專利名稱：尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管場致發(fā)射平板顯示器是利用碳納米管冷陰極發(fā)射的電子數(shù)轟擊熒光粉層而發(fā)出可見光的顯示器，它與陰極射線管顯示器很相似，其基本工作原理也相同，因此有時將場致發(fā)射顯示器成為扁平CRT。場致發(fā)射顯示技術(shù)能夠把陰極射線管顯示器的明亮清晰與液晶顯示器的重量輕、超薄型相結(jié)合起來，結(jié)果是具有液晶顯示器的輕便、陰極射線管顯示器的快響應(yīng)速度以及比液晶顯示器大得多的亮度和視角。碳納米管場致發(fā)射平板顯示器則是一種新型的平面型顯示設(shè)備，業(yè)已代表了新一代國際平板顯示技術(shù)的發(fā)展方向。
為了降低總體器件成本，以便于和常規(guī)的集成驅(qū)動電路相聯(lián)系，制作三極結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射顯示器件已經(jīng)成為了一種必然的選擇。目前，在所制作的大多數(shù)顯示器件中，柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓仍然是居高不下，柵極電流過于偏大，還很難用常規(guī)的集成電路來進行驅(qū)動。盡管進一步縮減柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離，是減小柵極電壓的最直接最有效的方法，但是也要受到絕緣材料的絕緣程度、材料屬性以及制作工藝等各種因素的制約，不可能無限制的接近，同時還要防止二者之間在高電場強度下發(fā)生電學(xué)擊穿現(xiàn)象的出現(xiàn)。另外，碳納米管陰極的電子發(fā)射能力也會對整體器件的顯示亮度和圖像質(zhì)量造成一定的影響，而目前對此還缺乏相應(yīng)的調(diào)整措施。因此，在實際器件的制作過程中，究竟采用何種柵極結(jié)構(gòu)控制模式，如何進一步降低柵極的工作電壓，如何進一步增大碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，等等問題，都需要進一步的思考和加以解決。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的帶有一種尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)。
所述的尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成柵極升高層；柵極升高層呈現(xiàn)尖角圓錐型形狀，底部坐落于柵極引線層的上面；柵極升高層表面上刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層布滿柵極升高層的上表面，并和柵極引線層相互連通；調(diào)控柵極層上面的印刷絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面完全覆蓋柵極引線層以及調(diào)控柵極層；間隔層的高度高于柵極升高層的高度；間隔層上表面為平面；間隔層上表面上存在類似字母W型異型孔，即此異型孔在間隔層的上表面的截面為中空的圓型面，此處的圓型面直徑最大，從間隔層的上表面開始，逐漸向間隔層的內(nèi)部凹陷，其側(cè)面形成一個傾斜面；間隔層異型孔的下表面中心為一個圓盤面型形狀，此圓盤面的中心位置和底部柵極升高層的尖角位于同一個垂直面上，即在垂直角度上看，柵極升高層尖角的位置也就使間隔層異型孔下表面中心圓盤面的圓心位置，在間隔層異型孔下表面圓盤面的周圍存在著一個尖角向下的倒置三角形形狀，此倒置三角形的尖角向下，一條斜邊的上面相接于圓盤面的周圍，其斜面的傾斜角度與柵極升高層側(cè)面的傾斜角度相同，另一條斜邊相接于異型孔外側(cè)面的傾斜面，也就是構(gòu)成了異型孔的外部側(cè)面；異型孔下表面的中心圓盤面的高度要高于柵極升高層尖角的高度；間隔層異型孔內(nèi)表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層布滿間隔層異型孔的內(nèi)表面；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；間隔層上表面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層和陰極過渡層、陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫、銅；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；
2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；4)柵極升高層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極升高層；5)調(diào)控柵極層[5]的制作在柵極升高層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；6)間隔層[6]的制作在調(diào)控柵極層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；7)陰極過渡層[7]的制作在間隔層上異型孔內(nèi)表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；8)陰極導(dǎo)電層[8]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；9)陰極引線層[9]的制作在間隔層的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；10)陰極覆蓋層[10]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；11)尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；12)碳納米管[11]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；13)陽極玻璃面板[12]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；
14)陽極導(dǎo)電層[13]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；15)絕緣漿料層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；16)熒光粉層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；17)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[16]和四周玻璃圍框[17]裝到一起，將消氣劑[18]放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定；18)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟19具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)中，將柵極結(jié)構(gòu)制作在碳納米管陰極結(jié)構(gòu)的正下方。當在柵極結(jié)構(gòu)上施加適當電壓以后，就會在碳納米管陰極表面頂端形成強大的電場強度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子，從而體現(xiàn)了柵極結(jié)構(gòu)的強大控制功能。由于柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)的下方，從碳納米管陰極所發(fā)射的電子不會受到柵極結(jié)構(gòu)的截留，極大的減小了柵極電流。由于柵極結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)尖角圓錐狀形狀，這樣在確保柵極結(jié)構(gòu)的強有力控制功能的同時，還有利于減小柵極-陰極結(jié)構(gòu)之間的電容效應(yīng)，有助于提高器件的工作頻率。
其次，在所述的尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)中，將碳納米管陰極制備在了陰極導(dǎo)電層的上面，而陰極導(dǎo)電層位于呈現(xiàn)類似于字母W型的異型孔內(nèi)表面上。這樣，充分利用了碳納米管陰極的邊緣位置能夠發(fā)射大量電子的特有現(xiàn)象，提高了碳納米管陰極的電子發(fā)射效率；增大了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管陰極都參與電子發(fā)射；同時有效的縮減了柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離，降低了柵極的工作電壓。將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促進整體器件的高度集成化發(fā)展；此外，在所述的尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進行大面積的器件制作，有利于進行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明，但并不局限于這些實施例。
所述的尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[12]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[17]構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層[13]以及制在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[15]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[16]以及消氣劑[18]附屬元件，在陰極玻璃面板上有柵極引線層[3]、碳納米管[11]以及尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)。
所述的尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、柵極引線層[3]、柵極升高層[4]、調(diào)控柵極層[5]、間隔層[6]、陰極過渡層[7]、陰極導(dǎo)電層[8]、陰極引線層[9]、陰極覆蓋層[10]和碳納米管[11]部分。
所述的尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極升高層；柵極升高層呈現(xiàn)尖角圓錐型形狀，底部坐落于柵極引線層的上面；柵極升高層表面上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層布滿柵極升高層的上表面，并和柵極引線層是相互連通的；調(diào)控柵極層上面的印刷絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面要完全覆蓋住柵極引線層以及調(diào)控柵極層；間隔層的高度要高于柵極升高層的高度；間隔層的上表面為平面；間隔層的上表面上存在類似字母W型異型孔，即此異型孔在間隔層的上表面的截面為中空的圓型面，此處的圓型面直徑最大，從間隔層的上表面開始，逐漸向間隔層的內(nèi)部凹陷，其側(cè)面形成一個傾斜面；間隔層異型孔的下表面中心為一個圓盤面型形狀，此圓盤面的中心位置和底部柵極升高層的尖角位于同一個垂直面上，也就是說，在垂直角度上看，柵極升高層尖角的位置也就使間隔層異型孔下表面中心圓盤面的圓心位置，在間隔層異型孔下表面圓盤面的周圍存在著一個尖角向下的倒置三角形形狀，此倒置三角形的尖角向下，一條斜邊的上面相接于圓盤面的周圍，其斜面的傾斜角度與柵極升高層側(cè)面的傾斜角度相同，另一條斜邊相接于異型孔外側(cè)面的傾斜面，也就是構(gòu)成了異型孔的外部側(cè)面；異型孔下表面的中心圓盤面的高度要高于柵極升高層尖角的高度；間隔層異型孔內(nèi)表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層布滿間隔層異型孔的內(nèi)表面；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；間隔層上表面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層和陰極過渡層、陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫、銅；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；4)柵極升高層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極升高層；5)調(diào)控柵極層[5]的制作在柵極升高層的上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；6)間隔層[6]的制作在調(diào)控柵極層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；7)陰極過渡層[7]的制作在間隔層上異型孔內(nèi)表面上制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過渡層；
8)陰極導(dǎo)電層[8]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；9)陰極引線層[9]的制作在間隔層的上表面上制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；10)陰極覆蓋層[10]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；11)尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；12)碳納米管[11]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；13)碳納米管的后處理對碳納米管進行后處理，改善場致發(fā)射特性；14)陽極玻璃面板[12]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；15)陽極導(dǎo)電層[13]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；17)熒光粉層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[16]和四周玻璃圍框[17]裝配到一起，并將消氣劑[18]放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；19)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟19具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[12]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[17]所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層[13]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[15]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[16]以及消氣劑[18]附屬元件；其特征在于在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層[3]、碳納米管[11]以及尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極升高層；柵極升高層呈現(xiàn)尖角圓錐型形狀，底部坐落于柵極引線層的上面；柵極升高層表面上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層布滿柵極升高層的上表面，并和柵極引線層是相互連通的；調(diào)控柵極層上面的印刷絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面要完全覆蓋住柵極引線層以及調(diào)控柵極層；間隔層的高度要高于柵極升高層的高度；間隔層的上表面為平面；間隔層的上表面上存在類似字母W型異型孔，即此異型孔在間隔層的上表面的截面為中空的圓型面，此處的圓型面直徑最大，從間隔層的上表面開始，逐漸向間隔層的內(nèi)部凹陷，其側(cè)面形成一個傾斜面；間隔層異型孔的下表面中心為一個圓盤面型形狀，此圓盤面的中心位置和底部柵極升高層的尖角位于同一個垂直面上，也就是說，在垂直角度上看，柵極升高層尖角的位置也就使間隔層異型孔下表面中心圓盤面的圓心位置，在間隔層異型孔下表面圓盤面的周圍存在著一個尖角向下的倒置三角形形狀，此倒置三角形的尖角向下，一條斜邊的上面相接于圓盤面的周圍，其斜面的傾斜角度與柵極升高層側(cè)面的傾斜角度相同，另一條斜邊相接于異型孔外側(cè)面的傾斜面，也就是構(gòu)成了異型孔的外部側(cè)面；異型孔下表面的中心圓盤面的高度要高于柵極升高層尖角的高度；間隔層異型孔內(nèi)表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層布滿間隔層異型孔的內(nèi)表面；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；間隔層上表面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層和陰極過渡層、陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫、銅；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
4.一種尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃劃割，制出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層上面制出金屬層，刻蝕形成柵極引線層；4)柵極升高層[4]的制作在柵極引線層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極升高層；5)調(diào)控柵極層[5]的制作在柵極升高層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；6)間隔層[6]的制作在調(diào)控柵極層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；7)陰極過渡層[7]的制作在間隔層上異型孔內(nèi)表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；8)陰極導(dǎo)電層[8]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；9)陰極引線層[9]的制作在間隔層的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；10)陰極覆蓋層[10]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；11)尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；12)碳納米管[11]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；13)陽極玻璃面板[12]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；14)陽極導(dǎo)電層[13]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；15)絕緣漿料層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；16)熒光粉層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；17)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[16]和四周玻璃圍框[17]裝配到一起，并將消氣劑[18]放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定；18)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟15具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟18具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及尖角下柵控型陰極結(jié)構(gòu)；能夠有效地降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，提高碳納米管的電子發(fā)射效率；具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J1/304GK101071738SQ20071005462
公開日2007年11月14日 申請日期2007年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月19日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院