專利名稱：等離子體顯示器用構(gòu)件及等離子體顯示器用構(gòu)件的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種等離子體顯示器用構(gòu)件及等離子體顯示器用構(gòu)件的制造方法。
背景技術(shù)：
作為可以用于薄型/大型電視的顯示器，等離子體顯示器備受矚目。圖5為示意 性地表示等離子體顯示器的1種像素的結(jié)構(gòu)的例子的立體圖。在圖5所示的例子中，在成 為顯示面的前面板18側(cè)的玻璃基板12上，成對的多個維持電極(sustain electrode) 14 和掃描電極(scan electrode) 13以銀、鉻、鋁、鎳等材料，在以顯示區(qū)域的短邊的方向為縱 向、長邊的方向為橫向時，形成為以橫向為長尺寸方向的條紋狀。另外，在等離子體顯示器 的縱向的像素和像素之間，為了維持圖像顯示時的對比度，有時形成黑條紋15。進而，覆蓋 維持電極14及掃描電極13并以玻璃為主要成分的電介質(zhì)層16以20 50 μ m厚度形成， 覆蓋電介質(zhì)層16而形成有保護層17。另一方面，在背面板25側(cè)的玻璃基板19，多個地址電極(address electrode) 20 形成為以縱向為長尺寸方向的條紋狀，形成有覆蓋地址電極20并以玻璃為主要成分的電 介質(zhì)層21。在上述電介質(zhì)層21上形成用于隔開放電單元的主隔壁22和輔助隔壁23，在由 隔壁和電介質(zhì)層21形成的放電空間內(nèi)形成有熒光體層24。在可以進行全彩色顯示的等離 子體顯示器中，熒光體層由以紅(R)、綠(G)、藍(B)的發(fā)光各種顏色的物質(zhì)構(gòu)成。以前面板 18側(cè)的維持電極14和背面板25側(cè)的地址電極20相互正交的方式密封前面板和背面板，在 這些基板的間隙內(nèi)封入由氦、氖、氙等構(gòu)成的稀有氣體，形成等離子體顯示器。由于以掃描 電極13和地址電極20的交點為中心形成像素單元，因此，等離子體顯示器具有多個像素單 元，可以進行圖像的顯示。在等離子體顯示器中進行顯示時，在選擇的像素單元中，從不發(fā)光的狀態(tài)在掃描 電極13和地址電極20之間施加放電開始電壓以上的電壓時，通過電離產(chǎn)生的陽離子、電子 由于像素單元為電容性負荷而在放電空間內(nèi)向相反極性的電極移動，使保護層17的內(nèi)壁 帶電，由于保護層17的電阻高，因此，內(nèi)壁的電荷不衰減，作為壁電荷殘留。接著，在掃描電極13和維持電極14之間施加放電維持電壓。在存在壁電荷的地 方，即使是低于放電開始電壓的電壓也可以放電。通過放電激發(fā)放電空間內(nèi)的氙氣，產(chǎn)生 147nm的紫外線，紫外線激發(fā)熒光體層24，由此，可以進行發(fā)光顯示。關(guān)于構(gòu)成等離子體顯示器面板用背面板的地址電極、電介質(zhì)層、隔壁、熒光體層， 已知有在基板上涂敷或?qū)盈B感光性漿料、經(jīng)由具有所期望的圖案的光掩模曝光、其后使用 所期望的顯影液進行顯影的方法。例如，提出了在基板上形成由陶瓷粉末和紫外線固化型樹脂構(gòu)成的感光性漿料 層、經(jīng)由具有所期望的圖案的光掩模進行曝光/顯影/燒成、由此形成隔壁的方法(專利文 獻1) O但是，存在如下問題在形成由主隔壁及輔助隔壁構(gòu)成的格子狀的隔壁時，當將由陶瓷粉末和樹脂構(gòu)成的漿料涂敷層圖案化成格子狀并進行燒成時，在橫向最外部的主隔壁 和輔助隔壁的交叉部產(chǎn)生隆起，在隆起的部分以外，前面板和隔壁不密接，產(chǎn)生誤放電。另外，在光掩模上附著有異物時或有傷痕時，在曝光/顯影后得到的圖案中，其大 部分產(chǎn)生斷線或短路等缺陷，成品率降低。針對這樣的問題，提出了準備光掩模的開口部的長度比圖案層的長度短的光掩 模、一邊使基板或光掩模移動、一邊進行曝光的方法(專利文獻2、3)。但是，在該方法中存 在如下問題在形成PDP的格子狀隔壁等復(fù)雜的圖案時，在基板或光掩模的移動方向端部 產(chǎn)生隔壁形狀的不良，使構(gòu)件的生產(chǎn)率降低或使面板的顯示品質(zhì)下降。專利文獻1 日本特開平2-165538號公報專利文獻2 日本特開2004-240095號公報專利文獻3 國際公開號W02006/025266A1號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題本發(fā)明要解決的課題在于，提供一種顯示品質(zhì)高且生產(chǎn)率高的等離子體顯示器。解決課題的方案本發(fā)明的課題能夠通過一種等離子體顯示器用構(gòu)件來解決，所述等離子體顯示器 用構(gòu)件具有在基板上形成的多個大致條紋狀的地址電極；覆蓋該地址電極的電介質(zhì)層；以 及位于該電介質(zhì)層上的與該地址電極大致平行的主隔壁及與該主隔壁正交的具有輔助隔 壁，其特征在于，在位于顯示區(qū)域的橫向兩側(cè)的非顯示區(qū)域的主隔壁中，位于最外部的主隔 壁和與其相鄰的主隔壁的間距是位于顯示區(qū)域的主隔壁的間距的2以上的整數(shù)倍。另外，本發(fā)明的課題能夠通過一種等離子體顯示器用構(gòu)件的制造方法來解決，所 述方法為對在基板上形成有多個大致條紋狀的地址電極或地址電極的前體、覆蓋該地址電 極或地址電極的前體的電介質(zhì)層或電介質(zhì)層的前體、以及在該電介質(zhì)層或電介質(zhì)層的前體 上的感光性玻璃漿料層的顯示器用構(gòu)件材料，經(jīng)由具有與該地址電極或地址電極的前體大 致平行及與其正交的格子狀的透光圖案的光掩模，進行多次曝光操作并進行顯影、燒成，形 成由與該地址電極大致平行的主隔壁及與該主隔壁正交的輔助隔壁構(gòu)成的格子狀隔壁，其 特征在于，使用位于橫向最外部的主隔壁形成用透光部和與其相鄰的主隔壁形成用透光部 的間距為位于橫向中央部的主隔壁形成用透光部的間距的2以上的整數(shù)倍的光掩模，在至 少2次曝光操作之間使光掩模和基板與輔助隔壁的方向平行地相對移動，移動距離為位于 橫向最外部的主隔壁用透光部和與其相鄰的主隔壁用透光部的間距的整數(shù)倍。另外，本發(fā)明的課題也能夠通過一種等離子體顯示器用構(gòu)件的制造方法來解決， 所述方法為對在基板上形成有多個大致條紋狀的地址電極或地址電極的前體、覆蓋該地址 電極或地址電極的前體的電介質(zhì)層或電介質(zhì)層的前體、以及在該電介質(zhì)層或電介質(zhì)層的前 體上的感光性玻璃漿料層的顯示器用構(gòu)件材料，經(jīng)由具有與該地址電極或地址電極的前體 大致平行及與其正交的格子狀的透光圖案的光掩模進行多次曝光操作并進行顯影、燒成， 形成由與該地址電極大致平行的主隔壁及與該主隔壁正交的輔助隔壁構(gòu)成的格子狀隔壁， 其特征在于，使用位于橫向最外部的主隔壁形成用透光部和與其相鄰的主隔壁形成用透光 部的間距為位于橫向中央部的主隔壁形成用透光部的間距的2以上的整數(shù)倍的光掩模，在至少2次曝光操作之間使光掩模和基板與主隔壁的方向平行地相對移動，移動距離為位于 縱向最外部的輔助隔壁透光部和與其相鄰的輔助隔壁透光部的間距的整數(shù)倍。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種顯示品質(zhì)高且生產(chǎn)率高的等離子體顯示器。


圖1是現(xiàn)有的等離子體顯示器用背面板的橫向剖面示意圖；圖2是本發(fā)明的等離子體顯示器用背面板的橫向剖面示意圖；圖3是用于本發(fā)明的光掩模圖案的示意圖；圖4是由本發(fā)明得到的隔壁圖案的示意圖；圖5是等離子體顯示器面板的示意圖。附圖標記說明1 輔助隔壁2 顯示區(qū)域的主隔壁3 最外部的主隔壁4:光掩模圖案5 玻璃基板6 電介質(zhì)層7:地址電極8 主隔壁9 輔助隔壁10顯示區(qū)域
11非顯示區(qū)域
12玻璃基板
13掃描電極
14維持電極
15黑條紋
16電介質(zhì)層
17保護層
18前面板
19玻璃基板
20地址電極
21電介質(zhì)層
22主隔壁
23輔助隔壁
24熒光體層
25背面板 Pmtl 位于光掩模的橫向最外部的主隔壁形成用透光部和與其相鄰的主隔壁形成 用透光部的間距
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Pmt2 位于橫向中央部的主隔壁形成用透光部的間距Pmy 輔助隔壁形成用透光部的間距Wtl 位于橫向最外部的主隔壁形成用透光部的開口寬度Wt2 位于橫向中央部的主隔壁形成用透光部的開口寬度Ptl 在位于顯示區(qū)域的橫向兩側(cè)的非顯示區(qū)域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁 和與其相鄰的主隔壁的間距Pt2 位于顯示區(qū)域的主隔壁的間距Py 輔助隔壁的間距Ltl 在位于顯示區(qū)域的橫向兩側(cè)的非顯示區(qū)域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁 的底部寬度Lt2 位于顯示區(qū)域的主隔壁的底部寬度
具體實施例方式本發(fā)明的等離子體顯示器用構(gòu)件為在基板上具有多個大致條紋狀的地址電極、覆 蓋該地址電極的電介質(zhì)層、以及位于該電介質(zhì)層上的與該地址電極大致平行的主隔壁及與 該主隔壁正交的輔助隔壁的等離子體顯示器用構(gòu)件，其特征在于，在位于顯示區(qū)域的橫向 兩側(cè)的非顯示區(qū)域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁和與其相鄰的主隔壁的間距為位于顯 示區(qū)域的主隔壁的間距的2以上的整數(shù)倍。在這里，橫向如上所述指的是顯示畫面的長邊的方向，為與地址電極正交的方向。 另外，在本申請中，縱向指的是在基板上與橫向正交的方向、即顯示畫面的短邊的方向，為 與地址電極平行的方向。在位于顯示區(qū)域的橫向兩側(cè)的非顯示區(qū)域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁和與 其相鄰的主隔壁的間距為位于顯示區(qū)域的主隔壁的間距的2以上的整數(shù)倍，由此，通過在 將由有機成分和無機成分構(gòu)成的隔壁漿料的涂敷膜進行圖案加工為格子狀后進行燒成，在 形成由主隔壁及輔助隔壁構(gòu)成的格子狀的隔壁時，可以抑制橫向最外部的主隔壁的隆起。再有，在本發(fā)明中，所謂2以上的整數(shù)倍，不一定必須嚴格地為整數(shù)倍，只要大概 為整數(shù)倍的0. 90 1. 10倍、優(yōu)選為0. 95 1.05倍的范圍內(nèi)即可。本發(fā)明的等離子體顯示器用構(gòu)件進一步優(yōu)選在位于顯示區(qū)域的橫向兩側(cè)的非顯 示區(qū)域的主隔壁中、位于最外部的主隔壁和與其相鄰的主隔壁的間距為位于顯示區(qū)域的主 隔壁的間距的2倍、3倍或4倍。特別優(yōu)選為2倍。另外，本發(fā)明的等離子體顯示器用構(gòu)件的制造方法，對在基板上形成有多個大致 條紋狀的地址電極或地址電極的前體、覆蓋該地址電極或地址電極的前體的電介質(zhì)層或電 介質(zhì)層的前體、以及在該電介質(zhì)層或電介質(zhì)層的前體上的感光性玻璃漿料層的顯示器用構(gòu) 件材料，經(jīng)由具有與該地址電極或地址電極的前體大致平行及與其正交的格子狀的透光圖 案的光掩模進行多次曝光操作并進行顯影、燒成，形成由與該地址電極大致平行的主隔壁 及與該主隔壁正交的輔助隔壁構(gòu)成的格子狀隔壁，其特征在于，使用位于橫向最外部的主 隔壁形成用透光部和與其相鄰的主隔壁形成用透光部的間距為位于橫向中央部的主隔壁 形成用透光部的間距的2以上的整數(shù)倍的光掩模，在至少2次曝光操作之間使光掩模和基 板與輔助隔壁的方向平行地相對移動，移動距離為位于橫向最外部的主隔壁用透光部和與其相鄰的主隔壁用透光部的間距的整數(shù)倍。通過經(jīng)由具有格子狀的透光圖案的光掩模進行多次曝光操作，在至少2次曝光操 作之間使光掩模和基板與輔助隔壁的方向平行地相對移動，由此，即使在光掩模上付著有 異物的情況或有傷痕的情況下，也可以抑制斷線、短路等的缺陷的產(chǎn)生。另外，在至少2次曝光操作之間使光掩模和基板相對移動，因此，為了確保曝光的 位置精度，優(yōu)選在2次的各曝光操作之前進行用于位置對準的校準操作。但是，在第1次曝 光操作之前，每次進行用于基板和光掩模的位置對準的校準操作，在第2次曝光操作之前， 在第1枚進行校準操作，第2枚以后不進行校準操作，以初次校準的結(jié)果為基礎(chǔ)，使光掩模 和基板相對移動一定距離而進行曝光操作，將以上操作設(shè)定為1循環(huán)，可以將其重復(fù)進行。 由此，可以確保曝光操作的位置精度，且在短時間內(nèi)結(jié)束曝光操作，因此，也不犧牲生產(chǎn)率。另外，作為光掩模，使用位于橫向最外部的主隔壁形成用透光部和與其相鄰的主 隔壁形成用透光部的間距為位于橫向中央部的主隔壁形成用透光部的間距的2以上的整 數(shù)倍的光掩模，將在至少2次曝光操作之間進行的光掩模和基板的向輔助隔壁的方向的相 對移動的移動距離設(shè)定為位于橫向最外部的主隔壁用透光部和與其相鄰的主隔壁用透光 部的間距的整數(shù)倍，由此，可以沒有缺陷地制造橫向最外部的主隔壁的隆起少的等離子體 顯示器用構(gòu)件。位于橫向最外部的主隔壁形成用透光部和與其相鄰的主隔壁形成用透光部的間 距優(yōu)選為位于橫向中央部的主隔壁形成用透光部的間距的2倍、3倍或4倍。特別優(yōu)選為2 倍。另外，在至少2次曝光操作之間進行的光掩模和基板的向輔助隔壁的方向的相對移動 的移動距離優(yōu)選為位于橫向最外部的主隔壁用透光部和與其相鄰的主隔壁用透光部的間 距的等倍。在本發(fā)明中，經(jīng)由具有格子狀的透光圖案的光掩模進行多次曝光操作，不僅在至 少2次曝光操作之間使光掩模和基板如上述那樣與輔助隔壁的方向平行地相對移動，而且 可以與主隔壁的方向平行地相對移動。此時的本發(fā)明為一種等離子體顯示器用構(gòu)件的制造 方法，其對在基板上形成有多個大致條紋狀的地址電極或地址電極的前體、覆蓋該地址電 極或地址電極的前體的電介質(zhì)層或電介質(zhì)層的前體、以及在該電介質(zhì)層或電介質(zhì)層的前體 上的感光性玻璃漿料層的顯示器用構(gòu)件材料，經(jīng)由具有與該地址電極或地址電極的前體大 致平行及與其正交的格子狀的透光圖案的光掩模進行多次曝光操作并進行顯影、燒成，形 成由與該地址電極大致平行的主隔壁及與該主隔壁正交的輔助隔壁構(gòu)成的格子狀隔壁，其 特征在于，使用位于橫向最外部的主隔壁形成用透光部和與其相鄰的主隔壁形成用透光部 的間距為位于橫向中央部的主隔壁形成用透光部的間距的2以上的整數(shù)倍的光掩模，在至 少2次曝光操作之間使光掩模和基板與主隔壁的方向平行地相對移動，移動距離為位于縱 向最外部的輔助隔壁透光部和與其相鄰的輔助隔壁透光部的間距的整數(shù)倍。在該制造方法中，位于使用的光掩模的縱向最外部的輔助隔壁形成用透光部的開 口線寬度優(yōu)選比位于縱向中央部的輔助隔壁形成用透光部的開口線寬度大。通過經(jīng)由具有格子狀的透光圖案的光掩模進行多次曝光操作，在至少2次曝光操 作之間使光掩模和基板與主隔壁的方向平行地相對移動，從而即使在光掩模上付著有異物 的情況或有傷痕的情況下，也可以抑制斷線或短路等的缺陷的產(chǎn)生。另外，在至少2次曝光操作之間使光掩模和基板相對移動，因此，為了確保曝光的
7位置精度，優(yōu)選在2次的各曝光操作之前進行用于位置對準的校準操作。但是，在第1次曝 光操作之前，每次進行用于基板和光掩模的位置對準的校準操作，在第2次曝光操作之前， 在第1枚進行校準操作，第2枚以后不進行校準操作，以初次校準的結(jié)果為基礎(chǔ)，使光掩模 和基板相對移動一定距離而進行曝光操作，將以上操作設(shè)定為1循環(huán)，可以將其重復(fù)進行。 通過這樣，可以確保曝光操作的位置精度，且在短時間內(nèi)結(jié)束曝光操作，因此，也不犧牲生 產(chǎn)率。下面，對本發(fā)明的等離子體顯示器用構(gòu)件的結(jié)構(gòu)和本發(fā)明的等離子體顯示器用構(gòu) 件的結(jié)構(gòu)及制造方法進行說明。作為用于本發(fā)明的等離子體顯示器用構(gòu)件的基板，可以使用鈉玻璃等，具體能夠 列舉作為等離子體顯示器用的耐熱玻璃的旭硝子(株)制的PD200或日本電氣硝子(株) 制的PP8等。在基板上，通過銀、鋁、鉻、鎳等金屬形成條紋狀的地址電極。作為形成的方法，可 以使用以下方法將以這些金屬的粉末和有機粘合劑為主要成分的金屬漿料用網(wǎng)版印刷進 行圖案印刷并以400 600°C加熱、燒成而形成金屬圖案的方法；或?qū)⒑薪饘俜勰┖透?光性有機成分的感光性金屬漿料進行涂敷后，使用光掩模進行圖案曝光，然后，在顯影工序 中溶解除去不需要的部分，進一步加熱、燒成至400 600°C而形成金屬圖案的感光性漿料 法。另外，也可以使用在玻璃基板上將鉻、鋁等金屬進行濺射后，涂敷抗蝕劑，將抗蝕劑進行 圖案曝光、顯影后，利用蝕刻除掉不需要的部分的金屬的蝕刻法。電極厚度優(yōu)選為1.0 10 μ m，更優(yōu)選1. 5 5μπι。電極厚度過薄時，存在電阻值變大、正確的驅(qū)動變得困難的傾 向，當其過厚時，存在需要材料多、在成本方面不利的傾向。地址電極的寬度優(yōu)選為35 240 μ m,更優(yōu)選為30 150 μ m。當?shù)刂冯姌O的寬度過細時，存在電阻值升高、正確的驅(qū)動變 得困難的傾向，當其過粗時，存在相鄰電極間的距離變小、因此容易產(chǎn)生短路缺陷的傾向。 進而，地址電極以對應(yīng)于顯示單元(形成像素的各RGB的區(qū)域)的間距形成。在通常的等 離子體顯示器中，優(yōu)選以100 500 μ m、在高精細等離子體顯示器中為100 400 μ m的間 距形成。覆蓋上述地址電極，形成電介質(zhì)層。電介質(zhì)層可以通過將以玻璃粉末和有機粘合 劑為主要成分的玻璃漿料以覆蓋地址電極的形式涂敷后、在400 600°C下燒成來形成。在 用于電介質(zhì)層的玻璃漿料中，可以含有氧化鉛、氧化鉍、氧化鋅、氧化磷的至少1種以上，優(yōu) 選使用以總計為10 80質(zhì)量％含有這些的低熔點玻璃粉末。通過將該混合物設(shè)定為10 質(zhì)量％以上，容易進行600°C以下的燒成，通過將其設(shè)定為80質(zhì)量％以下，防止結(jié)晶化，防 止透射率的降低。將上述低熔點玻璃粉末和有機粘合劑進行捏合(kneading)而制作漿料。作為使 用的有機粘合劑，可以使用以乙基纖維素、甲基纖維素等為代表的纖維素類化合物、甲基丙 烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸異丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸異丁酯等 丙烯酸類化合物等。另外，在玻璃漿料中，可以加入溶劑、增塑劑等添加劑。作為溶劑，可以 使用松油醇、丁內(nèi)酯、甲苯、甲基溶纖劑等通用溶劑。另外，作為增塑劑，可以使用鄰苯二甲 酸二丁酯、鄰苯二甲酸二乙基等。除了低熔點玻璃粉末之外，通過添加軟化溫度高且在燒成 時不進行軟化的填料成分，可以得到反射率高且亮度高的PDP。作為填料，優(yōu)選氧化鈦、氧化 鋁、氧化鋯等，特別優(yōu)選使用體積分布曲線中的50%粒徑為0. 05 3 μ m的氧化鈦。填料的含量優(yōu)選按玻璃粉末填料的質(zhì)量比計為1 1 10 1。通過將填料的含量設(shè)定為以重 量比為玻璃粉末含量的十分之一以上，可以得到亮度提高的效果。另外，通過設(shè)定為玻璃粉 末的含量的同量以下，可以保持燒結(jié)性。另外，通過在用于電介質(zhì)層的玻璃漿料中添加導(dǎo)電性微粒子，可以制作驅(qū)動時的 可靠性高的等離子體顯示器。導(dǎo)電性微粒子優(yōu)選鎳、鉻等金屬粉末，體積分布曲線中的50% 粒徑優(yōu)選為1 10 μ m?？梢酝ㄟ^將其設(shè)定為Iym以上來發(fā)揮充分的效果，可以通過將 其設(shè)定為IOym以下來抑制電介質(zhì)上的凹凸，可以容易進行電介質(zhì)層上的后述的隔壁的形 成。作為在電介質(zhì)層中含有這些導(dǎo)電性微粒子的含量，優(yōu)選0.1 10質(zhì)量％?？梢酝ㄟ^將 其設(shè)定為0. 1質(zhì)量％以上來得到導(dǎo)電性，通過將其設(shè)定為10質(zhì)量％以下，可以防止在橫向 的相鄰的地址電極間的短路。電介質(zhì)層的厚度優(yōu)選為3 30 μ m，更優(yōu)選為3 15 μ m。電 介質(zhì)層的厚度過薄時，存在針孔多發(fā)的傾向，當其過厚時，存在放電電壓升高、消費電力變 大的傾向。接著，對本發(fā)明中的主隔壁及輔助隔壁的形成方法進行說明。主隔壁及輔助隔壁 通過在基板上使用由絕緣性的無機成分和有機成分構(gòu)成的漿料，利用網(wǎng)版印刷法、噴砂法、 感光性漿料法(光刻法)、金屬模轉(zhuǎn)印法、剝離法等公知的技術(shù)形成圖案，進行燒成來形成。下面，對感光性漿料法進行詳述。在感光性漿料法中使用的隔壁形成用感光性漿料以無機微粒子和感光性有機成 分為主要成分，根據(jù)需要含有光聚合引發(fā)劑、光吸收劑、增感劑、有機溶劑、增感助劑、聚合 抑制劑。作為隔壁形成用感光性漿料的無機微粒子，可以使用玻璃、陶瓷(氧化鋁、堇青石 等)等。特別優(yōu)選以硅氧化物、硼氧化物或鋁氧化物為必需成分的玻璃或陶瓷。無機微粒子的粒徑考慮要制作的圖案的形狀而選擇，體積分布曲線中的50%粒徑 優(yōu)選為1 10 μ m，更優(yōu)選為1 5μπι。通過將體積分布曲線中的50%粒徑設(shè)定為IOym 以下，可以防止表面凸凹產(chǎn)生。另外，通過將其設(shè)定為Iym以上，可以容易進行漿料的粘度 調(diào)整。進而，在圖案形成中，特別優(yōu)選使用比表面積為0. 2 3m2/g的玻璃微粒子。主隔壁及輔助隔壁優(yōu)選在熱軟化點低的玻璃基板上進行圖案形成，因此，作為無 機微粒子，優(yōu)選使用含有熱軟化溫度為350 600°C的低熔點玻璃微粒子60質(zhì)量％以上的 無機微粒子。另外，通過添加由熱軟化溫度高于600°C的高熔點玻璃微粒子、陶瓷微粒子構(gòu) 成的填料成分，可以抑制燒成時的收縮率，其量優(yōu)選相對無機微粒子的總計量為40質(zhì)量％ 以下。作為低熔點玻璃微粒子，為了在燒成時在玻璃基板不產(chǎn)生彎曲，優(yōu)選使用線膨脹系數(shù) 為50X 10_7 90X Ι Τ Γ1、進一步優(yōu)選為60Χ 10_7 90Χ Ι Τ Γ1的低熔點玻璃微粒子。作為低熔點玻璃微粒子，優(yōu)選使用含有硅和/或硼的氧化物的玻璃。優(yōu)選在3 60質(zhì)量％的范圍內(nèi)混合氧化硅。通過將其設(shè)定為3質(zhì)量％以上，玻璃 層的致密性、強度、穩(wěn)定性提高，另外，將熱膨脹系數(shù)設(shè)定為所期望的范圍內(nèi)，可以防止與玻 璃基板的熱膨脹系數(shù)之差引起的彎曲產(chǎn)生的問題。另外，具有以下優(yōu)點通過使其為60質(zhì) 量％以下，熱軟化點變低，可以進行對玻璃基板的焙燒等。通過在5 50質(zhì)量％的范圍內(nèi)混合氧化硼，可以提高電絕緣性、強度、熱膨脹系 數(shù)、絕緣層的致密性等電、機械及熱的特性。通過將其設(shè)定為50質(zhì)量％以下，可以保持玻璃 的穩(wěn)定性。
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而且，通過以總計為5 50質(zhì)量％含有氧化鉍、氧化鉛、氧化鋅中的至少1種，可 以得到具有適于在玻璃基板上進行圖案加工的溫度特性的玻璃漿料。特別是使用含有氧化 鉍5 50質(zhì)量％的玻璃微粒子時，可得到漿料的適用期長等優(yōu)點。作為鉍類玻璃微粒子， 優(yōu)選使用由以下組成構(gòu)成的玻璃粉末。氧化鉍10 40質(zhì)量％氧化硅3 50質(zhì)量％氧化硼10 40質(zhì)量％氧化鋇8 20質(zhì)量％氧化鋁10 30質(zhì)量％另外，可以使用將氧化鋰、氧化鈉、氧化鉀中至少1種含有3 20質(zhì)量％的玻璃微 粒子。通過使堿金屬氧化物的添加量為20質(zhì)量％以下、優(yōu)選15質(zhì)量％以下，可以提高漿料 的穩(wěn)定性。在上述3種堿金屬氧化物內(nèi)，在漿料的穩(wěn)定性方面，特別優(yōu)選氧化鋰。作為鋰類 玻璃微粒子，優(yōu)選使用含有例如以下所示的組成的玻璃粉末。氧化鋰2 15質(zhì)量％氧化硅15 50質(zhì)量％氧化硼15 40質(zhì)量％氧化鋇2 15質(zhì)量％氧化鋁6 25質(zhì)量％另外，如果使用含有氧化鉛、氧化鉍、氧化鋅那樣的金屬氧化物和氧化鋰，氧化鈉、 氧化鉀那樣的堿金屬氧化物的兩者的玻璃微粒子，則可以以更低的堿金屬含量容易地控制 熱軟化溫度、線膨脹系數(shù)。另外，通過在玻璃微粒子中添加氧化鋁、氧化鋇、氧化鈣、氧化鎂、氧化鈦、氧化鋅、 氧化鋯等、特別是氧化鋁、氧化鋇、氧化鋅，可以改良加工性，從熱軟化點、熱膨脹系數(shù)方面 考慮，其含量優(yōu)選40質(zhì)量％以下，更優(yōu)選為25質(zhì)量％以下。作為感光性有機成分，優(yōu)選含有感光性單體、感光性低聚物、感光性聚合物中的至 少1種。感光性單體為含有碳-碳不飽和鍵的化合物，作為其具體的例子，優(yōu)選使用單官 能及多官能性的(甲基)丙烯酸酯類、乙烯基類化合物類、烯丙基類化合物類等丙烯酸類單 體。這些可以使用1種或2種以上。作為感光性低聚物、感光性聚合物，可以使用將具有碳_碳雙鍵的單體中的至少1 種進行聚合而得到的低聚物、聚合物。優(yōu)選為將上述丙烯酸類單體中的至少1種進行聚合 而得到的低聚物或聚合物，可以以上述單體的含量為10質(zhì)量％以上、進一步優(yōu)選35質(zhì)量％ 以上的方式與其它感光性的單體共聚。通過在聚合物、低聚物中將不飽和羧酸等不飽和酸 進行共聚，可以提高感光后的顯影性。作為不飽和羧酸的具體的例子，可列舉丙烯酸、甲 基丙烯酸、衣康酸、丁烯酸、馬來酸、富馬酸、乙烯基醋酸或它們的酸酐等。這樣得到的側(cè)鏈 上具有羧基等酸性基團的聚合物或低聚物的酸價(AV)優(yōu)選50 180的范圍，更優(yōu)選70 140的范圍。通過對以上所示的聚合物或低聚物使光反應(yīng)性基團附加于側(cè)鏈或分子末端，可 以用作具有感光性的感光性聚合物或感光性低聚物。優(yōu)選的光反應(yīng)性基團為具有乙烯性不 飽和基團的基團。作為乙烯性不飽和基團，可列舉乙烯基、烯丙基、丙烯酸基、甲基丙烯酸基等。作為光聚合引發(fā)劑的具體的例子，可列舉二苯甲酮、鄰苯甲酰苯甲酸甲酯、4， 4_雙(二甲基氨基)二苯甲酮、4，4_雙(二乙基氨基)二苯甲酮、4，4_ 二氯二苯甲酮、4-苯 甲酰-4-甲基苯基酮、二芐基酮、芴酮、2，3-二乙氧基苯乙酮、2，2-二甲氧基-2-苯基-2-苯 基苯乙酮等?？梢允褂?種或2種以上這些化合物。光聚合引發(fā)劑相對感光性成分，優(yōu)選 以0. 05 10質(zhì)量％的范圍添加，更優(yōu)選以0. 1 5質(zhì)量％的范圍添加。聚合引發(fā)劑的量 過少時，存在光靈敏度降低的傾向，光聚合引發(fā)劑的量過多時，存在曝光部的殘存率過小的 傾向。添加光吸收劑也是有效的。通過添加紫外光、可見光的吸收效果高的化合物，可得 到高縱橫比、高精細、高分辨率。作為光吸收劑，優(yōu)選使用由有機類染料構(gòu)成的光吸收劑，具 體而言，可以使用偶氮類染料、氨基酮類染料、咕噸類染料、喹啉類染料、蒽醌類染料、二苯 甲酮類染料、二苯基氰基丙烯酸酯類染料、三嗪類染料、對氨基苯甲酸類染料等。由于有機 類染料不殘存于燒成后的絕緣膜中，因此，可以減少光吸收劑引起的絕緣膜特性的低下，因 此優(yōu)選。其中，優(yōu)選偶氮類及二苯甲酮類染料。有機染料的添加量優(yōu)選為0. 05 5質(zhì)量％， 更優(yōu)選為0. 05 1質(zhì)量％。添加量小于上述范圍時，存在光吸收劑的添加效果減少的傾向， 當其大于上述范圍時，存在燒成后的絕緣膜特性降低的傾向。為了使靈敏度提高，優(yōu)選添加增感劑。作為增感劑的具體例，可列舉2，4_ 二乙基 噻噸酮、異丙基噻噸酮、2，3-雙(4-二乙基氨基亞芐基)環(huán)戊酮、2，6-雙(4-二甲基氨基亞 芐基)環(huán)己酮等?？梢允褂?種或2種以上這些化合物。在感光性漿料中添加增感劑時，其 添加量相對感光性成分，通常為0. 05 10質(zhì)量％，更優(yōu)選為0. 1 10質(zhì)量％。增感劑的 量小于上述范圍時，存在不發(fā)揮使靈敏度提高的效果的傾向，增感劑的量大于上述范圍時， 存在曝光部的殘存率變小的傾向。作為有機溶劑，可使用例如甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、丁基溶纖劑、丙二醇單甲醚 醋酸酯、甲基乙基酮、二噁烷、丙酮、環(huán)己酮、環(huán)戊酮、異丁醇、異丙醇、四氫呋喃、二甲基亞 砜、Y -丁內(nèi)酯、N-甲基吡咯烷酮、N，N- 二甲基甲酰胺、N, N- 二甲基乙酰胺、溴苯、氯苯、二 溴苯、二氯苯、溴苯甲酸、氯苯甲酸等或含有它們中的1種以上的有機溶劑混合物。隔壁形成用感光性漿料通常以成為規(guī)定的組成的方式調(diào)合上述無機微粒子或有 機成分，然后，用3根輥或捏合機均質(zhì)地進行混合分散來制作。接著，進行感光性漿料的涂 敷、干燥、曝光、顯影等。作為涂敷隔壁形成用感光性漿料的方法，可以使用網(wǎng)版印刷法、棒涂機、輥涂機、 模涂機、刮刀涂敷機等。另外，涂敷后的干燥可以使用通風(fēng)爐、電熱板、IR(紅外線)爐等。曝光中所使用的活性光源可列舉例如可見光線、近紫外線、紫外線、電子線、X線、 激光等。其中，最優(yōu)選紫外線，作為其光源，優(yōu)選例如低壓水銀燈、高壓水銀燈、超高壓水銀 燈、鹵化物燈、滅菌燈等。其中，優(yōu)選超高壓水銀燈。曝光條件因涂敷厚度而不同，使用1 100mff/cm2的輸出的超高壓水銀燈進行0. 1 10分鐘曝光。在這里，光掩模和感光性漿料的涂敷膜表面的距離(以下稱為間隙量)優(yōu)選調(diào)整 為50 500 μ m,進一步為70 400 μ m。通過將間隙量設(shè)定為50 μ m以上、進一步優(yōu)選70 μ m 以上，可以防止感光性漿料涂敷膜和光掩模的接觸，防止兩者的破壞或污染。另外，通過將
11其設(shè)定為500 μ m以下、進一步優(yōu)選400 μ m以下，可以進行清晰的構(gòu)圖。顯影利用曝光部和非曝光部相對于顯影液的溶解度差而進行。顯影可以用浸漬法 或噴霧法、涂刷法等進行。顯影液使用感光性漿料中的要溶解的有機成分，S卩，在負型感光性漿料的情況下， 使用可以溶解曝光前的感光性有機成分的溶液，在正型感光性漿料的情況下，使用可以溶 解曝光后的有機成分的溶液。在要溶解的有機成分中存在具有羧基等酸性基的化合物時， 可以在堿水溶液中進行顯影。作為堿水溶液，可以使用氫氧化鈉或碳酸鈉、碳酸鈉水溶液、 氫氧化鈣水溶液等無機堿水溶液，由于在燒成時容易除去堿成分，因此，優(yōu)選使用有機堿水 溶液。作為有機堿，可以使用一般的胺化合物。具體可列舉四甲基氫氧化銨、三甲基芐基氫 氧化銨、一乙醇胺、二乙醇胺等。堿水溶液的濃度通常為0. 01 10質(zhì)量％，更優(yōu)選為0. 1 5質(zhì)量％。如果堿濃度過低，則存在難以除去可溶部分的傾向，如果堿濃度過高，則存在剝離 圖案部或使非可溶部腐蝕的傾向。另外，在工序管理上優(yōu)選顯影時的顯影溫度在20 50°C 下進行。接著，通過顯影得到的主隔壁及輔助隔壁的圖案在燒成爐中被燒成。燒成氛圍或 溫度因漿料或基板的種類而不同，在空氣中、氮、氫等氛圍中進行燒成。作為燒成爐，可以使 用分批式的燒成爐或輥道爐床式的連續(xù)型燒成爐。燒成溫度在400 800°C下進行即可。 在玻璃基板上直接形成隔壁時，在450 620°C的溫度下保持10 60分鐘進行燒成即可。接著，在與規(guī)定的地址電極平行方向所形成的主隔壁間形成發(fā)光紅(R)、綠(G)、 藍(B)的各色的熒光體層。熒光體層可以通過使以熒光體粉末、有機粘合劑及有機溶劑為 主要成分的熒光體漿料涂敷在規(guī)定的主隔壁間并進行干燥、根據(jù)需要進行燒成來形成。作為將熒光體漿料涂敷在規(guī)定的主隔壁間的方法，可以利用使用網(wǎng)版印刷版進行 圖案印刷的網(wǎng)版印刷法、從噴出噴嘴的前端將熒光體漿料進行圖案噴出的分配器法、另外 在熒光體漿料中使用有上述的感光性有機成分的感光性漿料法使各色的熒光體漿料涂敷 在規(guī)定的場所，但從成本的理由考慮，在本發(fā)明中，優(yōu)選應(yīng)用網(wǎng)版印刷法、分配器法。將紅色熒光體層的厚度設(shè)定為 ;(μ m)、綠色熒光體層的厚度設(shè)定為Τ8(μ m)及藍 色熒光體層的厚度設(shè)定為Tb(μ m)時，優(yōu)選滿足式(2)及(3)。10 ^ Tr ^ Tb ^ 50(2)10 ^ Tg ^ Tb ^ 50(3)S卩，對發(fā)光亮度低的藍色，通過使厚度比綠色、紅色厚，可以制作色平衡更優(yōu)異 (色溫度高)的等離子體顯示器。作為熒光體層的厚度，可以通過將其設(shè)定為ΙΟμπι以上來 得到充分的亮度。另外，通過將其設(shè)定為50μπι以下，可以取得寬的放電空間，得到高的亮 度。此時的熒光體層的厚度作為相鄰的主隔壁及相鄰輔助隔壁的中間點的燒成后的厚度測 定。即，作為在放電空間(由主隔壁、輔助隔壁包圍的像素單元內(nèi))的底部所形成的熒光體 層的厚度測定。通過將被涂敷的熒光體層根據(jù)需要在400 550°C下燒成，可以制作背面板。在使用該背面板與前面板密封后，在前背面的基板間隔所形成的空間封入由氦、 氖、氙等構(gòu)成的放電氣體后，安裝驅(qū)動電路而能夠制作等離子體顯示器。前面板為在基板上 以規(guī)定的圖案形成有透明電極、匯流電極、電介質(zhì)、保護層的構(gòu)件?？梢栽谂c背面板上所形 成的RGB各色熒光體層一致的部分形成濾色器層。另外，為了提高對比度，可以形成黑條紋。接著，對主隔壁的間距進行說明。在是由主隔壁和與其正交的輔助隔壁構(gòu)成的格 子狀的隔壁圖案的情況下，在位于顯示區(qū)域的橫向兩側(cè)的非顯示區(qū)域的主隔壁中，位于最 外部的主隔壁成為僅連接輔助隔壁和顯示區(qū)域側(cè)的一側(cè)的形狀，在燒成時通過輔助隔壁收 縮而產(chǎn)生的應(yīng)力僅施加于向顯示區(qū)域側(cè)的一方向，因此，如圖1所示，產(chǎn)生最外部的主隔壁 3傾倒、與其它的顯示區(qū)域的主隔壁2相比隆起的問題。這樣，成為隔壁高度局部地升高時、 在點亮面板時、有時產(chǎn)生誤放電等使顯示品質(zhì)降低的問題。因此，為了防止最外部主隔壁的 傾倒，如圖2所示，進行使最外部主隔壁的寬度Ltl比顯示區(qū)域的主隔壁寬度粗，但在最外 部主隔壁的間距Ptl與顯示區(qū)域內(nèi)的主隔壁間距Pt2相同的情況下，不能越為了防止傾倒 越充分加粗Ltl，因此，設(shè)計為Ptl比Pt2大。Ltl優(yōu)選是Lt2的1. 2 3倍。當其小于1. 2 倍時，抑制傾倒的效果不充分，當其大于3倍時，最外部主隔壁自身的寬度方向的收縮應(yīng)力 變大，有時頂部翹起，因此，不優(yōu)選。另外，使用感光性漿料法，利用主隔壁和輔助隔壁，具有圖案為格子狀的隔壁的基 板可以通過如下方式獲得，即，對在基板上所形成的隔壁形成用感光性漿料涂敷膜，使用具 有所期望的格子狀圖案的光掩模進行曝光并進行顯影/燒成。此時在異物附著于光掩模、 或有傷痕、氣泡等的情況下，有時圖案形成不良。在這里，通過應(yīng)用將在基板上形成的隔壁形成用感光性漿料涂敷膜和具有所期望 的格子狀圖案的光掩模的位置進行對準，進行一次曝光(曝光操作1)，進一步以所期望的 量移動基板或光掩模而進行曝光(曝光操作2)的方法，可以抑制圖案的形成不良等缺陷產(chǎn) 生。此時的基板或光掩模的移動方向與輔助隔壁的方向平行或與主隔壁的方向平行，在移 動方向與輔助隔壁的方向平行的情況下的移動量優(yōu)選為主隔壁間距Pt2的整數(shù)倍。不為整 數(shù)倍時，在曝光操作1和曝光操作2中主隔壁位置偏離，因此，抑制缺陷產(chǎn)生的效果不充分， 而且，隔壁寬度等形狀不均的控制困難。在位于顯示區(qū)域的橫向兩側(cè)的非顯示區(qū)域的主隔 壁中，位于最外部的主隔壁和與其相鄰的主隔壁的間距Ptl必須為位于顯示區(qū)域的主隔壁 的間距Pt2的2以上的整數(shù)倍，由此，可以抑制最外部主隔壁的隆起。而且，通過上述曝光 操作1和曝光操作2之間的基板或光掩模的移動量與Pt2相同，可以抑制圖案形成不良等 缺陷的產(chǎn)生。但是，當Ptl為Pt2的5以上的整數(shù)倍時，最外部的主隔壁3和其相鄰主隔壁 之間過于隔開，因此，在與前面板貼合進行面板化時，施加于最外部的主隔壁的應(yīng)力變大， 有時隔壁缺損。另外，移動方向與主隔壁的方向平行時的移動量優(yōu)選是輔助隔壁間距的整數(shù)倍， 更優(yōu)選為與輔助隔壁間距相同距離。在不為整數(shù)倍的情況下，橫隔壁的形狀的控制困難。實施例下面，利用實施例對本發(fā)明進行具體說明。但是，本發(fā)明并不限定于此。首先，對評價方法進行說明。關(guān)于隔壁的形成不良，用背面板實施評價，關(guān)于誤放 電和最外部主隔壁缺損，用等離子體顯示器面板實施?！锤舯谛纬刹涣肌涤猛干涔饽恳暣_認制成的背面板，調(diào)查隔壁圖案的斷線的有無，用以下基準進行 判定。〇沒有斷線
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X 有斷線〈誤放電〉對制成的PDP的掃描電極施加140V的電壓，對維持電極施加200V的電壓，對地址 電極施加70V的電壓，使R、G、B以單色依次點亮。對由于誤放電而以不應(yīng)該點亮的顏色(R 點亮?xí)r為G和B，G點亮?xí)r為B和R，B點亮?xí)r為R和G)點亮的單元的個數(shù)進行計數(shù)，用以下
基準進行判定。〇誤點亮單元數(shù)每1面板為5個以下Δ 誤點亮單元數(shù)每1面板為6 10個X 誤點亮單元數(shù)每1面板為11個以上〈最外部主隔壁缺損〉在制成的PDP中的背面板的位于顯示區(qū)域的橫向兩側(cè)的非顯示區(qū)域的主隔壁中， 用顯微鏡(★一工> 7社制)觀察位于最外部的主隔壁的缺損的有無，用以下基準進行判定。〇沒有缺損Δ 一部分缺損，但沒有達到隔壁的崩潰X 隔壁崩潰接著，對形成方法依次進行說明。(實施例1 4、比較例1、2)作為玻璃基板，使用590X964X1. 8mm的42英寸大小的PD-200(旭硝子(株) 制)。在該基板上，作為寫入電極(writing electrode)，使用由平均粒徑2. 0 μ m的銀粉末 70重量份、Bi203/Si02/Al203/B203 = 69/24/4/3 (質(zhì)量％ )構(gòu)成的平均粒徑2. 2 μ m的玻璃粉 末2重量份、丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯、苯乙烯的共聚聚合物8重量份、三羥甲基丙烷三丙烯 酸酯7重量份、二苯甲酮3重量份、丁基卡必醇丙烯酸酯7重量份、芐醇3重量份構(gòu)成的感 光性銀漿料，利用光刻法形成間距240 μ m、線寬度100 μ m、燒成后厚度3 μ m的條紋狀電極。在該基板上涂敷由Bi203/Si02/Al203/Zn0/B203 = 78/14/3/3/2 (質(zhì)量％ )構(gòu)成的體 積平均粒徑2 μ m的低熔點玻璃微粒子60重量份、平均粒徑為0. 3 μ m的氧化鈦粉末10重 量份、乙基纖維素15重量份、松油醇15重量份構(gòu)成的電介質(zhì)漿料后，在580°C下進行燒成， 形成厚度IOym的電介質(zhì)層。隔壁形成用的感光性漿料將以下的成分進行混合、分散而使用。玻璃粉末Bi203/Si02/Al203/Zn0/B203= 82/6/6/6/3 (質(zhì)量 ％ )構(gòu)成的平均粒徑 2ym的玻璃粉末67重量份填料平均粒徑0. 2 μ m的氧化鈦3重量份聚合物“寸〗夕口 -” ρ (ACA250、夕· ^七 >化學(xué)工業(yè)社制)10重量份有機溶劑(1)芐醇4重量份有機溶劑(2) :丁基卡必醇醋酸酯3重量份單體二季戊四醇六丙烯酸酯8重量份光聚合引發(fā)劑二苯甲酮3重量份抗氧化劑1，6-己二醇-雙[(3，5- 二-叔丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]1重量份有機染料堿性藍26 0.01重量份
觸變性賦予劑N，N' -12-羥基硬脂酸亞丁基二胺0. 5重量份表面活性劑聚氧乙烯鯨蠟基醚0. 49重量份。利用模涂機將涂敷隔壁形成用感光性漿料涂敷成250 μ m的厚度后，在潔凈爐中 在100°C下進行40分鐘的干燥，形成涂敷膜。在其上面將隔壁形成用感光性漿料利用模涂 機涂敷成50 μ m的厚度后，在潔凈爐中在100°C下進行30分鐘的干燥，形成涂敷膜。相對 形成涂敷膜，使具有所期望的格子狀圖案的光掩模的位置對準，進行一次曝光(曝光操作 1)，進一步以表1所示的所期望的移動距離S( μ m)在與輔助隔壁平行的方向移動基板或光 掩模，再次進行位置對準而進行曝光(曝光操作2)。光掩模使用具有圖3所示的圖案的光 掩模。再有，表1表示在各自的實施例、比較例中使用的光掩模的位于橫向最外部的主隔 壁形成用透光部和與其相鄰的主隔壁形成用透光部的間距Pmtl (μ m)、位于橫向中央部的 主隔壁形成用透光部的間距Pmt2(y m)、輔助隔壁形成用透光部的間距Pmy (μ m)、位于橫 向最外部的主隔壁形成用透光部Wtl ( μ m)、位于橫向中央部的主隔壁形成用透光部的寬度 Wt2 ( μ m)ο另外，將與光掩模的間隙設(shè)定為150 μ m,以在曝光操作1和曝光操作2中累計曝光 量之和為400mJ/cm2的方式實施曝光。將如上述那樣形成的已曝光的基板在0.5質(zhì)量％的碳酸鈉水溶液中進行顯影，形 成隔壁圖案。將圖案形成已結(jié)束的基板在560°C下進行15分鐘燒成。將得到的基板的概略 圖示于圖4。表1表示在位于顯示區(qū)域的橫向兩側(cè)的非顯示區(qū)域的主隔壁中、位于最外部的 主隔壁和與其相鄰的主隔壁的間距Ptl ( μ m)、位于顯示區(qū)域的主隔壁的間距Pt2 ( μ m)、輔 助隔壁的間距Py (μ m)、在位于顯示區(qū)域的橫向兩側(cè)的非顯示區(qū)域的主隔壁中、位于最外部 的主隔壁的底部寬度Ltl ( μ m)、位于顯示區(qū)域的主隔壁的底部寬度Lt2 ( μ m)的測定結(jié)果。在所形成的隔壁間利用網(wǎng)版印刷法涂敷各色熒光體漿料并進行燒成(500°C、30 分鐘)。在隔壁的側(cè)面及底部形成熒光體層。接著，利用以下的工序制作前面板。首先，使用590X964X2. 8mm的42英寸大小 的PD-200(旭硝子(株)制)作為玻璃基板，在該玻璃基板上用濺射法形成ITO后，涂敷抗 蝕劑，利用曝光、顯影處理、蝕刻處理形成厚度0. 1 μ m、線寬度200 μ m的透明電極。另外，使 用由黑色銀粉末構(gòu)成的感光性銀漿料，利用光刻法形成燒成后厚度5 μ m的掃描電極和維 持電極。就電極而言，分別制作間距500 μ m、線寬度80 μ m的電極。接著，將含有氧化鉛75質(zhì)量％的低熔點玻璃的粉末70重量份、乙基纖維素20重 量份、松油醇10重量份進行捏合而得到的玻璃漿料利用網(wǎng)版印刷、以覆蓋顯示部分的匯流 電極的方式以50μπι的厚度進行涂敷后，在570°C下進行15分鐘的燒成，形成前面電介質(zhì)。在形成有電介質(zhì)的基板上，作為保護膜，利用電子束蒸鍍形成厚度0. 5 μ m的氧化 鎂層，制作前面板。使用密封玻璃將制成的前面板和背面板密封，以內(nèi)部氣體壓力為66500Pa的方式 封入含Xe5%的Ne氣，安裝驅(qū)動回路，由此制作等離子體顯示器面板。表1表示評價結(jié)果。[表1]
權(quán)利要求
一種等離子體顯示器用構(gòu)件，具有在基板上形成的多個大致條紋狀的地址電極；覆蓋該地址電極的電介質(zhì)層；以及位于該電介質(zhì)層上的與該地址電極大致平行的主隔壁及與該主隔壁正交的輔助隔壁，其特征在于，在位于顯示區(qū)域的橫向兩側(cè)的非顯示區(qū)域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁和與其相鄰的主隔壁的間距是位于顯示區(qū)域的主隔壁的間距的2以上的整數(shù)倍。
2.如權(quán)利要求1所述的等離子體顯示器用構(gòu)件，其中，在位于顯示區(qū)域的橫向兩側(cè)的 非顯示區(qū)域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁和與其相鄰的主隔壁的間距是位于顯示區(qū)域 的主隔壁的間距的2倍、3倍或4倍。
3.一種等離子體顯示器用構(gòu)件的制造方法，對顯示器用構(gòu)件材料，經(jīng)由具有與該地址 電極或地址電極的前體大致平行及與其正交的格子狀的透光圖案的光掩模進行多次曝光 操作并進行顯影、燒成，形成由與該地址電極大致平行的主隔壁及與該主隔壁正交的輔助 隔壁構(gòu)成的格子狀隔壁，其中，該顯示器用構(gòu)件材料包括在基板上形成的多個大致條紋狀 的地址電極或地址電極的前體；覆蓋該地址電極或地址電極的前體的電介質(zhì)層或電介質(zhì)層 的前體；以及在該電介質(zhì)層或電介質(zhì)層的前體上形成的感光性玻璃漿料層，其特征在于，使用位于橫向最外部的主隔壁形成用透光部和與其相鄰的主隔壁形成用透光部的間 距為位于橫向中央部的主隔壁形成用透光部的間距的2以上的整數(shù)倍的光掩模，在至少2 次曝光操作之間使光掩模和基板與輔助隔壁的方向平行地相對移動，移動距離為位于橫向 最外部的主隔壁用透光部和與其相鄰的主隔壁用透光部的間距的整數(shù)倍。
4.如權(quán)利要求3所述的等離子體顯示器用構(gòu)件的制造方法，其中，位于橫向最外部的 主隔壁用透光部和與其相鄰的主隔壁用透光部的間距為位于橫向中央部的主隔壁用透光 部的間距的2倍、3倍或4倍。
5.一種等離子體顯示器用構(gòu)件的制造方法，對顯示器用構(gòu)件材料，經(jīng)由具有與該地址 電極或地址電極的前體大致平行及與其正交的格子狀的透光圖案的光掩模進行多次曝光 操作并進行顯影、燒成，形成由與該地址電極大致平行的主隔壁及與該主隔壁正交的輔助 隔壁構(gòu)成的格子狀隔壁，其中，該顯示器用構(gòu)件材料包括在基板上形成的多個大致條紋狀 的地址電極或地址電極的前體；覆蓋該地址電極或地址電極的前體的電介質(zhì)層或電介質(zhì)層 的前體；以及在該電介質(zhì)層或電介質(zhì)層的前體上形成的感光性玻璃漿料層，其特征在于，使用位于橫向最外部的主隔壁形成用透光部和與其相鄰的主隔壁形成用透光部的間 距為位于橫向中央部的主隔壁形成用透光部的間距的2以上的整數(shù)倍的光掩模，在至少2 次曝光操作之間使光掩模和基板與主隔壁的方向平行地相對移動，移動距離為位于縱向最 外部的輔助隔壁透光部和與其相鄰的輔助隔壁透光部的間距的整數(shù)倍。
全文摘要
一種等離子體顯示器用構(gòu)件，具有在基板(5)上形成的多個大致條紋狀的地址電極(7)；覆蓋該地址電極的電介質(zhì)層(6)；以及位于該電介質(zhì)層上的與該地址電極大致平行的主隔壁(8)及與該主隔壁正交的輔助隔壁(9)，其特征在于，在位于顯示區(qū)域的橫向兩側(cè)的非顯示區(qū)域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁和與其相鄰的主隔壁的間距(Pt1)為位于顯示區(qū)域的主隔壁的間距(Pt2)的2以上的整數(shù)倍。另外，通過使用具有特定的形狀的光掩模進行多次曝光，可以得到顯示品質(zhì)高且生產(chǎn)率高的等離子體顯示器。
文檔編號H01J9/02GK101933114SQ20098010374
公開日2010年12月29日 申請日期2009年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月30日
發(fā)明者內(nèi)田哲夫, 大津貴史 申請人:東麗株式會社