專利名稱:折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域,涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作,具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容,特別涉及一種折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù):
顯示器件是光電顯示系統(tǒng)中的核心,也一直是活動圖像的主要顯示手段。目前,平板顯示技術(shù)已經(jīng)有了飛躍的發(fā)展,在高清晰度電視,可視電話,計算機顯示器,汽車用數(shù)字化終端以及軍事系統(tǒng)等應用目標的推動下,顯示技術(shù)正在朝向高分辨率、大顯示容量、完全平板化以及大型化方向發(fā)展。碳納米管是一種薄薄的石墨層卷曲結(jié)構(gòu)物質(zhì),具有小的尖端曲率半徑,能夠在外界電場強度的作用下發(fā)射出大量的電子,也就是優(yōu)秀的冷場致發(fā)射功能。利用這一工作原理,已經(jīng)進行了碳納米管陰極的場致發(fā)射平板顯示器的研制。這種顯示器具有高清晰度、高顯示分辨率、高圖像質(zhì)量等優(yōu)點,業(yè)已成為了下一代平板顯示器件的發(fā)展方向。
柵極結(jié)構(gòu)是三極結(jié)構(gòu)碳納米管陰極場致發(fā)射平板顯示器中最為關(guān)鍵的控制元件之一,它直接決定著碳納米管陰極的電子發(fā)射。盡管目前柵極結(jié)構(gòu)的控制模式多種多樣,但實質(zhì)上是一致的,那就是將外界施加的電壓轉(zhuǎn)換為碳納米管陰極表面頂端的強大的電場強度,迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子。由于所發(fā)射的電子要受到柵極結(jié)構(gòu)正電壓的作用而被柵極進行部分電子截留,也就是柵極電流過于偏大的形成原因;而受到具體制作工藝以及制作材料的影響,柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離不能很近,這也是柵極電壓居高不下的主要原因。此外,碳納米管陰極的形狀也會對所形成的電場強度有著一定的影響作用,也會間接導致柵極電壓有些偏高。對于這些實際問題,目前還沒有一個比較完美的解決辦法,都需要眾多研究人員認真的考慮和解決。
此外,在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當中,在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下,還需要盡可能的降低總體器件成本,進行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的,包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔;設(shè)置在陽極玻璃面板上有陽極導電層以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層;位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件;在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及折彎型下柵控結(jié)構(gòu)。
所述的折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃,也就是陰極玻璃面板;陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層;阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層;柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔一層;間隔一層的上下表面均為平面,下表面要覆蓋住柵極引線層以及空余的阻滯層部分;間隔一層中存在斜面孔,即整個斜面孔為一個尖端朝向正下方的倒置尖角圓錐型形狀,斜面孔在間隔一層上表面處所形成的截面為中空的圓型孔,此處的倒置尖角圓錐型的底面直徑最大,然后從間隔一層的上表面開始,依次逐漸向間隔一層的內(nèi)部凹陷,直至到達間隔一層的下表面位置為止,斜面孔的內(nèi)側(cè)壁為一個直線傾斜面;間隔一層斜面孔中的底部要暴露出柵極引線層;間隔一層斜面孔中內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層;調(diào)控柵極層要布滿間隔一層斜面孔的內(nèi)側(cè)壁,且和底部的柵極引線層是相互連通的;間隔一層斜面孔中印刷的絕緣漿料層形成間隔二層;間隔二層要填充滿斜面孔,其上表面與間隔一層的上表面相平齊;間隔一層和間隔二層上表面的印刷的絕緣漿料層形成間隔三層;間隔三層的上下表面均為平面,其下表面要完全覆蓋住間隔一層和間隔二層的上表面;間隔三層中存在異型孔,即此異型孔為一個尖角向下的倒置直角三角型形狀,其側(cè)面直角邊形成了異型孔的豎直側(cè)壁,其底部直角邊開口于間隔三層的上表面,其斜邊垂直于調(diào)控柵極層方向,整個倒置直角三角型環(huán)繞在調(diào)控柵極層的周圍,形成一個直角三角環(huán)形形狀;間隔三層的上表面上刻蝕后的金屬層形成陰極引線層;間隔三層中異型孔的斜邊側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層;陰極過渡層布滿異型孔斜邊側(cè)壁上;陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導電層;陰極引線層、陰極過渡層以及陰極導電層都是相互連通的;陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層;碳納米管制備在陰極導電層上面。
所述的折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上;柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻;調(diào)控柵極層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻;陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的;陰極引線層可以為金屬金、銀、鋁、銅、鉬、鉻、錫、鉛、銦;陰極過渡層可以為金屬金、銀、鋁、銅、鉬、鉻、錫;陰極導電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝,其制作工藝如下
1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進行劃割,制作出陰極玻璃面板;2)阻滯層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層;3)柵極引線層的制作在阻滯層的上面制備出一個金屬層,刻蝕后形成柵極引線層;4)間隔一層的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔一層;5)調(diào)控柵極層的制作在間隔一層斜面孔中內(nèi)側(cè)壁上制備出一個金屬層,刻蝕后形成調(diào)控柵極層;6)間隔二層的制作在間隔一層斜面孔中印刷絕緣漿料層,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔二層;7)間隔三層的制作在間隔一層和間隔二層的上表面上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔三層;8)陰極引線層的制作在間隔三層的上表面上制備出一個金屬層,刻蝕后形成陰極引線層;9)陰極過渡層的制作在間隔三層異型孔斜邊側(cè)壁上制備出一個金屬層,刻蝕后形成陰極過渡層;10)陰極導電層的制作在陰極過渡層的上表面上制備出一個金屬層,刻蝕后形成陰極導電層;11)陰極覆蓋層的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層;12)折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理,除掉雜質(zhì)和灰塵;
13)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導電層上面;14)陽極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進行劃割,制作出陽極玻璃面板;15)陽極導電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層;刻蝕后形成陽極導電層;16)絕緣漿料層的制作在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層;17)熒光粉層的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層;18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和四周玻璃圍框裝配到一起,并將消氣劑放入到空腔當中,用低熔點玻璃粉固定;19)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟16具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層,用于防止寄生電子發(fā)射;經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃,保持時間5分鐘)之后,放置在燒結(jié)爐中進行高溫燒結(jié)(燒結(jié)溫度580℃,保持時間10分鐘)。
所述步驟17具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層;在烘箱當中進行烘烤(烘烤溫度120℃,保持時間10分鐘)。
所述步驟19具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤;放入燒結(jié)爐當中進行燒結(jié);在排氣臺上進行器件排氣、封離,在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消,最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先,在所述的折彎型下柵控結(jié)構(gòu)中,分別制作了柵極引線層和調(diào)控柵極層結(jié)構(gòu)。其中柵極引線層能夠?qū)⑼饨珉妷簜鬟f到器件內(nèi)部,而呈現(xiàn)V字型的調(diào)控柵極層則能夠?qū)⑼饨珉妷貉b換成碳納米管陰極表面頂端的強大電場強度,迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子。由于所發(fā)射的電子束在陽極高電壓作用下直接飛向陽極,不會受到底部柵極結(jié)構(gòu)的截留,這樣就極大地減小了柵極的工作電流,有助于增強器件的顯示亮度;由于調(diào)控柵極層的末端可以盡可能的接近于碳納米管陰極,從而能夠極大的降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。
其次,在所述的折彎型下柵控結(jié)構(gòu)中,將碳納米管陰極制備在了呈現(xiàn)斜面型的陰極導電層的上面。改變了宏觀碳納米管陰極的表面形狀,有助于增強碳納米管陰極的表面電場強度,間接降低柵極的工作電壓。極大地增加了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積,使得更多的碳納米管陰極都參與電子發(fā)射,有利于提高陽極工作電流。將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起,有助于促進整體器件的高度集成化發(fā)展;此外,在所述的折彎型下柵控結(jié)構(gòu)中,并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料,也沒有采用特殊的器件制作工藝,這在很大程度上就進一步降低了整體平板顯示器件的制作成本,簡化了器件的制作過程,能夠進行大面積的器件制作,有利于進行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。
圖1給出了折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖;圖2給出了折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖;圖3給出了帶有折彎型下柵控結(jié)構(gòu)發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明,但本發(fā)明并不限于實施例。
所述的一種帶有折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器,包括由陽極玻璃面板[13]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[18]所構(gòu)成的密封真空腔;在陽極玻璃面板上有陽極導電層[14]以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層[16];在陰極玻璃面板上有柵極引線層[3]、碳納米管[12]以及折彎型下柵控結(jié)構(gòu);位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[17]以及消氣劑[19]附屬元件。
所述的折彎型下柵控結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、阻滯層[2]、柵極引線層[3]、間隔一層[4]、調(diào)控柵極層[5]、間隔二層[6]、間隔三層[7]、陰極引線層[8]、陰極過渡層[9]、陰極導電層[10]、陰極覆蓋層[11]和碳納米管[12]部分。
所述的折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃,如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃,也就是陰極玻璃面板;陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層;阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層;柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔一層;間隔一層的上下表面均為平面,下表面要覆蓋住柵極引線層以及空余的阻滯層部分;間隔一層中存在斜面孔,即整個斜面孔為一個尖端朝向正下方的倒置尖角圓錐型形狀,斜面孔在間隔一層上表面處所形成的截面為中空的圓型孔,此處的倒置尖角圓錐型的底面直徑最大,然后從間隔一層的上表面開始,依次逐漸向間隔一層的內(nèi)部凹陷,直至到達間隔一層的下表面位置為止,斜面孔的內(nèi)側(cè)壁為一個直線傾斜面;間隔一層斜面孔中的底部要暴露出柵極引線層;間隔一層斜面孔中內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層;調(diào)控柵極層要布滿間隔一層斜面孔的內(nèi)側(cè)壁,且和底部的柵極引線層是相互連通的;間隔一層斜面孔中印刷的絕緣漿料層形成間隔二層;間隔二層要填充滿斜面孔,其上表面與間隔一層的上表面相平齊;間隔一層和間隔二層上表面的印刷的絕緣漿料層形成間隔三層;間隔三層的上下表面均為平面,其下表面要完全覆蓋住間隔一層和間隔二層的上表面;間隔三層中存在異型孔,即此異型孔為一個尖角向下的倒置直角三角型形狀,其側(cè)面直角邊形成了異型孔的豎直側(cè)壁,其底部直角邊開口于間隔三層的上表面,其斜邊垂直于調(diào)控柵極層方向,整個倒置直角三角型環(huán)繞在調(diào)控柵極層的周圍,形成一個直角三角環(huán)形形狀;間隔三層的上表面上刻蝕后的金屬層形成陰極引線層;間隔三層中異型孔的斜邊側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層;陰極過渡層布滿異型孔斜邊側(cè)壁上;陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導電層;陰極引線層、陰極過渡層以及陰極導電層都是相互連通的;陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層;碳納米管制備在陰極導電層上面。
所述的折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上;柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻;調(diào)控柵極層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻;陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的;陰極引線層可以為金屬金、銀、鋁、銅、鉬、鉻、錫、鉛、銦;陰極過渡層可以為金屬金、銀、鋁、銅、鉬、鉻、錫;陰極導電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種帶有折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝,其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割,制作出陰極玻璃面板;2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層;3)柵極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個金屬鉻層,刻蝕后形成柵極引線層;4)間隔一層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔一層;5)調(diào)控柵極層[5]的制作在間隔一層斜面孔中內(nèi)側(cè)壁上制備出一個金屬鉻層,刻蝕后形成調(diào)控柵極層;6)間隔二層[6]的制作在間隔一層斜面孔中印刷絕緣漿料層,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔二層;7)間隔三層[7]的制作在間隔一層和間隔二層的上表面上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔三層;8)陰極引線層[8]的制作在間隔三層的上表而上制備出一個金屬鉬層,刻蝕后形成陰極引線層;9)陰極過渡層[9]的制作在間隔三層異型孔斜邊側(cè)壁上制備出一個金屬鉻層,刻蝕后形成陰極過渡層;10)陰極導電層[10]的制作在陰極過渡層的上表面上制備出一個金屬鎳層,刻蝕后形成陰極導電層;11)陰極覆蓋層[11]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層;12)折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理,除掉雜質(zhì)和灰塵;13)碳納米管[12]的制備將碳納米管制備在陰極導電層上面;14)碳納米管的后處理對碳納米管進行后處理,改善場致發(fā)射特性;15)陽極玻璃面板[13]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割,制作出陽極玻璃面板;16)陽極導電層[14]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層;刻蝕后形成陽極導電層;17)絕緣漿料層[15]的制作在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層;18)熒光粉層[16]的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層;19)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[18]裝配到一起,并將消氣劑[19]放入到空腔當中,用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉,用夾子固定;20)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟17具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層,用于防止寄生電子發(fā)射;經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃,保持時間5分鐘)之后,放置在燒結(jié)爐中進行高溫燒結(jié)(燒結(jié)溫度580℃,保持時間10分鐘)。
所述步驟18具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層;在烘箱當中進行烘烤(烘烤溫度120℃,保持時間10分鐘)。
所述步驟20具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤;放入燒結(jié)爐當中進行燒結(jié);在排氣臺上進行器件排氣、封離,在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消,最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器,包括由陽極玻璃面板[13]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[18]所構(gòu)成的密封真空腔;設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導電層[14]以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層[16];位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[17]以及消氣劑附屬元件[19],其特征在于在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層[3]、碳納米管[12]以及折彎型下柵控結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器,其特征在于所述的折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃,也就是陰極玻璃面板;陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層;阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層;柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔一層;間隔一層的上下表面均為平面,下表面要覆蓋住柵極引線層以及空余的阻滯層部分;間隔一層中存在斜面孔,即整個斜面孔為一個尖端朝向正下方的倒置尖角圓錐型形狀,斜面孔在間隔一層上表面處所形成的截面為中空的圓型孔,此處的倒置尖角圓錐型的底面直徑最大,然后從間隔一層的上表面開始,依次逐漸向間隔一層的內(nèi)部凹陷,直至到達間隔一層的下表面位置為止,斜面孔的內(nèi)側(cè)壁為一個直線傾斜面;間隔一層斜面孔中的底部要暴露出柵極引線層;間隔一層斜面孔中內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層;調(diào)控柵極層要布滿間隔一層斜面孔的內(nèi)側(cè)壁,且和底部的柵極引線層是相互連通的;間隔一層斜面孔中印刷的絕緣漿料層形成間隔二層;間隔二層要填充滿斜面孔,其上表面與間隔一層的上表面相平齊;間隔一層和間隔二層上表面的印刷的絕緣漿料層形成間隔三層;間隔三層的上下表面均為平面,其下表面要完全覆蓋住間隔一層和間隔二層的上表面;間隔三層中存在異型孔,即此異型孔為一個尖角向下的倒置直角三角型形狀,其側(cè)面直角邊形成了異型孔的豎直側(cè)壁,其底部直角邊開口于間隔三層的上表面,其斜邊垂直于調(diào)控柵極層方向,整個倒置直角三角型環(huán)繞在調(diào)控柵極層的周圍,形成一個直角三角環(huán)形形狀;間隔三層的上表面上刻蝕后的金屬層形成陰極引線層;間隔三層中異型孔的斜邊側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層;陰極過渡層布滿異型孔斜邊側(cè)壁上;陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導電層;陰極引線層、陰極過渡層以及陰極導電層都是相互連通的;陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層;碳納米管制備在陰極導電層上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器,其特征在于所述的折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上;柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻;調(diào)控柵極層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻;陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直;陰極引線層為金屬金、銀、鋁、銅、鉬、鉻、錫、鉛、銦;陰極過渡層為金屬金、銀、鋁、銅、鉬、鉻、錫;陰極導電層為金屬鐵、鈷、鎳。
4.一種折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝,其特征在于,其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃進行劃割,制作出陰極玻璃面板;2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層;3)柵極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個金屬層,刻蝕后形成柵極引線層;4)間隔一層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔一層;5)調(diào)控柵極層[5]的制作在間隔一層斜面孔中內(nèi)側(cè)壁上制備出一個金屬層,刻蝕后形成調(diào)控柵極層;6)間隔二層[6]的制作在間隔一層斜面孔中印刷絕緣漿料層,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔二層;7)間隔三層[7]的制作在間隔一層和間隔二層的上表面上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔三層;8)陰極引線層[8]的制作在間隔三層的上表面上制備出一個金屬層,刻蝕后形成陰極引線層;9)陰極過渡層[9]的制作在間隔三層異型孔斜邊側(cè)壁上制備出一個金屬鉻層,刻蝕后形成陰極過渡層;10)陰極導電層[10]的制作在陰極過渡層的上表面上制備出一個金屬層,刻蝕后形成陰極導電層;11)陰極覆蓋層[11]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層;12)折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理,除掉雜質(zhì)和灰塵;13)碳納米管[12]的制備將碳納米管制備在陰極導電層上面;14)陽極玻璃面板[13]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割,制作出陽極玻璃面板;15)陽極導電層[14]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層;刻蝕后形成陽極導電層;16)絕緣漿料層[15]的制作在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層;17)熒光粉層[16]的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層;18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[18]裝配到一起,并將消氣劑[19]放入到空腔當中,用低熔點玻璃粉固定;19)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝,其特征在于所述步驟16具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層,用于防止寄生電子發(fā)射;經(jīng)過烘烤,烘烤溫度150℃,保持時間5分鐘,之后,放置在燒結(jié)爐中進行高溫燒結(jié),燒結(jié)溫度580℃,保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝,其特征在于所述步驟17具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層;在烘箱當中進行烘烤,烘烤溫度120℃,保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝,其特征在于所述步驟19具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤;放入燒結(jié)爐當中進行燒結(jié);在排氣臺上進行器件排氣、封離,在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消,最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種折彎型下柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝,包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔;設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導電層以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層;在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及折彎型下柵控結(jié)構(gòu);位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件,能夠進一步增大碳納米管陰極的電子發(fā)射面積,降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓,提高器件的陽極電流,具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J29/04GK101075539SQ20071005460
公開日2007年11月21日 申請日期2007年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月19日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學院