專利名稱：玻璃基板的缺陷修正方法、玻璃基板的制造方法、顯示面板用玻璃基板和顯示面板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于構(gòu)成顯示面板的玻璃基板的缺陷修正。
背景技術(shù)：
構(gòu)成液晶顯示面板、等離子體顯示面板(PDP)等平板顯示器用面板的基板多使用 玻璃基板。對(duì)于該平板顯示器用的玻璃基板(以下，簡(jiǎn)稱為"玻璃基板")的要求，隨著近年 來顯示器的大畫面化變得更嚴(yán)格。 作為對(duì)玻璃基板的一個(gè)要求，期望降低玻璃基板的缺陷。這里，玻璃基板的缺陷是
指內(nèi)部泡、內(nèi)部異物等內(nèi)部缺陷，以及形成于表面的突起、損傷等表面缺陷。 使用具有缺陷的玻璃基板制作平板顯示器時(shí)，在缺陷的附近會(huì)產(chǎn)生亮點(diǎn)或黑點(diǎn)等
顯示不良。從而，期望玻璃基板的缺陷盡可能地少。 這里，對(duì)玻璃基板的缺陷的產(chǎn)生原因進(jìn)行說明。 內(nèi)部泡是在制造玻璃基板時(shí)的熔解玻璃原料的工序中，由于巻入的空氣或從耐火 材料釋放的氣體等在熔解后的玻璃原料中形成氣泡而產(chǎn)生的。而且，根據(jù)所使用的玻璃原 料的不同，也存在玻璃原料自身產(chǎn)生氣體的情況。這樣的內(nèi)部泡根據(jù)體積以某概率存在，并 且難以降低其概率。另外，當(dāng)存在于玻璃基板中的氣泡的位置接近表面時(shí)，也存在在玻璃基 板的表面形成突起(包括隆起和起伏)的情況。 內(nèi)部異物包括由原料造成的異物和由來自外部的污染造成的異物。作為由原料造 成的內(nèi)部異物，包括由于玻璃原料沒有熔解(melt)而殘留從而形成的異物、和混合存在于 玻璃原料中的難熔解的異物。此外，作為來自外部的污染，存在由于在熔解玻璃原料時(shí)使用 的耐火材料混入玻璃中而變成異物的情況。另外，在存在于玻璃基板中的異物的位置接近 表面的情況下，與內(nèi)部泡同樣，也存在在玻璃基板的表面產(chǎn)生突起(包括隆起和起伏)的情 況。 形成于玻璃基板的表面上的突起是如上述那樣伴隨內(nèi)部泡、內(nèi)部異物而產(chǎn)生的表 面缺陷。 此外，形成于玻璃基板的表面的損傷是在從被稱為原板的大型玻璃板切出玻璃基 板并實(shí)施周邊加工的加工工序中，由于玻璃基板彼此接觸等而形成的。
然而，已知有如下技術(shù)該技術(shù)盡管不是用于處理上述玻璃基板的缺陷的技術(shù)，但 是為了消除由不良(不合格)像素造成的亮點(diǎn)不良，在玻璃基板的與不良像素對(duì)應(yīng)的區(qū)域 形成凹部，通過在該凹部填充遮光性樹脂而防止光的泄漏(例如，參照專利文獻(xiàn)1、2)。
此外，還已知有通過研磨將形成于液晶顯示面板的彩色濾光片上的微小突起除去 的研磨裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)3)。 專利文獻(xiàn)1 :日本國公開專利公報(bào)"特開平5-210074號(hào)公報(bào)(
公開日1993年8月 20日)" 專利文獻(xiàn)2 :日本國公開專利公報(bào)"特開2005-189360號(hào)公報(bào)(
公開日2005年7月14日)" 專利文獻(xiàn)3 :日本國公開專利公報(bào)"特開平6-313871號(hào)公報(bào)(
公開日1994年11 月8曰)" 上述的玻璃基板的缺陷能夠引起平板顯示器的顯示不良。 例如當(dāng)存在某個(gè)程度的大小(例如直徑100i!m以上)的內(nèi)部泡時(shí)，其附近作為亮 點(diǎn)被觀察到。雖然對(duì)由于內(nèi)部泡而產(chǎn)生亮點(diǎn)的機(jī)制(mechanism)不是很明確，但是認(rèn)為由 于存在內(nèi)部泡，由內(nèi)部泡周邊的玻璃產(chǎn)生的透鏡效果、以及由殘留于內(nèi)部泡周邊的玻璃中 的應(yīng)力導(dǎo)致的偏振狀態(tài)的紊亂等是其原因。 此外，在存在某個(gè)程度的大小的內(nèi)部異物的情況下，當(dāng)內(nèi)部異物由遮光性的材料 構(gòu)成時(shí)也會(huì)產(chǎn)生黑點(diǎn)。 進(jìn)而，對(duì)于突起、損傷等表面缺陷，在與玻璃基板的本來的表面不同的方向上形成 微小的折射面、反射面，其結(jié)果是能夠產(chǎn)生因此而造成的亮點(diǎn)。 因此，從顯示品質(zhì)的觀點(diǎn)出發(fā)，較為理想的是使用沒有缺陷的玻璃基板，但是不可 能制造出這樣的玻璃基板。此外，即使通過修改玻璃基板的制造工序能夠?qū)⑷毕莸漠a(chǎn)生降 低至某個(gè)程度，但歸根結(jié)底也是有限度的。 另一方面，在令包含導(dǎo)致顯示不良的缺陷的玻璃基板全部成為不良品(不合格 品)的情況下，不但會(huì)導(dǎo)致成品率降低，甚至?xí)鸩ＡЩ搴推桨屣@示器的成本升高等 問題。特別是，在與大畫面對(duì)應(yīng)的大型玻璃基板中，在概率上易包含缺陷，因此成品率下降 的問題較為嚴(yán)重。 因此，要求一種技術(shù)，即使在所制造的玻璃基板中包含缺陷，該技術(shù)也可以通過修 正該缺陷而使其成為良品(合格品)。 另外，這樣的要求，對(duì)于構(gòu)成液晶顯示面板和等離子體顯示面板等平板顯示器用 面板的玻璃基板而言是共同的，但是基于以下理由，特別是在液晶顯示面板用的玻璃基板 中很顯著。 在液晶顯示面板用的玻璃基板，需要在其表面形成半導(dǎo)體元件，而半導(dǎo)體元件易 受到來自堿金屬的不良影響。因此，液晶顯示面板用的玻璃基板通常使用不包含堿金屬作 為添加成分(作為雜質(zhì)的堿金屬為1%以下)的無堿玻璃。然而，由于無堿玻璃熔點(diǎn)高，因 此在無堿玻璃中，當(dāng)玻璃原料熔解時(shí)氣泡難以排出，易殘留內(nèi)部泡。從而，因?yàn)橐壕э@示面 板用的玻璃基板容易包含作為內(nèi)部泡的缺陷，所以特別對(duì)通過修正缺陷進(jìn)行良品化的技術(shù) 的要求特別高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其目的是提供一種在用于構(gòu)成顯示面板的玻璃 基板中修正缺陷的技術(shù)。 作為解決上述問題的方法，雖然存在例如用鉆頭(drill)削除玻璃基板的缺陷部 位的玻璃材料的方法，但是盡管能夠在一定程度上除去修正對(duì)象的缺陷部分的玻璃材料， 也難以完全除去氣泡周圍的玻璃。 此外，作為完全修正玻璃基板的缺陷的方法，考慮用砥石(磨石)削除玻璃基板的 缺陷部位的玻璃材料的方法，但是由于使砥石與玻璃基板直接接觸，因此由于砥石對(duì)玻璃
5基板施加的壓力、以及由砥石和玻璃基板的摩擦產(chǎn)生的加工熱，可能對(duì)玻璃基板造成損傷。
于是，本申請(qǐng)的發(fā)明人等經(jīng)努力研究而得到的結(jié)果是，發(fā)現(xiàn)向玻璃基板噴射成為砥粒(abrasive)的粉體的砥粒噴射，作為不會(huì)對(duì)玻璃基板造成損傷而容易地完全修正玻璃基板的缺陷的方法是有效的。另外，所噴射的除粉體(粉狀體powder)以外，可以是流體，也可以是包含粉體的流體。 為了解決上述問題，本發(fā)明的玻璃基板的缺陷修正方法是用于構(gòu)成顯示面板的玻璃基板的缺陷修正方法，其特征在于對(duì)形成于上述玻璃基板的修正對(duì)象缺陷所處的部位，噴射粉體和流體中的至少一方，進(jìn)行從該玻璃基板至少除去包含上述修正對(duì)象缺陷的區(qū)域的玻璃材料的除去加工。 根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，對(duì)形成于玻璃基板的修正對(duì)象缺陷所處的部位噴射粉體和流體中的至少一方，進(jìn)行從該玻璃基板至少除去包含上述修正對(duì)象缺陷的區(qū)域的玻璃材料的加工，由此，能夠不會(huì)對(duì)玻璃基板造成損傷地容易而完全地修正玻璃基板的缺陷。
S卩，在上述結(jié)構(gòu)的修正缺陷方法中，因?yàn)槔帽粐娚涞姆垠w或流體碰撞包含修正對(duì)象缺陷的區(qū)域而產(chǎn)生的微細(xì)的脆性加工(microfabrication process)的積累進(jìn)行研磨，所以能夠進(jìn)行微細(xì)的加工(研磨)，從而能夠容易地對(duì)成為除去對(duì)象的部位的玻璃材料的研磨量進(jìn)行調(diào)整。由此，能夠不對(duì)玻璃基板造成損傷地容易且完全地修正玻璃基板的缺陷。
這里，通過進(jìn)行從玻璃基板除去至少包含修正對(duì)象缺陷的區(qū)域的玻璃材料的加工，能夠緩和由修正對(duì)象缺陷造成的顯示不良。 上述修正對(duì)象缺陷包括形成于玻璃基板的內(nèi)部的內(nèi)部缺陷(內(nèi)部泡等)和形成于玻璃基板的表面的表面缺陷(突起、損傷等)。 在上述修正對(duì)象缺陷是形成于上述玻璃基板的內(nèi)部的內(nèi)部缺陷的情況下，在上述
的除去加工中，優(yōu)選對(duì)形成于上述玻璃基板的內(nèi)部缺陷所處的部位噴射粉體和流體中的至
少一方，從該玻璃基板的表面至少到達(dá)上述內(nèi)部缺陷地除去玻璃材料。 此外，在上述除去加工中，優(yōu)選將圍繞上述內(nèi)部缺陷的玻璃材料一并除去。 在上述方法中，不僅除去從玻璃基板的表面至內(nèi)部缺陷的玻璃材料，還一并除去
包圍內(nèi)部缺陷的玻璃材料、即內(nèi)部缺陷的側(cè)面和背面?zhèn)鹊牟ＡР牧希纱四軌蜻M(jìn)一步減輕
上述透鏡效果、偏振狀態(tài)的紊亂。 另一方面，在上述修正對(duì)象缺陷是形成于上述玻璃基板的表面的突起的情況下，在上述除去加工中，優(yōu)選對(duì)形成于上述玻璃基板的表面的突起所處的部位噴射粉體和流體中的至少一方，除去玻璃材料，使得該玻璃基板的表面平坦。 在上述方法中，通過噴射粉體和流體中的至少一方而除去玻璃材料，使上述突起平坦。這里，使突起平坦是指通過除去突起的一部分或全部而降低突起的高度。在使突起平坦時(shí)，也可以在該部分形成稍微的凹陷。 由此，能夠使形成有突起的表面接近本來的表面形狀。其結(jié)果是，能夠使得難以產(chǎn)生由上述突起造成的亮點(diǎn)。 這樣，在上述方法中，能夠修正玻璃基板的表面缺陷，使得由玻璃基板的表面缺陷造成的顯示不良被緩和。 此外，在上述修正對(duì)象缺陷是形成于上述玻璃基板的表面的損傷的情況下，在上述除去加工中，優(yōu)選對(duì)形成于上述玻璃基板的表面的損傷所處的部位噴射粉體和流體中的至少一方，除去玻璃材料，使得由該玻璃基板的損傷形成的表面平滑。 在上述方法中，通過噴射粉體和流體中的至少一方除去玻璃材料，從而使上述損傷平滑。這里，使由損傷形成的表面平滑是指，使相對(duì)于玻璃基板的本來的表面，由損傷形成的表面所形成的角度較小。 由此，能夠使形成有損傷的表面接近本來的表面形狀。其結(jié)果是，能夠使得難以產(chǎn)生由上述損傷造成的亮點(diǎn)。 這樣，在上述方法中，能夠修正玻璃基板的表面缺陷，使得由玻璃基板的表面缺陷造成的顯示不良被緩和。 在上述除去加工中，優(yōu)選將圍繞形成于上述玻璃基板的表面的突起或損傷的玻璃材料一并除去。 在上述方法中，通過將圍繞形成于玻璃基板的表面的突起或損傷的玻璃材料一并除去，能夠進(jìn)一步減輕上述透鏡效果、偏振狀態(tài)的紊亂。 上述粉體優(yōu)選為氧化鋁。該氧化鋁的硬度(莫式Mohs)是9，優(yōu)選用作研磨用的砥粒。 被噴射至與上述玻璃基板的修正對(duì)象缺陷相當(dāng)?shù)牟课坏?、進(jìn)行研磨的粉體，因?yàn)闅埩粼谘心ゲ课?，所以妨礙后續(xù)的粉體的噴射進(jìn)行的研磨，越持續(xù)進(jìn)行粉體的噴射，則研磨
效率越降低。 因此，在上述除去加工中，在通過噴射粉體除去玻璃材料的情況下，交替地進(jìn)行粉體的噴射和僅有作為用于噴射粉體的介質(zhì)的空氣的噴射。 在上述的方法中，由于交替地進(jìn)行玻璃基板的修正對(duì)象部位的研磨和殘留于研磨部位的粉體等殘留物的除去，因此能夠消除無用的粉體的殘留，其結(jié)果是，能夠提高研磨效率。 優(yōu)選在通過上述除去加工除去玻璃材料后的部位填充透明材料。
在上述方法中，在通過除去加工除去玻璃材料后的部位(凹陷、槽等)填充透明材料(個(gè)體)，由此，與該部位內(nèi)為空的狀態(tài)相比，能夠使該部位的折射率變化變小。其結(jié)果是，能夠使得通過上述除去加工除去玻璃材料后的部位不易變得明顯。 此外，在上述缺陷修正方法中，上述玻璃基板也可以是用于構(gòu)成液晶顯示面板的玻璃基板。 用于構(gòu)成液晶顯示面板的玻璃基板，由于堿金屬的含有量少而熔點(diǎn)高，因此易產(chǎn)生內(nèi)部泡。從而，除去上述的內(nèi)部缺陷的方法對(duì)用于構(gòu)成液晶顯示面板的玻璃基板而言特別有效。 另外，上述的各缺陷修正方法也能夠作為玻璃基板的制造方法來掌握。 本發(fā)明的玻璃基板的制造方法是用于構(gòu)成顯示面板的玻璃基板的制造方法，其特
征在于，包括對(duì)形成于上述玻璃基板的修正對(duì)象缺陷所處的部位噴射粉體和流體中的至
少一方，進(jìn)行從該玻璃基板至少除去包含上述修正對(duì)象缺陷的區(qū)域的玻璃材料的除去加工
的工序。 此外，在上述修正對(duì)象缺陷是形成于上述玻璃基板的內(nèi)部的內(nèi)部缺陷(內(nèi)部泡等)的情況下，在進(jìn)行上述除去加工的工序中，優(yōu)選對(duì)形成于上述玻璃基板的內(nèi)部缺陷所處的部位噴射粉體和流體中的至少一方，從該玻璃基板的表面至少到達(dá)上述內(nèi)部缺陷地除去玻璃材料。 在進(jìn)行上述除去加工的工序中，優(yōu)選將圍繞上述內(nèi)部缺陷的玻璃材料一并除去。
此外，在上述修正對(duì)象缺陷是形成于上述玻璃基板的表面的突起的情況下，在進(jìn) 行上述除去加工的工序中，優(yōu)選對(duì)形成于上述玻璃基板的表面的突起所處的部位噴射粉體 和流體中的至少一方，除去玻璃材料，使得該玻璃基板的表面平坦。 進(jìn)而，在上述修正對(duì)象缺陷是形成于上述玻璃基板的表面的損傷的情況下，在進(jìn)
行上述除去加工的工序中，優(yōu)選對(duì)形成于上述玻璃基板的表面的損傷所處的部位噴射粉體
和流體中的至少一方，除去玻璃材料，使得由該玻璃基板的損傷形成的表面平滑。 而且，優(yōu)選在進(jìn)行上述除去加工的工序中，將圍繞形成于上述玻璃基板的表面的
突起或損傷的玻璃材料一并除去。 上述粉體優(yōu)選為氧化鋁。 在進(jìn)行上述除去加工的工序中，在通過噴射粉體除去玻璃材料的情況下，交替地 進(jìn)行粉體的噴射和僅有作為用于噴射粉體的介質(zhì)的空氣的噴射。 優(yōu)選包括在通過進(jìn)行上述除去加工的工序除去玻璃材料后的部位填充透明材料 的填充工序。 優(yōu)選上述玻璃基板是用于構(gòu)成液晶顯示面板的玻璃基板。 根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在構(gòu)成顯示面板時(shí)的顯示區(qū)域內(nèi)也具有實(shí)施過玻璃材料的除去加
工、且維持透光性的部位，由此能夠?qū)⒃瓉硇纬捎诓ＡЩ宓膬?nèi)部缺陷、表面缺陷置換成上
述部位。由此，能夠緩和由玻璃基板的內(nèi)部缺陷、表面缺陷造成的顯示不良。 本發(fā)明的玻璃基板是用于構(gòu)成顯示面板的玻璃基板，其特征在于，在構(gòu)成顯示面
板時(shí)的顯示區(qū)域內(nèi)的表面，具有被噴射粉體和流體中的至少一方而實(shí)施過玻璃材料的除去
加工、且維持透光性的部位，該部位凹陷。 此外，顯示面板優(yōu)選在上述凹陷填充有透明材料。 由此，能夠使得凹陷不易變得明顯。 此外，通過使用上述顯示面板用玻璃基板構(gòu)成顯示面板，能夠緩和在該顯示面板 中由玻璃基板的內(nèi)部缺陷、表面缺陷造成的顯示不良。


圖l(a) (c)是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的研磨加工的進(jìn)行狀況的截面圖。
圖2是表示在本發(fā)明的第一實(shí)施方式中成為缺陷修正對(duì)象的玻璃基板的主要部 分的截面圖。 圖3是表示在本發(fā)明的第一實(shí)施方式中使用的缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖4是圖3所示的缺陷修正裝置所具備的修正頭的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖5(a)是表示實(shí)施上述研磨加工后的玻璃基板的主要部分的截面圖。
圖5(b)是表示實(shí)施上述研磨加工后的玻璃基板的主要部分的截面圖。
圖6(a)是表示上述研磨加工的加工面的形狀的截面圖。
圖6(b)是表示上述研磨加工的加工面的形狀的截面圖。 圖7是表示在通過上述研磨加工形成的凹陷填充有透明材料的狀態(tài)的截面圖。
圖8是表示在本發(fā)明的第一實(shí)施方式中成為缺陷修正對(duì)象的其他玻璃基板的主要部分的截面圖。 圖9是表示在本發(fā)明的第二實(shí)施方式中成為缺陷修正對(duì)象的玻璃基板的主要部 分的截面圖。 圖10(a) (c)是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的研磨加工的進(jìn)行狀況的截面圖。
圖11是表示在本發(fā)明的第三實(shí)施方式中成為缺陷修正對(duì)象的玻璃基板的主要部 分的截面圖。 圖12(a)和(b)是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的研磨加工的進(jìn)行狀況的截面圖。
圖13(a)是表示本發(fā)明的實(shí)施方式中的液晶顯示面板的平面圖。
圖13(b)是表示圖13(a)所示的液晶顯示面板的截面圖。 圖14是表示在本發(fā)明的缺陷修正方法中使用的其他的缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)的截 面圖。 圖15是表示在本發(fā)明的缺陷修正方法中使用的其他的修正頭的概略結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式(實(shí)施方式1) 以下，對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式進(jìn)行說明。 本實(shí)施方式的缺陷修正方法，是用于構(gòu)成顯示面板的玻璃基板的缺陷修正方法， 成為修正對(duì)象的缺陷是形成于玻璃基板的內(nèi)部缺陷。 此外，本實(shí)施方式的缺陷修正方法能夠應(yīng)用于用于構(gòu)成液晶顯示面板、等離子體 顯示面板(PDP)等各種顯示面板的玻璃基板。 進(jìn)而，本實(shí)施方式的缺陷修正方法，能夠在玻璃基板、顯示面板的制造中的各種階
段實(shí)施。例如，能夠在以下階段實(shí)施本實(shí)施方式的缺陷修正方法在玻璃制造者處從原板切
出玻璃基板后至出貨為止的階段，在顯示裝置的制造者處接收玻璃基板后至用于顯示面板
為止的階段、以及在對(duì)所構(gòu)成的顯示面板進(jìn)行檢查后組裝成顯示裝置為止的階段等各種階
段。特別是，在玻璃制造者處從原板切出玻璃基板后至出貨為止的階段實(shí)施本實(shí)施方式的
缺陷修正方法的情況下，本實(shí)施方式的缺陷修正方法構(gòu)成玻璃基板的制造方法。 以下，假定液晶顯示面板用的基板為玻璃基板，并且假定對(duì)所構(gòu)成的顯示面板進(jìn)
行檢查后組裝成顯示裝置為止的階段為缺陷修正方法的實(shí)施階段。此外，假設(shè)內(nèi)部泡為內(nèi)
部缺陷，對(duì)內(nèi)部泡的修正方法進(jìn)行說明。 另外，用于構(gòu)成液晶顯示面板的玻璃基板，由于堿金屬的含有量少而熔點(diǎn)高，因此 易產(chǎn)生內(nèi)部泡。從而，本實(shí)施方式的缺陷修正方法對(duì)用于構(gòu)成液晶顯示面板的玻璃基板特 別有效。 圖2是形成有作為成為修正對(duì)象的內(nèi)部缺陷的內(nèi)部泡lb的玻璃基板1的截面圖。
圖2所示的內(nèi)部泡lb的尺寸較大，且該內(nèi)部泡lb的位置比較靠近玻璃基板1的 表面ls，因此在玻璃基板1的表面ls形成有突起lp。另外，內(nèi)部泡lb根據(jù)其尺寸和位置 的不同，也存在不形成突起lp的情況。 內(nèi)部泡lb能夠以從最大直徑為100 ii m以下的大小到與玻璃基板1的厚度(例如 0.7mm)相同程度的大小為止的各種大小存在。對(duì)于最大直徑例如為lOOym以下的小的內(nèi) 部泡lb，由于其對(duì)顯示的不良影響較小，因此也可以考慮不采取特別的處理。此外，對(duì)于最大直徑為例如100 300 ii m的內(nèi)部泡lb，也考慮采取進(jìn)行黑點(diǎn)化這樣的處理。然而，對(duì)于 最大直徑超過例如300ym的內(nèi)部泡lb，能夠充分降低其對(duì)顯示的不良影響的有效處理，難 以考慮有除以下說明的本實(shí)施方式的缺陷修正方法之外的其他方法。 這樣，本實(shí)施方式的缺陷修正方法雖然能夠廣泛地應(yīng)對(duì)從小到大的內(nèi)部泡lb，但 是對(duì)難以考慮其他有效處理的大的內(nèi)部泡lb特別有效。 形成于玻璃基板1的內(nèi)部泡lb導(dǎo)致亮點(diǎn)被觀察到。作為其理由，雖然還不了解其 詳細(xì)的機(jī)理，但是能夠如以下所述那樣進(jìn)行考慮。 當(dāng)使用形成有內(nèi)部泡lb的玻璃基板1構(gòu)成液晶顯示面板時(shí)，由于內(nèi)部泡lb周邊 的玻璃(圍繞部Id)產(chǎn)生的透鏡效果、以及殘留于內(nèi)部泡lb的周邊的玻璃中的應(yīng)力導(dǎo)致的 偏振狀態(tài)的紊亂等，使內(nèi)部泡lb附近作為亮點(diǎn)被觀察到。 因此，本實(shí)施方式的缺陷修正方法的特征在于，對(duì)作為形成于上述玻璃基板1的 內(nèi)部缺陷的內(nèi)部泡lb所處的部位噴射砥粒，進(jìn)行從該玻璃基板1的表面Is起至少到達(dá)上 述內(nèi)部泡lb地除去玻璃材料的除去加工。 此外，如圖2所示，由于圍繞內(nèi)部泡lb的玻璃材料(以下，稱為圍繞部)ld可能導(dǎo) 致透鏡效果或偏振狀態(tài)的紊亂，因此優(yōu)選將其與內(nèi)部泡lb —起除去。 圖1(a) (c)是表示利用本實(shí)施方式的缺陷修正方法進(jìn)行的內(nèi)部缺陷的除去工 序的圖。 如圖1(a)所示，對(duì)玻璃基板1的表面Is的突起lp以規(guī)定的噴射速度噴射砥粒 12a。此時(shí)，作為砥粒12a，使用粒徑為800號(hào)(約0. 03mm)的氧化鋁。此外，砥粒12a的噴 射速度設(shè)定為0. 2mm/s 0. 6mm/s。 進(jìn)而，如圖1 (b)所示，以上述的噴射速度持續(xù)噴射砥粒12a，利用砥粒12a除去突 起lp的玻璃材料，直至砥粒12a到達(dá)內(nèi)部泡lb為止。然后，進(jìn)一步持續(xù)噴射砥粒12a，使得 砥粒12a產(chǎn)生的研磨區(qū)域到達(dá)內(nèi)部泡lb。在該狀態(tài)下，如圖1(c)所示，進(jìn)一步持續(xù)噴射砥 粒12a除去內(nèi)部泡lb的圍繞部Id的玻璃材料，直至不會(huì)發(fā)生透鏡效果或偏振狀態(tài)的紊亂 的修正面le露出為止。 上述的研磨因?yàn)橥ㄟ^由被噴射的砥粒12a的碰撞產(chǎn)生的微細(xì)的脆性加工的積累 而進(jìn)行加工，所以能夠進(jìn)行微細(xì)且高品質(zhì)的加工。 這里，對(duì)用于實(shí)現(xiàn)本實(shí)施方式的缺陷修正方法的裝置進(jìn)行以下說明。
圖3是用于實(shí)施本實(shí)施方式的缺陷修正方法的缺陷修正裝置10的截面圖。
該缺陷修正裝置IO在載置臺(tái)11的載置面lla上，設(shè)置有用于將作為修正對(duì)象物 的玻璃基板1在相對(duì)地面垂直的方向上固定的基板載置臺(tái)13、和搭載有修正頭12的頭搭 載臺(tái)14，該修正頭12用于對(duì)固定于基板載置臺(tái)13的玻璃基板1的修正部位lb噴射砥粒 12a。 上述修正頭12在上述頭搭載臺(tái)14上以相對(duì)于地面能夠在水平方向和垂直方向移 動(dòng)的方式設(shè)置，砥粒12a的噴射方向相對(duì)于地面成水平的方向。 此外，修正頭12具備噴射用于研磨玻璃基板1的砥粒12a的噴射噴嘴(后述)。 即，缺陷修正裝置IO構(gòu)成為，使修正頭12向與玻璃基板1的內(nèi)部泡lb相對(duì)的位置移動(dòng)，在 該位置對(duì)玻璃基板1的表面Is噴射砥粒12a而進(jìn)行研磨加工。 在實(shí)施本實(shí)施方式的缺陷修正方法時(shí)，例如能夠按照以下的順序進(jìn)行。首先，使用基板1制作液晶顯示面板。然后，從制作成的液晶顯示面板的背面照射 均勻的光，并且檢查是否因形成于玻璃基板1的內(nèi)部泡lb而導(dǎo)致亮點(diǎn)被觀察到，在觀察到 亮點(diǎn)的情況下，確定其位置。然后，將液晶顯示面板固定于缺陷修正裝置10的基板載置臺(tái) 13，在上述確定到的位置，進(jìn)行后述的研磨加工。另外，在玻璃基板l的表面粘貼有偏振板 的情況下，在進(jìn)行研磨加工之前先取下偏振板，待研磨加工結(jié)束后再重新貼上偏振板即可。
圖4是上述缺陷修正裝置10具備的修正頭12的示意圖。 如圖4所示，上述修正頭12構(gòu)成為具有用于定量供給砥粒12a的砥粒供給噴嘴 121。 上述砥粒供給噴嘴121具有由圓筒構(gòu)成且成為砥粒12a的吐出孔的圓筒前端孔 121a、成為空氣的供給孔的圓筒后端孔121b、以及在上述圓筒前端孔121a和圓筒后端孔 121b之間形成的、成為砥粒12a的供給孔的砥粒供給孔121c。 上述砥粒供給噴嘴121的砥粒供給孔121c與儲(chǔ)藏砥粒的砥粒箱122連接，圓筒后 端孔121b與高速電磁閥123連接。 在上述砥粒箱122，在與上述砥粒供給噴嘴121的連接部分設(shè)置有開閉蓋(未圖 示)，僅在供給砥粒12a時(shí)上述開閉蓋打開。 上述高速電磁閥123具有與上述砥粒供給噴嘴121的圓筒后端孔121b連接的連 接用筒123a、和用于取入來自空氣供給部(未圖示)的供給用空氣的空氣取入口 123b， 當(dāng)該高速電磁閥123為開狀態(tài)時(shí)，將從空氣取入口 123b取入的供給用空氣供向連接用筒 123a，當(dāng)該高速電磁閥123為閉狀態(tài)時(shí)，停止將從空氣取入口 123b取入的供給用空氣供向 連接用筒123a。 因此，在上述結(jié)構(gòu)的修正噴嘴12中，當(dāng)上述高速電磁閥123為開狀態(tài)、且砥粒箱 122的開閉蓋為開狀態(tài)時(shí)，利用供給空氣從砥粒供給噴嘴121噴射砥粒12a。此外，當(dāng)上述 高速電磁閥123為閉狀態(tài)時(shí)，則不論砥粒箱122的開閉蓋的開閉狀態(tài)如何，均不會(huì)從砥粒供 給噴嘴121噴射砥粒12a。另外，當(dāng)上述高速電磁閥123為開狀態(tài)、且砥粒箱122的開閉蓋 為閉狀態(tài)時(shí)，能夠從砥粒供給噴嘴121僅噴射不含砥粒12a的空氣。 上述結(jié)構(gòu)的修正頭12對(duì)玻璃基板1的表面Is的突起lp，以0. 2mm/s 0. 6mm/s 的加工速度(噴射速度150 200m/s)噴射由粒度為800號(hào)的氧化鋁構(gòu)成的砥粒12a，除去 玻璃材料，直至到達(dá)作為內(nèi)部缺陷的內(nèi)部泡lb為止。 通常，當(dāng)從修正頭12對(duì)玻璃基板1的表面la持續(xù)噴射砥粒12a時(shí)，砥粒12a殘留 在該玻璃基板1的研磨部位。在這種情況下，由于新噴射的砥粒12a與殘留在研磨部位的 砥粒12a碰撞而不能直接研磨實(shí)際的研磨對(duì)象面，因此會(huì)產(chǎn)生研磨效率降低的問題。
于是，交替地進(jìn)行砥粒12a的噴射和僅有作為用于噴射砥粒12a的介質(zhì)的空氣的 噴射，通過僅噴射空氣，能夠除去殘留在研磨部位的砥粒12a。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)研磨效率的 提高。作為該情況下的具體的方法，如上述那樣，如果令高速電磁閥123為開狀態(tài)、且斷續(xù) 地進(jìn)行砥粒箱122的開閉蓋的開閉，則能夠交替地噴射含有砥粒12a的空氣和不含有砥粒 12a的空氣。 作為上述那樣的修正頭12，例如能夠使用仙臺(tái)Nikon(株式會(huì)社仙臺(tái)二 - > )制的 AJM(ABRASIVE Jet Machining)。 在本實(shí)施方式的缺陷修正方法中，可以進(jìn)行至上述圖l(b)的狀態(tài)為止的除去加
11工，也可以進(jìn)行至上述圖1(c)的狀態(tài)為止的除去加工。圖5(a)和圖5(b)分別表示各個(gè)情 況下的除去加工后的玻璃基板1的狀態(tài)。 作為玻璃基板1的形狀，分別由圖5(a)和圖5(b)表示的狀態(tài)不是一定是理想的 狀態(tài)，但是實(shí)際上確認(rèn)對(duì)顯示的影響所得到的結(jié)果是，與進(jìn)行上述除去加工之前的狀態(tài)相 比，內(nèi)部泡lb導(dǎo)致的亮點(diǎn)變得難以被觀察到。 在圖5(a)所示的狀態(tài)中，通過進(jìn)行從玻璃基板1的表面Is直至到達(dá)內(nèi)部泡lb為 止的玻璃材料的除去加工，成為將引起透鏡效果或偏振狀態(tài)的紊亂的內(nèi)部泡lb周邊的玻 璃(圍繞部ld)的至少一部分(表面?zhèn)鹊牟糠?除去的狀態(tài)。其結(jié)果是，減輕上述透鏡效 果或偏振狀態(tài)的紊亂，作為亮點(diǎn)難以被觀察到。 此外，在圖5(b)所示的狀態(tài)下，通過將直至內(nèi)部泡lb的側(cè)面和背面?zhèn)鹊牟ＡР牧?(圍繞部Id)除去，成為研磨至露出不會(huì)產(chǎn)生透鏡效果或偏振狀態(tài)的紊亂的修正面le的狀 態(tài)。其結(jié)果是，能夠進(jìn)一步減輕上述透鏡效果和偏振狀態(tài)的紊亂。 接著，對(duì)期望的加工形狀進(jìn)行說明。如圖6(a)所示，在形成有加工面lw的一部分 相對(duì)于表面Is垂直陡立的形狀的凹陷的情況下，在與表面Is垂直的觀察方向D上，由于加 工面lw的垂直部分與觀察方向D —致，因此在該觀察方向D上對(duì)加工面lw的顯示的影響 被累積。其結(jié)果是，加工面lw易變得顯眼。 與此相對(duì)，如圖6(b)所示，在加工面lw并未如上述那樣相對(duì)于表面ls垂直陡立， 加工面lw的任意的位置的切平面(在圖6(b)中如點(diǎn)劃線所示)相對(duì)于表面ls平行或傾 斜的情況下，在觀察方向D上，不會(huì)累積對(duì)加工面lw的顯示的影響，因此不易使加工面lw 變得顯眼。 因此，作為加工形狀，如圖6(b)所示，優(yōu)選加工面lw的任意位置的切平面相對(duì)于 表面Is平行或傾斜。為了獲得這樣的加工形狀，例如根據(jù)缺陷位置改變從修正頭12噴射 的砥粒12a的噴射速度即可。例如，在想要獲得圖6(b)所示那樣的形狀的凹陷的情況下， 在成為凹陷的中央的部位提高砥粒12a的噴射速度，隨著從凹陷的中央朝向外側(cè)逐漸降低 砥粒12a的噴射速度即可。 此外，如圖7所示，優(yōu)選在通過除去加工形成的凹陷填充透明材料2。通過在上述 凹陷填充透明材料，與該凹陷內(nèi)為空的狀態(tài)相比，能夠使該凹陷的折射率變化變小。其結(jié)果 是，能夠使上述凹陷變得不顯眼。為了這樣在通過除去加工形成的凹陷填充透明材料2，將 液體狀的透明樹脂填充于凹陷并使其固化即可。 在上述缺陷修正裝置10中，作為砥粒12a，使用氧化鋁，但是并非限定于此，也可 以使用碳化硅、碳化硼、氧化鈰等。此外，作為砥粒12a的粒度，不限定于800號(hào)，也可以是 其他的粒度，優(yōu)選用800號(hào)進(jìn)行加工后再用2000號(hào)進(jìn)行最后加工，根據(jù)研磨對(duì)象物變更即 可。 以上的說明，雖然以形成有作為內(nèi)部缺陷的內(nèi)部泡lb的玻璃基板1為修正對(duì)象， 但如圖8所示，也可以以形成有作為內(nèi)部缺陷的內(nèi)部異物lc的玻璃基板1為修正對(duì)象。在 此情況下，也能夠減輕上述的透鏡效果和偏振狀態(tài)的紊亂。此外，在內(nèi)部異物lc由遮光性 的材料構(gòu)成的情況下，如圖5(b)所示那樣，通過實(shí)施將內(nèi)部異物lc完全地除去的加工，也 能夠獲得除去黑點(diǎn)的效果。 此外，在本實(shí)施方式中，對(duì)假設(shè)成為修正對(duì)象的缺陷為形成于玻璃基板1的內(nèi)部的內(nèi)部泡lb、內(nèi)部異物lc的情況下的缺陷修正方法的例子進(jìn)行了說明，但是，在以下的實(shí) 施方式2中，對(duì)成為修正對(duì)象的缺陷作為形成于玻璃基板的表面缺陷的突起通過研磨被除 去的例子進(jìn)行說明。
(實(shí)施方式2) 以下，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。 本實(shí)施方式的缺陷修正方法，是用于構(gòu)成顯示面板的玻璃基板的缺陷修正方法，
成為修正對(duì)象的缺陷是作為形成于玻璃基板的表面缺陷的突起。如在實(shí)施方式1中所述那
樣，該突起包括由于內(nèi)部缺陷的存在而形成的突起，也包括與內(nèi)部缺陷無關(guān)地形成的突起。 此外，本實(shí)施方式的缺陷修正方法，與實(shí)施方式1的情況相同，能夠應(yīng)用于用于構(gòu)
成液晶顯示面板、等離子體顯示面板(PDP)等各種顯示面板的玻璃基板。 而且，本實(shí)施方式的缺陷修正方法，與實(shí)施方式1的情況相同，能夠在玻璃基板、
顯示面板的制造中的各個(gè)階段實(shí)施。 圖9是形成有成為修正對(duì)象的表面缺陷即突起lp的玻璃基板1的截面圖。作為 用于實(shí)施本實(shí)施方式的缺陷修正方法的裝置，能夠利用在實(shí)施方式1中所說明的缺陷修正 裝置10。 圖10(a) (c)是表示研磨加工的進(jìn)行狀況的圖。當(dāng)通過修正頭12噴射砥粒12a 時(shí)，如圖10(a)所示，通過被噴射的砥粒12a與玻璃基板1的突起lp抵接而開始研磨加工。 進(jìn)一步持續(xù)噴射砥粒12a時(shí)，如圖10(b)所示，突起lp的高度變低。進(jìn)一步持續(xù)噴射砥粒 12a時(shí)，如圖10(c)所示，突起lp被完全除去。 另外，在噴射砥粒12a時(shí)，通過使修正頭12相對(duì)于玻璃基板的研磨面在水平方向 上搖動(dòng)，能夠使除去突起lp后的表面Is大致平坦。 在本實(shí)施方式的缺陷修正方法中，可以進(jìn)行直至上述圖10(b)的狀態(tài)為止的除去 加工，也可以進(jìn)行直至上述圖10(c)的狀態(tài)為止的除去加工。這樣，利用本實(shí)施方式的缺陷 修正方法，通過除去突起lp的一部分或全部而使突起lp的高度降低，稱之為突起lp的平 坦化。由此，能夠使形成有突起lp的表面ls接近本來的表面形狀。其結(jié)果是，能夠使得難 以由于突起lp而產(chǎn)生亮點(diǎn)。 另外，也可以通過使突起lp平坦，而在形成有突起lp的部分在一定程度上(稍 微)形成凹陷。在此情況下，作為加工形狀，如實(shí)施方式1中圖6(b)所示的那樣，優(yōu)選加工 面lw的任意的位置的切平面相對(duì)于表面Is平行或傾斜。此外，如實(shí)施方式1中圖7所示 那樣，優(yōu)選在所形成的凹陷中填充透明材料2 。 此外，作為砥粒12a，可以與上述實(shí)施方式l同樣地使用粒度為800號(hào)的氧化鋁、并 以0. 2mm/s 0. 6mm/s的加工速度(噴射速度150 200m/s)噴射，也可以根據(jù)需要變更 砥粒12a的材料、粒度、噴射速度。 如上所述，在本實(shí)施方式2中，將成為玻璃基板1的修正對(duì)象的缺陷作為突起lp，
但是，在以下的實(shí)施方式3中，以成為玻璃基板1的修正對(duì)象的缺陷為表面的損傷的情況為
例進(jìn)行說明。(實(shí)施方式3) 以下，對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施方式進(jìn)行如下說明。 本實(shí)施方式的缺陷修正方法，是用于構(gòu)成顯示面板的玻璃基板的缺陷修正方法，
13成為修正對(duì)象的缺陷是作為形成于玻璃基板的表面缺陷的損傷。 此外，本實(shí)施方式的缺陷修正方法，與實(shí)施方式1的情況相同，能夠應(yīng)用于用于構(gòu)
成液晶顯示面板、等離子體顯示面板(PDP)等各種顯示面板的玻璃基板。 而且，本實(shí)施方式的缺陷修正方法，與實(shí)施方式1的情況相同，能夠在玻璃基板、
顯示面板的制造中的各個(gè)階段實(shí)施。 圖11是形成有成為修正對(duì)象的表面缺陷即損傷lv的玻璃基板1的截面圖。作為 用于實(shí)施本實(shí)施方式的缺陷修正方法的裝置，能夠利用在實(shí)施方式1中所說明過的缺陷修 正裝置10。 圖12 (a) (b)是表示研磨加工的進(jìn)行狀況的圖。當(dāng)通過修正頭12噴射砥粒12a 時(shí)，如圖12(a)所示，通過被噴射的砥粒12a與玻璃基板1的表面ls抵接而開始研磨加工。 然后通過使修正頭12在水平方向上搖動(dòng)且同時(shí)噴射砥粒12a，如圖12 (b)所示，能夠使由損 傷lv形成的表面相對(duì)于玻璃基板1的本來的表面Is形成的角度較小。
這樣，利用本實(shí)施方式的缺陷修正方法，使相對(duì)于玻璃基板1的本來的表面ls，通 過損傷lv形成的表面所形成的角度較小，稱之為損傷lv的平滑化。由此，能夠使形成有損 傷lv的表面ls接近本來的表面形狀。其結(jié)果是，能夠使得難以由于損傷lv而產(chǎn)生亮點(diǎn)。
另外，作為通過使損傷lv平滑而形成的凹陷的加工形狀，如實(shí)施方式1中圖6(b) 所示那樣，優(yōu)選加工面lw的任意的位置的切平面相對(duì)于表面ls平行或傾斜。此外，如實(shí)施 方式1中圖7所示那樣，優(yōu)選在所形成的凹陷中填充透明材料2。 以上，作為使用實(shí)施方式1 3中所述的玻璃基板1構(gòu)成的顯示面板的液晶顯示 面板20由圖13(a)、圖13(b)表示。 液晶顯示面板20以以下方式構(gòu)成使2個(gè)玻璃基板1、1隔開規(guī)定間隔地相互對(duì) 置，在相互之間夾持有液晶21的狀態(tài)下密封周圍。另外，雖然未圖示，但是在玻璃基板1、1 的外側(cè)表面粘貼有偏振板等。 在玻璃基板1、1，在液晶顯示面板20的顯示區(qū)域20a內(nèi)的表面具有實(shí)施過實(shí)施方 式1 3中所述的玻璃材料的除去加工的加工面lw。另外，既可以是玻璃基板1、1雙方均 具有該加工面lw，也可以是任一方具有該加工面lw。此外，優(yōu)選在加工面lw填充有透明材 料。 在該液晶顯示面板20中，對(duì)原本形成于玻璃基板1、1的內(nèi)部缺陷或表面缺陷實(shí)施 在實(shí)施方式1 3中所述的玻璃材料的除去加工后的結(jié)果是，降低了對(duì)顯示的不良影響，能 夠使在以往不得不作為不合格品處理的液晶顯示面板20成為合格品。
另外，在上述各實(shí)施方式中，對(duì)通過空氣噴射作為粉體的砥粒而研磨修正對(duì)象物 的例子進(jìn)行了說明，但是，除粉體以外，也能夠通過噴射流體即水而研磨修正對(duì)象物。在此 情況下，作為修正頭12，變更成噴射水的頭即可。 此外，在上述的各實(shí)施方式中，對(duì)缺陷修正裝置10的例子進(jìn)行了說明，該缺陷修 正裝置10如圖3所示那樣設(shè)置有修正頭12，使得砥粒12a的噴射方向相對(duì)于地面為水平方 向，但是并不限定于該例子，也能夠使用如圖14所示那樣以使得砥粒12a的噴射方向相對(duì) 于地面為垂直方向的方式設(shè)置有修正頭12的缺陷修正裝置110。 該缺陷修正裝置110包括具有用于載置玻璃基板1的載置面llla的框體111、 和從框體111的頂部懸吊且能夠在水平方向和垂直方向上移動(dòng)的修正頭12。
上述缺陷修正裝置10使修正頭12向玻璃基板1的內(nèi)部泡lb的上方移動(dòng)，在其位 置對(duì)玻璃基板1的表面Is噴射砥粒12a進(jìn)行研磨加工。 此外，在上述的修正頭12中，如圖4所示那樣，由于僅供給供給用空氣，因此雖然 供給用空氣的供給控制保持不變，而進(jìn)行砥粒12a的噴射、停止的控制，但是為了僅噴射不 含砥粒12a的空氣，需要控制砥粒箱122的開閉蓋的開閉。 于是，圖15表示不進(jìn)行砥粒箱122的開閉蓋的開閉控制就能夠僅噴射不含有砥粒 12a的空氣的修正頭。 圖15所示的修正頭112在圖4所示的修正頭12上增加了加速噴嘴124，使得修正 頭112不僅能夠供給供給用空氣外，還能夠供給加速空氣。其他的結(jié)構(gòu)要素與圖4所示的 修正頭12相同。 如圖15所示，上述修正頭112構(gòu)成為新追加有使通過砥粒供給噴嘴121供給的砥 粒12a加速并進(jìn)行噴射的加速噴嘴124。 上述加速噴嘴124具有將砥粒12a向外部噴射的噴射孔124a、用于供給加速用 空氣而使砥粒12a加速地從上述噴射孔124a噴射的空氣供給孔124b、以及在上述噴射孔 124a和空氣供給孔124b之間形成的、將砥粒12a和加速空氣混合后導(dǎo)向上述噴射孔124a 的混合室124c。 上述砥粒供給噴嘴121的圓筒前端孔121a以向上述加速噴嘴124的混合室124c 突出的狀態(tài)配置。 因此，在上述結(jié)構(gòu)的修正頭112中，當(dāng)上述高速電磁閥123為開狀態(tài)時(shí)，利用供給 空氣將砥粒12a從砥粒供給噴嘴121供向加速噴嘴124，這里，利用從空氣供給孔124b取入 的加速空氣，從噴射孔124a噴射含有砥粒12a的空氣。此外，當(dāng)上述高速電磁閥123為閉 狀態(tài)時(shí)，因?yàn)椴幌蝽屏９┙o噴嘴121供給供給空氣，所以砥粒12a不被供向加速噴嘴124。 因此，從加速噴嘴124的噴射孔124a僅噴射不含砥粒12a的空氣。 另外，當(dāng)令加速空氣的壓力為P1、供給空氣的壓力為P2時(shí)，調(diào)整各空氣供給，使得 PI < P2的關(guān)系成立。由此，砥粒供給噴嘴121內(nèi)的砥粒12a必定被供向加速噴嘴124，不 會(huì)產(chǎn)生逆流。 通常，當(dāng)從修正頭112對(duì)玻璃基板1的表面la持續(xù)噴射砥粒12a時(shí)，在該玻璃基 板1的研磨部位會(huì)殘留砥粒12a。在這種情況下，新噴射的砥粒12a與殘留于研磨部位的砥 粒12a碰撞，不能夠直接研磨實(shí)際的研磨對(duì)象面，因此產(chǎn)生研磨效率降低的問題。
于是，通過向修正頭112的高速電磁閥124供給脈沖狀的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，將從空氣取入 口 123b取入的空氣斷續(xù)地供向上述連接用筒123a，斷續(xù)地從砥粒供給噴嘴121向加速噴嘴 124供給砥粒12a，交替地進(jìn)行砥粒12a的噴射、和僅有作為用于噴射砥粒12a的介質(zhì)的空 氣的噴射，由此，通過僅有空氣的噴射，能夠除去殘留于研磨部位的砥粒12a。由此，能夠?qū)?現(xiàn)研磨效率的提高。 另外，如圖15所示的修正頭112，與圖4所示的修正頭12同樣地能夠搭載于圖3 所示的缺陷修正裝置10、圖14所示的缺陷修正裝置110中的任一個(gè)。 本發(fā)明并不限定于上述的各實(shí)施方式，能夠在權(quán)利要求表示的范圍中進(jìn)行各種變 更，將不同的實(shí)施方式分別公開的技術(shù)手段適當(dāng)?shù)亟M合而得到的實(shí)施方式，也包含于本發(fā) 明的技術(shù)范圍中。
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產(chǎn)業(yè)上的可利用性 本發(fā)明能夠適用于液晶顯示面板、等離子體顯示器面板(PDP)等平板顯示器用面 板。
權(quán)利要求
一種缺陷修正方法，其是用于構(gòu)成顯示面板的玻璃基板的缺陷修正方法，該缺陷修正方法的特征在于對(duì)形成于所述玻璃基板的修正對(duì)象缺陷所處的部位，噴射粉體和流體中的至少一方，進(jìn)行從該玻璃基板至少將包含所述修正對(duì)象缺陷的區(qū)域的玻璃材料除去的除去加工。
2. 如權(quán)利要求l所述的缺陷修正方法，其特征在于在所述修正對(duì)象缺陷是形成于所述玻璃基板的內(nèi)部的內(nèi)部缺陷的情況下， 在所述除去加工中，對(duì)形成于所述玻璃基板的內(nèi)部缺陷所處的部位噴射粉體和流體中 的至少一方，從該玻璃基板的表面至少到達(dá)所述內(nèi)部缺陷地除去玻璃材料。
3. 如權(quán)利要求2所述的缺陷修正方法，其特征在于 在所述除去加工中，將圍繞所述內(nèi)部缺陷的玻璃材料一并除去。
4. 如權(quán)利要求1所述的缺陷修正方法，其特征在于 所述內(nèi)部缺陷是內(nèi)部泡。
5. 如權(quán)利要求1所述的缺陷修正方法，其特征在于 在所述修正對(duì)象缺陷是形成于所述玻璃基板的表面的突起的情況下，在所述除去加工中，對(duì)形成于所述玻璃基板的表面的突起所處的部位噴射粉體和流體 中的至少一方，除去玻璃材料，使得該玻璃基板的表面平坦。
6. 如權(quán)利要求l所述的缺陷修正方法，其特征在于 在所述修正對(duì)象缺陷是形成于所述玻璃基板的表面的損傷的情況下，在所述除去加工中，對(duì)形成于所述玻璃基板的表面的損傷所處的部位噴射粉體和流體 中的至少一方，除去玻璃材料，使得由該玻璃基板的損傷形成的表面平滑。
7. 如權(quán)利要求5所述的缺陷修正方法，其特征在于在所述除去加工中，將圍繞形成于所述玻璃基板的表面的突起或損傷的玻璃材料一并 除去。
8. 如權(quán)利要求l所述的缺陷修正方法，其特征在于 所述粉體是氧化鋁。
9. 如權(quán)利要求l所述的缺陷修正方法，其特征在于在所述除去加工中，在通過噴射粉體除去玻璃材料的情況下，交替地進(jìn)行粉體的噴射、 和僅有作為用于噴射粉體的介質(zhì)的空氣的噴射。
10. 如權(quán)利要求1所述的缺陷修正方法，其特征在于 在通過所述除去加工除去玻璃材料后的部位填充透明材料。
11. 如權(quán)利要求1所述的缺陷修正方法，其特征在于 所述玻璃基板是用于構(gòu)成液晶顯示面板的玻璃基板。
12. —種玻璃基板的制造方法，其是用于構(gòu)成顯示面板的玻璃基板的制造方法，該玻璃 基板的制造方法的特征在于，包括對(duì)形成于所述玻璃基板的修正對(duì)象缺陷所處的部位噴射粉體和流體中的至少一方，進(jìn) 行從該玻璃基板至少將包含所述修正對(duì)象缺陷的區(qū)域的玻璃材料除去的除去加工的工序。
13. 如權(quán)利要求12所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于 在所述修正對(duì)象缺陷是形成于所述玻璃基板的內(nèi)部的內(nèi)部缺陷的情況下， 在進(jìn)行所述除去加工的工序中，對(duì)形成于所述玻璃基板的內(nèi)部缺陷所處的部位噴射粉體和流體中的至少一方，從該玻璃基板的表面至少到達(dá)所述內(nèi)部缺陷地除去玻璃材料。
14. 如權(quán)利要求13所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于 在進(jìn)行所述除去加工的工序中，將圍繞所述內(nèi)部缺陷的玻璃材料一并除去。
15. 如權(quán)利要求12所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于 所述內(nèi)部缺陷是內(nèi)部泡。
16. 如權(quán)利要求12所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于 在所述修正對(duì)象缺陷是形成于所述玻璃基板的表面的突起的情況下，在進(jìn)行所述除去加工的工序中，對(duì)形成于所述玻璃基板的表面的突起所處的部位噴射 粉體和流體中的至少一方，除去玻璃材料，使得該玻璃基板的表面平坦。
17. 如權(quán)利要求12所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于 在所述修正對(duì)象缺陷是形成于所述玻璃基板的表面的損傷的情況下，在進(jìn)行所述除去加工的工序中，對(duì)形成于所述玻璃基板的表面的損傷所處的部位噴射 粉體和流體中的至少一方，除去玻璃材料，使得由該玻璃基板的損傷形成的表面平滑。
18. 如權(quán)利要求16所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于在進(jìn)行所述除去加工的工序中，將圍繞形成于所述玻璃基板的表面的突起或損傷的玻 璃材料一并除去。
19. 如權(quán)利要求12所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于所述粉體是氧化鋁。
20. 如權(quán)利要求12所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于在進(jìn)行所述除去加工的工序中，在通過噴射粉體除去玻璃材料的情況下，交替地進(jìn)行 粉體的噴射、和僅有作為用于噴射粉體的介質(zhì)的空氣的噴射。
21. 如權(quán)利要求12所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，包括在通過進(jìn)行所述除去加工的工序除去玻璃材料后的部位填充透明材料的填充工序。
22. 如權(quán)利要求12所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于所述玻璃基板是用于構(gòu)成液晶顯示面板的玻璃基板。
23. —種顯示面板用玻璃基板，其是用于構(gòu)成顯示面板的玻璃基板，該顯示面板用玻璃基板的特征在于在構(gòu)成顯示面板時(shí)的顯示區(qū)域內(nèi)的表面，具有被噴射粉體和流體中的至少一方而實(shí)施 過玻璃材料的除去加工、且維持透光性的部位，該部位凹陷。
24. 如權(quán)利要求23所述的顯示用玻璃基板，其特征在于在顯示面板的所述凹陷填充有透明材料。
25. —種顯示面板，其是使用顯示用玻璃基板構(gòu)成的顯示面板，該顯示面板的特征在于所述顯示用玻璃基板，在構(gòu)成所述顯示面板時(shí)的顯示區(qū)域內(nèi)的表面具有被噴射粉體和 流體中的至少一方而實(shí)施過玻璃材料的除去加工、且維持透光性的部位，該部位凹陷。
26. 如權(quán)利要求25所述的顯示面板，其特征在于 在所述顯示用玻璃基板的所述凹陷填充有透明材料。
全文摘要
本發(fā)明提供一種玻璃基板的缺陷修正方法、玻璃基板的制造方法、顯示面板用玻璃基板和顯示面板。本發(fā)明的玻璃基板的缺陷修正方法，對(duì)形成于玻璃基板(1)的內(nèi)部泡(1b)所處的位置的突起(1p)噴射由氧化鋁構(gòu)成的砥粒(12a)，進(jìn)行從該玻璃基板(1)至少除去包含上述內(nèi)部泡(1b)的區(qū)域的玻璃材料的除去加工，由此，能夠消除對(duì)玻璃基板(1)造成損傷的問題，完全地修正玻璃基板(1)的內(nèi)部泡(1b)。
文檔編號(hào)H01J11/22GK101765568SQ20088010052
公開日2010年6月30日 申請(qǐng)日期2008年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月1日
發(fā)明者吉澤武德, 水上惠文, 澀谷壽彥 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社