發(fā)明制造柔性模具的方法包括第一步，在光學(xué)透明柔性薄膜上形成與該隔板相對(duì)應(yīng)的圖案；第二步，在該柔性薄膜上在與該隔板相對(duì)應(yīng)的圖案之間形成鍍敷圖案的層，每個(gè)該鍍敷圖案與反轉(zhuǎn)隔板形狀相對(duì)應(yīng)；以及第三步，將與該隔板相對(duì)應(yīng)的該圖案移除。此處，可以通過(guò)刻蝕光敏樹(shù)脂來(lái)執(zhí)行第一步。本發(fā)明的柔性模具包括光學(xué)透明材料的柔性薄膜，以及通過(guò)鍍敷金屬材料而在該柔性薄膜上形成的金屬鍍敷圖案的層，其中每個(gè)鍍敷圖案具有反轉(zhuǎn)隔板形狀。
文檔編號(hào)H01J9/00GK101046628SQ200610064459
公開(kāi)日2007年10月3日 申請(qǐng)日期2006年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月29日
發(fā)明者吳尚震, 吳承穆, 樸俊奎, 李惠真, 金智鉉, 洪淳國(guó), 柳永先 申請(qǐng)人:Lg電子株式會(huì)社